CN105909725A - 一种三自由度微振动抑制平台及其控制方法 - Google Patents

Abstract

一种三自由度微振动抑制平台及其控制方法，属于振动隔离与抑制装置，解决现有主被动复合隔振机构存在的结构复杂、控制方式繁琐的问题。本发明的三自由度微振动抑制平台，包括基础平台、负载平台、完全相同的三套单自由度主被动复合隔振组件以及控制器，每套单自由度主被动复合隔振组件上下两端分别与负载平台和基础平台连接。本发明的控制方法，包括计算逻辑轴位移信号、计算逻辑轴控制信号、计算物理轴实时控制信号和传递步骤。本发明结构简单，刚度可调，能够对X轴、Y轴的转动方向及Z轴的平动方向三自由度微振动进行抑制和隔离，能够适合不同的场合，可以有效的衰减不同频段的微振动，为微振动环境下的精密加工与测量设备提供可靠的保障。

Description

一种三自由度微振动抑制平台及其控制方法

技术领域

本发明属于微振动隔离与抑制装置，具体涉及一种三自由度微振动抑制平台及其控制方法。

背景技术

在一些场合工作环境复杂，造就了相应的微振动环境，而这些微振动是影响设备加工或工作精度的关键性因素。被动隔振器由质量-弹簧-阻尼元件构成，由于其在低频振动传递率与高频振动衰减率之间存在的固有矛盾，无法满足精密微振动的隔振需求；相对于被动隔振机构，主动隔振对系统的性能有了重大改善，但其需要传感器-执行器对，以及相应的主动控制系统，这就要求主动隔振在负载和功耗上必须可靠。

就结构而言，目前主流的微振动隔离或抑制设备均采用被动隔振元件和主动执行器使用一定的方式连接而成。如空气弹簧与音圈电机的主被动复合使用、膜片弹簧与音圈电机的主被动复合使用、金属弹簧与直线电机的主被动复合使用等手段对微振动起到了有效的抑制作用，具有较好的低频和高频衰减能力，但它们都存在不同的优缺点。

空气弹簧与音圈电机的主被动并联机构使得隔振器具有大行程和高负载、固有频率低等优点，但其本身结构复杂，并且需要持续供气，再则音圈电机功耗大，不利于在空间上的应用，这些因素制约了其在微振动抑制方面的运用。金属弹簧与直线电机的主被动并联机构要使用压缩弹簧获得较低的固有频率比较困难，对安装精度要求较高，控制精度的提升较为困难。而采用压电陶瓷作为执行机构为主动隔振器的设计和应用则打开了新的局面。压电陶瓷的响应快，定位精度高，作动行程较小，寿命长，但其同样存在缺点，就是行程太小。因此实际使用中需要设计机械放大构件以拓宽其有效行程。

针对微振动抑制和隔离领域来说，宽频带、高响应是其主要特点，压电陶瓷致动器则脱颖而出，但采用压电陶瓷作为执行器的主动隔振机构，因其结构刚度较大，而多被称之为“硬式”结构，会导致系统的固有频率过高，难以有效的抑制低频振动。因此被动隔振元件的辅助设计也变得更加有吸引力。

中国专利公开号CN105129112A一种主被动复合隔振机构和隔振平台，其隔振机构由弹性体平面网格结构和主动电磁动力吸振器和压电作动器组成，对低频线谱和宽频随机激励有较好的控制效果，但其结构复杂，控制方式繁琐，仍待进一步提高。

为更清楚地理解本发明，以下对本发明中所涉及的概念和术语加以解释：

本发明中，负载平台坐标系采用空间笛卡尔直角坐标系，负载平台质心为原点O，负载平台位于XOY平面，X轴、Z轴在纸面内共面，X轴水平向左方向为正向，Z轴垂直向上方向为正向，Y轴垂直于纸面向外为正向。

单自由度主被动复合隔振组件的单位方向矢量是指单自由度主被动复合隔振组件中的下柔性铰链与基础平台连接点B到上柔性铰链与负载平台连接点A的矢量与该矢量的模的比值，可表示为：

平台半径向量为负载平台质心点到单自由度主被动复合隔振组件上柔性铰链与负载平台的铰链连接点所构成的矢量。

发明内容

本发明提供一种三自由度微振动抑制平台，同时提供其控制方法，解决现有主被动复合隔振机构存在的结构复杂、控制方式繁琐的问题。

本发明所提供的一种三自由度微振动抑制平台，包括基础平台、负载平台、完全相同的三套单自由度主被动复合隔振组件以及控制器，每套单自由度主被动复合隔振组件上下两端分别通过沉头螺钉与负载平台和基础平台连接，其特征在于：

各套单自由度主被动复合隔振组件上端和负载平台的连接点在负载平台上沿圆周间隔120°均匀分布；各套单自由度主被动复合隔振组件下端和基础平台的连接点在基础平台上沿圆周间隔120°均匀分布；各套单自由度主被动复合隔振组件的中心轴线与基础平台上表面之间的夹角均为60°；

所述各套单自由度主被动复合隔振组件均由金属弹簧、下导向盘、下导螺栓、上导向盘、上导螺栓、套筒、压电致动器、机械放大构件、动态力传感器及下柔性铰链、上柔性铰链组成；

所述压电致动器安装在机械放大构件中，机械放大构件右端与上导向盘通过上导螺栓连接，机械放大构件左端通过螺栓与动态力传感器右端连接，动态力传感器左端通过螺栓与上柔性铰链连接；

所述下导向盘与下柔性铰链通过下导螺栓连接，所述套筒装配在下导向盘与上导向盘之间，所述金属弹簧套于套筒外表，且与下导向盘、上导向盘接触；所述上导螺栓和下导螺栓分别插入套筒左端孔口、右端孔口并与套筒滑动配合；

所述下柔性铰链端部、上柔性铰链端部分别通过沉头螺钉与基础平台和负载平台连接；

所述压电致动器和动态力传感器分别与所述控制器通过导线相连，所述动态力传感器检测负载平台的振动信号，输入给控制器，所述控制器计算得到实时控制信号，输出给压电致动器，机械放大构件对压电致动器的行程进行机械放大，作用在负载平台上，对负载平台的残余误差振动进行主动控制补偿；

所述金属弹簧、下导向盘、下导螺栓、上导向盘、上导螺栓及套筒组成被动隔振单元；

所述压电致动器、机械放大构件、动态力传感器及控制器形成闭环的主动隔振单元。

所述基础平台可以为中部空心的圆环形、正三角环形或矩形环形，以在保证结构刚性与强度的前提下轻量化；

所述负载平台可以为圆形板或矩形板，以保证负载安装空间；

所述下柔性铰链、上柔性铰链结构相同，均可以采用柔性虎克铰，其为双轴柔性铰链，相当于轴线相交于一点的两个转动副的组合，允许构件有两个相对转动的自由度，两轴线的交点即为铰链的铰点，用于避免间隙和摩擦，保证高轴向刚度与低转动刚度。

所述压电致动器可以为叠堆型或管型压电陶瓷致动器；所述机械放大构件可以为三角形放大构件或微动工作台放大构件。

所述三自由度微振动抑制平台的控制方法，其特征在于，包括下述步骤：

A.计算逻辑轴位移信号步骤：

三个动态力传感器37分别测量三套单自由度主被动复合隔振组件轴向的振动力信号，并通过两次积分及去趋势项转换为位移信号q₁、q₂、q₃，构成物理轴位移信号q＝[q₁ q₂ q₃]^T，通过运算转换为负载平台质心点的逻辑轴位移信号x＝[z α β]^T，其中，J为速度雅可比矩阵，z、α、β分别为质心点沿Z轴的平动位移信号、沿X轴的转动信号和沿Y轴的转动信号；

$J=\left[\begin{array}{cc}{l}_1^T& l_1^T{\tilde{p}}_1\\ l_2^T& l_2^T{\tilde{p}}_2\\ l_3^T& l_3^T{\tilde{p}}_3\end{array}\right];$

其中，l₁、l₂、l₃分别为三套单自由度主被动复合隔振组件的单位方向矢量，p₁、p₂、p₃分别为三套单自由度主被动复合隔振组件上柔性铰链的铰链连接点与负载平台质心点所构成的平台半径向量，p＝[p₁ p₂ p₃]为平台半径向量构成的半径矩阵，为p＝[p₁ p₂ p₃]的反对称矩阵；

B.计算逻辑轴控制信号步骤：

对逻辑轴位移信号x，通过主动控制算法计算得到逻辑轴控制信号x′＝[z′ α′ β]^T，其中，z′、α′、β′分别为经过计算处理后的质心点沿Z轴的平动位移信号、沿X轴的转动信号和沿Y轴的转动信号；

C.计算物理轴实时控制信号步骤：

通过转置速度雅可比矩阵J^T，将逻辑轴控制信号x′转换为物理轴控制信号q′＝[q′₁ q′₂ q′₃]^T，其中，q′₁、q′₂、q′₃分别为转换后三套单自由度主被动复合隔振组件的控制信号；转置雅可比矩阵J^T表达式如下：

$J^T=\left[\begin{array}{ccc}{l}_1^T& l_2^T& l_3^T\\ l_1^T{\tilde{p}}_1& l_2^T{\tilde{p}}_2& l_3^T{\tilde{p}}_3\end{array}\right];$

D.传递步骤：

将三套单自由度主被动复合隔振组件的控制信号分别传递至相应的压电致动器35，以驱动机械放大构件36，进行相应单自由度主被动复合隔振组件的实时主动振动控制。

所述计算逻辑轴控制信号步骤中，所述主动控制算法为比例积分(PI)力反馈控制算法、最小二乘递归(RLS)自适应算法或者最小均方(LMS)自适应控制算法。

比例积分(PI)力反馈控制算法出自经典控制理论比例-积分-微分(PID)控制器，见书目《PID控制器参数整定与实现》，黄友锐、曲立国著，北京，科学出版社，2010。

最小二乘递归(RLS)自适应算法以及最小均方(LMS)自适应控制算法均出自书目《自适应滤波算法与实现》，Paulo S.R.Diniz著，北京，电子工业出版社，2014；以及《自适应信号处理技术》，赵春晖、张朝柱等著，北京，北京理工大学出版社，2009。

本发明中，单自由度主被动复合隔振组件由主、被动隔振单元复合构成，金属弹簧、下导向盘、下导螺栓、上导向盘、上导螺栓及套筒组成被动隔振单元；压电致动器、机械放大构件、动态力传感器及控制器形成闭环的主动隔振单元。

在被动隔振单元中，可根据实际需要更换不同刚度、不同材料的金属弹簧，实现变刚度特性，以更改系统的有效作用带宽，适应不同的微振动环境；上、下导向盘作为导向机构，保证金属弹簧的轴向运动精度，套筒作为行程保护机构，避免运动和运输过程被动隔振单元发生塑性变形。

在主动隔振单元中，动态力传感器相对于加速度传感器具有更高的信噪比特性，用于检测负载平台的动态实时振动信号，测量得到的振动信号输入给控制器，在控制器中通过主动控制算法计算物理轴实时控制信号，输出给压电致动器，压电致动器作为主动实时控制的输出机构，具有耗能小，定位精度高、频响快速等特点，不仅对微振动能进行有效的抑制和隔离，其低功耗也拓展延伸了能量功耗相对局限的应用环境(如太空遥感卫星的精密减振)；而机械放大构件则对压电致动器行程进行机械放大，以拓宽其有效工作行程，使其作用在负载平台上，对负载平台的残余误差振动进行主动控制补偿，从而减小负载平台的振动，达到振动抑制的效果。

本发明采用的主动控制算法中，比例积分(PI)力反馈控制算法简单成熟，运算量小，反馈控制结构简单易实现，实现天棚阻尼的效果，从而有效衰减固有频率处的共振峰。

本发明结构简单，刚度可调，利用系统刚度串联会降低系统的动态刚度，从而降低系统固有频率；利用主动隔振单元可以改变隔振系统刚度及阻尼的特点，从而改变系统传递率的特性，能够对X轴的转动方向、Y轴的转动方向及Z轴的平动方向三自由度微振动进行抑制和隔离，不仅对高频信号有较好的衰减作用，而且在控制方法上能够增加共振峰频率点的天棚阻尼，能有效抑制低频共振，隔离低频振动；能够适合不同的场合，可以有效的衰减不同频段的微振动，为微振动环境下的精密加工与测量设备提供可靠的保障。

附图说明

图1为本发明的三维结构示意图；

图2为本发明的正视图；

图3为本发明的俯视图；

图4为本发明的仰视图。

图5为单自由度主被动复合隔振组件结构示意图；

图6为单自由度主被动复合隔振组件剖视图；

图7(a)为柔性铰链俯视图；

图7(b)为图7(a)的左视图；

图8(a)为现有被动隔振机构原理示意图；

图8(b)为本发明隔振机构原理示意图；

图9为图1中传统被动隔振单元和本发明在开环和闭环情况下的传递率曲线对比图；

具体实施方式

以下结合附图和实施例对本发明进一步说明。

如图1～图4所示，本发明包括基础平台10、负载平台20、完全相同的三套单自由度主被动复合隔振组件30以及控制器40，每套单自由度主被动复合隔振组件上下两端分别通过沉头螺钉与负载平台20和基础平台10连接：

各套单自由度主被动复合隔振组件上端和负载平台20的连接点在负载平台20上沿圆周间隔120°均匀分布；各套单自由度主被动复合隔振组件下端和基础平台10的连接点在基础平台10上沿圆周间隔120°均匀分布；各套单自由度主被动复合隔振组件的中心轴线与基础平台10上表面之间的夹角均为60°。

如图5、图6所示，所述各套单自由度主被动复合隔振组件30均由金属弹簧31、下导向盘32、上导向盘33、套筒34、压电致动器35、机械放大构件36、动态力传感器37及下柔性铰链38、上柔性铰链39组成；

所述压电致动器35安装在机械放大构件36中，机械放大构件36右端与上导向盘33通过上导螺栓33A连接，机械放大构件36左端通过螺栓与动态力传感器37右端连接，动态力传感器37左端通过螺栓与上柔性铰链39连接；

所述下导向盘32与下柔性铰链38通过下导螺栓32B连接，所述套筒34装配在下导向盘32与上导向盘33之间，所述金属弹簧31套于套筒34外表，且与下导向盘32、上导向盘33接触；所述上导螺栓33A和下导螺栓32A分别插入套筒34左端孔口、右端孔口并与套筒34滑动配合；

所述下柔性铰链38端部、上柔性铰链39端部分别通过沉头螺钉与基础平台10和负载平台20连接；

所述压电致动器35和动态力传感器37分别与所述控制器40通过导线相连，所述动态力传感器检测负载平台的振动信号，输入给控制器40，所述控制器计算得到实时控制信号，输出给压电致动器35，机械放大构件36对压电致动器35的行程进行机械放大，作用在负载平台20上，对负载平台20的残余误差振动进行主动控制补偿；

所述金属弹簧31、下导向盘32、下导螺栓32A、上导向盘33、上导螺栓33A及套筒34组成被动隔振单元；

所述压电致动器35、机械放大构件36、动态力传感器37及控制器40形成闭环的主动隔振单元。

所述基础平台10可以为中部空心的圆环形、正三角环形或矩形环形，以在保证结构刚性与强度的前提下轻量化；

所述负载平台20可以为圆形板或矩形板，以保证负载安装空间。

作为实施例，所述下柔性铰链38、上柔性铰链39结构相同，均采用柔性虎克铰，如图7(a)、图7(b)所示，其为双轴柔性铰链，相当于轴线相交于一点的两个转动副的组合，允许构件有两个相对转动的自由度，两轴线的交点即为铰链的铰点，用于避免间隙和摩擦，保证高轴向刚度与低转动刚度。

本实施例中，所述压电致动器35为叠堆型压电陶瓷致动器；所述机械放大构件36为三角形放大构件，采用哈工大芯明天公司生产的型号为P06.X60AK的三角形放大促动器，包含机械放大构件和压电致动器。

作为本发明的控制方法实施例，包括计算逻辑轴位移信号、计算逻辑轴控制信号、计算物理轴实时控制信号和传递步骤；在计算逻辑轴控制信号步骤中，对逻辑轴位移信号x，通过比例积分(PI)力反馈控制算法计算得到逻辑轴控制信号x′＝[z′ α′ β′]^T，其中，z′、α′、β′分别为经过计算处理后的质心点沿Z轴的平动位移信号、沿X轴的转动信号和沿Y轴的转动信号；

所述比例积分(PI)力反馈控制算法为：

x′＝u(t)x，u(t)＝k_p+k_i∫e(t)dt，

式中，u(t)为比例积分(PI)控制算法的时域输出信号，比例增益系数k_p为，k_i为积分增益系数，e(t)为x′和x的误差，t为时间系数。

以下对本发明和现有被动隔振机构的隔振原理进行对比：

如图8(a)所示，现有被动隔振机构通过传统的弹簧-质量-阻尼单元构成，实现简单的被动隔振，其传递率曲线函数G：

$G=\frac{x_1}{x_0}=\frac{Cs+K}{{\mathrm{Ms}}^2+Cs+K};$

式中，x₁为负载平台的振动位移量，x₀是基础平台的振动位移量，C是机构的等效阻尼，K是负载平台与基础平台间的等效刚度，M是负载平台的质量，s＝jω为拉氏变换的复变量，ω为频域系数。

如图8(b)所示，本发明在现有被动隔振机构的基础上，串联添加一个易于改变刚度的被动弹性元件(实施例中采用金属弹簧)，并且添加一个主动反馈控制回路，主动反馈控制回路中采用传感器反馈、控制器计算、致动器输出的模式运行，构成主被动复合隔振机构，其开环情况下的传递率曲线函数G_o：

$G_o=\frac{x_2}{x_0}=\frac{(K_{0}C+KC)s+K_{0}K}{(MK+{\mathrm{MK}}_0)s^2+(K_{0}C+KC)s+K_{0}K};$

式中，x₂为采用主被动复合隔振机构时负载平台的振动位移量，K₀为串联添加的弹簧刚度，K为原系统的等效刚度，C为原系统的等效阻尼，M是负载平台的质量，以负载平台上的振动信号为参考，对被动隔振单元进行主动控制(本实施例中采用PI力反馈控制算法)，构成主被动复合隔振单元，其中控制力F：

$F={\mathrm{Mx}}_2{s}^2\·(k_p+k_i\frac{1}{s});$

其中，比例积分(PI)控制算法的时域公式为：u(t)＝k_p+k_i∫e(t)dt，

比例积分(PI)控制算法的频域公式为：

上式中，k_p为比例增益系数，k_i为积分增益系数，e(t)为逻辑轴控制信号和逻辑轴位移信号的误差，t为时间系数，s＝jω为拉氏变换的复变量，ω为频域系数。

则主被动复合隔振机构闭环情况下的传递率曲线函数G_c：

$G_c=\frac{x_2}{x_0}=\frac{(K_{0}C+KC)s+K_{0}K}{M(1+k_p)(K+K_0)s^2+(K_0+K)(C+k_{i}M)s+K_{0}K};$

图9为图8中现有被动隔振机构与本发明在闭环和开环情况下的传递率曲线图。从图中实线可以看出采用现有被动机构隔振时，其被动传递率在低频共振峰处有较高的峰值，且系统的固有频率较高。从图中虚线可以看出，采用本发明的结构后，由于串联一个附加的刚度弹簧，系统的刚度得到进一步下降，阻尼也得到进一步提升。从图中点线可以看出，在采用本发明结构的基础上，配合PI力反馈等的主动控制方法，系统的刚度继续发生变化，固有频率进一步前移，同时系统的共振峰也被主动控制的天棚阻尼补偿，从系统的传递率曲线，看以看出本发明使得振动抑制能力得到了进一步性能的提升。

Claims (5)

1.一种三自由度微振动抑制平台，包括基础平台(10)、负载平台(20)、完全相同的三套单自由度主被动复合隔振组件(30)以及控制器(40)，每套单自由度主被动复合隔振组件上下两端分别通过沉头螺钉与负载平台(20)和基础平台(10)连接，其特征在于：

各套单自由度主被动复合隔振组件上端和负载平台(20)的连接点在负载平台(20)上沿圆周间隔120°均匀分布；各套单自由度主被动复合隔振组件下端和基础平台(10)的连接点在基础平台(10)上沿圆周间隔120°均匀分布；各套单自由度主被动复合隔振组件的中心轴线与基础平台(10)上表面之间的夹角均为60°。

所述各套单自由度主被动复合隔振组件(30)均由金属弹簧(31)、下导向盘(32)、上导向盘(33)、套筒(34)、压电致动器(35)、机械放大构件(36)、动态力传感器(37)及下柔性铰链(38)、上柔性铰链(39)组成；

所述压电致动器(35)安装在机械放大构件(36)中，机械放大构件(36)右端与上导向盘(33)通过上导螺栓(33A)连接，机械放大构件(36)左端通过螺栓与动态力传感器(37)右端连接，动态力传感器(37)左端通过螺栓与上柔性铰链(39)连接；

所述下导向盘(32)与下柔性铰链(38)通过下导螺栓(32A)连接，所述套筒(34)装配在下导向盘(32)与上导向盘(33)之间，所述金属弹簧(31)套于套筒(34)外表，且与下导向盘(32)、上导向盘(33)接触；所述上导螺栓(33A)和下导螺栓(32A)分别插入套筒(34)左端孔口、右端孔口并与套筒(34)滑动配合；

所述下柔性铰链(38)端部、上柔性铰链(39)端部分别通过沉头螺钉与基础平台(10)和负载平台(20)连接；

所述压电致动器(35)和动态力传感器(37)分别与所述控制器(40)通过导线相连，所述动态力传感器检测负载平台的振动信号，输入给控制器(40)，所述控制器计算得到实时控制信号，输出给压电致动器(35)，机械放大构件(36)对压电致动器(35)的行程进行机械放大，作用在负载平台(20)上，对负载平台(20)的残余误差振动进行主动控制补偿；

所述金属弹簧(31)、下导向盘(32)、下导螺栓(32A)、上导向盘(33)、上导螺栓(33A)及套筒(34)组成被动隔振单元；

所述压电致动器(35)、机械放大构件(36)、动态力传感器(37)及控制器(40)形成闭环的主动隔振单元。

2.如权利要求1所述的三自由度微振动抑制平台，其特征在于：

所述基础平台(10)为中部空心的圆环形、正三角环形或矩形环形，以在保证结构刚性与强度的前提下轻量化；

所述负载平台(20)为圆形板或矩形板，以保证负载安装空间；

所述下柔性铰链(38)、上柔性铰链(39)采用柔性虎克铰，其为双轴柔性铰链，相当于轴线相交于一点的两个转动副的组合，允许构件有两个相对转动的自由度，两轴线的交点即为铰链的铰点，用于避免间隙和摩擦，保证高轴向刚度与低转动刚度。

3.如权利要求1或2所述的三自由度微振动抑制平台，其特征在于：

所述压电致动器(35)为叠堆型或管型压电陶瓷致动器；所述机械放大构件(36)为三角形放大构件或微动工作台放大构件。

4.权利要求1所述三自由度微振动抑制平台的控制方法，其特征在于，包括下述步骤：

A.计算逻辑轴位移信号步骤：

三个动态力传感器37分别测量三套单自由度主被动复合隔振组件轴向的振动力信号，并通过两次积分及去趋势项后转换为位移信号q₁、q₂、q₃，构成物理轴位移信号q＝[q₁ q₂ q₃]^T，通过运算转换为负载平台质心点的逻辑轴位移信号x＝[z α β ]^T，其中，J为速度雅可比矩阵，z、α、β分别为质心点沿Z轴的平动位移信号、沿X轴的转动信号和沿Y轴的转动信号；

$J=\left[\begin{array}{cc}{l}_1^T& l_1^T{\tilde{p}}_1\\ l_2^T& l_2^T{\tilde{p}}_2\\ l_3^T& l_3^T{\tilde{p}}_3\end{array}\right];$

其中，l₁、l₂、l₃分别为三套单自由度主被动复合隔振组件的单位方向矢量，p₁、p₂、p₃分别为三套单自由度主被动复合隔振组件上柔性铰链的铰链连接点与负载平台质心点所构成的平台半径向量，p＝[p₁ p₂ p₃]为平台半径向量构成的半径矩阵，为p＝[p₁ p₂ p₃]的反对称矩阵；

B.计算逻辑轴控制信号步骤：

对逻辑轴位移信号x，通过主动控制算法计算得到逻辑轴控制信号x'＝[z' α' β']^T，其中，z'、α'、β'分别为经过计算处理后的质心点沿Z轴的平动位移信号、沿X轴的转动信号和沿Y轴的转动信号；

C.计算物理轴实时控制信号步骤：

通过转置速度雅可比矩阵J^Τ，将逻辑轴控制信号x'转换为物理轴控制信号q'＝[q'₁ q'₂ q'₃]^T，其中，q'₁、q'₂、q'₃分别为转换后三套单自由度主被动复合隔振组件的控制信号；转置雅可比矩阵J^T表达式如下：

$J^T=\left[\begin{array}{ccc}{l}_1^T& l_2^T& l_3^T\\ l_1^T{\tilde{p}}_1& l_2^T{\tilde{p}}_2& l_3^T{\tilde{p}}_3\end{array}\right];$

D.传递步骤：

将三套单自由度主被动复合隔振组件的控制信号分别传递至相应的压电致动器35，以驱动机械放大构件36，进行相应单自由度主被动复合隔振组件的实时主动振动控制。

5.如权利要求4所述的控制方法，其特征在于，

所述计算逻辑轴控制信号步骤中，所述主动控制算法为比例积分力反馈控制算法、最小二乘递归自适应算法或者最小均方自适应控制算法。