CN112846499A - 玻璃与金属封装的超快激光焊接方法以及系统 - Google Patents

玻璃与金属封装的超快激光焊接方法以及系统 Download PDF

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Abstract

本发明涉及超短脉冲激光玻璃金属焊接技术领域，提供了一种玻璃与金属封装的超快激光焊接方法，包括如下步骤：S1，调整光路，使激光光束垂直于待加工工件的表面；S2，将玻璃样品和金属样品叠放并固定在夹具中，并采用所述夹具调整玻璃样品和金属样品之间的间隙；S3，采用运动平台驱使所述夹具移动，并使所述夹具移动至待加工区域，使激光光束聚焦到样品待焊接处；S4，设定所需加工图档，并由该加工图档控制激光器发射激光进行加工。还提供一种玻璃与金属封装的超快激光焊接系统。本发明采用的夹具可以满足1μm以内可调，受力均匀，并且能够避免材料损伤。

Description

玻璃与金属封装的超快激光焊接方法以及系统
技术领域
本发明涉及超短脉冲激光玻璃金属焊接技术领域，具体为一种玻璃与金属封装的超快激光焊接方法以及系统。
背景技术
玻璃材料在工业上广泛应用，具备很多优良的特性，比如：耐高温、耐磨、耐蚀、透光性、抗氧化能力强、化学稳定性等，但玻璃材料本身的延展性低、冲击韧性差则限制了其在工程中的应用。金属材料一般具有较好的导电性、导热性、可塑性以及抗冲击特性，但透光性差、易腐蚀生锈，因而结合了玻璃和金属双重优良性能的玻璃金属连接体应运而生，并广泛应用于航空航天、微电子封装、国防、电池、光学技术、仪器仪表、医疗保健、太阳能真空集热管、复合材料等领域，因此研究金属和玻璃封接有中药意义。
现有的玻璃与金属连接技术主要包括机械连接、密封胶或者密封条、高温烧结等，但机械连接无法保证气密性；密封胶或者密封条使用较繁琐，零部件可能会逐渐脱落或移动，此外，粘合剂中的有机化学物质会逐渐释放，导致产品寿命缩短；高温烧结均匀性差、器件易损、易造成污染。
传统意义上，焊接仅限于具有相似特性的材料，因此即使将不同的金属材料焊接在一起也很难，目前的技术无法很好地将金属和玻璃焊接在一起，高温和热膨胀首先会导致玻璃破碎。超短脉冲激光脉宽时间短、峰值功率高、平均功率低，因而可以精准地控制热输入，减少热影响区，聚焦的超短脉冲激光具备超高的光功率密度，可以瞬间熔化金属材料，同时，其还可以通过非线性电离的方式选区诱导透明材料的直接熔化，激光通过光学材料聚焦，在两种材料之间的界面处提供非常小且高强度的光点，在几微米的面积上实现了兆瓦的峰值功率，使材料内部形成一个像微小闪电球一样的微等离子体，周围环绕着高度密闭的熔化区域，脉冲结束后熔化体快速凝固，利用这一原理可以实现透明玻璃材料与金属间的连接，形成的焊缝保持完好坚固。然而，其焊接过程对样品间隙有严苛的要求，玻璃与金属需要通过外加压力实现光学接触。这对待焊接样品的表面质量提出较高要求，且焊接工序不够简化。
目前玻璃与金属封装技术存在的问题：1.间隙问题，待加工样品之间的贴合间隙难以达到光学接触(1μm以内)的状态；2.玻璃清洗方面尚存在问题，由于样品表面难以达到绝对无尘状态，灰尘会导致焊接线中断；3.尺寸限制，样品尺寸过小夹具压的时候玻璃易压碎，现有夹具不能满足加工的要求；4.工艺方面，夹具压力的控制、分布，运动轨迹的选取有待改进。
发明内容
本发明的目的在于提供一种玻璃与金属封装的超快激光焊接方法以及系统，至少可以解决现有技术中的部分缺陷。
为实现上述目的，本发明实施例提供如下技术方案：一种玻璃与金属封装的超快激光焊接方法，包括如下步骤：
S1，调整光路，使激光光束垂直于待加工工件的表面；
S2，将玻璃样品和金属样品叠放并固定在夹具中，并采用所述夹具调整玻璃样品和金属样品之间的间隙；
S3，采用运动平台驱使所述夹具移动，并使所述夹具移动至待加工区域，使激光光束聚焦到样品待焊接处；
S4，设定所需加工图档，并由该加工图档控制激光器发射激光进行加工。
进一步，在所述S2步骤中，采用的夹具包括两个夹持件组，两个所述夹持件组分别夹持叠放在一起的玻璃样品和金属样品所形成的整体的一相对侧，每一所述夹持件组均包括紧贴所述玻璃样品的第一夹持件和紧贴所述金属样品的第二夹持件，两个所述夹持件组之间留有供激光射入的间隙。
进一步，在所述S1步骤中，采用扩束镜、反射镜以及聚焦镜来调整光路。
进一步，在进行激光加工前，采用同轴定位系统进行检测，并采用水平调节器进行调平，使加工平台和待焊接面处于水平状态。
进一步，在进行激光加工前，采用超声清洗和/或激光清洗使玻璃样品达到粉尘颗粒小于1μm，粉尘密度小于2颗每2.5平方厘米。
进一步，在进行激光加工前，采用酒精擦拭金属表面，并在显微镜下观察，使金属表面达到粉尘颗粒小于1μm，粉尘密度小于2颗每2.5平方厘米。
进一步，在加工的过程中，采用旁轴视觉系统、机械定位、CCD定位或光栅定位的方式来进行待加工区域定位。
进一步，采用的激光的脉宽在175fs～5ps之间，波长在300～2500nm之间，频率在100KHz～5MHz之间，且控制光斑直径在2～10mm之间，保证能量密度在1.8*1014–6.0*1014W/cm2之间。
进一步，在加工完成后对样品进行打压试验，测试其是否符合气密性要求和水密性要求。
本发明实施例提供另一种技术方案：一种玻璃与金属封装的超快激光焊接系统，包括激光器，还包括用于调整激光器发射的激光的光路至垂直于待加工工件的表面的光学组件、用于将叠放的玻璃样品和金属样品夹持住的夹具以及驱使所述夹具移动的运动平台，所述夹具可调整玻璃样品和金属样品之间的间隙。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、采用的夹具可以满足1μm以内可调，受力均匀，并且能够避免材料损伤。
2、可实现尺寸仅为几个毫米的玻璃与金属密封焊接，达到小尺寸密封的效果，满足气密性、水密性要求。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种玻璃与金属封装的超快激光焊接系统的示意图；
图2为本发明实施例提供的一种玻璃与金属封装的超快激光焊接系统的玻璃样品和金属样品叠放的示意图；
图3为本发明实施例提供的一种玻璃与金属封装的超快激光焊接系统的夹具夹持样品的示意图；
图4为本发明实施例提供的一种玻璃与金属封装的超快激光焊接系统的加入引导线的焊接路径的示意图；
附图标记中：1-激光器；2-激光光束；3-扩束镜；4-扩束后激光光束；5-第一CCD；6-同轴镜头；7-红光光束；8-反射镜；9-聚焦镜；10-玻璃样品；11-金属样品；12-第二CCD；13-旁轴镜头；14-夹具；15-聚焦后激光光束。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1至图4，本发明实施例提供一种玻璃与金属封装的超快激光焊接方法，包括如下步骤：S1，调整光路，使激光光束2垂直于待加工工件的表面；S2，将玻璃样品10和金属样品11叠放并固定在夹具14中，并采用所述夹具14调整玻璃样品10和金属样品11之间的间隙；S3，采用运动平台驱使所述夹具14移动，并使所述夹具14移动至待加工区域，使激光光束2聚焦到样品待焊接处；S4，设定所需加工图档，并由该加工图档控制激光器1发射激光进行加工。在本实施例中，采用的夹具14可以满足1μm以内可调，受力均匀，并且能够避免材料损伤。具体地，从激光器1出射的激光先被调整光路，使激光光束2垂直于待加工工件的表面，然后再将样品固定在夹具14中，由于该夹具14能调整玻璃样品10和金属样品11之间的间隙，当调整至小于1μm时，可以确保玻璃与金属的封装。在加工的过程中采用运动平台带动夹具14移动，以实现焊接。优选的，通过激光加工软件设定所需加工图档，为了达到本发明所述技术效果，加工图档为环形，其中所述槽形焊接区域大小5mm*5mm；环形宽度：0.5mm。采用具有可编程控制X、Y轴移动速度与距离的运动平台，用于调节焊接过程中X、Y轴路径规划。优选的，对金属样品11的表面进行抛光，表面粗糙度优于1μm。玻璃样品10材质为非强化玻璃。
以下为具体实施例：
作为本发明实施例的优化方案，请参阅图1至图4，在所述S2步骤中，采用的夹具14包括两个夹持件组，两个所述夹持件组分别夹持叠放在一起的玻璃样品10和金属样品11所形成的整体的一相对侧，每一所述夹持件组均包括紧贴所述玻璃样品10的第一夹持件和紧贴所述金属样品11的第二夹持件，两个所述夹持件组之间留有供激光射入的间隙。在本实施例中，细化上述的夹持组件，通过两侧的夹持，可以根据需要调整两侧的夹持度，进而慢慢地将样品间的间隙调小，较之现有的全覆盖式的夹持形式调整度更高，符合异种材料的焊接要求来。
作为本发明实施例的优化方案，请参阅图1至图4，在所述S1步骤中，采用扩束镜3、反射镜8以及聚焦镜9来调整光路。在本实施例中，如图1所示，激光器1的激光射出后，激光光束2进入扩束镜3，扩束后激光光束4被反射镜8反射至聚焦镜9，聚焦后激光光束15射至样品，聚焦镜9可以包括一个二元光学元件，可以将聚焦光束进行沿着z轴方向的延伸。
作为本发明实施例的优化方案，请参阅图1至图4，在进行激光加工前，采用同轴定位系统进行检测，并采用水平调节器进行调平，使加工平台和待焊接面处于水平状态。在本实施例中，采用第一CCD5和同轴镜头6的配合来进行检测，然后再用水平调节器来进行调平，确保加工平台和待焊接面处于水平状态，在使用时，通过从第一CCD5和同轴镜头6出来的红光光束7来辅助调平。优选的，同轴镜头6焦深精度控制在10μm内。第一CCD5视野大小控制在0.2*0.2mm2。
作为本发明实施例的优化方案，在进行激光加工前，采用超声清洗和/或激光清洗使玻璃样品10达到粉尘颗粒小于1μm，粉尘密度小于2颗每2.5平方厘米。在本实施例中，采用超声清洗和/或激光清洗的方式来清洁玻璃样品10表面，需要达到粉尘颗粒小于1μm，粉尘密度小于2颗每2.5平方厘米的要求，如此才能保证焊接的质量。同样，采用酒精擦拭金属表面，并在显微镜下观察，使金属表面达到粉尘颗粒小于1μm，粉尘密度小于2颗每2.5平方厘米，达到此要求才能保证焊接的质量。
作为本发明实施例的优化方案，在加工的过程中，采用旁轴视觉系统、机械定位、CCD定位或光栅定位的方式来进行待加工区域定位。在本实施例中，在加工的过程中可以进行待加工区域定位，其中旁轴视觉系统可以是采用第二CCD12和旁轴镜头13。优选的，第二CCD12视野大小需大于6*6mm2。
作为本发明实施例的优化方案，采用的激光的脉宽在175fs～5ps之间，波长在300～2500nm之间，频率在100KHz～5MHz之间，且控制光斑直径在2～10mm之间，保证能量密度在1.8*1014–6.0*1014W/cm2之间。在本实施例中，加工的激光的参数也是很重要的环节之一，需要对其进行调控，具体地需要使其脉宽在175fs～5ps之间，波长在300～2500nm之间，频率在100KHz～5MHz之间，且控制光斑直径在2～10mm之间，保证能量密度在1.8*1014–6.0*1014W/cm2之间。加工时按照如图4所示的轨迹焊接样品。
作为本发明实施例的优化方案，在加工完成后对样品进行打压试验，测试其是否符合气密性要求和水密性要求。在本实施例中，在0.1MPa的打压压力，0.5h的打压时间下，样品测试结果氦漏率为2.38×10-10Pa·m3/s，符合气密性要求，在测试压力为0.1MPa，打压时间20min下，目视检查样品内未出现染色现象，显微观察样品内未出现水雾，认定样品具备水密性。
请参阅图1至图4，本发明实施例提供一种玻璃与金属封装的超快激光焊接系统，包括激光器1、用于调整激光器1发射的激光的光路至垂直于待加工工件的表面的光学组件、用于将叠放的玻璃样品10和金属样品11夹持住的夹具14以及驱使所述夹具14移动的运动平台，所述夹具14可调整玻璃样品10和金属样品11之间的间隙。在本实施例中，采用的夹具14可以满足1μm以内可调，受力均匀，并且能够避免材料损伤。具体地，从激光器1出射的激光先被调整光路，使激光光束2垂直于待加工工件的表面，然后再将样品固定在夹具14中，由于该夹具14能调整玻璃样品10和金属样品11之间的间隙，当调整至小于1μm时，可以确保玻璃与金属的封装。在加工的过程中采用运动平台带动夹具14移动，以实现焊接。优选的，通过激光加工软件设定所需加工图档，为了达到本发明所述技术效果，加工图档为环形，其中所述槽形焊接区域大小5mm*5mm；环形宽度：0.5mm。采用具有可编程控制X、Y轴移动速度与距离的运动平台，用于调节焊接过程中X、Y轴路径规划。优选的，对金属样品11的表面进行抛光，表面粗糙度优于1μm。玻璃样品10材质为非强化玻璃。
至于本系统的其他实施例请参阅上述的方法实施例，二者保持一致，此处就不再赘述。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种玻璃与金属封装的超快激光焊接方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1，调整光路，使激光光束垂直于待加工工件的表面；
S2，将玻璃样品和金属样品叠放并固定在夹具中，并采用所述夹具调整玻璃样品和金属样品之间的间隙；
S3，采用运动平台驱使所述夹具移动，并使所述夹具移动至待加工区域，使激光光束聚焦到样品待焊接处；
S4，设定所需加工图档，并由该加工图档控制激光器发射激光进行加工。
2.如权利要求1所述的玻璃与金属封装的超快激光焊接方法，其特征在于：在所述S2步骤中，采用的夹具包括两个夹持件组，两个所述夹持件组分别夹持叠放在一起的玻璃样品和金属样品所形成的整体的一相对侧，每一所述夹持件组均包括紧贴所述玻璃样品的第一夹持件和紧贴所述金属样品的第二夹持件，两个所述夹持件组之间留有供激光射入的间隙。
3.如权利要求1所述的玻璃与金属封装的超快激光焊接方法，其特征在于：在所述S1步骤中，采用扩束镜、反射镜以及聚焦镜来调整光路。
4.如权利要求1所述的玻璃与金属封装的超快激光焊接方法，其特征在于：在进行激光加工前，采用同轴定位系统进行检测，并采用水平调节器进行调平，使加工平台和待焊接面处于水平状态。
5.如权利要求1所述的玻璃与金属封装的超快激光焊接方法，其特征在于：在进行激光加工前，采用超声清洗和/或激光清洗使玻璃样品达到粉尘颗粒小于1μm，粉尘密度小于2颗每2.5平方厘米。
6.如权利要求1所述的玻璃与金属封装的超快激光焊接方法，其特征在于：在进行激光加工前，采用酒精擦拭金属表面，并在显微镜下观察，使金属表面达到粉尘颗粒小于1μm，粉尘密度小于2颗每2.5平方厘米。
7.如权利要求1所述的玻璃与金属封装的超快激光焊接方法，其特征在于：在加工的过程中，采用旁轴视觉系统、机械定位、CCD定位或光栅定位的方式来进行待加工区域定位。
8.如权利要求1所述的玻璃与金属封装的超快激光焊接方法，其特征在于：采用的激光的脉宽在175fs～5ps之间，波长在300～2500nm之间，频率在100KHz～5MHz之间，且控制光斑直径在2～10mm之间，保证能量密度在1.8*1014–6.0*1014W/cm2之间。
9.如权利要求1所述的玻璃与金属封装的超快激光焊接方法，其特征在于：在加工完成后对样品进行打压试验，测试其是否符合气密性要求和水密性要求。
10.一种玻璃与金属封装的超快激光焊接系统，包括激光器，其特征在于：还包括用于调整激光器发射的激光的光路至垂直于待加工工件的表面的光学组件、用于将叠放的玻璃样品和金属样品夹持住的夹具以及驱使所述夹具移动的运动平台，所述夹具可调整玻璃样品和金属样品之间的间隙。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114131188A (zh) * 2021-10-27 2022-03-04 华南师范大学 一种玻璃和金属的激光焊接方法
CN114160975A (zh) * 2021-12-30 2022-03-11 中南大学 异种材料的大幅面高强度激光焊接方法及装备
CN114289872A (zh) * 2022-03-07 2022-04-08 西安中科华芯测控有限公司 一种微型激光陀螺用超快激光反射镜的装配方法
CN114571079A (zh) * 2022-04-08 2022-06-03 中南大学 大幅面窗口镜的超快激光制备装置及制备方法
CN115673549A (zh) * 2022-11-24 2023-02-03 哈尔滨工业大学 一种玻璃-金属激光复合焊接方法
WO2023034138A1 (en) * 2021-08-30 2023-03-09 Corning Incorporated Laser bonding of glass to thin metal foil
CN117532157A (zh) * 2023-12-28 2024-02-09 中建三局集团华南有限公司 一种玻璃-金属激光复接方法
CN117564460A (zh) * 2023-11-15 2024-02-20 中南大学 一种非光学接触异质材料高强度超快激光焊接方法

Citations (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001071162A (ja) * 1999-09-09 2001-03-21 Fuji Xerox Co Ltd 鋼板のレーザ溶接方法
CN201371340Y (zh) * 2009-03-27 2009-12-30 青岛港（集团）有限公司 型钢叠焊专用夹具
CN103100798A (zh) * 2013-02-27 2013-05-15 航天精工有限公司 收口螺母的激光加工设备
CN103212812A (zh) * 2013-04-28 2013-07-24 苏州大学 一种玻璃和可伐合金的激光封接方法
CN204565421U (zh) * 2014-12-31 2015-08-19 广东凯德能源科技有限公司 电芯盖帽与圆柱电芯外壳自动焊接机
CN106449439A (zh) * 2016-09-27 2017-02-22 华中科技大学 一种玻璃芯片封装方法
CN106517828A (zh) * 2016-11-02 2017-03-22 北京工业大学 一种通过添加Mo‑Mn–Ni金属中间层连接钼组玻璃/可伐合金的激光焊方法
CN107406292A (zh) * 2014-10-31 2017-11-28 康宁股份有限公司 激光焊接的玻璃封装和制造方法
WO2018101584A1 (ko) * 2016-11-29 2018-06-07 주식회사 알이디테크놀로지 자동 공급 및 포커싱 기능을 갖는 레이저 조각기
CN108609841A (zh) * 2018-04-10 2018-10-02 华中科技大学 一种适用于玻璃的焊接方法
CN108723595A (zh) * 2018-04-26 2018-11-02 华南师范大学 一种超快激光焊接装置及方法
CN109020263A (zh) * 2018-09-29 2018-12-18 大族激光科技产业集团股份有限公司 连接金属与玻璃的方法及其应用
CN109574479A (zh) * 2018-12-20 2019-04-05 中国电子科技集团公司第三十研究所 电磁屏蔽玻璃激光焊接结构及制作工艺
CN109909610A (zh) * 2018-12-14 2019-06-21 华南师范大学 一种硅片和玻璃的焊接方法及焊接系统
CN110039177A (zh) * 2019-04-10 2019-07-23 华中科技大学 一种玻璃密封焊接方法
CN110560896A (zh) * 2019-08-23 2019-12-13 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种激光焊接装置及其焊接方法
CN110788486A (zh) * 2019-11-07 2020-02-14 武汉华工激光工程有限责任公司 一种针对脆性透明材料异形3d结构的系统精密加工方法
CN110950551A (zh) * 2019-11-26 2020-04-03 杭州上池科技有限公司 一种采用超短脉冲激光焊接内窥镜保护镜片的方法
CN111426639A (zh) * 2020-04-30 2020-07-17 华中科技大学 一种超快激光异种材料焊接质量评判方法及系统
CN111702330A (zh) * 2020-05-15 2020-09-25 华南师范大学 一种镀铜玻璃的焊接系统及焊接方法

Patent Citations (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001071162A (ja) * 1999-09-09 2001-03-21 Fuji Xerox Co Ltd 鋼板のレーザ溶接方法
CN201371340Y (zh) * 2009-03-27 2009-12-30 青岛港（集团）有限公司 型钢叠焊专用夹具
CN103100798A (zh) * 2013-02-27 2013-05-15 航天精工有限公司 收口螺母的激光加工设备
CN103212812A (zh) * 2013-04-28 2013-07-24 苏州大学 一种玻璃和可伐合金的激光封接方法
CN107406292A (zh) * 2014-10-31 2017-11-28 康宁股份有限公司 激光焊接的玻璃封装和制造方法
CN204565421U (zh) * 2014-12-31 2015-08-19 广东凯德能源科技有限公司 电芯盖帽与圆柱电芯外壳自动焊接机
CN106449439A (zh) * 2016-09-27 2017-02-22 华中科技大学 一种玻璃芯片封装方法
CN106517828A (zh) * 2016-11-02 2017-03-22 北京工业大学 一种通过添加Mo‑Mn–Ni金属中间层连接钼组玻璃/可伐合金的激光焊方法
WO2018101584A1 (ko) * 2016-11-29 2018-06-07 주식회사 알이디테크놀로지 자동 공급 및 포커싱 기능을 갖는 레이저 조각기
CN108609841A (zh) * 2018-04-10 2018-10-02 华中科技大学 一种适用于玻璃的焊接方法
CN108723595A (zh) * 2018-04-26 2018-11-02 华南师范大学 一种超快激光焊接装置及方法
CN109020263A (zh) * 2018-09-29 2018-12-18 大族激光科技产业集团股份有限公司 连接金属与玻璃的方法及其应用
CN109909610A (zh) * 2018-12-14 2019-06-21 华南师范大学 一种硅片和玻璃的焊接方法及焊接系统
CN109574479A (zh) * 2018-12-20 2019-04-05 中国电子科技集团公司第三十研究所 电磁屏蔽玻璃激光焊接结构及制作工艺
CN110039177A (zh) * 2019-04-10 2019-07-23 华中科技大学 一种玻璃密封焊接方法
CN110560896A (zh) * 2019-08-23 2019-12-13 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种激光焊接装置及其焊接方法
CN110788486A (zh) * 2019-11-07 2020-02-14 武汉华工激光工程有限责任公司 一种针对脆性透明材料异形3d结构的系统精密加工方法
CN110950551A (zh) * 2019-11-26 2020-04-03 杭州上池科技有限公司 一种采用超短脉冲激光焊接内窥镜保护镜片的方法
CN111426639A (zh) * 2020-04-30 2020-07-17 华中科技大学 一种超快激光异种材料焊接质量评判方法及系统
CN111702330A (zh) * 2020-05-15 2020-09-25 华南师范大学 一种镀铜玻璃的焊接系统及焊接方法

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023034138A1 (en) * 2021-08-30 2023-03-09 Corning Incorporated Laser bonding of glass to thin metal foil
CN114131188A (zh) * 2021-10-27 2022-03-04 华南师范大学 一种玻璃和金属的激光焊接方法
CN114131188B (zh) * 2021-10-27 2024-03-26 华南师范大学 一种玻璃和金属的激光焊接方法
CN114160975A (zh) * 2021-12-30 2022-03-11 中南大学 异种材料的大幅面高强度激光焊接方法及装备
CN114289872A (zh) * 2022-03-07 2022-04-08 西安中科华芯测控有限公司 一种微型激光陀螺用超快激光反射镜的装配方法
CN114289872B (zh) * 2022-03-07 2022-08-23 西安中科华芯测控有限公司 一种微型激光陀螺用超快激光反射镜的装配方法
CN114571079A (zh) * 2022-04-08 2022-06-03 中南大学 大幅面窗口镜的超快激光制备装置及制备方法
CN115673549A (zh) * 2022-11-24 2023-02-03 哈尔滨工业大学 一种玻璃-金属激光复合焊接方法
CN117564460A (zh) * 2023-11-15 2024-02-20 中南大学 一种非光学接触异质材料高强度超快激光焊接方法
CN117532157A (zh) * 2023-12-28 2024-02-09 中建三局集团华南有限公司 一种玻璃-金属激光复接方法
CN117532157B (zh) * 2023-12-28 2024-05-17 中建三局集团华南有限公司 一种玻璃-金属激光复接方法

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