CN112713108A - 一种晶圆加工的气流平稳系统 - Google Patents
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Abstract
本发明为一种晶圆加工的气流平稳系统，包括机体，所述机体包括控制面板、支柱、气流管道以及泄压泵，所述进气口上设有导风阀，所述气流管道的内部设有导风扇以及气流检测模块，所述导风扇上设有导风电机，所述控制面板包括控制主板，所述控制主板包括处理模块、智能分析模块、储存模块以及数据传输模块，通过导风扇进行引导气流，使气流进行稳定的进入气流管道，以及调整气流进入的速度，通过导风阀方便工作人员控制气流量，通过气流检测模块进行检测气流管道中气流量和稳定性，方便工作人员根据实时数据进行调整，通过智能分析模块使设备根据气流检测模块进行实时调整导风扇和导风阀，使设备根据工作人员设定的数据自动进行运行。
Description
技术领域
本发明涉及半导体设备技术领域，具体为一种晶圆加工的气流平稳系统。
背景技术
众所周知，现有的气流稳定系统不适合在半导体领域进行使用，现有的现有的气流稳定系统在使用时，容易使半导体生产过程中气动不足，流动不平稳导致设备定位不精确，其使用局限性较高，不适合精确的进行定位，在半导体行业中实用性较差，使用可靠性较低，影响生产质量。
如对比公开专利“CN101766859A”名为“气流稳定装置”，该气流稳定装置设置在气路系统的减压阀与流量控制阀之间，其中，气流稳定装置内设有迂曲的腔室，来自减压阀的气体通过腔室进入流量控制阀，迂曲的腔室具有彼此相连的多个弯曲部，其中，由公式来确定迂曲的腔室的容积，其中，V1为迂曲的腔室的容积，P0为预先设定的流量控制阀输出的气体压力、V0为产生瞬间峰值流量的时间内测得的从流量控制阀输出气体的体积，P为所要求的流量控制阀的进气端口1a与出气端口1b之间的压力差，该气流平稳装置在使用过程中，不适合对多个设备进行连接使用，使用成本较高，占用空间大，不方便使用人员操作。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本发明提供了一种方便操作，运行稳定的晶圆加工的气流平稳系统。
(二)技术方案
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种晶圆加工的气流平稳系统，包括机体，所述机体包括控制面板、支柱、气流管道以及泄压泵，所述控制面板安装在所述机体的一侧，所述支柱安装在所述机体的底端，所述支柱设有多个，所述气流管道安装在所述机体的内部，所述机体的一侧设有进气口，所述泄压泵安装在所述机体的顶端，所述气流管道连通所述液压泵以及进气口，所述进气口上设有导风阀，所述气流管道的内部设有导风扇以及气流检测模块，所述导风扇上设有导风电机，所述导风电机连接所述导风扇，所述气流检测模块连通所述气流管道，所述机体的顶端设有过滤槽，所述过滤槽连通所述气流管道，所述过滤槽上设有过滤板，所述过滤板上设有过滤层，所述气流管道的一端设有分流管道，所述分流管道连通所述气流管道，所述分流管道设有多个，所述分流管道上设有气压泵，所述分流管道的一端设有传输管道，所述传输管道连通所述分流管道，所述传输管道上设有气压头，所述传输管道连通所述气压头，所述气压头上设有转孔，所述转孔连通所述气压头，所述转孔上设有转轴，所述转轴的一端设有开关块，所述开关块位于所述气压头的内部，所述控制面板包括控制主板，所述控制主板安装在所述控制面板的内部，所述控制主板包括处理模块、智能分析模块、储存模块以及数据传输模块，所述处理模块与所述智能分析模块、储存模块以及数据传输模块之间设有电路线连接，所述智能分析模块与所述气流检测模块之间设有电路线连接，所述处理模块与所述导风阀、气压泵、导风电机以及泄压泵之间设有电路线连接。
为了使设备稳定平稳运行，本发明改进有，所述支柱包括减震柱、减震槽以及减震弹簧，所述减震柱安装在所述支柱的底端，且所述减震柱连通所述支柱，所述减震槽位于所述支柱的内部，所述减震柱连通所述减震槽，所述减震弹簧安装在所述减震柱的外侧，且所述减震弹簧位于所述支柱的内部。
为了使设备紧固的放置在指定位置上，本发明改进有，所述减震柱的底端设有吸垫。
为了方便空气进入，本发明改进有，所述进气口的一端设有进气斗，所述进气口连通所述进气斗。
为了防止空气中其他物体进入，本发明改进有，所述进气斗上设有过滤网。
为了方便工作人员取出或放置，本发明改进有，所述过滤板的顶端设有提手。
为了方便工作人员调整开关，本发明改进有，所述转轴的顶端设有把手。
为了方便工作人员操作，本发明改进有，所述控制面板设有显示屏以及按键，所述控制面板与所述显示屏以及按键之间设有电路线连接。
为了方便工作人员查看设备的运行状态是否异常，本发明改进有，所述机体的顶端设有指示灯，所述控制面板与所述指示灯之间设有电路线连接，所述指示灯上设有扬声器，所述指示灯与所述扬声器之间设有电路线连接。
(三)有益效果
与现有技术相比，本发明提供了一种晶圆加工的气流平稳系统，具备以下有益效果：
该晶圆加工的气流平稳系统，通过过滤层使设备内部的空气进行净化处理，防止在下一工序传输过程中出现堵住或颗粒物传输到下一工序上，保证设备内部的空气纯净性，通过导风扇进行引导气流，使气流进行稳定的进入气流管道，以及调整气流进入的速度，通过导风阀方便工作人员控制气流量，通过气流检测模块进行检测气流管道中气流量和稳定性，方便工作人员根据实时数据进行调整，通过多个传输管道方便多个设备进行连接，通过气压头方便工作人员连接其他设备和控制空气进入，通过智能分析模块使设备根据气流检测模块进行实时调整导风扇和导风阀，使设备根据工作人员设定的数据自动进行运行。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明结构正视半剖图；
图3为本发明结构俯视半剖图；
图4为本发明图2中气流管道的放大结构正视半剖图；
图5为本发明图2中气压泵的放大结构正视半剖图；
图6为本发明图2中中过滤板的放大结构左视半剖图；
图7为本发明图1中支柱的放大结构正视半剖图；
图8为本发明图1中气压头的放大结构正视半剖图；
图9为本发明结构运行流程图。
图中：1、机体；2、支柱；3、减震柱；4、减震槽；5、减震弹簧；6、吸垫；7、控制面板；8、进气口；9、进气斗；10、过滤板；11、过滤层；12、过滤槽；13、提手；14、气流管道；15、泄压泵；16、分流管道；17、导风扇；18、导风电机；19、导风阀；20、气压泵；21、传输管道；22、气压头；23、开关块；24、转轴；25、转孔；26、把手；27、气流检测模块；28、控制主板；29、处理模块；30、智能分析模块；31、储存模块；32、数据传输模块。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-9，本发明为一种晶圆加工的气流平稳系统，包括机体1，所述机体1包括控制面板7、支柱2、气流管道14以及泄压泵15，所述控制面板7安装在所述机体1的一侧，所述支柱2安装在所述机体1的底端，所述支柱2设有多个，所述气流管道14安装在所述机体1的内部，所述机体1的一侧设有进气口8，所述泄压泵15安装在所述机体1的顶端，所述气流管道14连通所述液压泵以及进气口8，所述进气口8上设有导风阀19，所述气流管道14的内部设有导风扇17以及气流检测模块27，所述导风扇17上设有导风电机18，所述导风电机18连接所述导风扇17，所述气流检测模块27连通所述气流管道14，所述机体1的顶端设有过滤槽12，所述过滤槽12连通所述气流管道14，所述过滤槽12上设有过滤板10，所述过滤板10上设有过滤层11，所述气流管道14的一端设有分流管道16，所述分流管道16连通所述气流管道14，所述分流管道16设有多个，所述分流管道16上设有气压泵20，所述分流管道16的一端设有传输管道21，所述传输管道21连通所述分流管道16，所述传输管道21上设有气压头22，所述传输管道21连通所述气压头22，所述气压头22上设有转孔25，所述转孔25连通所述气压头22，所述转孔25上设有转轴24，所述转轴24的一端设有开关块23，所述开关块23位于所述气压头22的内部，所述控制面板7包括控制主板28，所述控制主板28安装在所述控制面板7的内部，所述控制主板28包括处理模块29、智能分析模块30、储存模块31以及数据传输模块32，所述处理模块29与所述智能分析模块30、储存模块31以及数据传输模块32之间设有电路线连接，所述智能分析模块30与所述气流检测模块27之间设有电路线连接，所述处理模块29与所述导风阀19、气压泵20、导风电机18以及泄压泵15之间设有电路线连接。
综上所述，该晶圆加工的气流平稳系统，在使用时，工作人员将设备接入电源，通过控制面板7开启设备，通过主板的处理模块29进行控制导风阀19、气压泵20、导风电机18以及泄压泵15，通过机体1中的进气口8将空气进入气流管道14中，通过过滤板10上的过滤层11使设备内部的空气进行净化处理，防止在下一工序传输过程中，出现堵住或颗粒物传输到下一工序上，保证设备内部的空气纯净性，通过过滤槽12方便工作人员更换和保养过滤板10，通过导风阀19方便工作人员控制气流量，通过导风扇17进行引导气流，使气流进行稳定的进入气流管道14，通过导风电机18进行调整气流进入的速度，通过气流检测模块27进行检测气流管道14中气流量和稳定性，方便工作人员根据实时数据进行调整，通过多个分流管道16将气流进行分散至分流管道16中，通过传输管道21方便多个设备进行连接，通过气压泵20进行传输气流至其他设备上，通过气压头22方便工作人员连接其他设备和控制空气进入，通过转动转孔25上的转轴24，使开关块23通开气压头22，使气流传出，通过智能分析模块30使设备根据气流检测模块27进行实时调整导风扇17和导风阀19，使设备根据工作人员设定的数据自动进行运行，通过储存模块31将设备工作过程中的实时气流数据进行储存，通过数据传输模块32方便工作人员进行连接其他设备，进行数据传输，通过泄压泵15方便工作人员将气流管道14内部的气体快速排出。
本实施例中，所述支柱2包括减震柱3、减震槽4以及减震弹簧5，所述减震柱3安装在所述支柱2的底端，且所述减震柱3连通所述支柱2，所述减震槽4位于所述支柱2的内部，所述减震柱3连通所述减震槽4，所述减震弹簧5安装在所述减震柱3的外侧，且所述减震弹簧5位于所述支柱2的内部，使设备稳定平稳运行。
本实施例中，所述减震柱3的底端设有吸垫6，使设备紧固的放置在指定位置上。
本实施例中，所述进气口8的一端设有进气斗9，所述进气口8连通所述进气斗9，方便空气进入。
本实施例中，所述进气斗9上设有过滤网，防止空气中其他物体进入。
本实施例中，所述过滤板10的顶端设有提手13，方便工作人员取出或放置。
本实施例中，所述转轴24的顶端设有把手26，方便工作人员调整开关。
本实施例中，所述控制面板7设有显示屏以及按键，所述控制面板7与所述显示屏以及按键之间设有电路线连接，方便工作人员操作。
本实施例中，所述机体1的顶端设有指示灯，所述控制面板7与所述指示灯之间设有电路线连接，所述指示灯上设有扬声器，所述指示灯与所述扬声器之间设有电路线连接，方便工作人员查看设备的运行状态是否异常。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (9)
1.一种晶圆加工的气流平稳系统，其特征在于，包括机体(1)，所述机体(1)包括控制面板(7)、支柱(2)、气流管道(14)以及泄压泵(15)，所述控制面板(7)安装在所述机体(1)的一侧，所述支柱(2)安装在所述机体(1)的底端，所述支柱(2)设有多个，所述气流管道(14)安装在所述机体(1)的内部，所述机体(1)的一侧设有进气口(8)，所述泄压泵(15)安装在所述机体(1)的顶端，所述气流管道(14)连通所述液压泵以及进气口(8)，所述进气口(8)上设有导风阀(19)，所述气流管道(14)的内部设有导风扇(17)以及气流检测模块(27)，所述导风扇(17)上设有导风电机(18)，所述导风电机(18)连接所述导风扇(17)，所述气流检测模块(27)连通所述气流管道(14)，所述机体(1)的顶端设有过滤槽(12)，所述过滤槽(12)连通所述气流管道(14)，所述过滤槽(12)上设有过滤板(10)，所述过滤板(10)上设有过滤层(11)，所述气流管道(14)的一端设有分流管道(16)，所述分流管道(16)连通所述气流管道(14)，所述分流管道(16)设有多个，所述分流管道(16)上设有气压泵(20)，所述分流管道(16)的一端设有传输管道(21)，所述传输管道(21)连通所述分流管道(16)，所述传输管道(21)上设有气压头(22)，所述传输管道(21)连通所述气压头(22)，所述气压头(22)上设有转孔(25)，所述转孔(25)连通所述气压头(22)，所述转孔(25)上设有转轴(24)，所述转轴(24)的一端设有开关块(23)，所述开关块(23)位于所述气压头(22)的内部，所述控制面板(7)包括控制主板(28)，所述控制主板(28)安装在所述控制面板(7)的内部，所述控制主板(28)包括处理模块(29)、智能分析模块(30)、储存模块(31)以及数据传输模块(32)，所述处理模块(29)与所述智能分析模块(30)、储存模块(31)以及数据传输模块(32)之间设有电路线连接，所述智能分析模块(30)与所述气流检测模块(27)之间设有电路线连接，所述处理模块(29)与所述导风阀(19)、气压泵(20)、导风电机(18)以及泄压泵(15)之间设有电路线连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工的气流平稳系统，其特征在于，所述支柱(2)包括减震柱(3)、减震槽(4)以及减震弹簧(5)，所述减震柱(3)安装在所述支柱(2)的底端，且所述减震柱(3)连通所述支柱(2)，所述减震槽(4)位于所述支柱(2)的内部，所述减震柱(3)连通所述减震槽(4)，所述减震弹簧(5)安装在所述减震柱(3)的外侧，且所述减震弹簧(5)位于所述支柱(2)的内部。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆加工的气流平稳系统，其特征在于，所述减震柱(3)的底端设有吸垫(6)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆加工的气流平稳系统，其特征在于，所述进气口(8)的一端设有进气斗(9)，所述进气口(8)连通所述进气斗(9)。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆加工的气流平稳系统，其特征在于，所述进气斗(9)上设有过滤网。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆加工的气流平稳系统，其特征在于，所述过滤板(10)的顶端设有提手(13)。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆加工的气流平稳系统，其特征在于，所述转轴(24)的顶端设有把手(26)。
8.根据权利要求1所述的一种晶圆加工的气流平稳系统，其特征在于，所述控制面板(7)设有显示屏以及按键，所述控制面板(7)与所述显示屏以及按键之间设有电路线连接。
9.根据权利要求1所述的一种晶圆加工的气流平稳系统，其特征在于，所述机体(1)的顶端设有指示灯，所述控制面板(7)与所述指示灯之间设有电路线连接，所述指示灯上设有扬声器，所述指示灯与所述扬声器之间设有电路线连接。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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