CN112805909A - 振动致动器 - Google Patents

Abstract

振动致动器(1)包括：筒状的壳体(2)；设置在壳体(2)内部的电磁驱动部(3)；通过电磁驱动部(3)能够振动的可动件(4)；具有从壳体(2)内表面支承可动件(4)的多个臂部(52a)的第一阻尼器(40a)；以及在壳体(2)的内表面且在可动件(4)的振动轴(O)方向上位于比第一阻尼器(40a)更靠壳体(2)中央侧的位置，并限制第一阻尼器(40a)超过规定范围的动作的内导向件(6a)。

Description

振动致动器

技术领域

本公开涉及一种振动致动器。

背景技术

迄今为止，在移动电话等通信设备中，作为向人通知来电或报警的方法，存在一种通过使用振动致动器(或振动马达)产生振动来进行通知的方法。近年来，在电影、游戏、VR(Virtual Reality：虚拟现实)的领域中，例如，作为动作场景的演出效果、对玩家的反馈方法之一例，也使用了振动致动器，并且通过振动来刺激人的触觉，从而提高真实感。

振动致动器大多是作为振动产生源安装在设备中的产品，因此重视节省空间性，从而希望实现小型化。振动致动器具有使包括重物等在内的可动件进行电气往复移动的结构，有时来自外部的冲击会使可动件以过大的振幅进行动作。这样一来，例如存在在振动致动器的内部因掉落等冲击使可动件与其他部件相干扰，各部件产生变形、破损等而出现动作不良或异常声音的情况。特别是在用于移动电话或游戏控制器等的情况下，难以避免掉落等产生的冲击。

相对于此，公开了一种振动致动器，该振动致动器设置有缓冲物，该缓冲物用于抑制可动件与振动致动器的壳体碰撞时所产生的冲击(参照专利文献1、专利文献2)。根据该技术，能够抑制可动件的振动方向上的冲击。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015－70730号公报

专利文献2：日本特表2016－538821号公报

专利文献3：日本实公昭61－45745号公报。

发明内容

发明要解决的技术问题

不过，专利文献1和专利文献2中所公开的缓冲物在可动件的振动方向上布置在比可动件更靠外侧的位置处。具体而言，设置在壳体两端端面的内侧。在这样的结构下，由于需要在壳体内确保用于设置缓冲物的空间，因此存在导致振动致动器大型化的问题。

就专利文献1的振动致动器而言，由于可动件由导向轴支承住，因此可动件的移动被限制在振动方向上。相对于此，如专利文献2所述的那样，在可动件由片簧(所谓的蝶形阻尼器)支承并不具有导向轴的这一结构的振动致动器中(关于片簧的情况也可参照专利文献3)，存在如果在壳体的径向上产生冲击，可动件就会沿径向移动而与壳体内侧接触的情况。相对于此，如果欲在壳体的径向的内表面布置缓冲物来降低冲击，则会出现振动致动器进一步大型化的问题。

本发明的实施方式是鉴于上述问题而完成的，其目的在于：提供一种振动致动器，能够防止振动致动器的大型化，并且防止当产生了来自外部的冲击时可动件以过大的振幅进行动作，从而防止因部件彼此干扰而导致各部件产生变形、破损。

用以解决技术问题的技术方案

为了达到上述目的，本发明的实施方式的振动致动器包括：筒状的壳体；电磁驱动部，其设置在所述壳体的内部；可动件，其通过所述电磁驱动部能够振动；片簧，其具有在所述壳体的内部支承所述可动件的多个臂部；以及内导向件，其在所述壳体的内部位于所述可动件的振动轴方向上的比所述片簧更靠所述壳体的中央侧之处，并限制所述片簧的动作。

在所述振动致动器中，可以为所述内导向件限制所述片簧在所述振动轴方向上的动作。

在所述振动致动器中，还可以为所述内导向件限制所述片簧在与所述振动轴方向交叉的方向上的动作。

另外，在所述振动致动器中，还可以为所述片簧的臂部呈旋涡形状，所述内导向件具有与所述片簧的旋涡形状对应且以所述振动轴方向为中心的螺旋状的台阶部。

另外，在所述振动致动器中，所述内导向件在所述可动件的振动轴方向上位于所述电磁驱动部与所述片簧之间。

另外，在所述振动致动器中，还可以为所述内导向件的内缘比所述电磁驱动部的内表面更向所述可动件侧突出。

另外，在所述振动致动器中，还可以为所述片簧具有支承所述可动件的一侧端部的第一片簧、和支承所述可动件的另一侧端部的第二片簧，所述内导向件具有限制所述第一片簧的动作的第一内导向件、和限制所述第二片簧的动作的第二内导向件。

发明的效果

根据采用上述方法的本发明的实施方式所涉及的振动致动器，能够防止振动致动器的大型化，并且能够防止当产生了来自外部的冲击时可动件以过大的振幅进行动作，防止部件彼此干扰，从而防止各部件产生变形、破损。

附图说明

图1是本发明的实施方式所涉及的振动致动器的分解立体图；

图2A是振动致动器的省略了第一罩壳和第一弹性部件的状态的俯视图；

图2B是振动致动器的省略了第一罩壳、第一弹性部件以及第一阻尼器的状态的俯视图；

图3是本发明的实施方式所涉及的振动致动器的省略了第一罩壳的立体图；

图4是沿图2A的IV-IV线剖开的剖视图；

图5A是第一内导向件的立体图；

图5B是第一内导向件的俯视图；

图6是说明振动致动器的动作的图；

图7A是限制可动件向振动轴方向的一侧移动的状态的剖视图；

图7B是限制可动件向振动轴方向的另一侧移动的状态的剖视图。

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的一实施方式。

图1是本发明的实施方式所涉及的振动致动器的分解立体图，图2A是振动致动器的省略了第一罩壳和第一弹性部件的状态的俯视图，图2B是进一步省略了第一阻尼器的状态的俯视图，图3是振动致动器的立体图，图4是振动致动器的剖视图，图5A是内导向件的立体图，图5B是内导向件的俯视图。下面，参照这些附图对振动致动器的结构进行说明。

振动致动器1主要由形成外壳的壳体2、设置在该壳体2内的电磁驱动部3、通过该电磁驱动部3能够振动的可动件4、分别弹性支承该可动件4的两端的第一支承单元5a和第二支承单元5b、限制该第一支承单元5a和第二支承单元5b的动作的第一内导向件6a和第二内导向件6b构成。该振动致动器1例如安装于移动电话或智能手机等便携式终端、游戏机的控制器等中。

壳体2的圆筒状的壳体主体10的两开口端被第一罩壳11a和第二罩壳11b封住。壳体主体10、第一罩壳11a以及第二罩壳11b分别由ABS等树脂制成。在壳体主体10的外表面，形成有与未图示的引线相连的端子12。

电磁驱动部3具有：布置在壳体2内部的呈圆筒状的由软磁性材料制成的轭铁20；以与轭铁20电绝缘的状态安装在轭铁20的内表面上的第一线圈21a和第二线圈21b。

如图4所示，轭铁20在振动轴O方向的中央位置具有朝径向内侧突出的凸部22。凸部22突出地设置在轭铁20的内表面上，并且围绕着振动轴O以120°间距等间隔地设置了三处。凸部22例如是通过销钉加工而形成的。

第一线圈21a和第二线圈21b沿着轭铁20的内表面缠绕起来。该第一线圈21a和第二线圈21b能够分别通过端子21通电而产生磁场。第一线圈21a和第二线圈21b与轭铁20的凸部22抵接，并且在完成了振动轴O方向上的定位的状态下，使用胶粘材料等将上述线圈安装在轭铁20上。

可动件4被第一线圈21a和第二线圈21b包围，并布置成沿着振动轴O振动。可动件4由圆板状的磁铁30；以夹着磁铁30的方式布置的圆板状的第一磁极片31a、第二磁极片31b；以及以夹着磁铁30、第一磁极片31a、第二磁极片31b的方式布置的第一块体(配重物、重物)32a、第二块体(配重物、重物)32b构成。

磁铁30的磁化方向为振动轴O的方向。第一磁极片31a、第二磁极片31b由软磁性材料制成，并利用磁铁30的磁吸附力及胶粘剂等安装在磁铁30上。第一块体32a、第二块体32b由非磁性体构成，并利用胶粘剂等分别相应地安装在第一磁极片31a、第二磁极片31b上。因此，构成可动件4的磁铁30、第一磁极片31a、第二磁极片31b、第一块体32a、第二块体32b成为一体化。需要说明的是，这些磁铁30、第一磁极片31a、第二磁极片31b、第一块体32a、第二块体32b的一体化并不限于利用上述磁吸附力或胶粘剂进行安装。也可以通过螺纹固定等机械方法或其他方法进行固定来实现一体化。第一块体32a、第二块体32b与第一磁极片31a、第二磁极片31b的抵接面平坦地形成，但与该抵接面相反一侧的面形成为以振动轴O为中心轴且该中心轴上的顶端部33a、33b向最外方突出的螺旋形状。

像这样构成的可动件4的振动轴O方向上的两端部、即第一块体32a和第二块体32b各自的顶端部33a、33b分别由第一支承单元5a和第二支承单元5b支承住。

第一支承单元5a由第一阻尼器40a(第一片簧)和设置在该第一阻尼器40a的一面上的第一弹性部件41a构成。

如图2A所示，第一阻尼器40a在中央部形成有具有孔50a(图4所示)的支承部51a。第一阻尼器40a通过孔50a与可动件4连结起来。详细而言，将第一块体32a的顶端部33a插入到孔50a中，该顶端部33a经挤压而被压紧固定住。需要说明的是，第一阻尼器40a与可动件4之间的固定方法并不限于压紧固定，也可以通过螺纹固定或胶粘等其他方法进行固定(连结)。

第一阻尼器40a具有从支承部51a开始以旋涡状向外周延伸的三个臂部52a。各臂部52a围绕着振动轴O以120°间距等间隔地形成。各臂部52a的外周端与沿着壳体主体10的内表面形成的呈环状的框部53a相连结。该框部53a在围绕着振动轴O间隔120°的位置与在壳体主体10的内表面的三个部位朝径向内侧突出的凸缘部13a(图2B所示)相连结。详细而言，在将从凸缘部13a开始立着设置的凸起部14a插入到第一阻尼器40a的形成于框部53a的通孔中的状态下，对凸起部14a的顶端进行加热、加压，通过挤压而压紧固定住。框部53a与第一阻尼器40a之间的固定方法并不限于压紧固定，也可以通过螺纹固定或胶粘等其他方法进行固定(连结)。

第一阻尼器40a由金属制的一个或多个片簧构成，例如在本实施方式中使用对不锈钢(弹簧材料)的薄板进行加工而成的部件。第一阻尼器40a的材料不限于金属，也可以是含有树脂或纤维的复合材料。优选耐疲劳且挠性优异的材料。

像这样构成的第一阻尼器40a在振动轴O方向及包含与该振动轴O垂直的径向在内的交叉方向上能够在规定范围内产生弹性变形。需要说明的是，该规定范围相当于当作为振动致动器1正常使用时可动件4的振幅范围。因此，该规定范围至少是第一阻尼器40a不与壳体2接触的范围，是不超过第一阻尼器40a的弹性变形的界限的范围。

如图3所示，第一弹性部件41a为板状，该板状具有沿着从第一阻尼器40a的支承部51a到各臂部52a的一定范围为止的形状延伸的外形，并固定在第一阻尼器40a的一面上。详细而言，第一弹性部件41a由层叠在第一阻尼器40a上的由胶粘剂形成的第一胶粘层、由PE(聚乙烯)形成的PE层、由胶粘剂形成的第二胶粘层、由弹性体(作为弹性体，包括但不限于热塑性聚氨酯弹性体(TPU))形成的弹性体层构成。通过第一弹性部件41a的弹性变形(在本实施方式中为PE层的剪切变形、弹性体层的弯曲变形)，来对第一阻尼器40a进行减振。第一弹性部件41a和第一阻尼器40a之间的固定方法并不限于上述胶粘，也可以使用将树脂制的第一弹性部件41a热焊接在第一阻尼器40a上等其他固定方法。

第二支承单元5b也具有与第一支承单元5a相同的结构，并且包括第二阻尼器40b(第二片簧)和第二弹性部件41b。需要说明的是，在本实施方式中，第二阻尼器40b与第一阻尼器40a的形状相同，且是由相同材料制成的，第二弹性部件41b与第一弹性部件41a的形状相同，且材料相同。如图4所示，第二阻尼器40b的三个臂部52b从形成有孔50b的支承部51b延伸至呈环状的框部53b。第二阻尼器40b是通过将第二块体32b的顶端部33b插入到孔50b中后经挤压被压紧固定而与可动件4连结起来的。第二阻尼器40b构成为：环状的框部53b与从壳体主体10内表面突出来的三个凸缘部13b之间，通过将凸缘部13b的凸起部14b插入到形成于框部53b的通孔中后经挤压被压紧固定而连结起来。需要说明的是，第二阻尼器40b的各臂部52b的旋涡方向与第一阻尼器40a的各臂部52a的旋涡方向相反。这样一来，在振动时，可动件4从第一阻尼器40a和第二阻尼器40b分别承受反方向的转矩，因此即使在振动轴O方向上产生位移，也不会围绕振动轴O旋转。

(第一内导向件6a、第二内导向件6b)

第一内导向件6a在振动致动器1的振动轴O方向的一侧，设置在比第一支承单元5a更靠振动轴O方向的另一侧(壳体2的中央侧)的位置处。第二内导向件6b在振动致动器1的振动轴O方向的另一侧，设置在比第二支承单元5b更靠振动轴O方向的一侧(壳体2的中央侧)的位置处。即，如图4所示，第一内导向件6a和第二内导向件6b在壳体2内设置于比第一支承单元5a和第二支承单元5b更靠振动轴O方向中央侧的位置处。第一内导向件6a和第二内导向件6b例如由ABS等树脂形成。不过，第一内导向件6a和第二内导向件6b的材料不限于树脂。

如图2B及图5A、图5B所示，第一内导向件6a具有沿着壳体主体10的内表面延伸的呈环状的框部60a，在该框部60a的围绕振动轴O彼此相距120°的三个部位，形成有朝壳体主体10的径向内侧且振动轴O方向的另一侧呈螺旋状倾斜的台阶部61a。该台阶部61a的螺旋形状是沿着第一阻尼器40a的各臂部52a的旋涡形状的外周侧(基端侧)部分延伸的形状，并且具有当第一阻尼器40a在规定范围内产生弹性变形时不与各臂部52a接触而在该第一阻尼器40a的变形超过规定范围时与各臂部52a接触的间隔。

详细而言，各台阶部61a由形成与壳体主体10的内表面平行的面的侧壁61aw、和从该侧壁61aw向径向内侧延伸的底部61ab构成。当俯视时，各底部61ab的内缘形成与壳体主体10的内表面同轴的内周圆(同心圆)，各侧壁61aw呈从壳体主体10的内表面侧朝向该内周圆的圆弧状。当第一阻尼器40a在振动轴O的交叉方向上超过规定范围地产生了变形的情况下，通过与侧壁61aw接触来限制该交叉方向上的动作，并且当第一阻尼器40a在振动轴O方向上超过规定范围地产生了变形的情况下，通过与底部61ab接触来限制该振动轴O方向上的动作。

在各台阶部61a上形成有用于实现轻量化的孔62a。进而，在第一内导向件6a的框部60a的外周缘侧，与壳体主体10的各凸缘部13a的形状相匹配地在三个部位形成了沿着该凸缘部13a的形状延伸的切口部63a。

这样构成的第一内导向件6a能够供可动件4在框部60a所形成的内周圆内沿振动轴O方向进退移动。该框部60a所形成的内周圆的内缘比第一线圈21a和第二线圈21b更向径向内侧突出。

第二内导向件6b的形状与第一内导向件6a相同，第二内导向件6b也具有与第一内导向件6a相同的结构。即，如图5A、图5B中括号内的符号所示，第一内导向件6a和第二内导向件6b的各部分彼此相对应。详细而言，第二内导向件6b具有环状的框部60b，在框部60b上形成有具有侧壁61bw和底部61bb的台阶部61b。在各台阶部61b上形成有孔62b，在框部60b上形成有切口部63b。

(工作情况)

具有上述结构的振动致动器1在第一线圈21a和第二线圈21b未通电的状态下，如图4所示，由第一阻尼器40a和第二阻尼器40b支承的可动件4位于第一线圈21a和第二线圈21b的中央。

在使可动件4振动时，经由端子12在产生极性相反的磁场的方向上交替地对第一线圈21a、第二线圈21b通入交流电。也就是说，在第一线圈21a与第二线圈21b的相邻部分产生具有相同极性的磁场。

例如，在图6所示的极性的情况下，在可动件4上产生实线箭头A所示的朝着振动轴O方向的另一侧(图6中的下方)的推力，如果使向第一线圈21a和第二线圈21b流动的电流反转，则在可动件4上产生虚线箭头B所示的朝着振动轴O方向的一侧(图6中的上方)的推力。

这样一来，如果对第一线圈21a、第二线圈21b通入交流电，则可动件4一边从两侧受到来自第一阻尼器40a和第二阻尼器40b的作用力，一边沿着振动轴O振动。

对可动件4产生的推力基本上依照基于弗莱明左手定则所给出的推力。在本实施方式中，由于第一线圈21a、第二线圈21b被固定在壳体2上，因此对在安装有磁铁30等的可动件4产生作为在第一线圈21a、第二线圈21b上所产生的力的反作用力的推力。

因此，有助于推力的是可动件4的磁铁30的磁通量的水平分量(与磁铁30的轴向正交的分量)。并且，轭铁20增大磁铁30的磁通量的水平分量。

这样一来，在可动件4正常振动时，第一阻尼器40a和第二阻尼器40b在振动轴O方向及径向上在规定范围内产生弹性变形，而不会与第一内导向件6a和第二内导向件6b接触。

另一方面，例如在搭载有振动致动器1的设备掉落等的情况下，当从外部对振动致动器1施加冲击时，虽然有时可动件4会以过大的振幅进行动作，且第一阻尼器40a和第二阻尼器40b会进行超过规定范围的动作，但通过与第一内导向件6a和第二内导向件6b接触，而使得该动作受到限制。

具体而言，如图7A所示，在可动件4朝振动轴O方向上的一侧以过大振幅进行动作，且第一阻尼器40a和第二阻尼器40b进行了超过规定范围的动作的情况下，第二阻尼器40b的臂部53b与第二内导向件6b的台阶部61b的底部61bb接触。这样一来，可限制可动件4进一步朝振动轴O方向上的一侧移动，从而可防止可动件4与壳体2(第一罩壳11a)接触。

如图7B所示，在可动件4朝振动轴O方向上的另一侧以过大振幅进行动作，且第一阻尼器40a和第二阻尼器40b进行了超过规定范围的动作的情况下，第一阻尼器40a的臂部52a与第一内导向件6a的台阶部61a的底部61ab接触。这样一来，可限制可动件4进一步朝振动轴O方向上的另一侧移动，从而可防止可动件4与壳体2(第二罩壳11b)接触。

在对壳体2施加了径向冲击的情况下，可动件4也会沿径向移动，但并未图示出来。在该情况下，当可动件4沿径向移动，第一阻尼器40a和第二阻尼器40b进行超过径向上的规定范围的动作时，第一阻尼器40a和第二阻尼器40b的臂部52a、52b就会相应地与第一内导向件6a和第二内导向件6b的台阶部61a、61b的侧壁61aw、61bw接触。这样一来，可限制可动件4进一步沿壳体2的径向移动，从而可防止可动件4与壳体2接触。需要说明的是，第一阻尼器40a和第二阻尼器40b两者无需都与所对应的第一内导向件6a和第二内导向件6b接触，即使与一者接触也能获得同样的效果。

如上所述，根据本实施方式的振动致动器1，由于第一内导向件6a和第二内导向件6b限制第一阻尼器40a和第二阻尼器40b的动作，因而能够抑制可动件4以过大振幅进行动作。由于第一阻尼器40a和第二阻尼器40b由片簧构成，因此在第一内导向件6a和第二内导向件6b与第一阻尼器40a和第二阻尼器40b接触时，第一阻尼器40a和第二阻尼器40b就会产生弹性变形，从而能够吸收冲击。由于第一内导向件6a和第二内导向件6b在振动轴O方向上设置在比第一阻尼器40a和第二阻尼器40b更靠壳体2的内侧的位置上，因此能够防止壳体2的大型化。这样一来，能够防止振动致动器1的大型化，并且能够抑制当产生了来自外部的冲击时给可动件4带来冲击。

特别是，由于第一内导向件6a和第二内导向件6b限制第一阻尼器40a和第二阻尼器40b在振动轴O方向上的动作，因而能够抑制可动件4在振动轴O方向上以过大振幅进行动作。

由于第一内导向件6a和第二内导向件6b限制第一阻尼器40a和第二阻尼器40b在包含壳体2的径向在内的振动轴O的交叉方向上的动作，因而能够抑制可动件4在径向上的动作。

第一内导向件6a和第二内导向件6b具有与第一阻尼器40a和第二阻尼器40b的臂部52a、52b的旋涡形状相对应且以振动轴O方向为中心的螺旋状的台阶部61a、61b，由此能够与第一阻尼器40a和第二阻尼器40b的形状相对应地限制其在振动轴O方向上和振动轴O的交叉方向上的动作。另外，台阶部61a、61b具有当可动件4振动时沿着各臂部52a、52b的形状的底部61ab、61bb，因此能够使臂部52a、52b与底部61ab、61bb面接触，从而能够分散冲击。

第一内导向件6a在振动轴O方向上位于电磁驱动部3与第一阻尼器(第一片簧)40a之间，第二内导向件6b在振动轴O方向上位于电磁驱动部3与第二阻尼器(第二片簧)40b之间，由此能够防止电磁驱动部3与第一阻尼器40a和第二阻尼器40b相接触。

进而，第一内导向件6a和第二内导向件6b由于框部60a、60b的内周圆的内缘比第一线圈21a和第二线圈21b更向径向内侧(可动件4侧)突出，因此能够更可靠地防止与第一线圈21a和第二线圈21b接触。

通过设置支承可动件4的两端的第一阻尼器40a和第二阻尼器40b，并利用与其相对应的第一内导向件6a和第二内导向件6b分别承担对振动轴O方向的一侧方向和另一侧方向的限制，由此能够减小内导向件的占用空间，从而能够实现小型化。

以上已完成了对本发明的实施方式的说明，但本发明的方式并不限于该实施方式。

例如，在上述实施方式中，支承可动件4的第一支承单元5a和第二支承单元5b使用了具有旋涡状的臂部52a、52b的第一阻尼器40a和第二阻尼器40b，但作为支承单元也可以使用其他片簧。例如，也可以使用不仅仅为曲线还结合了直线而成的不规则的旋涡状、十字状、"卍"状的片簧。在该情况下，内导向件也具有沿着片簧的形状延伸而成的形状。

在上述实施方式中，第一支承单元5a和第二支承单元5b具有第一弹性部件41a和第二弹性部件41b，但并不是一定要具有弹性部件。

上述实施方式的壳体2呈圆筒状，可动件4呈近似圆柱状，但壳体和可动件的形状并不限于此，也可以为多边形或其他形状。

符号说明

1 振动致动器

2 壳体

3 电磁驱动部

4 可动件

5a 第一支承单元

5b 第二支承单元

6a 第一内导向件

6b 第二内导向件

40a 第一阻尼器(片簧、第一片簧)

40b 第二阻尼器(片簧、第二片簧)

61a、61b 台阶部。

Claims (7)

1.一种振动致动器，其特征在于：

所述振动致动器包括：

筒状的壳体；

电磁驱动部，其设置在所述壳体的内部；

可动件，其通过所述电磁驱动部能够振动；

片簧，其具有在所述壳体的内部支承所述可动件的多个臂部；以及

内导向件，其在所述壳体的内部位于所述可动件的振动轴方向上的比所述片簧更靠所述壳体中央侧之处，限制所述片簧的动作。

2.根据权利要求1所述的振动致动器，其特征在于：

所述内导向件限制所述片簧在所述振动轴方向上的动作。

3.根据权利要求1或2所述的振动致动器，其特征在于：

所述内导向件限制所述片簧在与所述振动轴方向交叉的方向上的动作。

4.根据权利要求1到3中任一项权利要求所述的振动致动器，其特征在于：

所述片簧的臂部呈旋涡形状，

所述内导向件具有与所述片簧的旋涡形状对应且以所述振动轴方向为中心的螺旋状的台阶部。

5.根据权利要求1到4中任一项权利要求所述的振动致动器，其特征在于：

所述内导向件在所述可动件的振动轴方向上位于所述电磁驱动部与所述片簧之间。

6.根据权利要求1到5中任一项权利要求所述的振动致动器，其特征在于：

所述内导向件的内缘比所述电磁驱动部的内表面更向所述可动件侧突出。

7.根据权利要求1到6中任一项权利要求所述的振动致动器，其特征在于：

所述片簧具有支承所述可动件的一侧端部的第一片簧、和支承所述可动件的另一侧端部的第二片簧，

所述内导向件具有限制所述第一片簧的动作的第一内导向件、和限制所述第二片簧的动作的第二内导向件。

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