CN112776324A - 真空电扫超音速喷射沉积激光增材制造装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种真空电扫超音速喷射沉积激光增材制造装置，包括成形工作台以及安装于工作台上方的激光喷射增材装置，所述激光喷射增材装置包括冷喷头、激光发生器以及激光束控制装置，冷喷头喷射方向可调以使得喷出的粉末粒子束在工作台上基于零部件形状扫描，所述激光束控制装置安装于激光发生器出射口处用于控制激光束的发射方向，以使得激光束与冷喷头喷出的粉末粒子束汇聚于一点并使得基体表面和粉末粒子被加热形成熔融状态。本发明的装置通过定向喷射粉末并实时加热烧结形成零部件，无需逐层铺粉烧结，成形效率大大提高；粉末不会造成浪费，降低成形成本，而且成形质量一致性良好，提高成形质量，简化零部件烧结的工序，提高烧结效率。

Description

真空电扫超音速喷射沉积激光增材制造装置

技术领域

本发明涉及表面喷射技术领域，特别涉及一种真空电扫超音速喷射沉积激光增材制造装置。

背景技术

增材制造装置也称为3D打印机，现有的增材制造装置每次扫描加工之前，需要将整个成形工作台填充满成形粉末，然后烧结相应的区域，通过逐层铺粉烧结形成零件，每次烧结需要将整个成形工作台铺满成形粉末，该效率极低，而且会导致大量的成形粉末浪费，成形粉末使用量较大，成形粉末使用成本较高，另外由于铺粉的不可控因素较多，导致每层烧结的质量一致性较差，容易出现典型铸造缺陷，影响零部件的成形效果。

因此，需要一种真空电扫超音速喷射沉积激光增材制造装置，该装置无需逐层铺粉烧结，成形效率大大提高；粉末不会造成浪费，降低制造成本。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种真空电扫超音速喷射沉积激光增材制造装置，该装置通过定向喷射粉末并实时加热熔融达到零部件的成形，无需逐层铺粉烧结，成形效率大大提高；粉末不会造成浪费，降低成形成本，而且成形质量一致性良好，提高成形质量。

本发明的真空电扫超音速喷射沉积激光增材制造装置，包括成形工作台以及安装于工作台上方的激光喷射增材装置，所述激光喷射增材装置包括冷喷头、激光发生器以及激光束控制装置，冷喷头喷射方向可调以使得喷出的粉末粒子束在工作台上基于零部件形状扫描，所述激光束控制装置安装于激光发生器出射口处用于控制激光束的发射方向，以使得激光束与冷喷头喷出的粉末粒子束汇聚于一点并使得粉末粒子被加热形成熔融状态。

进一步，所述激光束控制装置为安装于激光发生器出射口处的水平扫描反射镜以及竖直扫描反射镜，所述水平扫描反射镜可转动用于将激光束反射至竖直扫描反射镜上并沿水平方向扫描，所述竖直扫描反射镜可转动用于使反射的激光束竖向扫描并使得该激光束实时与喷嘴喷出的带电粉末粒子束汇聚于一点。

进一步，所述冷喷头还包括设置于送粉装置出口侧用于对粒子进行加热的加热装置。

进一步，所述冷喷头还包括加速装置，所述加速装置设置于拉瓦尔喷管出口侧，所述加速装置具有加速电场用于使带电粉末粒子加速并使得加速后的粒子通过喷嘴朝向工作台喷出。

进一步，所述拉瓦尔喷管出口端设置有用于使带电粉末粒子束聚焦的一级磁透镜，所述加速装置设置于一级磁透镜出口端侧。

进一步，所述喷嘴外接有使粉末粒子束聚焦的二级磁透镜，所述偏转线圈Ⅰ安装于二级磁透镜出口端。

进一步，所述冷喷头还包括壳体，所述送粉装置连接于壳体顶部用于将粉末送至壳体内部，所述喷嘴设置于壳体底部并竖向正对送粉装置出口端，所述壳体上设置有用于为拉瓦尔喷管通入高压气体的进气口。

进一步，所述壳体上还开设有用于抽出气体以使壳体内形成近真空环境的抽气口。

进一步，所述壳体内腔通过绝缘板分隔为上腔室、中部腔室和下腔室，所述拉瓦尔喷管设置于中部腔室内并使得上腔室和下腔室连通，所述送粉装置底部具有用于引导粒子流动的送粉管，所述送粉管经上腔室向下延伸至拉瓦尔喷管进口端，所述加热装置设置于上腔室内，所述加速装置设置于下腔室内用于使得拉瓦尔喷管喷出的粉末粒子束加速，所述喷嘴设置于下腔室底部使得加速后的粉末粒子束经过喷嘴喷出，所述进气口连通于中部腔室或下部腔室。

本发明的有益效果：

本发明中粉末粒子束通过冷喷后被加热烧结连为一体，通过冷喷头的逐层喷射扫描形成零部件，在喷射过程中可在基体表面处或者靠近基体表面处将固体粉末粒子加热成熔融状态，利用磁透镜和偏转磁场控制整个喷射介质的方向，防止液体介质直接喷射导致的飞溅和发散现象，而且也利于粉末粒子定向扫描烧结成型，该装置通过定向喷射粉末并实时加热烧结形成零部件，无需逐层铺粉烧结，成形效率大大提高；粉末不会造成浪费，降低成形成本，而且每个烧结层一致性好，提高成形质量，简化零部件烧结的工序，提高烧结效率；高速粉末对高温基体表面的轰击形成夯实和强化效应，从而提高成形质量和性能。

本发明将喷射粉末转化成带电粉末粒子束并通过加速电场加速，整个装置可通过较小的空间使得粒子加速至预设速度，利于减小喷枪的体积，提高喷枪的结构紧凑性，也可在较低喷射气压条件下得到更高的喷射速度及能量，实现喷射粉末聚焦和精确控制，从而改善喷射作业环境、提高喷射烧结效率，而且粉末粒子束的加速过程较为恒定，使得粉末粒子束终速度恒定，逐层扫描烧结层一致性较好，提高烧结质量；另外由于粉末粒子束带电，通过为工作台表面施加相反电荷利于提高粒子的附着性能，而且也利于通过电场或磁场为粉末粒子束施加作用力改变粉末粒子束的运动方向，便于控制带电粉末粒子束的喷射方向；

本发明中通过对粒子的加热降低粒子沉积需要的临界速度，当粉末粒子温度升高时，实现沉积的临界速度降低，沉积效率随之提高，结合强度也增加，利于形成致密烧结层；而且配合偏转线圈可精确的控制带电粉末粒子束的方向进而控制喷射方位，该结构简单，对粉末粒子束的控制简单且精确。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明作进一步描述。

图1为增材制造装置立体结构示意图1；

图2为增材制造装置立体结构示意图2；

图3为激光喷射增材装置立体结构示意图；

图4为激光喷射增材装置剖视结构示意图；

图5为偏转线圈结构示意图(水平偏转线圈)；

图6为激光喷射增材装置实施例二结构示意图；

具体实施方式

如图所示，本实施例中的真空电扫超音速喷射沉积激光增材制造装置，包括成形工作台95以及安装于工作台上方的激光喷射增材装置，所述激光喷射增材装置包括冷喷头、激光发生器91以及激光束控制装置，冷喷头喷射方向可调以使得喷出的粉末粒子束在工作台上基于零部件形状扫描，所述激光束控制装置安装于激光发生器出射口处用于控制激光束的发射方向，以使得激光束与冷喷头喷出的粉末粒子束汇聚于一点并使得粉末粒子被加热形成熔融状态。

结合图1和图2所示，工作台和激光喷射增材装置均安装于成形罩96内，其中激光喷射增材装置安装于成形罩顶部，该成形罩为封闭式结构，成形罩内可以设置为近真空环境，以避免外界的干扰，在成形罩内可设置一台激光喷射增材装置，或者如图2中所示，在成形罩内可设置多台激光喷射增材装置同时工作，以进一步提高成形效率；工作台95可以为升降式的，冷喷头喷射的粉末粒子束基于零部件形状逐层水平扫描，每层扫描后工作台下降相应的高度，或者工作台可以为固定式的，通过调整冷喷头和激光发生器的喷射方向实现从上至下的逐层扫描，可基于成形零部件的体积选择相应的工作台形式，具体不在赘述；冷喷头喷射的粉末粒子束优选基于零部件形状逐层水平扫描，结合图1 至图4所示，冷喷头用于实现冷喷射，可使得粉末加速后在完全固态下撞击基体，发生较大的塑性变形而沉积在基体表面上形成固结层；激光发生器可以为激光器或者用于引入激光的引入光路，激光发生器为现有设备可用于发射激光束，具体为原子中的电子吸收能量后从低能级跃迁到高能级，再从高能级回落到低能级的时候，所释放的能量以光子的形式放出；被激发出来的光子束即为激光，具体不在赘述；激光具有高能量密度；通过激光束控制装置用于控制激光束的发射方向，使得激光束与冷喷头喷出的粉末束始终在某一点汇集，通过该结构可对粉末束中的粉末粒子加热，可使得粉末粒子加热后形成熔融状态，即粉末粒子束通过冷喷后被加热烧结形成热连接状态，通过冷喷头的逐层喷射扫描形成零部件，在喷射过程中可在基体表面处或者靠近基体表面处将固体粉末粒子加热成熔融状态，利于控制整个喷射介质的方向，防止液体介质直接喷射导致的飞溅和发散现象，而且也利于粉末粒子定向扫描烧结成型，该装置通过定向喷射粉末并实时加热烧结形成零部件，无需逐层铺粉烧结，成形效率大大提高；粉末不会造成浪费，降低成形成本，而且成形质量一致性良好，提高成形质量，简化零部件烧结的工序，提高烧结效率。

本实施例中，所述冷喷头包括顺序设置的送粉装置10、静电发生装置20、拉瓦尔喷管81、喷嘴40以及偏转线圈Ⅰ60，所述静电发生装置用于使送粉装置中送出的粉末粒子带电，所述拉瓦尔喷管中通入高压气体用于使带电粉末粒子加速并使得加速后的粒子通过喷嘴朝向工作台喷出，所述偏转线圈设置于喷嘴出口端用于控制带电粉末粒子束的喷射方向。结合图4所示，送粉装置具有圆筒形外壳，该外壳顶部开设有送粉口，底部正对送粉口处设置有出粉口，静电发生装置安装于送粉装置内腔中，静电发生装置主要是产生静电，输出单一极性，如为正或负极性，输出电压可以调节，本实施例中静电发生装置包括设置于送粉装置内腔中的高压放电电极以及设置于电极下方的绝缘体，该绝缘体上阵列有多个竖向孔，静电发生装置采用现有结构，具体不在赘述；拉瓦尔喷管配合高压气流使用，其中高压气流可通过送粉装置同步送入或者可单独通入喷管中，拉瓦尔喷管采用绝缘材质制成，拉瓦尔喷管的前半部是由大变小向中间收缩至一个窄喉，窄喉之后又由小变大向外扩张，喷管中的气体受高压流入喷嘴的前半部，穿过窄喉后由后半部逸出。这一架构可使气流的速度因喷截面积的变化而变化，使粉末粒子束加速达到音速或超音速；结合图4和图5所示，偏转线圈是由一对水平线圈和一对垂直线圈组成的，每一对线圈由两个圈数相同，形状完全一样的互相串联或并联的绕组所组成。当分别给水平和垂直线圈通以一定的电流时，两对线圈分别产生一定的磁场。水平线圈产生的是枕形场，而垂直线圈产生的是桶形场，通过二者的配合控制带电粉末粒子束的喷射方向，进而使得粉末粒子束在基体表面实现水平扫描和垂直扫描，利于精确的控制带电粉末粒子束的方向进而实现可控的扫描喷射；该结构中通过送粉装置送入粉末粒子，粉末粒子经过静电发生装置后形成带电粉末粒子，该带电粉末粒子通过拉瓦尔喷管后加速使得粉末粒子束速快速达到粒子的临界速度，具体可达到音速或超音速，音速或超音速的粉末粒子束经过喷嘴喷出被熔融后在工作台上形成烧结层，利于发生较大的塑性变形而沉积在基体表面上形成新的烧结层，该结构将喷射粉末转化成带电粉末粒子束，并通过偏转线圈为粉末粒子束施加作用力改变粉末粒子束的运动方向，实现对喷射方向的精确控制，并提高烧结层分布的可控性；该控制结构简单，对粉末粒子束的控制简单且精确，控制精度高，扫描速度快；另外由于粉末粒子束带电，通过为工作台表面施加相反电荷利于提高粒子的附着性能。

本实施例中，所述激光束控制装置为安装于激光发生器出射口处的水平扫描反射镜92以及竖直扫描反射镜93，所述水平扫描反射镜92可转动用于将激光束反射至竖直扫描反射镜上并沿水平方向扫描，所述竖直扫描反射镜93可转动用于使反射的激光束竖向扫描并使得该激光束实时与喷嘴喷出的带电粉末粒子束汇聚于一点。结合图4所示，在激光发生器下方安装有激光束调整外壳，水平扫描反射镜92以及竖直扫描反射镜93均安装于该壳体内，其中水平扫描反射镜 92和竖直扫描反射镜93外接伺服电机94驱动镜体转动，竖直扫描反射镜93水平布置，水平扫描反射镜92将激光束反射至竖直扫描反射镜上，水平扫描反射镜92转动可使得反射激光束沿着竖直扫描反射镜水平移动扫描，竖直扫描反射镜93转动时可使得反射的激光束沿竖向方向移动扫描，通过该结构用于控制激光的发射方向，通过控制激光束的发射方向以及带电粉末粒子束的发射方向，使得粉末粒子束与激光束始终汇聚于一点，优选二者在工作台表面或者现有烧结层处汇集。

本实施例中，所述冷喷头还包括设置于送粉装置出口侧用于对粒子进行加热的加热装置50。加热装置可设置于送粉装置处、静电发生装置或喷嘴处，加热装置的具体设置位置可依据实际结构调整，加热装置可以为电加热装置或者激光加热装置，本实施例中优选电加热装置，电加热装置安装于送粉装置出粉口的位置，用于粒子的加热，通过对粒子的加热降低粒子沉积需要的临界速度，当粉末粒子温度升高时，实现沉积的临界速度降低，沉积效率随之提高，结合强度也增加，利于形成致烧结层。

本实施例中，所述拉瓦尔喷管出口端设置有用于使带电粉末粒子束聚焦的一级磁透镜82，所述加速装置设置于一级磁透镜出口端侧。一级磁透镜出口端与喷嘴连接，磁透镜具有轴对称磁场，该磁场可以由螺线管、电磁铁或永磁体产生，磁透镜能够把匀速带电粉末粒子束会聚，通过一级磁透镜将拉瓦尔喷管喷出的带电粉末粒子束聚集并进入加速电场，利于精确的集中控制带电粉末粒子束的射流方向，而且利于提高喷枪的喷射精度。

本实施例中，所述送粉装置底部具有用于引导粒子流动的送粉管11，所述加热装置围绕送粉管设置。结合图4所示，加热装置为螺旋形的加热电阻丝，围绕送粉管内外设置两组直径不同的螺旋电阻丝，利于均匀的加热送粉管外围的空气温度，进而均匀的提高粒子的温度，降低粒子沉积所需的临界速度。

本实施例中，所述送粉管11底部内腔向下逐渐缩小形成锥形出口。该结构利于粉末的聚集并使得送入拉瓦尔喷管的粉末形成粉末束。

本实施例中，所述冷喷头还包括壳体70，所述送粉装置连接于壳体顶部用于将粉末送至壳体内部，所述喷嘴设置于壳体底部并竖向正对送粉装置出口端，所述壳体上设置有用于为拉瓦尔喷管通入高压气体的进气口83。该进气口可也开设于送粉装置上，送粉装置上的送粉口兼做进气口，其中壳体采用绝缘材质制成，壳体整体呈圆柱结构，进气口通入的气体进入壳体内后并经过拉瓦尔喷管用于粉末粒子束加速；其中壳体内被分隔为上下两个腔室，其中加热装置安装于上腔室内，拉瓦尔喷管安装于下腔室内，送粉管11经过上腔室延伸至拉瓦尔喷管的进气端；

结合图6所示，图6为冷喷头的另一实施例，图6中与图4中的冷喷头区别在于图6中新增设加速装置和二级磁透镜以及抽气口，另外图6中冷喷头的壳体与图4中不同；

结合图6所示，本实施例中，所述冷喷头还包括加速装置30，所述加速装置设置于拉瓦尔喷管出口侧，所述加速装置具有加速电场用于使带电粉末粒子加速并使得加速后的粒子通过喷嘴朝向工作台喷出。加速电场是使带电粉末粒子射入后速度增大的匀强电场，电场方向与带正电粒子速度方向相同，与带负电粒子速度方向相反，加速装置可设置一级加速电场，也可以设置多级加速电场，具体不在赘述；本实施例中加速电场的正负极竖向正对，正极和负极上均开设有供粉末粒子束通过的通孔，该通孔位于送粉装置出粉口正下方，相应的喷嘴与正、负极上的通孔正对；通过拉瓦尔喷管的设置提高粉末粒子束进入加速装置的初速度，该带电粉末粒子通过加速装置后加速使得粉末粒子束速快速达到粒子的临界速度，具体可达到超音速或高超音速，超音速的粉末粒子束经过喷嘴喷出撞击基体表面，发生较大的塑性变形而沉积在基体表面上形成致密烧结层，该结构将喷射粉末转化成带电粉末粒子束并通过加速电场加速，整个装置可通过较小的空间使得粒子加速至预设速度，利于减小喷枪的体积，提高喷枪的结构紧凑性，而且粉末粒子束的加速过程较为恒定，使得粉末粒子束终速度恒定，喷射于基体表面的烧结层一致性较好，提高喷射质量；通过拉瓦尔喷管和加速装置的多级加速提高粉末粒子束终速度，也可在较低喷射气压条件下得到更高的喷射速度及能量，进而提高粒子沉积效率以及结合强度。

本实施例中，所述喷嘴外接有使粉末粒子束聚焦的二级磁透镜85，所述偏转线圈Ⅰ安装于二级磁透镜出口端。结合图6所示，喷嘴为开设于壳体70底部的开口，喷嘴出口端连接有二级磁透镜85，使得经过电场加速后的粉末粒子束重新会聚，粉末粒子束精确汇聚于一点，利于偏转线圈方向控制。

本实施例中，所述壳体上还开设有用于抽出气体以使壳体内形成近真空环境的抽气口84。近真空环境为保有一定真空度的近似真空的环境，其进气口通入的气体经过拉瓦尔喷管辅助粉末粒子束加速，其中抽气口抽气流量应大于进气口的进气流量，抽气口可置于拉瓦尔喷管的出口侧用于抽出经拉瓦尔喷管喷出的气流，而且抽气口的设置也可为加速装置提供近真空环境，在电场加速过程中减少外界对粉末粒子束的干扰。

本实施例中，所述壳体内腔通过绝缘板分隔为上腔室71、中部腔室72和下腔室73，所述拉瓦尔喷管设置于中部腔室内并使得上腔室和下腔室连通，所述送粉管经上腔室向下延伸至拉瓦尔喷管进口端，所述加热装置设置于上腔室内，所述加速装置设置于下腔室内用于使得拉瓦尔喷管喷出的粉末粒子束加速，所述喷嘴设置于下腔室底部使得加速后的粉末粒子束经过喷嘴喷出，所述进气口83 连通于中部腔室或下部腔室。壳体可以为一体式圆柱形壳体，在壳体内设置绝缘板将内部空间隔断为若干个空间，本实施例中壳体采用分体式壳体，壳体由两个分体式的圆柱形外壳轴向拼接形成，其中位于下方的外壳通过绝缘板分隔为中部腔室和下腔室，位于上方的外壳内腔为上部腔室，该结构通过多个腔室将壳体内分隔问若干个功能区间，各个功能区利于相应部件的单独安装，且各个区域功能不相互干扰，提高喷枪的稳定性和可靠性；该结构的设置可以通过加热装置对上腔室内通入的高压气体加热，提高气流动能，并且借助气体对粉末粒子加热，即保证粉末粒子的有效加热也防止粉末粒子过热；结合图6所示，进气口中通入的气体直接通过拉瓦尔喷管流出并通过抽气口流出，其中抽气口抽气流量应大于进气口的进气流量，其中抽气口外接水环式真空泵，进气口外接压缩机，以使得壳体内形成真空环境，本实施例中抽气口连通于中部腔室，在中部腔室和下腔室之间的隔板上开设有透气孔，经过拉瓦尔喷管喷出的气流经过透气孔后被抽气口抽出，通过该结构既为拉瓦尔喷管中注入辅助粒子加速的高压气体，而且也通过抽气口迅速排出，利于形成真空环境。

最后说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

Claims (10)

1.一种真空电扫超音速喷射沉积激光增材制造装置，其特征在于：包括成形工作台以及安装于工作台上方的激光喷射增材装置，所述激光喷射增材装置包括冷喷头、激光发生器以及激光束控制装置，冷喷头喷射方向可调以使得喷出的粉末粒子束在工作台上基于零部件形状扫描，所述激光束控制装置安装于激光发生器出射口处用于控制激光束的发射方向，以使得激光束与冷喷头喷出的粉末粒子束汇聚于一点并使得粉末粒子被加热形成熔融状态。

2.根据权利要求1所述的真空电扫超音速喷射沉积激光增材制造装置，其特征在于：所述冷喷头包括顺序设置的送粉装置、静电发生装置、拉瓦尔喷管、喷嘴以及偏转线圈Ⅰ，所述静电发生装置用于使送粉装置中送出的粉末粒子带电，所述拉瓦尔喷管中通入高压气体用于使带电粉末粒子加速并使得加速后的粒子通过喷嘴朝向工作台喷出，所述偏转线圈设置于喷嘴出口端用于控制带电粉末粒子束的喷射方向。

3.根据权利要求2所述的真空电扫超音速喷射沉积激光增材制造装置，其特征在于：所述激光束控制装置为安装于激光发生器出射口处的水平扫描反射镜以及竖直扫描反射镜，所述水平扫描反射镜可转动用于将激光束反射至竖直扫描反射镜上并沿水平方向扫描，所述竖直扫描反射镜可转动用于使反射的激光束竖向扫描并使得该激光束实时与喷嘴喷出的带电粉末粒子束汇聚于一点。

4.根据权利要求2所述的真空电扫超音速喷射沉积激光增材制造装置，其特征在于：所述冷喷头还包括设置于送粉装置出口侧用于对粒子进行加热的加热装置。

5.根据权利要求4所述的真空电扫超音速喷射沉积激光增材制造装置，其特征在于：所述冷喷头还包括加速装置，所述加速装置设置于拉瓦尔喷管出口侧，所述加速装置具有加速电场用于使带电粉末粒子加速并使得加速后的粒子通过喷嘴朝向工作台喷出。

6.根据权利要求5所述的真空电扫超音速喷射沉积激光增材制造装置，其特征在于：所述拉瓦尔喷管出口端设置有用于使带电粉末粒子束聚焦的一级磁透镜，所述加速装置设置于一级磁透镜出口端侧。

7.根据权利要求2所述的真空电扫超音速喷射沉积激光增材制造装置，其特征在于：所述喷嘴外接有使粉末粒子束聚焦的二级磁透镜，所述偏转线圈Ⅰ安装于二级磁透镜出口端。

8.根据权利要求6所述的真空电扫超音速喷射沉积激光增材制造装置，其特征在于：所述冷喷头还包括壳体，所述送粉装置连接于壳体顶部用于将粉末送至壳体内部，所述喷嘴设置于壳体底部并竖向正对送粉装置出口端，所述壳体上设置有用于为拉瓦尔喷管通入高压气体的进气口。

9.根据权利要求8所述的真空电扫超音速喷射沉积激光增材制造装置，其特征在于：所述壳体上还开设有用于抽出气体以使壳体内形成近真空环境的抽气口。

10.根据权利要求8所述的真空电扫超音速喷射沉积激光增材制造装置，其特征在于：所述壳体内腔通过绝缘板分隔为上腔室、中部腔室和下腔室，所述拉瓦尔喷管设置于中部腔室内并使得上腔室和下腔室连通，所述送粉装置底部具有用于引导粒子流动的送粉管，所述送粉管经上腔室向下延伸至拉瓦尔喷管进口端，所述加热装置设置于上腔室内，所述加速装置设置于下腔室内用于使得拉瓦尔喷管喷出的粉末粒子束加速，所述喷嘴设置于下腔室底部使得加速后的粉末粒子束经过喷嘴喷出，所述进气口连通于中部腔室或下部腔室。

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