CN112725735A - 一种多色渐变镀膜及其镀膜方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种多色渐变镀膜及其镀膜方法,包括镀膜结构和蒸镀炉体,其特征在于:所述镀膜结构包括五氧化三钛层D,所述五氧化三钛层D的外表面覆盖有二氧化硅层C,所述二氧化硅层C的外表面覆盖有五氧化三钛层C,所述五氧化三钛层C的外表面覆盖有二氧化硅层B,所述二氧化硅层B的外表面覆盖有五氧化三钛层B,所述五氧化三钛层B的外表面覆盖有二氧化硅层A,所述二氧化硅层A的外表面覆盖有五氧化三钛层A。本发明通过调整气化后的膜料扩散至产品表面的位置及剂量,产品在蒸镀炉内高速旋转致使表面获得不同厚度的膜层而实现颜色渐变。
Description
技术领域
本发明涉及蒸发镀膜技术领域,具体为一种多色渐变镀膜及其镀膜方法。
背景技术
随着社会经济的快速发展,镀膜的应用越来越广泛,传统蒸发镀膜是将材料在真空环境中加热,使之气化并沉积到基片而获得薄膜材料的方法,又称为真空蒸镀或真空镀膜,蒸发镀膜常称真空镀膜。其特点是在真空条件下,材料蒸发并在玻璃表面上凝结成膜,再经高温热处理后,在玻璃表面形成附着力很强的膜层。有70多种元素、50多种无机化合物材料和多种合金材料可供选择。PVD工艺的首要条件是在真空条件下操作,因为限量以上的残余气体会影响膜的成分和性质。
但是,现有的蒸发镀膜工艺传统对于多色渐变的镀膜效果一般,且操作繁琐;因此,不满足现有的需求,对此我们提出了一种多色渐变镀膜及其镀膜方法。
发明内容
本发明的目的在于提供一种多色渐变镀膜及其镀膜方法,以解决上述背景技术中提出的现有的蒸发镀膜工艺传统对于多色渐变的镀膜效果一般,且操作繁琐等问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种多色渐变镀膜及其镀膜方法,包括镀膜结构和蒸镀炉体,其特征在于:所述镀膜结构包括五氧化三钛层D,所述五氧化三钛层D的外表面覆盖有二氧化硅层C,所述二氧化硅层C的外表面覆盖有五氧化三钛层C,所述五氧化三钛层C的外表面覆盖有二氧化硅层B,所述二氧化硅层B的外表面覆盖有五氧化三钛层B,所述五氧化三钛层B的外表面覆盖有二氧化硅层A,所述二氧化硅层A的外表面覆盖有五氧化三钛层A。
优选的,所述五氧化三钛层D的厚度为46.9nm,所述二氧化硅层C的厚度为50.2nm,所述五氧化三钛层C的厚度为80.2nm,所述二氧化硅层B的厚度为92.2nm,所述五氧化三钛层B的厚度为55.3nm,所述二氧化硅层A的厚度为90.1nm,所述五氧化三钛层A的厚度为37.7nm。
优选的,所述蒸镀炉体包括炉腔壁,所述炉腔壁的顶端通过轴承安装有转轴,所述转轴的底端固定安装有位于炉腔壁内部的载产品伞,所述载产品伞的下方固定安装有特制修正板,所述炉腔壁内壁的底端固定安装有蒸发源。
优选的,所述载产品伞的表面均匀设有八个产品固定摆放槽。
优选的,所述特制修正板的表面设有与产品固定摆放槽对应的特制修正板用菱形板。
优选的,所述载产品伞的底端通过连接轴固定连接有特制修正板。
一种多色渐变镀膜方法,包括如下步骤:
步骤一:打开炉体的上盖,将需要镀膜的产品卡入载产品伞表面的产品固定摆放槽内,确定是否卡紧;
步骤二:再将特制修正板表面的特制修正板用菱形板与已经卡好位置的产品确定对准,检查位置;
步骤三:打开蒸发源,先向蒸发源投入五氧化三钛原料,同时打开转轴对应的电机;
步骤四:再向蒸发源中投入二氧化硅原料,间隔固定时间后在向蒸发源内投入五氧化三钛原料,往复循环,共间隔投入四次五氧化三钛和三次二氧化硅原料;
步骤五:完成真空蒸镀后,从产品固定摆放槽中取下已经镀膜完成的产品,检查后包装。
优选的,所述特制修正板用菱形板与已经卡好位置的产品确定对准,具体为特制修正板用菱形板的中心与产品中心保持一致。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
本发明采用蒸镀炉体内增加特殊设计之修正挡板,产品固定于“载产品伞”上相对位置保持一致,以获取批量生产稳定一致的产品效果,单块菱形挡板中心与产品中心保持一致,调整气化后的膜料扩散至产品表面的位置及剂量,产品在蒸镀炉内高速旋转致使表面获得不同厚度的膜层而实现颜色渐变。
附图说明
图1为本发明的流程结构示意图;
图2为本发明蒸镀炉体的局部结构示意图;
图3为本发明载产品伞的俯视结构示意图;
图4为本发明镀膜结构的局部结构示意图。
图中:1、转轴;2、炉腔壁;3、载产品伞;4、连接轴;5、特制修正板;6、蒸发源;7、产品固定摆放槽;8、特制修正板用菱形板;9、五氧化三钛层A;10、二氧化硅层A;11、五氧化三钛层B;12、二氧化硅层B;13、五氧化三钛层C;14、二氧化硅层C;15、五氧化三钛层D。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
请参阅图1至图4,本发明提供的一种实施例:一种多色渐变镀膜及其镀膜方法,包括镀膜结构和蒸镀炉体,镀膜结构包括五氧化三钛层D15,五氧化三钛层D15的外表面覆盖有二氧化硅层C14,二氧化硅层C14的外表面覆盖有五氧化三钛层C13,五氧化三钛层C13的外表面覆盖有二氧化硅层B12,二氧化硅层B12的外表面覆盖有五氧化三钛层B11,五氧化三钛层B11的外表面覆盖有二氧化硅层A10,二氧化硅层A10的外表面覆盖有五氧化三钛层A9。
进一步,五氧化三钛层D15的厚度为46.9nm,二氧化硅层C14的厚度为50.2nm,五氧化三钛层C13的厚度为80.2nm,二氧化硅层B12的厚度为92.2nm,五氧化三钛层B11的厚度为55.3nm,二氧化硅层A10的厚度为90.1nm,五氧化三钛层A9的厚度为37.7nm。
进一步,蒸镀炉体包括炉腔壁2,炉腔壁2的顶端通过轴承安装有转轴1,转轴1的底端固定安装有位于炉腔壁2内部的载产品伞3,载产品伞3的下方固定安装有特制修正板5,炉腔壁2内壁的底端固定安装有蒸发源6。
进一步,载产品伞3的表面均匀设有八个产品固定摆放槽7。
进一步,特制修正板5的表面设有与产品固定摆放槽7对应的特制修正板用菱形板8。
进一步,载产品伞3的底端通过连接轴4固定连接有特制修正板5。一种多色渐变镀膜方法包括如下步骤:
步骤一:打开炉体的上盖,将需要镀膜的产品卡入载产品伞3表面的产品固定摆放槽7内,确定是否卡紧;
步骤二:再将特制修正板5表面的特制修正板用菱形板8与已经卡好位置的产品确定对准,检查位置;
步骤三:打开蒸发源6,先向蒸发源6投入五氧化三钛原料,同时打开转轴1对应的电机;
步骤四:再向蒸发源6中投入二氧化硅原料,间隔固定时间后在向蒸发源6内投入五氧化三钛原料,往复循环,共间隔投入四次五氧化三钛和三次二氧化硅原料;
步骤五:完成真空蒸镀后,从产品固定摆放槽7中取下已经镀膜完成的产品,检查后包装。
进一步,特制修正板用菱形板8与已经卡好位置的产品确定对准,具体为特制修正板用菱形板8的中心与产品中心保持一致。
对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (8)
1.一种多色渐变镀膜及其镀膜方法,包括镀膜结构和蒸镀炉体,其特征在于:所述镀膜结构包括五氧化三钛层D(15),所述五氧化三钛层D(15)的外表面覆盖有二氧化硅层C(14),所述二氧化硅层C(14)的外表面覆盖有五氧化三钛层C(13),所述五氧化三钛层C(13)的外表面覆盖有二氧化硅层B(12),所述二氧化硅层B(12)的外表面覆盖有五氧化三钛层B(11),所述五氧化三钛层B(11)的外表面覆盖有二氧化硅层A(10),所述二氧化硅层A(10)的外表面覆盖有五氧化三钛层A(9)。
2.根据权利要求1所述的一种多色渐变镀膜及其镀膜方法,其特征在于:所述五氧化三钛层D(15)的厚度为46.9nm,所述二氧化硅层C(14)的厚度为50.2nm,所述五氧化三钛层C(13)的厚度为80.2nm,所述二氧化硅层B(12)的厚度为92.2nm,所述五氧化三钛层B(11)的厚度为55.3nm,所述二氧化硅层A(10)的厚度为90.1nm,所述五氧化三钛层A(9)的厚度为37.7nm。
3.根据权利要求1所述的一种多色渐变镀膜及其镀膜方法,其特征在于:所述蒸镀炉体包括炉腔壁(2),所述炉腔壁(2)的顶端通过轴承安装有转轴(1),所述转轴(1)的底端固定安装有位于炉腔壁(2)内部的载产品伞(3),所述载产品伞(3)的下方固定安装有特制修正板(5),所述炉腔壁(2)内壁的底端固定安装有蒸发源(6)。
4.根据权利要求3所述的一种多色渐变镀膜及其镀膜方法,其特征在于:所述载产品伞(3)的表面均匀设有八个产品固定摆放槽(7)。
5.根据权利要求4所述的一种多色渐变镀膜及其镀膜方法,其特征在于:所述特制修正板(5)的表面设有与产品固定摆放槽(7)对应的特制修正板用菱形板(8)。
6.根据权利要求3所述的一种多色渐变镀膜及其镀膜方法,其特征在于:所述载产品伞(3)的底端通过连接轴(4)固定连接有特制修正板(5)。
7.一种多色渐变镀膜方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤一:打开炉体的上盖,将需要镀膜的产品卡入载产品伞(3)表面的产品固定摆放槽(7)内,确定是否卡紧;
步骤二:再将特制修正板(5)表面的特制修正板用菱形板(8)与已经卡好位置的产品确定对准,检查位置;
步骤三:打开蒸发源(6),先向蒸发源(6)投入五氧化三钛原料,同时打开转轴(1)对应的电机;
步骤四:再向蒸发源(6)中投入二氧化硅原料,间隔固定时间后在向蒸发源(6)内投入五氧化三钛原料,往复循环,共间隔投入四次五氧化三钛和三次二氧化硅原料;
步骤五:完成真空蒸镀后,从产品固定摆放槽(7)中取下已经镀膜完成的产品,检查后包装。
8.根据权利要求7所述的一种多色渐变镀膜及其镀膜方法,其特征在于:所述特制修正板用菱形板(8)与已经卡好位置的产品确定对准,具体为特制修正板用菱形板(8)的中心与产品中心保持一致。
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Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN201459229U (zh) * | 2009-07-23 | 2010-05-12 | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 | 补偿挡板机构 |
CN105543786A (zh) * | 2015-12-31 | 2016-05-04 | 奥特路(漳州)光学科技有限公司 | 一种杀菌防炫增透的耐磨手机盖板及其制备方法 |
CN205573183U (zh) * | 2016-04-21 | 2016-09-14 | 颜亚玲 | 一种光学电镀膜变色手机壳 |
CN207549641U (zh) * | 2017-12-18 | 2018-06-29 | 信利光电股份有限公司 | 一种粉红色的玻璃盖板 |
CN108728796A (zh) * | 2017-04-19 | 2018-11-02 | 蓝思科技(长沙)有限公司 | 颜色渐变膜的制备方法以及修正板 |
US20180321515A1 (en) * | 2017-05-08 | 2018-11-08 | Hwa Meei Optical Co., Ltd. | Predefined reflective appearance eyewear lens with neutral balance visual perception |
US20180321516A1 (en) * | 2017-05-08 | 2018-11-08 | Hwa Meei Optical Co., Ltd. | Predefined reflective appearance eyewear lens with balance chroma enhancement visual perception |
CN111556679A (zh) * | 2020-04-30 | 2020-08-18 | 江西沃格光电股份有限公司 | 透过率渐变膜及制备方法 |
CN111893434A (zh) * | 2020-07-31 | 2020-11-06 | 江苏星浪光学仪器有限公司 | 一种超薄滤光片的蒸发镀膜工艺 |
CN111910153A (zh) * | 2020-07-15 | 2020-11-10 | 无锡杰程光电有限公司 | 一种彩色陶瓷表圈及其制备方法 |
-
2020
- 2020-12-21 CN CN202011518825.4A patent/CN112725735A/zh active Pending
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN201459229U (zh) * | 2009-07-23 | 2010-05-12 | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 | 补偿挡板机构 |
CN105543786A (zh) * | 2015-12-31 | 2016-05-04 | 奥特路(漳州)光学科技有限公司 | 一种杀菌防炫增透的耐磨手机盖板及其制备方法 |
CN205573183U (zh) * | 2016-04-21 | 2016-09-14 | 颜亚玲 | 一种光学电镀膜变色手机壳 |
CN108728796A (zh) * | 2017-04-19 | 2018-11-02 | 蓝思科技(长沙)有限公司 | 颜色渐变膜的制备方法以及修正板 |
US20180321515A1 (en) * | 2017-05-08 | 2018-11-08 | Hwa Meei Optical Co., Ltd. | Predefined reflective appearance eyewear lens with neutral balance visual perception |
US20180321516A1 (en) * | 2017-05-08 | 2018-11-08 | Hwa Meei Optical Co., Ltd. | Predefined reflective appearance eyewear lens with balance chroma enhancement visual perception |
CN207549641U (zh) * | 2017-12-18 | 2018-06-29 | 信利光电股份有限公司 | 一种粉红色的玻璃盖板 |
CN111556679A (zh) * | 2020-04-30 | 2020-08-18 | 江西沃格光电股份有限公司 | 透过率渐变膜及制备方法 |
CN111910153A (zh) * | 2020-07-15 | 2020-11-10 | 无锡杰程光电有限公司 | 一种彩色陶瓷表圈及其制备方法 |
CN111893434A (zh) * | 2020-07-31 | 2020-11-06 | 江苏星浪光学仪器有限公司 | 一种超薄滤光片的蒸发镀膜工艺 |
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