CN112818180A - 晶圆加工历史数据的存储和查询方法、制程控制系统 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种晶圆加工历史数据的存储和查询方法、制程控制系统，包括设备自动化系统将生产执行系统提供的制造工艺数据与产品制造设备传递工艺数据和设备数据进行整合成生产数据，并对每一批次的产品对应的生产数据生成唯一的标识符，且将所述标识符及所述标识符对应的生产数据存储至一中间系统，将所述标识符上传至设定的制造系统。本发明在记录生产数据时，通过将每一批次的产品对应的生产数据生成唯一的标识符，存储所述标识符及所述标识符对应的生产数据至一中间系统后还将标识符上传至设定的制造系统，即通过标识符将所有制造系统的数据串联，以通过所述标识符在各制造系统中快速准确的查询到晶圆加工的历史数据，提高查询效率。
Description
技术领域
本发明涉及集成电路制造技术领域，尤其涉及一种晶圆加工历史数据的存储和查询方法、制程控制系统。
背景技术
在集成电路的生产制造中，每一个晶圆从原料最终形成产品都需要经过成百乃至上千道工序，晶圆所经过的所有工序组成了工艺流程。在正常情况下，晶片按照预先设定好的工艺流程一步一步地执行每一道工序，也就是说，预先设定好了工艺流程中每一道工序的内容，每一道工序的内容还包括具体的工艺参数，还预先设定好了每一道工序执行的时间顺序，工艺流程驱动引擎根据预先设定好的工艺流程，控制晶片依次执行每一道工序
随着半导体技术的发展，半导体企业都会利用软件控制系统来达到使半导体生产生产能力最大化的目的。现有的高度自动化生产线，一般采用计算机集成制造系统(Computer Integrated Manufacture),即CIM系统。CIM系统包括但不限于：生产执行系统(Manufacturing Execution System，MES)、设备自动化系统(Equipment AutomationProgram，EAP)和自动控制系统(Run to Run system，R2R)，故障检测分类系统(FaultDetection and Classification system，FDC)，配方管理系统(Recipe ManagementSystem，RMS)。在芯片的制造过程中，MES会将制造所需要的信息传递至EAP等系统，在生产时，RMS系统会管理配方信息，FDC会收集机台的信息，R2R会调整工艺参数信息，每个系统都会有各自的工作和所需要记录的信息。由于不同的系统往往是不同公司的产品，所以会出现每个系统存储的数据具有不同的类型和结构，
针对于不同系统间存储的数据具有不同的类型和结构，在查询产品的制造过程记录时，我们无法快速的将所有系统存储的数据串联在一起，以得到我们所需要查询的历史记录。为此，我们需要花费较长的时间在不同系统上查询有效数据，再将其关联，这种状况大大增加了数据的查询量，严重影响了工作效率。且对于返工的产品，需要查询该产品每次的工艺参数时，根据现有系统记录的数据，要经过非常复杂的搜索才能得到结果，甚至可能会查询到错误的信息。
发明内容
本发明的目的在于提供一种晶圆加工历史数据的存储和查询方法，记录生产数据时通过唯一的标识符将不同制造系统间的数据串联，以便于快速准确地查询晶圆加工历史数。
本发明提供一种晶圆加工历史数据的存储和查询方法，包括：
生产执行系统提供产品的制造工艺数据至设备自动化系统，产品制造设备传递工艺数据和设备数据至设备自动化方案系统；
所述设备自动化系统将收集的所述制造工艺数据、所述工艺数据及所述设备数据整合成生产数据并对每一批次的产品对应的所述生产数据生成唯一的标识符，且将所述标识符及所述标识符对应的生产数据存储至一中间系统；
所述设备自动化系统将所述标识符上传至设定的制造系统。
可选的，所述标识符包括元素项目和序列号。
可选的，所述元素项目包括产品批次、晶圆批次、产品种类或设备编号。
可选的，所述序列号随着所述生产数据的存储的先后顺序在一定范围内依次递增。
可选的，所述工艺数据包括生产每一批次的产品时各项控制项目所设定的工艺参数。
可选的，所述设备数据的包括运行每一批次的产品的设备型号、设备运行状态和运行时间。
可选的，所述设备自动化系统通过产品批次号将所述制造工艺数据、所述工艺数据及所述设备数据一一对应整合成所述生产数据。
可选的，其特征在于，所述设定的制造系统包括自动控制系统配方管理系统、故障检测分类系统及自动控制系统。
可选的，所述设定的制造系统中存储的数据与所述标识符中的至少一种元素项目对应。
相应的，本发明还提供一种制程控制系统，通过将不同制造系统间的数据串联，以用于晶圆加工历史数据的查询，至少包括生产执行系统、设备自动化系统及中间系统，
所述生产执行系统提供产品的制造工艺数据至设备自动化系统，所述产品制造设备传递工艺数据和设备数据至设备自动化系统；
所述设备自动化系统将收集的所述制造工艺数据、所述工艺数据及所述设备数据整合成生产数据并对每一批次的产品对应的所述生产数据生成唯一的标识符，且将所述标识符及所述标识符对应的生产数据存储至所述中间系统；
所述设备自动化系统将所述标识符上传至设定的制造系统。
可选的，所述设定的制造系统包括自动控制系统配方管理系统、故障检测分类系统及自动控制系统。
综上，本发明提供了一种晶圆加工历史数据的存储和查询方法、制程控制系统，包括设备自动化系统将生产执行系统提供的制造工艺数据与产品制造设备传递工艺数据和设备数据进行整合成生产数据，并对每一批次的产品对应的生产数据生成唯一的标识符，且将所述标识符及所述标识符对应的生产数据存储至一中间系统，将所述标识符上传至设定的制造系统。本发明在记录生产数据时，通过将每一批次的产品对应的生产数据生成唯一的标识符，存储所述标识符及所述标识符对应的生产数据至一中间系统后还将标识符上传至设定的制造系统，即通过标识符将所有制造系统的数据串联，以通过所述标识符在各制造系统中快速准确的查询到晶圆加工的历史数据，提高查询效率。
附图说明
图1为本发明一实施例提供的晶圆加工历史数据的存储和查询方法的流程图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本发明的晶圆加工历史数据的存储和查询方法、制程控制系统作进一步详细说明。根据下面的说明和附图，本发明的优点和特征将更清楚，然而，需说明的是，本发明技术方案的构思可按照多种不同的形式实施，并不局限于在此阐述的特定实施例。附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
在说明书中的术语“第一”“第二”等用于在类似要素之间进行区分，且未必是用于描述特定次序或时间顺序。要理解，在适当情况下，如此使用的这些术语可替换，例如可使得本文所述的本发明实施例能够以不同于本文所述的或所示的其他顺序来操作。类似的，如果本文所述的方法包括一系列步骤，且本文所呈现的这些步骤的顺序并非必须是可执行这些步骤的唯一顺序，且一些所述的步骤可被省略和/或一些本文未描述的其他步骤可被添加到该方法。若某附图中的构件与其他附图中的构件相同，虽然在所有附图中都可轻易辨认出这些构件，但为了使附图的说明更为清楚，本说明书不会将所有相同构件的标号标于每一图中。
图1为本实施例提供的晶圆加工历史数据的存储和查询方法的流程图，参考图1所示，本实施例提供的晶圆加工历史数据的存储和查询方法包括：生产执行系统(MES)提供产品的制造工艺数据至设备自动化系统(EAP)，产品制造设备(Equipment，EQP)传递工艺数据和设备数据至设备自动化方案系统(EAP)；所述设备自动化系统(EAP)将收集的所述制造工艺数据、所述工艺数据及所述设备数据整合成生产数据并对每一批次的产品对应的所述生产数据生成唯一的标识符(Key)，且将所述标识符及所述标识符对应的生产数据存储至一中间系统；以及，所述设备自动化系统(EAP)将所述标识符上传至设定的制造系统。
具体的，生产执行系统(MES)提供产品的制造工艺数据至设备自动化系统(EAP)，所述制造工艺数据包括产品批次的基本信息。产品制造设备(Equipment，EQP)传递工艺数据和设备数据至设备自动化方案系统(EAP)，所述工艺数据包括生产每一批次的产品时各项控制项目所设定的工艺参数，例如生产温度参数、气压参数、膜厚、线宽、对准信息等，所述设备数据的包括运行每一批次的产品的设备型号、设备运行状态和运行时间，
所述设备自动化系统(EAP)将收集的所述制造工艺数据、所述工艺数据及所述设备数据整合成生产数据，例如所述设备自动化系统(EAP)可以通过产品批次(Lot No)将所述制造工艺数据、所述工艺数据及所述设备数据一一对应整合成所述生产数据。所述生产数据这里可以理解其涵盖晶圆加工的历史数据。
然后，所述设备自动化系统(EAP)对每一批次的产品对应的所述生产数据生成唯一的标识符(Key)。所述标识符包括元素项目和序列号，即所述标识符的命名可以根据关键的元素项目和序列号来组合构成，例如所述标识符中的元素项目可以包括产品的批次(LotNo)、晶圆批次(Wafer ID)、产品种类(Device ID)或设备编号(Equipment ID)等，所述元素项目可以包括其中的一种或几种组合，优选的，所述标识符包括至少两种以上的元素项目种类的组合，例如Lot No_Device ID。关于所述元素项目种类的选择可以根据实际制程过程做相应调整，本发明在此不做限定。所述序列号随着存储的所述生产数据的先后顺序在一定范围内依次递增，例如所述序列号随着存储的所述生产数据的先后顺序在五位数(00000-9999)之间循环递增。例如所述标识符为Lot No_Device ID-00001。
接着，所述设备自动化系统(EAP)将所述标识符及所述标识符对应的生产数据存储至一中间系统。所述中间系统仅用于存储标识符及所述标识符对应的生产数据，其与所述设备自动化系统(EAP)保持数据连接，而独立于制程系统中其他系统，及其与制程系统中其他系统没有联系。本领域技术人员可以根据需求将所需存储的生产数据按一设定形式存储，在此不再赘述。
所述设备自动化系统(EAP)将所述标识符及所述标识符对应的生产数据存储至一中间系统后，所述设备自动化系统(EAP)还将所述标识符分别上传至设定的制造系统，所述设定的制造系统包括自动控制系统配方管理系统(RMS)、故障检测分类系统(FDC)及自动控制系统(R2R)。示例性的，所述设定的制造系统中存储的数据与所述标识符中的至少一种元素项目对应，例如所述设定的制造系统中存储的数据中包括与元素项目中的产品批次，这样将所述标识符分别上传至该制造系统中数据上具有一定相关性，便于后续数据的查询。
所述中间系统可以作为数据的“坐标原点”，每次加工时，该批次产品的数据都会有其唯一的标识符(Key)，那么，在查询数据时，技术人员可以根据此标识符(Key)，可以快速的、准确的得出与批次产品结果对应的生产数据，便于后续的数据分析和制程管控。例如，黄光区的工艺，存在一批产品需要多次返工的可能，如果短时间出现多条生产数据，用产品批次(Lot No)和设备编号(Equipment ID)的查询条件，不能快速的在不同的系统间查询到生产数据，即不同系统间的数据无法串联，获得完整的生产数据，需要在不同的制造系统，输入不同的查询条件。这样的操作既花费了大量时间，也容易出现误查。本实施例提供的晶圆加工历史数据的存储和查询方法，在记录生产数据时，所述设备自动化系统(EAP)将每一批次的产品对应的生产数据生成唯一的标识符，且将所述标识符及所述标识符对应的生产数据存储至一中间系统，并将将所述标识符上传至设定的制造系统，即通过标识符(Key)将所有制造系统的数据串联，快速准确的查询到结果。
本发明还提供一种制程控制系统，通过将不同制造系统间的数据串联，以用于晶圆加工历史数据的存储和查询，如图1所示，所述制程控制系统至少包括生产执行系统(MES)、设备自动化系统(EAP)及中间系统，
所述生产执行系统(MES)提供产品的制造工艺数据至设备自动化系统(EAP)，所述产品制造设备传递工艺数据和设备数据至设备自动化方案系统(EAP)；
所述设备自动化系统(EAP)将收集的所述制造工艺数据、所述工艺数据及所述设备数据整合成生产数据并对每一批次的产品对应的所述生产数据生成唯一的标识符(Key)，且将所述标识符及所述标识符对应的生产数据存储至所述中间系统；
所述设备自动化系统(EAP)将所述标识符上传至设定的制造系统。
可选的，所述设定的制造系统包括自动控制系统配方管理系统、故障检测分类系统及自动控制系统。根据所述标识符，在所述设定的制造系统查询与所述标识符对应的生产数据，进而查询晶圆加工的历史数据。
综上，本发明提供一种晶圆加工历史数据的存储和查询方法、制程控制系统，包括设备自动化系统将生产执行系统提供的制造工艺数据与产品制造设备传递工艺数据和设备数据进行整合成生产数据，并对每一批次的产品对应的生产数据生成唯一的标识符，且将所述标识符及所述标识符对应的生产数据存储至一中间系统，将所述标识符上传至设定的制造系统。本发明在记录生产数据时，通过将每一批次的产品对应的生产数据生成唯一的标识符，存储所述标识符及所述标识符对应的生产数据至一中间系统后还将标识符上传至设定的制造系统，即通过标识符将所有制造系统的数据串联，以通过所述标识符在各制造系统中快速准确的查询到晶圆加工的历史数据，提高查询效率。
上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。
Claims (11)
1.一种晶圆加工历史数据的存储和查询方法，其特征在于，包括：
生产执行系统提供产品的制造工艺数据至设备自动化系统，产品制造设备传递工艺数据和设备数据至设备自动化系统；
所述设备自动化系统将收集的所述制造工艺数据、所述工艺数据及所述设备数据整合成生产数据并对每一批次的产品对应的所述生产数据生成唯一的标识符，且将所述标识符及所述标识符对应的生产数据存储至一中间系统；以及
所述设备自动化系统将所述标识符上传至设定的制造系统。
2.根据权利要求1所述的晶圆加工历史数据的存储和查询方法，所述标识符包括元素项目和序列号。
3.根据权利要求2所述的晶圆加工历史数据的存储和查询方法，所述元素项目包括产品批次、晶圆批次、产品种类或设备编号。
4.根据权利要求2或3所述的晶圆加工历史数据的存储和查询方法，所述序列号随着所述生产数据的存储的先后顺序在一定范围内依次递增。
5.根据权利要求1所述的晶圆加工历史数据的存储和查询方法，所述工艺数据包括生产每一批次的产品时各项控制项目所设定的工艺参数。
6.根据权利要求1所述的晶圆加工历史数据的存储和查询方法，所述设备数据包括运行每一批次的产品的设备型号、设备运行状态和运行时间。
7.根据权利要求1所述的晶圆加工历史数据的存储和查询方法，所述设备自动化系统通过产品批次号将所述制造工艺数据、所述工艺数据及所述设备数据一一对应整合成所述生产数据。
8.根据权利要求2所述的晶圆加工历史数据的存储和查询方法，其特征在于，所述设定的制造系统包括自动控制系统配方管理系统、故障检测分类系统及自动控制系统。
9.根据权利要求8所述的晶圆加工历史数据的存储和查询方法，所述设定的制造系统中存储的数据与所述标识符中的至少一种元素项目对应。
10.一种制程控制系统，通过将不同制造系统间的数据串联，以用于晶圆加工历史数据的查询，其特征在于，至少包括生产执行系统、设备自动化系统及中间系统，
所述生产执行系统提供产品的制造工艺数据至设备自动化系统，所述产品制造设备传递工艺数据和设备数据至设备自动化系统；
所述设备自动化系统将收集的所述制造工艺数据、所述工艺数据及所述设备数据整合成生产数据并对每一批次的产品对应的所述生产数据生成唯一的标识符，且将所述标识符及所述标识符对应的生产数据存储至所述中间系统；
所述设备自动化系统将所述标识符上传至设定的制造系统。
11.根据权利要求10所述的制程控制系统，其特征在于，所述设定的制造系统包括自动控制系统配方管理系统、故障检测分类系统及自动控制系统。
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Address after: 510000 room 701, No. 333, jiufo Jianshe Road, Zhongxin Guangzhou Knowledge City, Guangzhou City, Guangdong Province (self declaration) Applicant after: Yuexin Semiconductor Technology Co.,Ltd. Address before: 510000 room 701, No. 333, jiufo Jianshe Road, Zhongxin Guangzhou Knowledge City, Guangzhou City, Guangdong Province (self declaration) Applicant before: Guangzhou Yuexin Semiconductor Technology Co.,Ltd. |