CN112808699A - 一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，包括支撑板，所述支撑板顶部的正面和背面均栓接有支撑架，所述支撑架的顶部栓接有加工箱，所述加工箱的内腔设置有防尘机构，所述加工箱内腔的顶部设置有配合防尘机构使用的吸尘机构。本发明通过第一气泵、软管、第二电机、主动齿轮、第一从动齿轮、第二从动齿轮、固定管、连接管、U型管和喷嘴的配合，便于使用者利用第二电机带动两组固定管进行同时旋转，从而通过旋转的喷嘴对加工箱的内腔进行全方位吹拂，进而使加工箱内的灰尘始终处于漂浮状态，通过第二气泵、通气管、分流管、扩散管、管道和吸头的配合，便于使用者利用第二气泵带动多个吸头对漂浮的灰尘进行快速吸收。

Description

一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备

技术领域

本发明涉及半导体器件技术领域，具体为一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备。

背景技术

半导体器件是导电性介于良导电体与绝缘体之间，利用半导体材料特殊电特性来完成特定功能的电子器件，可用来产生、控制、接收、变换、放大信号和进行能量转换，半导体器件的半导体材料是硅、锗或砷化镓，可用作整流器、振荡器、发光器、放大器、测光器等器材，绝大部分二端器件（即晶体二极管）的基本结构是一个PN结。

随着半导体器件的需求不断增加，使用者需要用到加工设备对半导体器件进行大量加工，然而传统半导体器件制造用加工设备在对半导体器件进行加工时，防尘效果很差，灰尘的四处飘散会影响电流，从而使半导体器件损坏，进而会提高半导体器件的次品率，极大的提高了使用者的成本。

因此亟需设计一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，以解决上述背景技术中提出的传统半导体器件制造用加工设备防尘效果差的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，包括支撑板，所述支撑板顶部的正面和背面均栓接有支撑架，所述支撑架的顶部栓接有加工箱，所述加工箱的内腔设置有防尘机构，所述加工箱内腔的顶部设置有配合防尘机构使用的吸尘机构，所述加工箱右侧的底部栓接有固定架，所述加工箱左侧的底部栓接有配合吸尘机构使用的水箱，所述加工箱正面的左侧通过合页铰接有箱门，且箱门正面的底部栓接有控制器，所述加工箱的顶部栓接有固定框，所述固定框的顶部栓接有第一电机，所述第一电机的输出轴贯穿至固定框的内腔并栓接有扇叶，所述固定框内腔两侧的底部均栓接有安装板，且安装板相向的一侧从前至后均依次栓接有加热棒，所述加工箱的顶部开设有进气槽，所述加工箱内腔的底部栓接有放置板。

优选的，所述防尘机构包括第一气泵、软管、第二电机、主动齿轮、第一从动齿轮、第二从动齿轮、固定管、连接管、U型管和喷嘴，所述加工箱右侧的顶部栓接有第一气泵，所述第一气泵的进气口连通有进气管，所述第一气泵的出气口通过出气管连通有软管，所述加工箱右侧的底部栓接有第二电机，所述第二电机的输出端栓接有主动齿轮，所述主动齿轮的顶部啮合有第一从动齿轮，所述第一从动齿轮的顶部啮合有第二从动齿轮，所述第一从动齿轮和第二从动齿轮的内腔均栓接有固定管，所述固定管的左侧贯穿至加工箱的内腔并通过轴承与加工箱内腔的左侧转动连接，所述固定管的顶部和底部从左至右均依次连通有喷嘴，所述固定管的右侧嵌设有密封轴承，且密封轴承的内圈转动连接有连接管，所述连接管的右端贯穿固定架并连通有U型管，所述U型管的右侧与软管远离第一气泵的一端连通。

优选的，所述吸尘机构包括第二气泵、通气管、分流管、扩散管、管道和吸头，所述加工箱左侧顶部的正面栓接有第二气泵，所述第二气泵的出气口连通有输送管，且输送管远离第二气泵的一端贯穿至水箱的内腔，所述第二气泵的进气口连通有通气管，所述通气管远离第二气泵的一端连通有分流管，所述分流管右侧的正面和背面均连通有扩散管，所述扩散管的底部从左至右均依次连通有管道，所述管道的底端贯穿至加工箱的内腔并连通有吸头。

优选的，所述加工箱右侧顶部的中心处栓接有进气盒，所述进气盒内腔的顶部嵌设有过滤板，所述进气盒底部的中心处与进气管远离第一气泵的一端连通。

优选的，所述加工箱内腔左侧正面的顶部栓接有粒子计数器，所述固定框顶部正面的左侧栓接有报警器。

优选的，所述固定架内腔的正面和背面均嵌设有防尘网，所述防尘网的左侧与加工箱的右侧活动连接。

优选的，所述第一从动齿轮和第二从动齿轮的面积相同，所述主动齿轮的面积小于第一从动齿轮和第二从动齿轮的面积。

优选的，所述固定架内腔顶部和底部的右侧均栓接有固定板，所述固定板的右侧从上至下均依次开设有配合连接管使用的通孔。

优选的，所述分流管的表面套设有固定件，且固定件的底部与加工箱顶部的左侧栓接。

优选的，所述水箱正面的左侧嵌设有水位计，所述喷嘴的数量不少于40个。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、该防尘效果好的半导体器件制造用加工设备通过第一气泵、软管、第二电机、主动齿轮、第一从动齿轮、第二从动齿轮、固定管、连接管、U型管和喷嘴的配合，便于使用者利用第二电机带动两组固定管进行同时旋转，同时利用第一气泵将压缩的空气经由U型管传送至固定管内，从而通过旋转的喷嘴对加工箱的内腔进行全方位吹拂，进而使加工箱内的灰尘始终处于漂浮状态，通过第二气泵、通气管、分流管、扩散管、管道和吸头的配合，便于使用者利用第二气泵带动多个吸头对漂浮的灰尘进行快速吸收，提高了设备的防尘效果，避免灰尘在加工箱内漂浮，从而会使杂质影响电流，进而会降低半导体器件的加工效果，解决了传统半导体器件制造用加工设备防尘效果差的问题。

2、该防尘效果好的半导体器件制造用加工设备通过进气盒和过滤板的配合，便于使用者对空气中的杂质进行过滤，防止杂质进入进气管，从而会损坏第一气泵，通过粒子计数器和报警器的配合，便于使用者对加工箱内的含尘量进行及时知晓，同时利用报警器对使用者进行警示，警示使用者加工箱内有灰尘出现，需要及时清理，避免灰尘影响半导体器件的正常加工，通过防尘网的配合，防止杂质进入固定架，从而损坏固定架内的第二电机等电器，通过主动齿轮的面积小于第一从动齿轮和第二从动齿轮的面积，便于使用者对固定管的转速进行控制，避免第二电机的转速过快，从而影响喷嘴对加工箱内灰尘的吹拂效果。

3、该防尘效果好的半导体器件制造用加工设备通过固定板的配合，便于使用者对连接管进行固定，防止固定管随着密封轴承的转动而转动，从而使连接管折断，通过固定件的配合，提高了分流管的稳定性，防止分流管在工作时折断，提高了分流管的使用寿命，通过水位计的配合，便于使用者对水箱内的水量进行及时知晓，通过喷嘴的数量不少于40个，进一步提高了喷嘴对加工箱内腔灰尘的吹拂效果。

附图说明

图1为本发明一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备的结构主视图；

图2为本发明加工箱的结构剖视图；

图3为本发明防尘机构的结构局部主视图；

图4为本发明吸尘机构的结构局部立体图；

图5为本发明固定框的结构剖视图；

图6为本发明固定管和喷嘴的结构立体图；

图7为本发明进气盒的结构剖视图；

图8为本发明固定板的结构主视图。

图中：1、支撑板；2、支撑架；3、加工箱；4、固定框；5、防尘机构；51、第一气泵；52、软管；53、第二电机；54、主动齿轮；55、第一从动齿轮；56、第二从动齿轮；57、固定管；58、连接管；59、U型管；510、喷嘴；6、固定架；7、防尘网；8、进气盒；9、过滤板；10、粒子计数器；11、水箱；12、吸尘机构；121、第二气泵；122、通气管；123、分流管；124、扩散管；125、管道；126、吸头；13、第一电机；14、扇叶；15、加热棒；16、固定板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-8，本发明提供的一种实施例：

一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，包括支撑板1，支撑板1顶部的正面和背面均栓接有支撑架2，支撑架2的顶部栓接有加工箱3，加工箱3的内腔设置有防尘机构5，加工箱3内腔的顶部设置有配合防尘机构5使用的吸尘机构12，加工箱3右侧的底部栓接有固定架6，加工箱3左侧的底部栓接有配合吸尘机构12使用的水箱11，加工箱3正面的左侧通过合页铰接有箱门，且箱门正面的底部栓接有控制器，加工箱3的顶部栓接有固定框4，固定框4的顶部栓接有第一电机13，第一电机13的输出轴贯穿至固定框4的内腔并栓接有扇叶14，固定框4内腔两侧的底部均栓接有安装板，且安装板相向的一侧从前至后均依次栓接有加热棒15，加工箱3的顶部开设有进气槽，加工箱3内腔的底部栓接有放置板，通过第一气泵51、软管52、第二电机53、主动齿轮54、第一从动齿轮55、第二从动齿轮56、固定管57、连接管58、U型管59和喷嘴510的配合，便于使用者利用第二电机53带动两组固定管57进行同时旋转，同时利用第一气泵51将压缩的空气经由U型管59传送至固定管57内，从而通过旋转的喷嘴510对加工箱3的内腔进行全方位吹拂，进而使加工箱3内的灰尘始终处于漂浮状态，通过第二气泵121、通气管122、分流管123、扩散管124、管道125和吸头126的配合，便于使用者利用第二气泵121带动多个吸头126对漂浮的灰尘进行快速吸收，提高了设备的防尘效果，避免灰尘在加工箱3内漂浮，从而会使杂质影响电流，进而会降低半导体器件的加工效果，解决了传统半导体器件制造用加工设备防尘效果差的问题。

防尘机构5包括第一气泵51、软管52、第二电机53、主动齿轮54、第一从动齿轮55、第二从动齿轮56、固定管57、连接管58、U型管59和喷嘴510，加工箱3右侧的顶部栓接有第一气泵51，第一气泵51的进气口连通有进气管，第一气泵51的出气口通过出气管连通有软管52，加工箱3右侧的底部栓接有第二电机53，第二电机53的输出端栓接有主动齿轮54，主动齿轮54的顶部啮合有第一从动齿轮55，第一从动齿轮55的顶部啮合有第二从动齿轮56，第一从动齿轮55和第二从动齿轮56的内腔均栓接有固定管57，固定管57的左侧贯穿至加工箱3的内腔并通过轴承与加工箱3内腔的左侧转动连接，固定管57的顶部和底部从左至右均依次连通有喷嘴510，固定管57的右侧嵌设有密封轴承，且密封轴承的内圈转动连接有连接管58，连接管58的右端贯穿固定架6并连通有U型管59，U型管59的右侧与软管52远离第一气泵51的一端连通，通过第一气泵51、软管52、第二电机53、主动齿轮54、第一从动齿轮55、第二从动齿轮56、固定管57、连接管58、U型管59和喷嘴510的配合，便于使用者利用第二电机53带动两组固定管57进行同时旋转，同时利用第一气泵51将压缩的空气经由U型管59传送至固定管57内，从而通过旋转的喷嘴510对加工箱3的内腔进行全方位吹拂，进而使加工箱3内的灰尘始终处于漂浮状态。

吸尘机构12包括第二气泵121、通气管122、分流管123、扩散管124、管道125和吸头126，加工箱3左侧顶部的正面栓接有第二气泵121，第二气泵121的出气口连通有输送管，且输送管远离第二气泵121的一端贯穿至水箱11的内腔，第二气泵121的进气口连通有通气管122，通气管122远离第二气泵121的一端连通有分流管123，分流管123右侧的正面和背面均连通有扩散管124，扩散管124的底部从左至右均依次连通有管道125，管道125的底端贯穿至加工箱3的内腔并连通有吸头126，通过第二气泵121、通气管122、分流管123、扩散管124、管道125和吸头126的配合，便于使用者利用第二气泵121带动多个吸头126对漂浮的灰尘进行快速吸收，提高了设备的防尘效果，避免灰尘在加工箱3内漂浮，从而会使杂质影响电流，进而会降低半导体器件的加工效果。

加工箱3右侧顶部的中心处栓接有进气盒8，进气盒8内腔的顶部嵌设有过滤板9，进气盒8底部的中心处与进气管远离第一气泵51的一端连通，通过进气盒8和过滤板9的配合，便于使用者对空气中的杂质进行过滤，防止杂质进入进气管，从而会损坏第一气泵51。

加工箱3内腔左侧正面的顶部栓接有粒子计数器10，固定框4顶部正面的左侧栓接有报警器，通过粒子计数器10和报警器的配合，便于使用者对加工箱3内的含尘量进行及时知晓，同时利用报警器对使用者进行警示，警示使用者加工箱3内有灰尘出现，需要及时清理，避免灰尘影响半导体器件的正常加工。

固定架6内腔的正面和背面均嵌设有防尘网7，防尘网7的左侧与加工箱3的右侧活动连接，通过防尘网7的配合，防止杂质进入固定架6，从而损坏固定架6内的第二电机53等电器。

第一从动齿轮55和第二从动齿轮56的面积相同，主动齿轮54的面积小于第一从动齿轮55和第二从动齿轮56的面积，通过主动齿轮54的面积小于第一从动齿轮55和第二从动齿轮56的面积，便于使用者对固定管57的转速进行控制，避免第二电机53的转速过快，从而影响喷嘴510对加工箱3内灰尘的吹拂效果。

固定架6内腔顶部和底部的右侧均栓接有固定板16，固定板16的右侧从上至下均依次开设有配合连接管58使用的通孔，通过固定板16的配合，便于使用者对连接管58进行固定，防止固定管57随着密封轴承的转动而转动，从而使连接管58折断。

分流管123的表面套设有固定件，且固定件的底部与加工箱3顶部的左侧栓接，通过固定件的配合，提高了分流管123的稳定性，防止分流管123在工作时折断，提高了分流管123的使用寿命。

水箱11正面的左侧嵌设有水位计，喷嘴510的数量不少于40个，通过水位计的配合，便于使用者对水箱11内的水量进行及时知晓，通过喷嘴510的数量不少于40个，进一步提高了喷嘴510对加工箱3内腔灰尘的吹拂效果。

工作原理：使用时，使用者将半导体器件放置于放置板的顶部，随后使用者通过控制器开启第一电机13和加热棒15，此时第一电机13带动扇叶14进行旋转，从而将加热棒15产生的热量经由进气槽传送至加工箱3内，进而对半导体器件进行烘干，同时使用者通过控制器开启第二电机53，此时第二电机53带动主动齿轮54进行旋转，随后主动齿轮54带动第一从动齿轮55进行旋转，同时第一从动齿轮55带动第二从动齿轮56进行旋转，此时第一从动齿轮55和第二从动齿轮56同时带动两组固定管57进行旋转，随后两组固定管57带动多个喷嘴510进行快速旋转，同时使用者通过控制器开启第一气泵51和第二气泵121，此时第一气泵51将空气在过滤板9的过滤后经由软管52传送至U型管59，随后U型管59将空气经由连接管58传送至固定管57内，此时旋转的喷嘴510对加工箱3的内腔进行全方位吹拂，进而使加工箱3内的灰尘始终处于漂浮状态，同时第二气泵121带动多个吸头126对漂浮的灰尘进行快速吸收，随后灰尘经由管道125传送至扩散管124内，同时扩散管124将灰尘集中传送至分流管123内，最后灰尘在第二气泵121的导流下经由通气管122传送至水箱11内，此时水箱11内的净水对灰尘进行吸附，避免灰尘杂质影响电流，进而会降低半导体器件的加工效果。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (10)

1.一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，包括支撑板（1），其特征在于：所述支撑板（1）顶部的正面和背面均栓接有支撑架（2），所述支撑架（2）的顶部栓接有加工箱（3），所述加工箱（3）的内腔设置有防尘机构（5），所述加工箱（3）内腔的顶部设置有配合防尘机构（5）使用的吸尘机构（12），所述加工箱（3）右侧的底部栓接有固定架（6），所述加工箱（3）左侧的底部栓接有配合吸尘机构（12）使用的水箱（11），所述加工箱（3）正面的左侧通过合页铰接有箱门，且箱门正面的底部栓接有控制器，所述加工箱（3）的顶部栓接有固定框（4），所述固定框（4）的顶部栓接有第一电机（13），所述第一电机（13）的输出轴贯穿至固定框（4）的内腔并栓接有扇叶（14），所述固定框（4）内腔两侧的底部均栓接有安装板，且安装板相向的一侧从前至后均依次栓接有加热棒（15），所述加工箱（3）的顶部开设有进气槽，所述加工箱（3）内腔的底部栓接有放置板。

2.根据权利要求1所述的一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，其特征在于：所述防尘机构（5）包括第一气泵（51）、软管（52）、第二电机（53）、主动齿轮（54）、第一从动齿轮（55）、第二从动齿轮（56）、固定管（57）、连接管（58）、U型管（59）和喷嘴（510），所述加工箱（3）右侧的顶部栓接有第一气泵（51），所述第一气泵（51）的进气口连通有进气管，所述第一气泵（51）的出气口通过出气管连通有软管（52），所述加工箱（3）右侧的底部栓接有第二电机（53），所述第二电机（53）的输出端栓接有主动齿轮（54），所述主动齿轮（54）的顶部啮合有第一从动齿轮（55），所述第一从动齿轮（55）的顶部啮合有第二从动齿轮（56），所述第一从动齿轮（55）和第二从动齿轮（56）的内腔均栓接有固定管（57），所述固定管（57）的左侧贯穿至加工箱（3）的内腔并通过轴承与加工箱（3）内腔的左侧转动连接，所述固定管（57）的顶部和底部从左至右均依次连通有喷嘴（510），所述固定管（57）的右侧嵌设有密封轴承，且密封轴承的内圈转动连接有连接管（58），所述连接管（58）的右端贯穿固定架（6）并连通有U型管（59），所述U型管（59）的右侧与软管（52）远离第一气泵（51）的一端连通。

3.根据权利要求1所述的一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，其特征在于：所述吸尘机构（12）包括第二气泵（121）、通气管（122）、分流管（123）、扩散管（124）、管道（125）和吸头（126），所述加工箱（3）左侧顶部的正面栓接有第二气泵（121），所述第二气泵（121）的出气口连通有输送管，且输送管远离第二气泵（121）的一端贯穿至水箱（11）的内腔，所述第二气泵（121）的进气口连通有通气管（122），所述通气管（122）远离第二气泵（121）的一端连通有分流管（123），所述分流管（123）右侧的正面和背面均连通有扩散管（124），所述扩散管（124）的底部从左至右均依次连通有管道（125），所述管道（125）的底端贯穿至加工箱（3）的内腔并连通有吸头（126）。

4.根据权利要求1所述的一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，其特征在于：所述加工箱（3）右侧顶部的中心处栓接有进气盒（8），所述进气盒（8）内腔的顶部嵌设有过滤板（9），所述进气盒（8）底部的中心处与进气管远离第一气泵（51）的一端连通。

5.根据权利要求1所述的一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，其特征在于：所述加工箱（3）内腔左侧正面的顶部栓接有粒子计数器（10），所述固定框（4）顶部正面的左侧栓接有报警器。

6.根据权利要求1所述的一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，其特征在于：所述固定架（6）内腔的正面和背面均嵌设有防尘网（7），所述防尘网（7）的左侧与加工箱（3）的右侧活动连接。

7.根据权利要求2所述的一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，其特征在于：所述第一从动齿轮（55）和第二从动齿轮（56）的面积相同，所述主动齿轮（54）的面积小于第一从动齿轮（55）和第二从动齿轮（56）的面积。

8.根据权利要求1所述的一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，其特征在于：所述固定架（6）内腔顶部和底部的右侧均栓接有固定板（16），所述固定板（16）的右侧从上至下均依次开设有配合连接管（58）使用的通孔。

9.根据权利要求3所述的一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，其特征在于：所述分流管（123）的表面套设有固定件，且固定件的底部与加工箱（3）顶部的左侧栓接。

10.根据权利要求2所述的一种防尘效果好的半导体器件制造用加工设备，其特征在于：所述水箱（11）正面的左侧嵌设有水位计，所述喷嘴（510）的数量不少于40个。

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