CN112885757A - 一种12寸边缘刻蚀机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种12寸边缘刻蚀机，包括外壳体、一号平移机械臂和二号平移机械臂，所述外壳体的一端通过螺栓安装有储液罐，所述储液罐的顶部通过限位座设置有计量泵，所述外壳体的另一端通过安装座安装有编程控制器，所述外壳体内通过限位座及螺栓安装有一号平移机械臂，且一号平移机械臂的一端设置有二号平移机械臂，所述一号平移机械臂和二号平移机械臂的一侧均通过固定架设置有水洗槽，所述水洗槽的一端通过限位座安装有刻蚀槽。该新型边缘刻蚀机能通过两组刻蚀设备进行生产，来提高生产效率，边缘刻蚀机能实现刻蚀、清洗和甩干一体操作，适合广泛推广使用。
Description
技术领域
本发明涉及刻蚀机技术领域，特别涉及一种12寸边缘刻蚀机。
背景技术
12寸边缘刻蚀机是主要应用于12寸半导体硅片的边缘刻蚀加工。包含有FOUPloadport,Pre-Aligner,WTR机械手,直角坐标机械模组，Buffer位，刻蚀槽，水洗槽，甩干位，储酸槽。主要工作流程为FOUP LoadPort接收人工及自动化设备(AGV或OHT)输送来的FOUP,刻蚀机接收人工或主控制系统的工艺清洗要求。
现有的边缘刻蚀机存在以下缺点：1、边缘刻蚀机不能通过两组刻蚀设备进行生产，来提高生产效率；2、边缘刻蚀机不能实现刻蚀、清洗和甩干一体操作。为此，我们提出一种12寸边缘刻蚀机。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种12寸边缘刻蚀机，可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：
一种12寸边缘刻蚀机，包括外壳体、一号平移机械臂和二号平移机械臂，所述外壳体的一端通过螺栓安装有储液罐，所述储液罐的顶部通过限位座设置有计量泵，所述外壳体的另一端通过安装座安装有编程控制器，所述外壳体内通过限位座及螺栓安装有一号平移机械臂，且一号平移机械臂的一端设置有二号平移机械臂，所述一号平移机械臂和二号平移机械臂的一侧均通过固定架设置有水洗槽，所述水洗槽的一端通过限位座安装有刻蚀槽，所述水洗槽的另一端通过螺栓设置有甩干槽，所述刻蚀槽内通过螺栓安装有喷射管，所述喷射管一端设置有喷射头，且喷射管上设置有气压计，所述刻蚀槽的底部通过卡箍分别安装有氮气罐和酸洗罐，所述氮气罐和酸洗罐分别通过一号输送管和二号输送管与喷射管相连。
进一步地，所述编程控制器的输出端与一号平移机械臂和二号平移机械臂的输入端通过导线相连。
进一步地，所述一号平移机械臂和二号平移机械臂的输出端连接夹持手。
进一步地，所述计量泵的输入端位于储液罐内，所述计量泵的输出端通过管道连接水洗槽。
进一步地，所述一号输送管和二号输送管上均设置有电磁阀。
与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
1.本发明一种12寸边缘刻蚀机，利用编程控制器控制一号平移机械臂和二号平移机械臂进行运行，将12寸半导体硅片移动到刻蚀槽内，对半导体硅片的边缘刻蚀加工。
2.本发明一种12寸边缘刻蚀机，加工的过程中开启一号输送管上的电磁阀使氮气罐内的压缩氮气进入喷射管从喷射头喷出，实现保护的功能，开启二号输送管上的电磁阀使酸洗罐内的酸洗液进入到喷射管内从喷射头喷出，提高刻蚀机的工作效率。
3.本发明一种12寸边缘刻蚀机，利用计量泵将储液罐内的清洗液定量抽到水洗槽内，实现高效水洗，并且利用一号平移机械臂和二号平移机械臂将水洗后的工件移位到甩干槽内进行甩干操作，该12寸边缘刻蚀机具有两组刻蚀设备，便于同时进行操作，有效的提高了生产效率。
附图说明
图1为本发明一种12寸边缘刻蚀机的整体结构示意图。
图2为本发明一种12寸边缘刻蚀机的刻蚀槽结构示意图。
图3为本发明一种12寸边缘刻蚀机的刻蚀槽底部俯视图。
图中：1、编程控制器；2、氮气罐；3、电磁阀；4、刻蚀槽；5、外壳体；6、水洗槽；7、甩干槽；8、储液罐；9、计量泵；10、夹持手；11、一号平移机械臂；12、二号平移机械臂；13、喷射头；14、气压计；15、喷射管；16、酸洗罐；17、一号输送管；18、二号输送管。
具体实施方式
为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
如图1-3所示，一种12寸边缘刻蚀机，包括外壳体5、一号平移机械臂11和二号平移机械臂12，所述外壳体5的一端通过螺栓安装有储液罐8，所述储液罐8的顶部通过限位座设置有计量泵9，所述外壳体5的另一端通过安装座安装有编程控制器1，所述外壳体5内通过限位座及螺栓安装有一号平移机械臂11，且一号平移机械臂11的一端设置有二号平移机械臂12，所述一号平移机械臂11和二号平移机械臂12的一侧均通过固定架设置有水洗槽6，所述水洗槽6的一端通过限位座安装有刻蚀槽4，所述水洗槽6的另一端通过螺栓设置有甩干槽7，所述刻蚀槽4内通过螺栓安装有喷射管15，所述喷射管15一端设置有喷射头13，且喷射管15上设置有气压计14，所述刻蚀槽4的底部通过卡箍分别安装有氮气罐2和酸洗罐16，所述氮气罐2和酸洗罐16分别通过一号输送管17和二号输送管18与喷射管15相连。
其中，所述编程控制器1的输出端与一号平移机械臂11和二号平移机械臂12的输入端通过导线相连。
本实施例中如图1所示，利用编程控制器1控制一号平移机械臂11和二号平移机械臂12进行运行。
其中，所述一号平移机械臂11和二号平移机械臂12的输出端连接夹持手10。
本实施例中如图1所示，利用夹持手10便于夹持工件。
其中，所述计量泵9的输入端位于储液罐8内，所述计量泵9的输出端通过管道连接水洗槽6。
本实施例中如图1所示，利用计量泵9将储液罐8内的清洗液定量抽到水洗槽6内，实现高效水洗。
其中，所述一号输送管17和二号输送管18上均设置有电磁阀3。
需要说明的是，本发明为一种12寸边缘刻蚀机，工作时，利用编程控制器1控制一号平移机械臂11和二号平移机械臂12进行运行，将12寸半导体硅片移动到刻蚀槽4内，对半导体硅片的边缘刻蚀加工，加工的过程中开启一号输送管17上的电磁阀3使氮气罐2内的压缩氮气进入喷射管15从喷射头13喷出，实现保护的功能，开启二号输送管18上的电磁阀3使酸洗罐16内的酸洗液进入到喷射管15内从喷射头13喷出，提高刻蚀机的工作效率，利用计量泵9将储液罐8内的清洗液定量抽到水洗槽6内，实现高效水洗，并且利用一号平移机械臂11和二号平移机械臂12将水洗后的工件移位到甩干槽7内进行甩干操作，该12寸边缘刻蚀机具有两组刻蚀设备，便于同时进行操作，有效的提高了生产效率。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (5)
1.一种12寸边缘刻蚀机，包括外壳体(5)、一号平移机械臂(11)和二号平移机械臂(12)，其特征在于：所述外壳体(5)的一端通过螺栓安装有储液罐(8)，所述储液罐(8)的顶部通过限位座设置有计量泵(9)，所述外壳体(5)的另一端通过安装座安装有编程控制器(1)，所述外壳体(5)内通过限位座及螺栓安装有一号平移机械臂(11)，且一号平移机械臂(11)的一端设置有二号平移机械臂(12)，所述一号平移机械臂(11)和二号平移机械臂(12)的一侧均通过固定架设置有水洗槽(6)，所述水洗槽(6)的一端通过限位座安装有刻蚀槽(4)，所述水洗槽(6)的另一端通过螺栓设置有甩干槽(7)，所述刻蚀槽(4)内通过螺栓安装有喷射管(15)，所述喷射管(15)一端设置有喷射头(13)，且喷射管(15)上设置有气压计(14)，所述刻蚀槽(4)的底部通过卡箍分别安装有氮气罐(2)和酸洗罐(16)，所述氮气罐(2)和酸洗罐(16)分别通过一号输送管(17)和二号输送管(18)与喷射管(15)相连。
2.根据权利要求1所述的一种12寸边缘刻蚀机，其特征在于：所述编程控制器(1)的输出端与一号平移机械臂(11)和二号平移机械臂(12)的输入端通过导线相连。
3.根据权利要求1所述的一种12寸边缘刻蚀机，其特征在于：所述一号平移机械臂(11)和二号平移机械臂(12)的输出端连接夹持手(10)。
4.根据权利要求1所述的一种12寸边缘刻蚀机，其特征在于：所述计量泵(9)的输入端位于储液罐(8)内，所述计量泵(9)的输出端通过管道连接水洗槽(6)。
5.根据权利要求1所述的一种12寸边缘刻蚀机，其特征在于：所述一号输送管(17)和二号输送管(18)上均设置有电磁阀(3)。
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Publications (1)
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| CN202110338377.8A Pending CN112885757A (zh) | 2021-03-29 | 2021-03-29 | 一种12寸边缘刻蚀机 |
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2021
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