CN112846517B - 一种滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置和方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置和方法，其包括：激光器，其用于产生并输出激光光束；振镜，其用于对激光器输出的激光光束进行偏转；透镜组以及聚焦镜组，从振镜中射出的激光光束经透镜组改变角度后进入聚焦镜组，所述聚焦镜组对激光光束进行处理，使得从聚焦镜组中射出的激光光束具有倾角θ，并作用于滤波器孔状结构内壁，实现滤波器孔状结构内壁镀层的去除。本发明通过对激光进行偏转，使其直接作用于滤波器孔状结构内壁，以实现孔状结构内壁镀层的去除，以此提高去除效率。

Description

一种滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置和方法

技术领域

本发明涉及光电元器件制造领域，尤其涉及一种滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置和方法。

背景技术

滤波器是基站射频核心部件，其主要功能是使特定频率的信号通过，而极大地衰减其他频率的信号。目前的滤波器主要有三大类：金属同轴腔体、陶瓷介质谐振和陶瓷介质。其中，随着5G技术的发展和不断深化，陶瓷介质类由于其体积小、Q值高、插损低、稳定性好、承受功率高等优点逐渐成为主流。

但是由于陶瓷本身不导电，需要对其进行金属化处理才能使其具备滤波器的功能，主要包括喷银、浸银、丝网印刷等方法。基于加工效率的因素，对陶瓷介质滤波器的金属化往往是整体的，这就导致滤波器上的孔状结构，如通孔和盲孔的内壁上也附着有金属层，其会极大地影响产品的性能。为提高滤波性能，则需要对这些孔内壁的镀金属层进行去除。传统的做法是利用人工对孔内壁上的金属层进行打磨，但该种方法效率低、劳动强度大且不利于批量化生产。

由此，申请号为2019103105258的发明专利提供了一种去滤波器镀层的激光加工设备。但由于激光射出方向是垂直向下且不可变的，因此该设备仅能对俯面的金属材料进行去除，如需要去除侧壁孔状结构内壁的金属材料，则只能通过多次平移旋转四轴运动模组，从而将侧壁暴露在俯面才能进一步通过激光去除，其同样会导致设备加工效率低，稳定性无法保证，而且四轴运动模组笨重又不实用，还会增加额外的成本。

发明内容

本发明的目的是提供一种滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置和方法，其通过对激光进行偏转，使其直接作用于滤波器孔状结构内壁，以实现孔状结构内壁镀层的去除，以此提高去除效率。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一方面，提供了一种滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置，其包括：

激光器，其用于产生并输出激光光束；

振镜，其用于对激光器输出的激光光束进行偏转；

透镜组以及聚焦镜组，从振镜中射出的激光光束经透镜组改变角度后进入聚焦镜组，所述聚焦镜组对激光光束进行处理，使得从聚焦镜组中射出的激光光束具有倾角θ，并作用于滤波器孔状结构内壁，实现滤波器孔状结构内壁镀层的去除。

优选的，所述倾角θ满足条件：30°≤θ≤60°。

优选的，所述振镜输出的激光光束的光轴与透镜组、聚焦镜组的中心轴重合。

优选的，所述滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置还包括：第一运动模组，其连接所述振镜，用于带动振镜沿从振镜中输出的激光光束的光轴移动。

优选的，所述透镜组包括：位于入射端的平凸透镜和位于出射端的平凹透镜，且所述平凸透镜和平凹透镜的光轴重合。

优选的，所述滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置还包括：第二运动模组，其连接所述平凸透镜和/或平凹透镜，用于带动所述平凸透镜和/或平凹透镜沿从振镜中射出的激光光束的光轴移动，使得所述平凸透镜、平凹透镜发生相对运动。

优选的，所述聚焦镜组包括：沿入射端至出射端方向依次设置的第一双凸透镜、第二双凸透镜、第一弯月透镜、第二弯月透镜及保护镜片。

优选的，所述滤波器孔状结构包括开设在陶瓷介质滤波器侧壁上的盲孔和/或通孔。

还提供一种利用上述去除装置去除滤波器孔状结构内壁镀层的方法，其包括如下步骤：

获取滤波器孔状结构的参数信息；

根据所述滤波器孔状结构的参数信息调整振镜和/或透镜组的参数设置；

产生并输出激光光束，所述激光光束依次经过振镜、透镜组、聚焦镜组射出后具有倾角θ，并作用于滤波器孔状结构内壁，实现滤波器孔状结构内壁镀层的去除。

优选的，所述参数设置包括：振镜镜片的偏转角度、振镜在光路上的位置中的一种或几种。

本发明至少具备以下有益效果：

本发明中产生的激光光束通过振镜、透镜组和聚焦镜组后具有倾斜角大于或等于30°的倾角，并作用于在滤波器孔状结构内壁，以满足通过激光去除滤波器孔状结构内壁镀层时的角度要求，其无需设置额外的运动模组来带动滤波器进行位置调整，由此可大幅提高镀层去除的工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置的结构示意图；

图2为本发明激光光束作用于滤波器孔状结构内壁的示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

实施例1：

如图1-2所示，本实施例提供了一种滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置，其包括：

激光器1，其用于产生并输出激光光束L；

振镜2，其用于对激光器1输出的激光光束L进行偏转，以此适应不同幅面的镀层去除需求；

透镜组3以及聚焦镜组4，从振镜2中射出的激光光束L经透镜组3改变角度后进入聚焦镜组4，所述聚焦镜组4对激光光束L进行处理，使得从聚焦镜组4中射出的激光光束L具有倾角θ，并作用于滤波器孔状结构5内壁，实现滤波器孔状结构内壁镀层的去除，本实施例中，且倾角θ满足条件：30°≤θ≤60°（优选的，所述倾角θ=45°）。

本实施例中，为了减少像差，所述透镜组3、聚焦镜组4的中心轴X重合，且振镜2输出的激光光束L的光轴X’与透镜组3、聚焦镜组4的中心轴X重合；所述滤波器孔状结构包括开设在陶瓷介质滤波器侧壁上的盲孔和/或通孔。

由此，本实施例中激光器1输出的激光光束L通过振镜2偏转后形成适当的扫描角度，然后依次经过透镜组3和聚焦镜组4进行角度变换，使激光光束L具有大于或等于30°的倾角θ，并作用于滤波器孔状结构5内壁，以满足通过激光去除滤波器孔状结构内壁镀层时的角度要求，其无需设置额外的运动模组来带动滤波器进行位置调整，由此可大幅提高镀层去除的工作效率。

实施例2：

本实施例与实施例1的不同之处仅在于，所述滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置还包括：

第一运动模组，其连接所述振镜2，用于带动振镜2沿从振镜2中输出的激光光束L的光轴X’移动，以此调整振镜2、透镜组3之间的距离，进一步调节光斑孔径大小，以满足不同镀层的去除所需。

实施例3：

本实施例与实施例1或2的不同之处仅在于，所述透镜组3包括：

位于入射端的平凸透镜301和位于出射端的平凹透镜302，且所述平凸透镜301和平凹透镜302的光轴重合，激光光束的出射角度经过平凸透镜301和平凹透镜302的综合作用后发生变化，如出射角度变大；

同时，所述聚焦镜组4包括：

沿入射端至出射端方向依次设置的第一双凸透镜401、第二双凸透镜402、第一弯月透镜403、第二弯月透镜404及保护镜片405，经透镜组3的平凹透镜302射出的激光光束依次经过第一双凸透镜401、第二双凸透镜402、第一弯月透镜403、第二弯月透镜404及保护镜片405的综合作用后，所述激光光束具有倾角θ，并作用于滤波器孔状结构5内壁，实现滤波器孔状结构内壁镀层的去除。

进一步的，所述滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置还包括：第二运动模组，其连接所述平凸透镜301和/或平凹透镜302，用于带动所述平凸透镜301和/或平凹透镜302沿从振镜2中射出的激光光束的光轴移动，使得所述平凸透镜301、平凹透镜302发生相对运动，以此调节倾角θ。

实施例4：

本实施例提供了一种利用实施例1-3任一项所述的去除装置去除滤波器孔状结构内壁镀层的方法，其包括如下步骤：

S1、获取滤波器孔状结构的参数信息，其包括孔径大小、孔深等；

S2、根据所述滤波器孔状结构的参数信息调整振镜和/或透镜组的参数设置，所述参数设置包括：振镜镜片的偏转角度、振镜在光路上的位置、平凸透镜和平凹透镜之间的距离等中的一种或几种；

S3、启动激光器，产生并输出激光光束，所述激光光束依次经过振镜、透镜组、聚焦镜组射出后具有倾角θ，并作用于滤波器孔状结构内壁，实现滤波器孔状结构内壁镀层的去除。

综上所述，本发明的镀层去除装置结构设计简单，适用于陶瓷介质滤波器侧壁上孔状结构内壁镀层的去除，激光光束通过振镜偏转后形成适当的扫描角度，然后依次经过透镜组和聚焦镜组进行角度变换，使激光光束具有倾斜角大于或等于30°的倾角，并作用于在滤波器孔状结构内壁，以满足通过激光去除滤波器孔状结构内壁镀层时的角度要求，其无需设置额外的运动模组来带动滤波器进行位置调整，以及无需受限于聚焦镜组的孔径，由此可大幅提高镀层去除的工作效率。

需要说明的是，上述实施例1-4中的技术特征可进行任意组合，且组合而成的技术方案均属于本申请的保护范围。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明的范围内。本发明要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (8)

1.一种滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置，其特征在于，包括：

激光器，其用于产生并输出激光光束；

振镜，其用于对激光器输出的激光光束进行偏转；

透镜组以及聚焦镜组，从振镜中射出的激光光束经透镜组改变角度后进入聚焦镜组，所述聚焦镜组对激光光束进行处理，使得从聚焦镜组中射出的激光光束具有倾角θ，并作用于滤波器孔状结构内壁，实现滤波器孔状结构内壁镀层的去除；

所述振镜输出的激光光束的光轴与透镜组、聚焦镜组的中心轴重合；

所述聚焦镜组包括：沿入射端至出射端方向依次设置的第一双凸透镜、第二双凸透镜、第一弯月透镜、第二弯月透镜及保护镜片。

2.如权利要求1所述的去除装置，其特征在于，所述倾角θ满足条件：30°≤θ≤60°。

3.如权利要求1所述的去除装置，其特征在于，所述滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置还包括：第一运动模组，其连接所述振镜，用于带动振镜沿从振镜中输出的激光光束的光轴移动。

4.如权利要求1所述的去除装置，其特征在于，所述透镜组包括：位于入射端的平凸透镜和位于出射端的平凹透镜，且所述平凸透镜和平凹透镜的光轴重合。

5.如权利要求4所述的去除装置，其特征在于，所述滤波器孔状结构内壁镀层的去除装置还包括：第二运动模组，其连接所述平凸透镜和/或平凹透镜，用于带动所述平凸透镜和/或平凹透镜沿从振镜中射出的激光光束的光轴移动，使得所述平凸透镜、平凹透镜发生相对运动。

6.如权利要求1所述的去除装置，其特征在于，所述滤波器孔状结构包括开设在陶瓷介质滤波器侧壁上的盲孔和/或通孔。

7.一种利用权利要求1-6任一项所述的去除装置去除滤波器孔状结构内壁镀层的方法，其特征在于，包括如下步骤：

获取滤波器孔状结构的参数信息；

根据所述滤波器孔状结构的参数信息调整振镜和/或透镜组的参数设置；

产生并输出激光光束，所述激光光束依次经过振镜、透镜组、聚焦镜组射出后具有倾角θ，并作用于滤波器孔状结构内壁，实现滤波器孔状结构内壁镀层的去除。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述参数设置包括：振镜镜片的偏转角度、振镜在光路上的位置中的一种或几种。

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