CN112817434A - 触觉反馈模组及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种触觉反馈模组及其制备方法，触觉反馈模组包括层叠设置的多个电极组件，每一电极组件包括弹性层以及电极层，弹性层具有第一表面，电极层设置在所述第一表面，相邻两个电极层的输入电压不同；电场力与相邻两个电极层的距离成反比，电场力与相邻两个电极层的电压差成正比，为了达到相同的触觉反馈效果，用于提供弹性形变的电场力相同，与现有技术中的电极组件相比，相邻电极层之间仅具有弹性层，使得相邻电极层之间的距离较小，只需较小的电压差就能够提供相同大小的电场力，相邻的两个电极层分别输低的电压，就能够实现同样的触觉反馈效果，一方面节约了弹性材料、简化了制备工艺，另一方面输入电压较低提高了安全性。

Description

触觉反馈模组及其制备方法

技术领域

本发明涉及触控技术领域，特别是涉及一种触觉反馈模组及其制备方法。

背景技术

在触控键盘、触控方向盘、触控按摩椅等触觉反馈装置中，包括用于触觉反馈的触觉反馈模组，通过弹性体实现触觉反馈，提高触觉的感知性，进而提高用户体验。

触觉反馈模组包括层叠设置的多个电极组件，每一电极组件包括PET基材以及依次设置在PET基材上的电极层、弹性层及弹性柱，弹性层及弹性柱作为弹性体实现触觉反馈；相邻的电极组件的两个电极层施加不同极性的电压，由电压差产生的电场力使得位于两个电极层之间的弹性柱发生弹性变形振动，从而实现触觉反馈的效果。但是由于相邻电极层之间具有PET基材、弹性层以及弹性柱，使得相邻电极层之间的距离较大，导致电极层需要输入较高的电压才能实现弹性柱的弹性变形振动，造成能源浪费、安全性较低等问题，因此，提供一种施加较小电压就能实现较大弹性变形振动的触觉反馈模组及其制备方法显得尤为重要。

发明内容

基于此，有必要针对上述问题，提供一种触觉反馈模组及其制备方法，该触觉反馈模组施加较小电压就能实现较大弹性变形振动。

本发明提供一种触觉反馈模组，包括层叠设置的多个电极组件，每一所述电极组件包括弹性层以及电极层，所述弹性层具有第一表面，所述电极层设置在所述第一表面，相邻两个所述电极层的输入电压不同。

上述触觉反馈模组，用户施力向下按压时，相邻的两个电极层输入电压，并且相邻的两个电极层输入的电压不同，使得相邻两个电极层之间形成电压差U，产生电场力，使得位于相邻两个电极层之间的弹性层弹性压缩变形或弹性拉伸变形，当用户停止施力时电压消失，弹性层恢复原状，形成弹性变形振动的效果，从而实现触觉反馈的效果；根据电场力计算公式：F＝(U²xAx∈)/d²,其中，在面积一定的情况下，电场力F与距离d成反比，电场力F与电压差U成正比，为了达到相同的触觉反馈效果，用于提供弹性形变的电场力F相同，此时，电压差U和距离d成反比，与现有技术中的电极组件相比，上述触觉反馈模组中的电极组件在相邻电极层之间仅具有弹性层，使得相邻电极层之间的距离较小，只需较小的电压差U就能够提供相同大小的电场力F，而此时，相邻的两个电极层分别输低的电压，并保证相邻的两个电极层之间的电压差U较小，就能够实现同样的触觉反馈效果，一方面节约了弹性材料、简化了制备工艺，另一方面输入电压较低提高了安全性。

在其中一个实施例中，所述电极层包括电极以及至少一个电极引出端，所述电极引出端凸出于所述电极的侧壁，且相邻两个所述电极层的电极引出端沿着相反方向背离所述电极延伸，同一侧的多个所述电极引出端电连接。

上述触觉反馈模组，相邻两个电极层的电极相对设置，相邻两个电极层的电极引出端沿着相反方向背离电极延伸，一方面能够减少多个电极在交错叠加时错位而影响输入电压的准确性的情况，另一方面避免在层叠方向上占用相邻两个电极之间的空间，使得所需输入电压较低。

在其中一个实施例中，所述弹性层具有垂直于所述第一表面的中心线，所述弹性层的边缘设有关于所述中心线对称的两组第一通孔，所述电极关于所述中心线对称，所述电极引出端设有一组第二通孔，所述第一通孔和第二通孔同轴线设置、且位于同一轴线上的所有所述第一通孔和第二通孔内灌注有导电材料。

上述触觉反馈模组，通过导电材料固定连接叠层设置的多个电极组件，并实现同一侧的电极引出端并联连接，结构简单且便于制备。

在其中一个实施例中，同一侧的多个所述电极引出端压合形成电极端子，两个所述电极端子的输入电压不同。

上述触觉反馈模组，通过电极引出端压合形成电极端子固定连接叠层设置的多个电极组件，并通过电极端子实现同一侧的电极引出端并联连接，结构简单且便于制备。

在其中一个实施例中，所述弹性层的厚度为1μm-50μm。

上述触觉反馈模组，通过设定弹性层的厚度为1μm-50μm范围内的任意值均能够保证相邻电极层之间的距离较小，能够适用于低电压的工作环境。

在其中一个实施例中，所述电极组件的层叠层数为3层-40层。

上述触觉反馈模组，层叠层数可以为多层，能够提高触觉反馈的效果，避免单层产生的电场力太小而导致弹性层产生弹性变形振动太小的情况，同时该范围的层叠层数，也减少了层叠层数过多而产生的厚度过大的情况。

在其中一个实施例中，相邻两个所述电极层的输入电压的极性相反。

上述触觉反馈模组，相邻两个电极层的输入电压的极性相反，使得无论两个输入电压的大小与否，均能够保证电压差的产生，从而确保能够产生电场力，保证弹性层能够产生弹性变形振动，保证触觉反馈的效果。

在其中一个实施例中，相邻两个所述电极层的输入电压为同一极性的不同值。

上述触觉反馈模组，相邻两个电极层的输入电压为同一极性的不同值，则只要两个输入电压的值大小不同，就能够保证电压差的产生，从而确保能够产生电场力，保证弹性层能够产生弹性变形振动，保证触觉反馈的效果。

另外，本发明还提供一种触觉反馈模组的制备方法，包括：

在PET基材上弹性层，并在所述弹性层上形成定位标记和多个第一通孔，多个所述第一通孔阵列分布；

在所述弹性层上形成电极层，并形成多个第二通孔，所述电极层包括电极以及至少一个电极引出端，所述电极位于两列所述第二通孔之间，所述电极引出端凸出于所述电极的一侧壁，所述第二通孔位于所述电极引出端、且与所述第一通孔同轴线设置；

将所述弹性层从PET基材上分离，对位贴合多个所述弹性层，并在所有所述第一通孔和第二通孔内灌注导电材料以形成层叠结构；

切割层叠结构，以形成单个触觉反馈模组，所述触觉反馈模组包括层叠设置的多个电极组件，每一所述电极组件包括弹性层以及电极层。

上述触觉反馈模组的制备方法，首先在PET基材上形成弹性层、定位标记和第一通孔；然后在弹性层上形成电极层和第二通孔；接着将弹性层从PET基材上剥离，通过定位标记进行对位贴合，并在第一通孔和第二通孔内灌注导电材料，形成层叠结构；最后切割层叠结构，形成单个触觉反馈模组，通过上述制备方法能够方便快捷地实现多个触觉反馈模组的制备，提高产品量产效率。

在其中一个实施例中，在将所述弹性层从PET基材分离之间还包括：在弹性层上形成功能测试块，并进行功能测试。

上述触觉反馈模组的制备方法，通过在弹性层上形成功能测试块，并对电极层进行功能测试，以提高结构的可靠性，进而提高产品量产效率。

附图说明

图1为本发明一实施例中触觉反馈模组的结构示意图；

图2为图1中的触觉反馈模组的剖视图；

图3为本发明一实施例控反馈模组中的另一触结构示意图；

图4为本发明一实施例触觉反馈装置的制备方法的流程图；

图5a-5d为图4的制备方法的工艺示意图。

附图标记：

100-电极组件；

110-弹性层；111-第一通孔；112-外轮廓；

120-电极层；121-电极；122-电极引出端；123-第二通孔；

200-导电材料；

300-电极端子；

310-第一电极端子；320-第二电极端子；

400-PET基材

500-弹性层；

600-定位标记；

700-功能测试块。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

如图1、图2以及图3所示，本发明提供一种触觉反馈模组，该触觉反馈模组包括多个电极组件100，多个电极组件100依次层叠设置，每一电极组件100包括弹性层110以及电极层120，弹性层110具有第一表面，电极层120设置在第一表面，相邻两个电极层120的输入电压不同。在具体设置时，电极层120的材料可以为柔性导电材料200，如导电布，导电浆等，以提高电极层120的耐弯折性能，而电极层120在第一表面上的设置方式可以为印刷或喷涂，也可以为其它能够满足需要的方式；该弹性层110的材料为成本低，使用简单，粘附性较好的硅胶材料，可以具体选择聚二甲基硅氧烷(PDMS)，聚二甲基硅氧烷的粘附性良好、光学透明性较好、结构弹性较高、化学惰性良好，当然，弹性层110还可以采用其它能够满足需要的材料制备，弹性层110的材料以及电极层120的设置方式可以根据触觉反馈模组的实际情况进行选择。

上述触觉反馈模组，用户施力向下按压时，相邻的两个电极层120输入电压，并且相邻的两个电极层120输入的电压不同，使得相邻两个电极层120之间形成电压差U，产生电场力，使得位于相邻两个电极层120之间的弹性层110弹性压缩变形或弹性拉伸变形，当用户停止施力时电压消失，弹性层110恢复原状，形成弹性变形振动的效果，从而实现触觉反馈的效果；根据电场力计算公式：F＝(U²xAx∈)/d²,其中，在面积一定的情况下，电场力F与距离d成反比，电场力F与电压差U成正比，为了达到相同的触觉反馈效果，用于提供弹性形变的电场力F相同，此时，电压差U和距离d成反比，与现有技术中的电极组件100相比，上述触觉反馈模组中的电极组件100在相邻电极层120之间仅具有弹性层110，使得相邻电极层120之间的距离较小，只需较小的电压差U就能够提供相同大小的电场力F，而此时，相邻的两个电极层120分别输低的电压，并保证相邻的两个电极层120之间的电压差U较小，就能够实现同样的触觉反馈效果，一方面节约了弹性材料、简化了制备工艺，另一方面输入电压较低提高了安全性。

如图1、图2以及图3所示，一种优选实施方式，电极层120包括电极121以及至少一个电极引出端122，电极引出端122的个数可以为一个或多个，多个电极引出端122对称设置，每一电极引出端122凸出于电极121的侧壁，并且多个电极引出端122凸出于电极121的同一侧壁，而且相邻两个电极层120的电极引出端122沿着相反方向背离电极121延伸，同一侧的多个电极引出端122电连接，用于外界电压输入。

上述触觉反馈模组，每一电极层120通过电极引出端122将外界输入电压引入，相邻两个电极层120的电极121相对设置，减少了多个电极121在交错叠加时错位，能够保证相邻两个电极层120的用于形成电场力的有效面积较大，从而保证用于形成电场力的有效输入电压较大，保证了外界输入电压的准确性和利用率较高；并且相邻两个电极层120的电极引出端122沿着相反方向背离电极121延伸，同一侧的多个电极引出端122电连接，避免电极引出端122在层叠方向上占用相邻两个电极121之间的空间，使得相邻两个电极121之间仅具有弹性层110，保证相邻电极层120之间的距离较小，进而使得获得同样的触控效果所需输入电压较低，节约材料、结构简单并且便于制备。

能够实现同一侧的多个电极引出端122电连接的方式具有多种，如图1以及图2所示，具体地，弹性层110具有垂直于第一表面的中心线，弹性层110关于中心线成对称结构，弹性层110的边缘设有关于中心线对称的两组第一通孔111，每一组第一通孔111的个数可以为一个或多个，多个第一通孔111沿着弹性层110的侧边均匀分布；电极121关于中心线成对称结构，电极引出端122设有一组第二通孔112，第二通孔112和第一通孔111的个数相同，并且第一通孔111和第二通孔112同轴线设置，该第一通孔111和第二通孔112的轴线可以与中心线平行，以便于加工制备，并且位于同一轴线上的所有第一通孔111和第二通孔112内灌注有导电材料200。

在具体设置时，导电材料200可以为银浆，由于金属银质软，富延展性，采用银浆填充在第一通孔111和第二通孔112内能够使得上述触觉反馈模组耐弯折，多次弯折后仍能够实现电连接，当然导电材料200也可以为其它金属材料，如铜，但并不局限于此，还可以为其它能够实现电导通及柔性的材料。

上述触觉反馈模组，位于同于轴线上的所有第一通孔111和第二通孔112内灌注导电材料200，该导电材料200能够将电极121、弹性层110连接为一体，从而固定连接叠层设置的多个电极组件100；并且通过位于第一通孔111和第二通孔112内的导电材料200能够实现同一侧的电极引出端122并联，通过导电材料200的端部与外界电源相接触，能够较为方便地为电极121提供输入电压，进而能够较为方便地为相邻电极层120提供电压差，同时通过第一通孔111和第二通孔112的形式避免电极引出端122电连接在层叠方向上占用相邻两个电极121之间的空间，使得相邻两个电极121之间仅具有弹性层110，保证相邻电极层120之间的距离较小，进而使得获得同样的触控效果所需输入电压较低，节约材料、结构简单并且便于制备。当然，能够实现同一侧的多个电极引出端122电连接的方式具有多种，并不局限于上述第一通孔111、第二通孔112和导电材料200的形式。

能够实现同一侧的多个电极引出端122电连接的方式还可以为如下结构形式，如图1以及图3所示，具体地，同一侧的多个电极引出端122压合形成电极端子300，如位于触觉反馈模组一侧的第一电极端子310和位于触觉反馈模组另一侧的第二电极端子320，第一电极端子310和第二电极端子320的输入电压不同。

上述触觉反馈模组，电极端子300能够将多个电极引出端122连接为一体，从而固定连接叠层设置的多个电极组件100；并且多个电极引出端122压合设置能够能够实现同一侧的电极引出端122并联，通过电极端子300与外界电源相接触，能够较为方便地为电极121提供输入电压，进而能够较为方便地为相邻电极层120提供电压差，同时通过电极端子300的形式避免电极引出端122电连接在层叠方向上占用相邻两个电极121之间的空间，使得相邻两个电极121之间仅具有弹性层110，保证相邻电极层120之间的距离较小，进而使得获得同样的触控效果所需输入电压较低，节约材料、结构简单并且便于制备。当然，能够实现同一侧的多个电极引出端122电连接的方式具有多种，并不局限于上述第一通孔111、第二通孔112和导电材料200的形式。

为了在保证低电压的基础上，进一步减小邻电极层120之间的距离，一种优选实施方式，弹性层110的厚度为1μm-50μm。

上述触觉反馈模组，弹性层110的厚度可以为1μm、5μm、10μm、15μm、20μm、25μm、30μm、35μm、40μm、45μm、50μm。当然，弹性层110的厚度为1μm-50μm范围内的其它值，具体弹性层110的厚度根据触觉反馈模组的实际情况进行确定，并且在1μm-50μm范围内的任意弹性层110的厚度值均能够保证相邻电极层120之间的距离较小，能够适用于低电压的工作环境。

为了在保证低电压的基础上，保证触觉反馈模组的尺寸较小，一种优选实施方式，电极组件100的层叠层数为3层-40层。

上述触觉反馈模组，通过将电极组件100的层叠层数可以为多层，能够提高触觉反馈的效果，避免单层产生的电场力太小而导致弹性层110产生弹性变形振动太小的情况，电极组件100的层叠层数越多，则累加的弹性层110的弹性变形振动越大，产生的触觉反馈的效果就更好；同时该范围的层叠层数，也减少了层叠层数过多而产生的厚度过大的情况。在具体设置时，电极组件100的层叠层数可以为为3层、5层、10层、15层、20层、25层、30层、35层、40层等，具体电极组件100的层叠层数根据触觉反馈模组的实际情况进行确定。当然，如果在电极组件100的厚度可以做到相对较薄的情况下，电极组件100的层叠层数还可以增加，例如40层-50层等，而值得注意的是，电极层120的厚度可以为为0.1μm-10μm，通过减小电极层120的厚度、增加电极组件100的层叠层数，进而保证触觉反馈模组的尺寸较小。

一种优选实施方式，相邻两个电极层120的输入电压的极性相反。

上述触觉反馈模组，相反的极性是指在以某一方向为参考方向的前提下，两个输入电压其中之一为正极，另一为负极。例如，一电极层120的输入电压为1伏，另一电极层120的输入电压为-1伏，则二者电压差为2伏。又例如，一电极层120的输入电压为-2伏，另一电极层120的输入电压为2伏，则二者电压差为-4伏。上述输入电压的数值大小仅仅方便理解阅读，根据实际电压标准及要求，可以调整至合适数值。通过设定相邻两个电极层120的输入电压的极性相反，使得无论两个输入电压的大小与否，均能够保证电压差的产生，从而确保能够产生电场力，保证弹性层110能够产生弹性变形振动，保证触觉反馈的效果。

一种优选实施方式，相邻两个电极层120的输入电压为同一极性的不同值。

上述触觉反馈模组，同一极性，也就是在以某一方向为参考方向的前提下，两个输入电压都是正极，或者两个输入电压都是负极。例如，一电极层120的输入电压为5伏，另一电极层120的输入电压为2伏，则二者电压差为3伏。又例如，一电极层120的输入电压为-1伏，另一电极层120的输入电压为-2伏，则二者电压差为1伏。再例如，一电极层120的输入电压为1伏，另一电极层120的输入电压为4伏，则二者电压差为-3伏。上述输入电压的数值大小仅仅方便理解阅读，根据实际电压标准及要求，可以调整至合适数值。通过设定相邻两个电极层120的输入电压为同一极性的不同值，则只要两个输入电压的值大小不同，就能够保证电压差的产生，从而确保能够产生电场力，保证弹性层110能够产生弹性变形振动，保证触觉反馈的效果。

实施例二；

基于实施例一，本发明的实施例二还提供了一种触觉反馈模组的制备方法，用于制备实施例一的触觉反馈模组，该触觉反馈模组的制备方法如图4所示，图4示出了制备触觉反馈模组的流程，该触觉反馈模组的制备方法，包括：

步骤S401：如图5a所示，在PET(Polyethylene terephthalate，聚对苯二甲酸乙二醇酯)基材400上弹性层500，并在弹性层500上形成定位标记600和多个第一通孔111，多个第一通孔111阵列分布；

通过大张网版(钢板)印刷或涂布的方式在PET基材400上制备一定厚度的弹性层500，而定位标记600和多个第一通孔111可以采用印刷预留孔或直接用镭射切空形成。

步骤S402：如图5b所示，在弹性层500上形成电极层120，并形成多个第二通孔112，电极层120包括电极121以及至少一个电极引出端122，电极121位于两列第二通孔112之间，电极引出端122凸出于电极121的一侧壁，第二通孔112位于电极引出端122、且与第一通孔111同轴线设置；

通过印刷或喷涂的方式在弹性层500上制备一定厚度的电极层120，电极层120的制备方式可以为通过整面涂布的方式以及图案化处理的工艺形成电极层120和第二通孔112，图案化处理的工艺可以为镭射切割，还可以通过直接喷涂出电极层120和第二通孔112。

步骤S403：如图5c所示，将弹性层500从PET基材400上分离，对位贴合多个弹性层500，并在所有第一通孔和第二通孔内灌注导电材料200以形成层叠结构；

通过刀刃切割、气流切割等方式将弹性层500从PET基材400上分离，然后通过将制备完成的多个弹性层500贴合在一起，而在贴合时，通过定位标记600完成多个弹性层500的对位，以提高贴合精度，保证产品量产良率。

步骤S404：如图5d所示，沿着弹性层110的外轮廓112切割层叠结构，以形成单个触觉反馈模组，触觉反馈模组包括层叠设置的多个电极组件100，每一电极组件100包括弹性层110以及电极层120。

层叠结构的切割可以通过刀模或镭射加工的形式，以提高切割的精度，保证产品量产良率。

上述触觉反馈模组的制备方法，首先在PET基材400上形成弹性层500、定位标记600和第一通孔111；然后在弹性层500上形成电极层120和第二通孔112；接着将弹性层500从PET基材400上剥离，通过定位标记600进行对位贴合，并在第一通孔111和第二通孔112内灌注导电材料200，形成层叠结构；最后切割层叠结构，形成单个触觉反馈模组，通过上述制备方法能够方便快捷地实现多个触觉反馈模组的制备，提高产品量产效率。

在上述触觉反馈模组的制备方法的基础上，如图5c以及图5d所示，一种优选实施方式，在将弹性层500从PET基材400分离之前还包括：在弹性层500上形成功能测试块700，并进行功能测试。

上述触觉反馈模组的制备方法，通过在弹性层500上形成功能测试块700，并对电极层120进行功能测试，以提高结构的可靠性，进而提高产品量产效率。在具体设置时，该功能测试模块位于电极层120的无效区域内，并且该功能测试块700可以为防静电测试块、尖端放电测试块、电阻积分方阻测试块、附着力测试块中的一种或多种，当然并不局限于此，还可以为能够实现其他测试功能的测试块。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种触觉反馈模组，其特征在于，包括层叠设置的多个电极组件，每一所述电极组件包括弹性层以及电极层，所述弹性层具有第一表面，所述电极层设置在所述第一表面，相邻两个所述电极层的输入电压不同。

2.根据权利要求1所述的触觉反馈模组，其特征在于，所述电极层包括电极以及至少一个电极引出端，所述电极引出端凸出于所述电极的侧壁，且相邻两个所述电极层的电极引出端沿着相反方向背离所述电极延伸，同一侧的多个所述电极引出端电连接。

3.根据权利要求2所述的触觉反馈模组，其特征在于，所述弹性层具有垂直于所述第一表面的中心线，所述弹性层的边缘设有关于所述中心线对称的两组第一通孔，所述电极关于所述中心线对称，所述电极引出端设有一组第二通孔，所述第一通孔和第二通孔同轴线设置、且位于同一轴线上的所有所述第一通孔和第二通孔内灌注有导电材料。

4.根据权利要求2所述的触觉反馈模组，其特征在于，同一侧的多个所述电极引出端压合形成电极端子，两个所述电极端子的输入电压不同。

5.根据权利要求1所述的触觉反馈模组，其特征在于，所述弹性层的厚度为1μm-50μm。

6.根据权利要求1所述的触觉反馈模组，其特征在于，所述电极组件的层叠层数为3层-40层。

7.根据权利要求1所述的触觉反馈模组，其特征在于，相邻两个所述电极层的输入电压的极性相反。

8.根据权利要求1所述的触觉反馈模组，其特征在于，相邻两个所述电极层的输入电压为同一极性的不同值。

9.一种触觉反馈模组的制备方法，其特征在于，包括：

在PET基材上弹性层，并在所述弹性层上形成定位标记和多个第一通孔，多个所述第一通孔阵列分布；

在所述弹性层上形成电极层，并形成多个第二通孔，所述电极层包括电极以及至少一个电极引出端，所述电极位于两列所述第二通孔之间，所述电极引出端凸出于所述电极的一侧壁，所述第二通孔位于所述电极引出端、且与所述第一通孔同轴线设置；

将所述弹性层从PET基材上分离，对位贴合多个所述弹性层，并在所有所述第一通孔和第二通孔内灌注导电材料以形成层叠结构；

切割层叠结构，以形成单个触觉反馈模组，所述触觉反馈模组包括层叠设置的多个电极组件，每一所述电极组件包括弹性层以及电极层。

10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，在将所述弹性层从PET基材分离之间还包括：在弹性层上形成功能测试块，并进行功能测试。

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