CN112703597A - 连接的场效应晶体管 - Google Patents

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Abstract

示例包括流体模具。流体模具包括场效应晶体管阵列，该阵列包括第一尺寸的场效应晶体管和第二尺寸的场效应晶体管。至少一个连接构件将场效应晶体管阵列的至少一些场效应晶体管互连。流体模具还包括连接到第一组场效应晶体管的第一流体致动器，该第一组场效应晶体管具有至少一个第一尺寸的场效应晶体管。模具包括第二流体致动器，该第二流体致动器连接到第二相应的场效应晶体管组，该第二相应的场效应晶体管组具有与阵列的至少一个其他场效应晶体管互连的第二尺寸的第一相应的场效应晶体管。

Description

连接的场效应晶体管
背景技术
流体模具可以处理小体积流体。例如，流体模具的喷嘴可以有助于喷射液滴。在一些流体模具中，各种电气部件可用于分析、输送和/或执行用于流体模具的流体的其他这样的过程。因此，电气部件的各种布置可以在流体模具中实施，以实现和控制这种过程的性能。一些示例性流体模具可以是流体喷射模具，其中可以经由流体喷射模具的喷嘴可控地喷射液滴。
附图说明
图1是图示示例性流体模具的一些部件的框图。
图2是图示示例性流体模具的一些部件的框图。
图3是图示示例性流体模具的一些部件的逻辑图。
图4是图示示例性流体模具的一些部件的框图。
图5是图示示例性流体模具的一些部件的框图。
图6是图示示例性流体模具的一些部件的逻辑图。
图7是图示示例性流体模具的一些部件的逻辑图。
图8是图示示例性流体模具的一些部件的框图。
图9是图示示例性流体模具的一些部件的框图。
图10是图示示例性流体模具的一些部件的框图。
图11是图示示例性流体模具的一些部件的框图。
图12是图示示例过程的示例操作序列的流程图。
图13是图示示例过程的示例操作序列的流程图。
图14A-C是图示示例过程的框图。
在所有附图中，相同的附图标记表示相似但不一定相同的元件。附图不一定按比例绘制，并且一些部分的尺寸可能被放大以更清楚地说明所示的示例。此外，附图提供了与描述一致的示例和/或实施方式；然而，描述不限于附图中提供的示例和/或实施方式。
具体实施方式
流体模具的示例可以包括流体致动器。流体致动器可包括基于压电膜的致动器、基于热敏电阻器的致动器、静电膜致动器、机械/冲击驱动的膜致动器、磁致伸缩驱动致动器或可响应于电致动而引起流体位移的其他这种元件。为了控制这种流体致动器的致动，示例可以进一步包可以连接到流体致动器的场效应晶体管（FET）。因此，连接的FET的电气控制可以实现流体模具的流体致动器的选择性控制。
流体致动器可以布置在相应的流体致动器组中，其中每个这样的流体致动器组可以被称为“基元（primitive）”或“点火基元（firing primitive）”。基元通常包括流体致动器的集合，每个致动器具有唯一的致动地址。在一些示例中，流体模具的电气和流体约束可以限制对于给定的致动事件，每个基元的哪些流体致动器可以被同时致动。因此，基元有助于寻址和随后致动流体喷射器子集，这些子集可以针对给定的致动事件被同时致动。为了在基元内寻址流体致动器，场效应晶体管可以类似地布置。因此，通过使能场效应晶体管的栅极来寻址场效应晶体管，可以引起连接到场效应晶体管的流体致动器的电致动。 因此，对于流体致动器的每个基元，流体模具可以包括场效应晶体管的基元。
如本文所使用的，流体模具可以对应于各种类型的集成装置，利用这种装置，小体积（皮升体积、纳升体积、微升体积等）流体可以被泵送、混合、分析、喷射等。这种流体模具可以包括流体喷射模具，诸如打印头、添加剂制造分配器部件、数字滴定部件和/或其他这样的装置，利用这些装置可以选择性地且可控地喷射一定体积的流体。流体模具的其他示例包括流体传感器装置、芯片实验室装置和/或在其中可以分析和/或处理流体的其他这样的装置。
在一些示例性流体模具中，流体致动器可以设置在流体腔室中，其中流体腔室可以流体联接到喷嘴。在一些示例中，流体腔室可以被称为“压力腔室”。流体致动器可以被致动，使得流体腔室中的流体发生位移，并且这种位移可以导致液滴经由喷嘴孔喷射。因此，设置在流体腔室中的流体致动器可被称为“流体喷射器”，该流体腔室流体联接到喷嘴。此外，包括流体致动器、流体腔室和喷嘴的流体部件可以被称为“液滴发生器”。
本文描述的示例流体模具可包括其中可设置有流体致动器的微流体通道。在这样的实施方式中，设置在微流体通道中的流体致动器的致动可以在微流体通道中产生流体位移。因此，设置在微流体通道中的流体致动器可被称为“流体泵”。流体致动器的实施方式之间的区别是不同流体致动器类型的示例。例如，与实施为流体泵的流体致动器相比，实施为流体喷射器的流体致动器可以被认为是不同的流体致动器类型。
微流体特征（诸如微流体通道或流体腔室）可以通过在流体模具的基底中或基底上执行蚀刻、微制造（例如，光刻）、沉积、微机加工工艺或它们的任何组合形成。一些示例基底可以包括硅基基底、玻璃基基底、砷化镓基基底和/或用于微制造装置和结构的其他这种合适类型的基底。因此，微流体通道、腔室、喷嘴、孔和/或其他这样的特征可以由制造在基底中的表面和/或沉积在流体模具的基底上的材料来限定。此外，如本文所使用的，微流体通道可以对应于足够小尺寸（例如，纳米尺寸的尺度、微米尺寸的尺度、毫米尺寸的尺度等）的通道，以有助于小体积（例如，皮升尺度、纳升尺度、微升尺度、毫升尺度等）流体的输送。
由于可以在示例性流体模具中实施的流体致动器的各种布置和配置，对于流体模具的流体致动器，这种流体致动器和连接到这种流体致动器的控制逻辑的电气约束和要求可能不同。因此，连接到流体模具的流体致动器的FET的电气特性可以不同，其中，连接的FET的电气特性可以至少部分地基于FET可以连接到的流体致动器的操作参数。如本文所使用的，流体致动器的操作参数可包括例如电流、电压和/或功率水平，在该水平下，流体致动器可被操作以执行流体位移。在一些流体模具中，连接到每个流体致动器的FET和相关联的逻辑可以被设计成流体模具的流体致动器的规格。然而，在一些情况下，包括FET和相关联的逻辑的基底可以用于多于一个的流体模具设计中，其中流体模具设计的流体致动器的操作参数可以不同。
因此，通过使用其上形成有场效应晶体管的灵活布置的基底，可以提高流体模具加工效率。在形成和加工基底以形成流体通道、腔室、流体致动器、喷嘴和/或其他部件期间，灵活场效应晶体管布置可以被设置成其中可以实施基底的流体模具的设计规格。例如，互连层可以被配置成用于FET的布置，以向各种不同类型的流体致动器输送最佳能量。这种互连层的配置可以包括连接一些连接构件以将一些FET互连以及将FET连接到流体致动器。
本文提供的示例可包括流体模具和用于产生流体模具的过程，其中当形成流体模具的流体特征和部件时，可设定场效应晶体管的配置。示例性流体模具可以包括场效应晶体管阵列，其中场效应晶体管阵列可以包括第一尺寸的场效应晶体管，并且该阵列可以进一步包括第二尺寸的场效应晶体管。如本文所使用的，场效应晶体管的尺寸可以指场效应晶体管的电气特性。例如，第一尺寸的场效应晶体管可以具有电流、电压和功率范围和极限。场效应晶体管的物理特性可以对应于这样的电流、电压和功率范围和极限。例如，场效应晶体管的电流范围和极限可以对应于场效应晶体管的栅极宽度。因此，场效应晶体管的物理特性对应于电气特性。因此，如本文所使用的，场效应晶体管的尺寸指的是场效应晶体管的物理和电气特性，其中场效应晶体管的更大物理尺寸可以对应于更高的电气极限。例如，更大的栅极宽度可以对应于更高的电流容量。
模具可以进一步包括将阵列的一些场效应晶体管互连的连接构件。如本文所使用的，连接构件可以包括跳线、导电迹线和/或其他这样的电气连接部件。例如，连接构件可以包括至少一个导电迹线。作为另一个示例，连接构件可以包括至少两条导电迹线。此外，如本文所使用的，互连的场效应晶体管可以包括具有连接的栅极、源极和漏极的场效应晶体管。因此，如本文所使用的，连接构件可以连接场效应晶体管之间的栅极、源极和/或漏极，使得场效应晶体管可以并行操作。作为特定示例，连接两个场效应晶体管的连接构件可以包括连接场效应晶体管的源极的第一导电迹线和连接场效应晶体管的栅极的第二导电迹线。在这个示例中，两个场效应晶体管的漏极可以共同连接到电压供应。此外，连接构件可以将场效应晶体管组连接到流体致动器。连接到流体致动器的场效应晶体管的布置可以被称为场效应晶体管组。在这样的示例中，场效应晶体管组可以至少部分基于场效应晶体管组可以连接到的流体致动器的操作参数包括不同布置和数量的不同尺寸的场效应晶体管。
例如，示例性流体模具的第一流体致动器可以连接到一组场效应晶体管，该组场效应晶体管具有至少一个第一尺寸的场效应晶体管。示例性流体模具的第二流体致动器可以连接到一组场效应晶体管，该组场效应晶体管具有与至少一个其他场效应晶体管互连的第二尺寸的第一场效应晶体管。在一些示例中，场效应晶体管组中至少两种不同尺寸的场效应晶体管的布置可以至少部分地基于这些组所连接的流体致动器的操作参数。
现在转向附图，并且特别是参考图1，该图提供了示例性流体模具10的框图。流体模具10包括场效应晶体管12a-c的阵列。在该示例中，第一场效应晶体管12a是第一尺寸，并且第二场效应晶体管12b和第三场效应晶体管12c是第二尺寸。此外，流体模具包括流体致动器14a-b。流体模具10的第一流体致动器12a连接到第一组场效应晶体管，在该示例中，第一组场效应晶体管包括第一场效应晶体管12a。此外，流体模具10还包括连接构件16，其将阵列的第二场效应晶体管12b和第三场效应晶体管12c互连，使得第二场效应晶体管12b和第三场效应晶体管12c形成第二组场效应晶体管12b-c。在该示例中，第二组场效应晶体管12b-c可以连接到第二流体致动器14b。如可以注意到的，连接构件16连接第二场效应晶体管12b的相应栅极（标记为“G”）和第三场效应晶体管12c的栅极，并且连接构件还连接第二场效应晶体管12b的源极（标记为“S”）和第三场效应晶体管12c的源极。因此，如本文所使用的，将至少两个场效应晶体管互连的连接构件可以包括场效应晶体管的源极、栅极和/或漏极之间的电气连接。
此外，在该示例中，第一流体致动器14a连接到仅包括第一尺寸的第一场效应晶体管12a的第一组场效应晶体管12a。第二流体致动器14b连接到第二组场效应晶体管，该第二组场效应晶体管具有与第二尺寸的第三场效应晶体管12c互连的第二尺寸的第二场效应晶体管12b。
在该示例中，第二和第三场效应晶体管12b-c的第二尺寸可以对应于第一场效应晶体管12a的第一尺寸的近似一半。因此，第二尺寸的FET的功率传输特性可以是第一尺寸的第一场效应晶体管的电气特性的近似一半。通过连接第二场效应晶体管12b和第三场效应晶体管12c，使得FET并行操作，第二组场效应晶体管12b-c可以具有近似等于第一场效应晶体管12a的电气特性的电气特性。
在图2中，在框图中提供了示例性流体模具50的一些部件。在该示例中，流体模具50包括场效应晶体管52a-f的阵列51和多个流体致动器54a-d。如图所示，阵列51包括第一尺寸的第一场效应晶体管52a、第一尺寸的第二场效应晶体管52b、第二尺寸的第三场效应晶体管52c、第二尺寸的第四场效应晶体管52d、第一尺寸的第五场效应晶体管52e和第一尺寸的第六场效应晶体管52f。此外，流体模具50包括将一些场效应晶体管52a-f互连的连接构件56a-b。此外，模具包括将相应的场效应晶体管组连接到流体致动器54a-f的连接构件56c-f。在该示例中，第一连接构件56a将第二场效应晶体管52b和第四场效应晶体管52d互连。第二连接构件56b将第三场效应晶体管52c和第五场效应晶体管52e互连。
因此，在该示例中，第一场效应晶体管52a对应于经由第三连接构件56c连接到第一流体致动器54a的第一相应的场效应晶体管组。第二场效应晶体管52b和第四场效应晶体管52d经由第一连接构件56a连接，并且形成第二相应的场效应晶体管组。第二场效应晶体管组经由第四连接构件56d连接到第二流体致动器54b。如图所示，第二场效应晶体管组包括与至少一个其他场效应晶体管（即，第二场效应晶体管52b）互连的至少一个第二尺寸的场效应晶体管（即，第四场效应晶体管52d）。在这个示例中，第二组的场效应晶体管52b、52d是不同尺寸的场效应晶体管。
第六场效应晶体管52f对应于第三场效应晶体管组，并且第三组经由第五连接构件56e连接到第三流体致动器54c。第三场效应晶体管56c和第五场效应晶体管52e经由第二连接构件56b连接，并且形成第四相应的场效应晶体管组。第四相应的场效应晶体管组经由第六连接构件56f连接到第四流体致动器54d。
如在该示例中可以注意到的，第五连接构件56e和第六连接构件56f可以重叠并且由绝缘材料分开，使得场效应晶体管的布置可以被设置成对应于流体致动器布局。在该示例中，第一流体致动器54a和第三流体致动器54c可以对应于第一类型的流体致动器，并且第二流体致动器54b和第四流体致动器54d对应于第二类型的流体致动器。在该示例中，第一类型的流体致动器对应于第一流体致动器尺寸，并且第二类型的流体致动器对应于第二流体致动器尺寸。第二流体致动器尺寸可以大于第一流体致动器尺寸。因此，第二尺寸的流体致动器（例如，第二流体致动器54b和第四流体致动器54d）连接到具有至少两个互连的场效应晶体管的场效应晶体管组。此外，第一尺寸的流体致动器可对应于第一液滴尺寸（具有第一液滴体积和第一液滴质量），并且第二尺寸的流体致动器可对应于第二液滴尺寸（具有第二液滴体积和第二液滴质量）。在该示例中，第二液滴尺寸可以大于第一液滴尺寸——即，第二液滴体积和/或第二液滴质量可以大于第一液滴体积和/或第一液滴质量。而图2的示例图示了流体致动器尺寸作为致动器类型之间的差异，其他示例可以包括其他差异。例如，类似尺寸的流体致动器的不同实施方式（例如，流体泵和流体喷射器）可以对应于场效应晶体管的不同布置。
由于流体致动器尺寸的差异，流体致动器可具有不同的操作参数。如该示例所示，场效应晶体管的布置可以是灵活的，并且有助于至少部分基于场效应晶体管所连接到的流体致动器的操作参数来设计和连接场效应晶体管。因此，连接到每个流体致动器54a-d的场效应晶体管52a-f的数量和尺寸可以至少部分基于流体致动器类型。在该示例中，第二流体致动器52b和第四流体致动器54d的流体致动器尺寸可以大于第一流体致动器54a和第三流体致动器54c的流体致动器尺寸。因此，第二流体致动器54b和第四流体致动器54d可以连接到具有至少两个互连场效应晶体管的场效应晶体管组。如本文所使用的，流体致动器尺寸可以对应于流体致动器的表面积。例如，在基于热敏电阻器的流体致动器中，流体致动器尺寸可以对应于热敏电阻器表面积。在基于压电膜的流体致动器中，流体致动器尺寸可以对应于柔性膜的表面积。
值得注意的是，在这个示例中，第二尺寸的两个场效应晶体管（即，第三场效应晶体管52c和第四场效应晶体管52d）可以对应于第一尺寸的单个场效应晶体管（即，第一场效应晶体管52a、第二场效应晶体管52b、第五场效应晶体管52e和第六场效应晶体管52f）。因此，在这个示例中，第二尺寸的场效应晶体管可以具有如第一尺寸的场效应晶体管的近似一半的功率传输特性（即，操作电流、电压和/或功率）。因为第二尺寸的两个场效应晶体管可以对应于第一尺寸的单个场效应晶体管，所以在这个示例中，第二尺寸的场效应晶体管可以被称为“半场效应晶体管”。此外，通过将相应组中的第一尺寸的场效应晶体管与第二尺寸的场效应晶体管连接使得场效应晶体管并行操作，由此形成的相应的场效应晶体管组的操作参数与第一尺寸的场效应晶体管和第二尺寸的场效应晶体管的操作参数相比可以更大（例如，更高的操作电流、电压和/或功率）。
此外，由于第二尺寸的场效应晶体管的物理特性，可以注意到，两个第二尺寸的场效应晶体管被布置成对应于一个第一尺寸的场效应晶体管，其中场效应晶体管的阵列被布置成一列，使得第二尺寸的两个场效应晶体管被设置在第一尺寸的场效应晶体管之间。另外，在一些示例中，场效应晶体管的数量可以大于流体致动器的数量。此外，场效应晶体管的数量可以不是流体致动器数量的整数倍。为了举例说明，图2的流体模具图示了6个场效应晶体管和4个流体致动器。
此外，虽然在该示例中没有明确示出，但是可以理解，被描述为互连的场效应晶体管可以具有连接在一起的栅极和源极，并且互连的场效应晶体管的漏极可以连接到公共电压供应。因此，互连的场效应晶体管可以并行操作。因此，尽管图2的连接构件56a-b（以及下面描述的其他框图）仅图示了连接FET的单个元件，但是这些单个元件连接仅仅是为了说明的目的。因此，对应于这样的示例图的实施方式可以包括多组导线、跳线、导电迹线等，其有助于将栅极、源极和/或漏极连接在一起，使得互连的场效应晶体管并行操作。
图3提供了示例流体模具100的一些部件的逻辑图。在该示例中，流体模具100包括场效应晶体管102a-f的阵列，并且模具100包括流体致动器104a-d。如图所示，第一尺寸的第一场效应晶体管102a连接到第一流体致动器104a，使得第一流体致动器104a连接到包括第一场效应晶体管102a的相应的场效应晶体管组。第一连接构件106a将第一尺寸的第二场效应晶体管102b和第二尺寸的第三场效应晶体管102c互连，使得第二流体致动器104b连接到包括第二场效应晶体管102b和第三场效应晶体管102c的相应的场效应晶体管组。
第二连接构件106b将第二尺寸的第四场效应晶体管102d和第一尺寸的第五场效应晶体管102e互连，使得第三流体致动器104c连接到包括第四场效应晶体管102d和第五场效应晶体管102e的相应的场效应晶体管组。第六场效应晶体管102f连接到第四流体致动器104d，使得第四流体致动器104d连接到包括第六场效应晶体管102f的相应的场效应晶体管组。
在该示例中，每个场效应晶体管102a-f的漏极可以联接到公共电压源（标记为“VPP”），并且每个FET 102a-h的源极通过流体致动器104a-d接地（标记为“GND”）。第一连接构件106a连接第二场效应晶体管102b的栅极和第三场效应晶体管102c的栅极，并且第一连接构件106a连接第二场效应晶体管102b的源极和第三场效应晶体管102c的源极。类似地，第二连接构件106b连接第四场效应晶体管102d的栅极和第五场效应晶体管102e的栅极，并且第二连接构件106b连接第四场效应晶体管102d的源极和第五场效应晶体管102e的源极。栅极驱动逻辑108a-f联接到每个场效应晶体管102a-f的栅极。值得注意的是，相应的栅极驱动逻辑108a-d联接到每个相应的场效应晶体管组的每个场效应晶体管102a-f的栅极。例如，第一栅极驱动逻辑108a连接到第一场效应晶体管102a的栅极，并且寻址第一栅极驱动逻辑108a使能第一场效应晶体管102a的栅极。响应于使能第一场效应晶体管102a的栅极，第一流体致动器104a致动。作为另一个示例，第二栅极驱动逻辑108b连接到第二场效应晶体管102b的栅极，并且第二栅极驱动逻辑108b连接到第三场效应晶体管102c的栅极。因此，寻址第二栅极驱动逻辑108b使能第二场效应晶体管102b和第三场效应晶体管102c的栅极，这进而致动第二流体致动器104b。
因此，在该示例中，第一流体致动器104a和第四流体致动器104d可以对应于第一类型的流体致动器，并且第二流体致动器104b和第三流体致动器104c可以对应于第二类型的流体致动器。在一些示例中，流体致动器的类型可以对应于流体致动器尺寸、致动类型（例如，热敏电阻器致动、压电膜致动等）和/或实施方式（例如，流体泵、流体喷射器）。第一类型的流体致动器（即，第一流体致动器104a和第四流体致动器104d）可以由单个场效应晶体管驱动。第二类型的流体致动器（即，第二流体致动器104b和第三流体致动器104c）可以由至少两个互连的场效应晶体管驱动。在该特定示例中，第二类型的流体致动器可以由与第二尺寸的场效应晶体管互连的第一尺寸的场效应晶体管驱动，使得互连的场效应晶体管并行操作。
现在转到图4，该图提供了图示示例性流体模具150的一些部件的框图。在该示例中，流体模具150包括场效应晶体管152a-d的阵列，其包括第一场效应晶体管152a、第二场效应晶体管152b、第三场效应晶体管152c和第四场效应晶体管152d。第三场效应晶体管152c和第四场效应晶体管152d可以是第一尺寸，并且第一场效应晶体管152a和第二场效应晶体管可以是第二尺寸。
模具150还包括流体致动器154a-b。在该示例中，每个流体致动器154a-b设置在相应的流体腔室156a-b中。此外，每个相应的流体腔室156a-b流体联接到相应的喷嘴158a-b，并且每个相应的流体腔室156a-b流体联接到相应的微流体通道160a-b，流体可以通过该微流体通道流到相应的流体腔室156a-b。在该示例中，每个微流体通道160a-b包括相应的流体供应通路162a-b，其可以流体联接到流体供应通道、流体供应槽或其他更大体积的流体贮存器。在一些示例中，流体腔室156a-b的微流体通道160a-b可以连接到公共流体供应槽。
示例连接构件164将第一场效应晶体管152a和第三场效应晶体管152c互连。第一流体致动器154a连接到包括第一场效应晶体管152a和第三场效应晶体管152c的第一相应的场效应晶体管组。第二流体致动器154b连接到包括第四场效应晶体管152d的第二相应的场效应晶体管组，并连接到第二流体致动器154b。因此，第四场效应晶体管152d。
如图所示，第一流体致动器154a设置在第一流体腔室156a中，其中第一流体腔室156a流体联接到第一喷嘴158a，并且第一流体腔室156a具有第一腔室体积。第二流体致动器154b设置在第二流体腔室156b中，其中第二流体腔室156b流体联接到第二喷嘴158b，并且第二流体腔室156b可以具有第二腔室体积。在一些示例中，可以在其中设置流体致动器的相应流体腔室的腔室体积可以不同。在图4提供的示例中，第一腔室体积可以大于第二腔室体积。
此外，第一喷嘴158a可具有第一喷嘴孔尺寸和/或几何形状，并且第二喷嘴158b可具有第二喷嘴孔尺寸和/或几何形状。在一些示例中，流体模具的相应喷嘴的喷嘴孔尺寸可以不同。在该示例中，第一喷嘴孔尺寸可以大于第二喷嘴孔尺寸。另外，在一些示例中，流体模具的相应流体致动器的流体致动器尺寸可以不同。对于图4中提供的示例模具150，可以注意到，第一流体致动器154a的流体致动器尺寸可以大于第二流体致动器154b的流体致动器尺寸。因此，第一流体致动器154a可以是第一类型的流体致动器，并且第二流体致动器154b可以是第二类型的流体致动器。在该示例中，流体致动器类型之间的区别可以对应于流体致动器尺寸。作为进一步的说明，流体致动器类型之间的区别可以对应于相应的流体致动器可以响应于流体致动器的致动而引起的液滴尺寸。
因此，示例模具150包括第一流体致动器154a、第一流体腔室156a和第一喷嘴158a，它们可统称为第一液滴发生器。模具150还包括第二流体致动器154b、第二流体腔室156b和第二喷嘴158b，它们可统称为第二液滴发生器。在该示例中，第一液滴发生器可对应于第一液滴尺寸，并且第二液滴发生器可对应于第二液滴尺寸，其中两个液滴尺寸不同。
特别地，第一喷嘴158a可以具有非圆形喷嘴孔，该喷嘴孔被设计成便于喷射大的液滴尺寸（例如，近似5 pL到近似10 pL的液滴体积，近似5 ng到近似10 ng的液滴质量）。因此，第一流体腔室156a的第一腔室体积可被构造成有助于喷射大的液滴尺寸。进而，第一流体致动器154a可具有流体致动器尺寸和操作参数，其也对应于如此大尺寸的液滴的喷射。第二喷嘴158b可以具有圆形喷嘴孔，该圆形喷嘴孔被设计成有助于喷射较小的液滴尺寸（例如，近似3 pL到近似5 pL的液滴体积，近似3 ng到近似5 ng的液滴质量）。进而，第二流体致动器154b可以具有流体致动器尺寸和操作参数，其也对应于这种较小尺寸的液滴的喷射。因此，第一流体致动器154a的操作参数可以对应于第一组场效应晶体管（即，与第三场效应晶体管152c互连的第一场效应晶体管152a）。第二流体致动器154b的操作参数可以对应于第二组场效应晶体管（即，第四场效应晶体管152d）。
图5提供了图示示例性流体模具200的一些部件的框图。流体模具200包括场效应晶体管202a-c的阵列，包括第一尺寸的第一场效应晶体管202a、第一尺寸的第二场效应晶体管202b和第二尺寸的第三场效应晶体管202c。模具200还包括流体致动器204a-b。在该示例中，第一致动器204a设置在微流体通道206a-b中。微流体通道206a-b流体联接到流体腔室207，使得微流体通道206a-b的第一部分206a流体联接到流体腔室207的第一侧，并且微流体通道206a-b的第二部分206b流体联接到流体腔室207的第二侧。流体腔室207流体联接到相应的喷嘴208。第二流体致动器204b靠近喷嘴208设置在流体腔室207中，使得第二流体致动器204b的致动可导致经由喷嘴208喷射液滴。因此，第二流体致动器204b可以被称为流体喷射器。
微流体通道206a-b在微流体通道206a-b的第一端处流体联接到流体供应通路210a，并且微流体通道206a-b在微流体通道206a-b的第二端处流体联接到流体收集通路210b。流体供应通路210a可以通过微流体通道206a-b的第一部分206a向流体腔室207供应新鲜流体。因此，微流体通道206a-b的第一部分206a可以称为上游部分。第一流体致动器204a的致动可导致微流体通道206a-b中的流体位移，使得流体从微流体通道206a-b的第一部分206a流入流体腔室207中。由于流体从微流体通道206a-b的第一部分206a泵入流体腔室207中，腔室207中的流体可以流入微流体通道206b的第二部分206b中，并流出流体收集通路210b。在一些示例中，流体供应通路210a和流体收集通路210b可以联接到公共流体供应。在其他示例中，流体供应通路210a和流体收集通路可以联接到流体分离的流体供应。
因此，在该示例中，第一流体致动器204a可以被实施为流体泵。第一流体致动器204a的致动可以产生流体位移和流动，以由此有助于流体从流体供应通路210a通过流体腔室207到流体收集通路210b的循环。这种流体循环形式的一些示例可以称为微循环。由于第一流体致动器204a和第二流体致动器204b可以实施成执行不同的操作，所以第一流体致动器204a的流体致动器尺寸和第二流体致动器206a的流体致动器尺寸可以不同。因此，第一流体致动器204a和第二流体致动器204b可以连接到不同数量和布置的场效应晶体管202a-c。因为第一流体致动器204a被实施为流体泵，所以第一流体致动器204a可以对应于第一类型的流体致动器。类似地，因为第二流体致动器204b被实施为流体喷射器，所以第二流体致动器可以对应于第二类型的流体致动器。
在该示例中，第一流体致动器连接到包括第一场效应晶体管202a的第一组场效应晶体管。由于第一场效应晶体管202a没有经由连接构件连接到其他场效应晶体管，所以第一流体致动器具有对应于第一尺寸的第一流体致动器202a的操作参数。第二流体致动器204b具有大于第一流体致动器204b的操作参数（例如，用于正确操作的更大的电压和电流阈值）。因此，如该示例所示，第二场效应晶体管202c和第三场效应晶体管202c可以经由连接构件212互连，以形成连接到第二流体致动器204b的第二组场效应晶体管202b-c。因此，在该示例中，第二流体致动器连接到第二组场效应晶体管，该第二组场效应晶体管包括连接到至少一个其他场效应晶体管（即，第二场效应晶体管202b）的至少一个第二尺寸的场效应晶体管（即，第三场效应晶体管202c）。因此，如该示例所示，在FET阵列中利用不同尺寸的场效应晶体管可以有助于灵活的流体致动器布局，其中不同尺寸的FET可以互连以对应于不同的流体致动器操作参数。
图6提供了示例性流体模具250的一些部件的逻辑图。在该示例中，流体模具250包括场效应晶体管252a-d的阵列，并且模具250包括流体致动器254a-c。场效应晶体管的阵列包括第一尺寸的场效应晶体管和第二尺寸的场效应晶体管。特别地，该阵列包括第一尺寸的第一场效应晶体管252a、第二尺寸的第二场效应晶体管252b、第二尺寸的第三场效应晶体管252c和第一尺寸的第四场效应晶体管252d。
如图所示，连接构件256将第二场效应晶体管252a和第三场效应晶体管252c互连，使得第二场效应晶体管252b和第三场效应晶体管252c并行操作。特别地，如图所示，第二场效应晶体管252b的漏极和第三场效应晶体管252c的漏极共同连接到电压源（标记为“VPP”）。连接构件256连接第二场效应晶体管252b的栅极和第三场效应晶体管252c的栅极，并且连接构件256连接第二场效应晶体管252b的漏极和第三场效应晶体管252c的漏极。
第一流体致动器252a连接到包括第一场效应晶体管252a的第一相应的场效应晶体管组。第二流体致动器254b连接到包括第二场效应晶体管252b和第三场效应晶体管252c的第二的相应的场效应晶体管组。第三流体致动器254c连接到包括第四场效应晶体管252d的第三相应的场效应晶体管组。
在该示例中，每个场效应晶体管252a-d的漏极可以联接到电压源（标记为“VPP”），并且每个场效应晶体管252a-d的源极可以通过相应的流体致动器254a-c接地（标记为“GND”）。相应的栅极驱动逻辑258a-c联接到每个场效应晶体管252a-d的栅极。值得注意的是，相应的栅极驱动逻辑258a-c联接到每个相应的场效应晶体管组的每个场效应晶体管252a-d的栅极。例如，第一栅极驱动逻辑258a连接到第一场效应晶体管252a的栅极。因此，寻址第一栅极驱动逻辑258a使能第一场效应晶体管252a的栅极，这进而致动第一流体致动器254a。作为另一个示例，第二场效应晶体管252b的栅极和第三场效应晶体管252c的栅极连接到第二栅极驱动逻辑258b。如上文所讨论的，第二场效应晶体管252b和第三场效应晶体管252c并行操作。寻址第二栅极驱动逻辑258b使能第二场效应晶体管252b和第三场效应晶体管252c的栅极，使得第二流体致动器254b被致动。
在该示例中，第一尺寸的场效应晶体管可以比第二尺寸的场效应晶体管更大（并且因此具有更大的操作阈值和极限）。第二尺寸的场效应晶体管252b、252c中的两个可以对应于第一尺寸的单个场效应晶体管252a、252d。因此，将第二和第三场效应晶体管254a-c互连可以导致类似于第一尺寸场效应晶体管的电气特性的电气特性。
图7提供了示例性流体模具300的一些部件的逻辑图。在该示例中，流体模具300包括场效应晶体管302a-d的阵列，并且模具300包括流体致动器304a-b。场效应晶体管的阵列包括第一尺寸的场效应晶体管和第二尺寸的场效应晶体管。特别地，该阵列包括第一尺寸的第一场效应晶体管302a、第二尺寸的第二场效应晶体管302b和第二尺寸的第三场效应晶体管302c。
如图所示，连接构件306将第一场效应晶体管302a和第二场效应晶体管302b互连，使得第一场效应晶体管302a和第二场效应晶体管302b并行操作。连接构件306连接第一场效应晶体管302a的栅极和第二场效应晶体管302b的栅极，并且连接构件306连接第一场效应晶体管302a的源极和第二场效应晶体管302b的源极。第一场效应晶体管302a的漏极和第二场效应晶体管302b的漏极可以连接到电压供应。
第一流体致动器304a连接到包括第一场效应晶体管302a和第二场效应晶体管302b的第一相应的场效应晶体管组。第二流体致动器304b连接到包括第三场效应晶体管302c的第二相应的场效应晶体管组。
在该示例中，每个场效应晶体管302a-c的漏极可以联接到公共电压源（标记为“VPP”），并且每个场效应晶体管302a-c的源极可以通过相应的流体致动器302a-b接地（标记为“GND”）。相应的栅极驱动逻辑308a-b联接到每个相应的场效应晶体管302a-c的栅极。例如，第一栅极驱动逻辑308a连接到第一场效应晶体管302a的栅极和第二场效应晶体管302b的栅极。因此，寻址第一栅极驱动逻辑308a使能第一场效应晶体管302a的栅极和第二场效应晶体管302b的栅极，这进而致动第一流体致动器304a。作为另一个示例，第三场效应晶体管302c的栅极连接到第二栅极驱动逻辑308b。寻址第二栅极驱动逻辑308b使能第三场效应晶体管302c的栅极，使得第二流体致动器304b被致动。
在该示例中，第一尺寸的场效应晶体管可以比第二尺寸的场效应晶体管更大（并且因此具有更大的操作阈值和极限）。如图所示，通过将第一和第二场效应晶体管302a-b并联互连，与第一流体致动器304a相关联的电气操作极限可以大于与第二流体致动器304b相关联的电气操作极限。
图8提供了图示示例性流体模具400的一些部件的框图。如图所示，流体模具400包括场效应晶体管402的阵列。如图所示，阵列402包括布置在相应组406a-e中的场效应晶体管404a-m。特别地，不同数量的场效应晶体管可以经由连接构件408连接以形成相应的组406a-e。场效应晶体管404a-m的每组406a-e连接到相应的流体致动器410a-e。
在该示例中，第一组406a可以包括经由连接构件408互连的第一尺寸的第一场效应晶体管404a和第一尺寸的第二场效应晶体管404b。如图所示，第一组406a连接到第一流体致动器410a。第二组406b可以包括第一尺寸的第三场效应晶体管404c和不同于第一尺寸的第二尺寸的第四场效应晶体管404d。第三场效应晶体管404c和第四场效应晶体管404d经由连接构件408互连。第二组406b连接到第二流体致动器410b。第三组406c包括第二尺寸的第五场效应晶体管404e和第一尺寸的第六场效应晶体管404f，它们经由连接构件408互连。第三组406c连接到第三流体致动器410c。第四组406d可以包括第一尺寸的第七场效应晶体管404g和第一尺寸的第八场效应晶体管404h，它们经由连接构件408互连。第四组406d连接到第四流体致动器410d。
因此，在图8的示例中，流体模具包括第一相应的场效应晶体组管，其包括与至少一个其他场效应晶体管互连的第一尺寸的第一场效应晶体管。模具还包括第二相应的场效应晶体管组，其包括与至少一个第一尺寸的其他场效应晶体管互连的第二尺寸的第一场效应晶体管。虽然该示例示出了多个场效应晶体管和流体致动器，但是其他示例可以包括更多或更少的FET和流体致动器。在一些示例中，流体模具可以包括至少1200个流体致动器和更大数量的场效应晶体管。
图9提供了图示示例性流体模具450的一些部件的框图。如图所示，流体模具450包括场效应晶体管452a-b的阵列，其中阵列452a-b包括对于每个阵列452a-b布置成一列的不同尺寸的场效应晶体管454a-j。模具450还包括多个流体致动器456a-f。不同尺寸的不同数量的场效应晶体管454a-j可以经由连接构件458互连。
在该示例中，第一阵列452a可以包括第一尺寸的第一场效应晶体管454a、第二尺寸的第二场效应晶体管454b、第二尺寸的第三场效应晶体管454c、第一尺寸的第四场效应晶体管454d和第一尺寸的第五场效应晶体管454e。第二阵列452b可以包括第一尺寸的第六场效应晶体管454f、第二尺寸的第七场效应晶体管454g、第二尺寸的第八场效应晶体管454h、第一尺寸的第九场效应晶体管454i和第一尺寸的第十场效应晶体管454j。
流体致动器456a-f可以经由连接构件458连接到场效应晶体管组。第一流体致动器456a可以连接到第一组场效应晶体管，包括经由连接构件458互连的第一场效应晶体管454a和第二场效应晶体管454b。如图所示，第一场效应晶体管454a可以是第一尺寸，并且第二场效应晶体管454b可以是第二尺寸。第二流体致动器456b可以连接到包括第五场效应晶体管454e的第二组场效应晶体管。第三流体致动器456c可以连接到第三组场效应晶体管，包括第三场效应晶体管454c（第二尺寸）和第四场效应晶体管454d（第一尺寸），它们经由连接构件458互连。第四流体致动器456d连接到包括第六场效应晶体管454f的第四组场效应晶体管。第五流体致动器456e连接到包括第九场效应晶体管454i的第五组场效应晶体管。第六流体致动器456f连接到包括第十场效应晶体管454j的第六组场效应晶体管。
流体模具450的每个相应的流体致动器456a-f可以设置在相应的流体腔室462a-f中。每个相应的流体腔室462a-f可以流体联接到相应的喷嘴464a-f。流体致动器456a-f、流体腔室462a-f和喷嘴464a-f的柱状布置可被称为喷嘴列。因此，该示例性流体模具450包括至少两个喷嘴列。其他示例可包括更多喷嘴列。类似地，示例性流体模具450可以包括用于每个相应喷嘴列的相应的场效应晶体管阵列452a-b。因此，虽然该示例包括两个阵列452a-b，但是其他示例可以包括更多。
类似于本文提供的其他示例，流体模具450的场效应晶体管454a-j可以配置有连接构件458，以实施不同尺寸的场效应晶体管454a-p的不同布置，从而对应于不同的流体致动器布置。此外，场效应晶体管452a-b的阵列有助于至少部分基于场效应晶体管454a-j分别连接到的流体致动器456a-f的操作参数来布置场效应晶体管454a-j并将场效应晶体管454a-j互连。
在该示例中，第一流体致动器456a设置在流体联接到第一喷嘴464a的第一流体腔室462a中。如图所示，第一喷嘴464a可以对应于非圆形喷嘴孔形状，该非圆形喷嘴孔形状可以具有第一喷嘴孔尺寸，该第一喷嘴孔尺寸可以有助于喷射第一液滴尺寸的液滴。因此，第一流体腔室462a可以具有对应于第一液滴尺寸的液滴喷射的第一腔室体积。进而，第一流体致动器456a可以是第一类型的流体致动器，其中第一类型的流体致动器可以被配置成引起对应于第一腔室体积和/或第一液滴尺寸的一定量的流体的位移。因此，在该示例中，第一流体致动器456a连接到第一组场效应晶体管454a-b，第一组场效应晶体管454a-b包括至少两个互连的场效应晶体管，在该示例中，这两个场效应晶体管也具有不同的尺寸。第一组454a-b的互连场效应晶体管的电气特性可以对应于第一流体致动器456a的操作参数。
相比而言，第二流体致动器456b设置在流体联接到第二喷嘴464b的第二流体腔室462b中。如图所示，第二喷嘴464b可以对应于圆形喷嘴孔形状，该圆形喷嘴孔形状可以具有第二喷嘴孔尺寸，该第二喷嘴孔尺寸可以有助于喷射第二液滴尺寸的液滴，其中第二液滴尺寸可以小于第一液滴尺寸。因此，第一喷嘴孔尺寸可以大于第二喷嘴孔尺寸。第二流体腔室462b可以具有对应于第二液滴尺寸的喷射的第二腔室体积，使得第二腔室体积可以小于第一腔室体积。进而，第二流体致动器460b可以对应于第二类型的流体致动器，其中第二类型的流体致动器可以被配置成引起对应于第二腔室体积和/或第二液滴尺寸的流体量的位移。因此，在该示例中，第二流体致动器456b连接到包括单个场效应晶体管454e的第二组场效应晶体管。第二组的单个场效应晶体管的电气特性对应于第二流体致动器456b的操作参数。
作为另一个示例，第五流体致动器456e设置在流体联接到第五喷嘴464e的第五流体腔室462e中。如图所示，第五喷嘴464e可以对应于圆形喷嘴孔形状，该圆形喷嘴孔形状可以具有第三喷嘴孔尺寸，该第三喷嘴孔尺寸可以有助于喷射第三液滴尺寸的液滴。第三液滴尺寸可以小于第一液滴尺寸，并且第三液滴尺寸可以大于第二液滴尺寸。因此，第一喷嘴孔尺寸可以大于第三喷嘴孔尺寸，并且第二喷嘴孔尺寸可以小于第三喷嘴孔尺寸。第五流体腔室462e可以具有对应于第三液滴尺寸的液滴喷射的第三腔室体积。因此，第三腔室体积可以小于第一腔室体积，并且第三腔室体积可以大于第二腔室体积。进而，第五流体致动器456e可以对应于第三类型的流体致动器，其中第三类型的流体致动器可以被配置成引起对应于第三腔室体积和/或第三液滴尺寸的一定量的流体的位移。因此，在该示例中，第五流体致动器445e连接到包括第一尺寸的单个场效应晶体管454i的第五组场效应晶体管。第一尺寸的单个场效应晶体管454i的电气特性可以对应于第五流体致动器456e的操作参数。虽然图12的示例图示了第一喷嘴列中的第一类型的流体致动器和第二类型的流体致动器以及第二喷嘴列中的第三类型流体致动器，但是其他示例可以实施不同的布置。例如，可以在单个喷嘴列中实施至少三种不同的流体致动器类型。作为另一个示例，在每个喷嘴列中可以仅实施单个流体致动器类型，而示例性流体模具可以包括至少两种流体致动器类型。在其他示例中，第三类型的流体致动器可以对应于设置在微流体通道中的流体泵。
此外，在该示例中，可以注意到，第七和第八场效应晶体管454g-h可以不连接到流体致动器。如前所述，本文提供的示例对应于可以根据流体致动器类型和布置来设置的场效应晶体管的布置。在该示例中，未连接的第七和第八场效应晶体管454g-h通过示例的方式图示了本文提供的FET阵列可以适应具有不同类型的流体致动器的各种流体致动器布局。在一些示例中，未连接到流体致动器的场效应晶体管可以通过连接构件连接到参考节点（例如，接地），从而减少故障情况。
如本文所述，设置在相应流体腔室中的相应流体致动器的组合可被称为液滴发生器，其中相应腔室流体联接到相应喷嘴。液滴发生器部件的各种尺寸和操作参数可以对应于由液滴发生器生成的液滴尺寸。虽然图9的示例图示了不同的喷嘴孔尺寸、不同的流体腔室体积和不同的流体致动器尺寸，但是可以注意到，任何一个这样的特性的尺寸和操作参数的差异可以对应于液滴尺寸的差异。例如，具有不同喷嘴孔尺寸的两个液滴发生器可以生成两种不同尺寸的液滴。在一些示例中，喷嘴孔尺寸、流体腔室体积、流体致动器尺寸或其一些组合可以在液滴发生器之间变化，以由此有助于生成不同的液滴尺寸。此外，尽管图9的示例图示了对应于至少三种不同液滴尺寸的液滴发生器，但是其他示例可以包括对应于更多或更少不同液滴尺寸的液滴发生器。
参考图500，该图提供了示例性流体模具500的框图。流体模具500包括场效应晶体管502a-c的阵列。在该示例中，第一场效应晶体管502a是第一尺寸，并且第二场效应晶体管502b是第二尺寸，并且第三场效应晶体管502c是第三尺寸。此外，流体模具500包括流体致动器504a-b。流体模具500的第一流体致动器504a连接到第一组场效应晶体管，在该示例中，第一组场效应晶体管包括经由连接构件506与第二场效应晶体管502b互连的第一场效应晶体管502a。第二流体致动器504b连接到包括第三场效应晶体管502c的第二组场效应晶体管。在该示例中，第二场效应晶体管502b和第三场效应晶体管502c可以近似对应于第一场效应晶体管502a。
此外，第三场效应晶体管502c的第三尺寸可以大于第二场效应晶体管502b的第二尺寸。特别地，第二场效应晶体管502b的第二尺寸可以对应于第一场效应晶体管502a的第一尺寸的近似三分之一，并且第三场效应晶体管502c的第三尺寸可以对应于第一场效应晶体管502a的第一尺寸的近似三分之二。通过将第一场效应晶体管502a和第二场效应晶体管502b互连以并行操作，第一组场效应晶体管可以具有是独立操作的第一场效应晶体管502a的电气特性的近似1.3倍（
Figure DEST_PATH_IMAGE001
倍）的电气特性。类似地，第三场效应晶体管502c可以具有第一场效应晶体管502a的近似三分之二的电气特性。类似地，第三场效应晶体管502c可以具有第一场效应晶体管502a的近似三分之二的电气特性。
图11提供了图示示例性流体模具550的一些部件的框图。如图所示，流体模具450包括场效应晶体管552a-l的阵列，其中阵列552a-l包括以柱状对准布置的不同尺寸的场效应晶体管。特别地，该阵列包括：第一尺寸的第一场效应晶体管552a；第一尺寸的第二场效应晶体管552b；第二尺寸的第三场效应晶体管552c；第二尺寸的第四场效应晶体管552d；第一尺寸的第五场效应晶体管552e；第一尺寸的第六场效应晶体管552f；第一尺寸的第七场效应晶体管552g；第一尺寸的第八场效应晶体管552h；第二尺寸的第九场效应晶体管552i；第二尺寸的第十场效应晶体管552j；第一尺寸的第11场效应晶体管552k；和第一尺寸的第12场效应晶体管552l。
在该示例中，流体模具550包括流体致动器552a-h的基元553。在该示例中，基元553包括八个流体致动器554a-h。如图所示，场效应晶体管552a-l的阵列可以包括布置成10行一列的12个场效应晶体管。虽然该示例图示了八个流体致动器基元，但是其他示例可以在基元中包括更多或更少的流体致动器。此外，虽然该示例图示了12个场效应晶体管，但是其他示例可以包括以更多或更少的列和行布置的更多或更少的场效应晶体管。此外，为了说明的目的，本文提供的示例示出了流体致动器的单个基元。示例性流体模具可以包括以数百个基元布置的数千个流体致动器。因此，这样的示例可以进一步包括如本文所述布置的数千个场效应晶体管。
如该示例中所示，流体模具550包括经由连接构件556互连的一些不同尺寸的场效应晶体管，使得互连的场效应晶体管并行操作。此外，基元553的流体致动器554a-h可以经由相应的连接构件556连接到场效应晶体管552a-l的组。在该示例中，基元553包括第一流体致动器554a，其连接到包括第一场效应晶体管552a的第一相应的场效应晶体管组。第二流体致动器554b连接到包括第二场效应晶体管552b和第四场效应晶体管552d的第二组场效应晶体管。如可以注意到的，第二场效应晶体管552b经由连接构件556与第四场效应晶体管552d连接，并且此外，第二场效应晶体管552b和第四场效应晶体管具有不同的尺寸。
第三流体致动器554c连接到包括第六场效应晶体管552f的第三相应的场效应晶体管组。如图所示，为了清楚起见，连接第三流体致动器554c和第六场效应晶体管552f的连接构件556以虚线提供，因为连接构件556在另一连接构件556下方布线。因此，该示例图示了通过使用允许FET连接到基元的各种流体致动器的连接构件的本文描述的场效应晶体管阵列的灵活性质。
第四流体致动器554d连接到包括第三场效应晶体管552c和第五场效应晶体管552e的第四相应的场效应晶体管组。第三场效应晶体管552c和第五场效应晶体管552e经由相应的连接构件556互连，使得这些FET可以并行操作。此外，第三和第五场效应晶体管552c、552e具有不同的尺寸。类似于连接到第三流体致动器554c的相应连接构件556，连接到第四流体致动器554d的相应连接构件556跨过另一连接构件556。因此，如图所示，阵列中场效应晶体管的布置可能不对应于基元中流体致动器的布置。
第五流体致动器554e连接到包括第七场效应晶体管552g的第五相应的场效应晶体管组。第六流体致动器554f连接到包括第八场效应晶体管552h和第十场效应晶体管552j的第六相应的场效应晶体管组。如图所示，第八和第十场效应晶体管552h、552j经由相应的连接构件556连接。第七流体致动器554g连接到包括第12场效应晶体管的第七相应的场效应晶体管组。第八流体致动器554h连接到包括第九和第11场效应晶体管552i、552l的第八相应的场效应晶体管组。第九和第十一场效应晶体管552i、552k经由相应的连接构件556连接。
在该示例中，连接到第一尺寸的场效应晶体管的流体致动器可以对应于第一液滴尺寸和/或第一致动体积。连接到场效应晶体管组的流体致动器可以对应于第二液滴尺寸和/或第二致动体积，所述场效应晶体管组包括并行操作的第一尺寸的场效应晶体管和第二尺寸的场效应晶体管。在该示例中，第一液滴尺寸和/或第一致动体积可以小于第二液滴尺寸和/或第二致动体积。如本文所使用的，致动体积可以指靠近流体致动器的流体体积，该流体体积可以响应于流体致动器的致动而移动。例如，如果流体致动器被实施为流体喷射器，则致动体积可以对应于液滴尺寸。如果流体致动器被实施为流体泵，则致动体积可以对应于响应于流体致动器的致动而移位的靠近流体致动器的流体体积。如前所述，液滴尺寸可以以体积和/或液滴质量来描述。
现在转到图12，该图提供了流程图，其图示了用于流体模具的示例性过程650的示例性操作序列。在该示例中，流体致动器可以形成在包括至少两种不同尺寸的多个场效应晶体管的基底上，并且基底还包括断开的连接构件（框652）。可以连接至少一些连接构件，以由此将基底的一些场效应晶体管互连，并将流体致动器连接到相应的场效应晶体管组（框654）。如本文所使用的，将断开的FET和/或将FET组连接到流体致动器可以包括在基底上形成一个或多个导电连接，以由此完成各种部件之间的电气连接。这种连接可以在形成流体模具的其他特征（诸如，形成流体腔室、流体致动器等）之前、同时和/或之后通过各种微制造工艺（包括图案化界面层）来执行。
图13提供了流程图，其图示了用于流体模具的示例过程700的示例操作序列。如上关于图12的示例过程650所述，该过程可以形成流体致动器（框652），并连接一些连接构件以将一些场效应晶体管互连，并将相应的场效应晶体管组连接到流体致动器（框654）。此外，在一些示例过程中，可以为流体模具形成流体腔室，使得流体致动器设置在流体腔室中（框702）。在一些示例中，可以形成流体腔室和喷嘴，以由此形成对应于至少两种不同液滴尺寸的液滴发生器（框704）。在一些示例过程中，可以为流体模具形成微流体通道，使得相应的一组流体致动器设置在微流体通道中（框706）。
图14A-C提供了图示流体模具的示例过程的一些操作的框图。参考图14A，基底800包括多个场效应晶体管802a-e和断开的连接构件804a-n。虽然图15A-C的示例图示了特定布置中的少量场效应晶体管802a-e和断开连接构件804a-n的一种布置，但是其他示例可以包括不同布置中的更多或更少的场效应晶体管和连接构件。
在图14A中，流体模具的基底800包括第一尺寸的第一场效应晶体管802a、第二尺寸的第二场效应晶体管802b、第二尺寸的第三场效应晶体管802c、第一尺寸的第四场效应晶体管802d和第一尺寸的第五场效应晶体管802e。此外，图14A中的基底800包括第一至第十四连接构件802a-n，它们分别用对应的字母a-n标记。连接构件804a-n与场效应晶体管802a-e断开。
在图14B中，流体致动器806a-c形成在基底800上。在图14C中，一些连接构件804a-n被连接，以由此将一些场效应晶体管802a-e互连，并将流体致动器806a-c连接到相应的场效应晶体管组802a-e。
在该示例中，第一流体致动器806a连接到包括第一场效应晶体管802a和第二场效应晶体管802b的第一组场效应晶体管。如图所示，第一和第二场效应晶体管802a-b通过在其间连接第一连接构件804a而互连。此外，第一流体致动器806a通过将第七连接构件804g连接在第一流体致动器806a和第一场效应晶体管802a之间而连接到第一组场效应晶体管。第二流体致动器806b通过将第十连接构件804j连接在第二流体致动器806b和第五场效应晶体管802e之间而连接到包括第五场效应晶体管802e的第二组场效应晶体管。第三流体致动器806c连接到包括第三和第四场效应晶体管802c、802d的第三相应的场效应晶体管组。如图所示，第三和第四场效应晶体管802c、802d通过将第五连接构件804e连接在其间而互连，使得这些场效应晶体管802c、802d并行操作。第三组场效应晶体管通过在其间连接第十二连接构件804l而连接到第三流体致动器806c。对于流体致动器的该示例性布置，其他连接构件804b-d、804f、804h-i、804k、804n可以不连接。
因此，该示例图示了流体模具，其中示出了其中具有不同尺寸场效应晶体管的场效应晶体管阵列的灵活性。如图所示，流体模具的一些连接构件可以连接在FET之间以及FET和流体致动器之间，而其他连接构件可以不连接。如图14A-C，本文提供的示例的场效应晶体管可以在基底上执行的工艺期间互连并连接到特定的流体致动器，以形成流体致动器、流体腔室和/或其他这样的部件和特征。
虽然本文提供的示例图示了场效应晶体管、电压源、地和流体致动器的特定布置和连接，但是其他示例不限于此。其他示例可以包括场效应晶体管，其中FET的漏极可以通过流体致动器连接到电压源，并且FET的源极可以连接到参考（即，地）。在这样的示例中，可以通过经由连接构件连接FET的栅极和FET的漏极来布置互连的FET，并且FET的源极可以连接到公共参考（例如，公共接地）。流体致动器可以连接在电压供应和互连FET的连接漏极之间。因此，对于该示例布置，寻址互连FET的栅极可以通过流体致动器将电压供应连接到参考，以由此导致流体致动器的致动。其他示例可以包括本文描述的其他布置或布置的组合。
因此，本文提供的示例有助于不同尺寸的场效应晶体管的灵活布置，其可以至少部分基于流体模具的设计来配置。场效应晶体管可以经由连接构件连接，以由此并行操作，使得场效应晶体管组可以至少部分地基于与这些组所连接到的流体致动器的操作参数来配置不同尺寸的不同数量的场效应晶体管。已经呈现了前面的描述是为了说明和描述所描述的原理的示例。该描述并不旨在穷举或将这些原理限制到所公开的任何精确形式。根据描述，许多修改和变型是可能的。例如，图1-11和图14A-C所示的示例性流体模具图示了有限数量的场效应晶体管、流体致动器、喷嘴、流体腔室、微流体通道、连接构件等。本文提供的描述所考虑的示例不限于此。一些示例流体模具可以在单个流体模具上包括数百或甚至数千个流体致动器。因此，这样的示例可以包括对应数量的场效应晶体管、连接构件、喷嘴、流体腔室和/或微流体通道。例如，一些流体模具可以包括至少四个喷嘴列，每个喷嘴列具有至少400个喷嘴、流体致动器和每个喷嘴列的流体腔室。在这样的示例中，流体模具可以包括至少四个场效应晶体管阵列，每个阵列包括至少800个场效应晶体管。
此外，尽管本文描述了各种示例，但是对于在此预期的各种示例，可以组合和/或移除元件和/或元件的组合。例如，本文在图12和13的流程图中提供的操作可以顺序地、同时地或以不同的顺序执行。此外，流程图的一些示例操作可以添加到其他流程图，和/或一些示例操作可以从流程图中移除。另外，在图1-11和14A-C的示例中图示的部件可以以任何数量添加到任何其它图中和/或从任何其它图中移除。因此，在附图中提供的和本文描述的前述示例不应被解释为限制本公开的范围，本公开的范围在权利要求中限定。

Claims (15)

1.一种流体模具，包括：
场效应晶体管阵列，其包括第一尺寸的场效应晶体管，并且还包括第二尺寸的场效应晶体管；
至少一个连接构件，其将所述场效应晶体管阵列的至少一些场效应晶体管互连；
第一流体致动器，其连接到具有至少一个第一尺寸的场效应晶体管的第一相应的场效应晶体管组；和
第二流体致动器，其连接到第二相应的场效应晶体管组，所述第二相应的场效应晶体管组包括与所述阵列的至少一个其它场效应晶体管互连的第二尺寸的第一相应的场效应晶体管。
2.根据权利要求1所述的流体模具，其中，所述第二相应的场效应晶体管组包括与第一尺寸的第二相应的场效应晶体管互连的第二尺寸的第一相应的场效应晶体管。
3.根据权利要求1所述的流体模具，其中，所述第二相应的场效应晶体管组包括与第二尺寸的第二相应的场效应晶体管互连的第二尺寸的第一相应的场效应晶体管。
4.根据权利要求1所述的流体模具，其中，至少两个第二尺寸的场效应晶体管被布置成对应于一个第一尺寸的场效应晶体管，并且所述场效应晶体管阵列被布置成一列，使得相应的至少两个第二尺寸的场效应晶体管集合被设置在相应的第一尺寸的场效应晶体管之间。
5.根据权利要求1所述的流体模具，其中，所述场效应晶体管阵列包括第三尺寸的场效应晶体管，并且与一个第三尺寸的场效应晶体管互连的一个第二尺寸的场效应晶体管对应于一个第一尺寸的场效应晶体管。
6.根据权利要求1所述的流体模具，进一步包括：
第一流体腔室，其中设置有所述第一流体致动器，所述第一流体腔室对应于第一液滴尺寸；和
第二流体腔室，其中设置有所述第二流体致动器，所述第二流体腔室对应于不同于所述第一液滴尺寸的第二液滴尺寸，
其中，相应的第二场效应晶体管组包括与第一尺寸的第二相应的场效应晶体管互连的第二尺寸的第一相应的场效应晶体管。
7.根据权利要求1所述的流体模具，其中，所述第一流体致动器是第一流体致动器尺寸，并且所述第二流体致动器是大于所述第一流体致动器尺寸的第二流体致动器尺寸。
8.根据权利要求1所述的流体模具，进一步包括：
微流体通道，其中设置有所述第一流体致动器；和
流体腔室，其中设置有所述第二流体致动器，所述流体腔室流体联接到所述微流体通道。
9.根据权利要求1所述的流体模具，其中，所述第一流体致动器对应于第一液滴尺寸，并且所述第二流体致动器对应于不同于所述第一液滴尺寸的第二液滴尺寸。
10.一种流体模具，包括：
场效应晶体管阵列，其包括第一尺寸的场效应晶体管和第二尺寸的场效应晶体管；
连接构件，其将所述阵列的至少一些场效应晶体管互连；和
多个流体致动器，其包括连接到第一相应的场效应晶体管组的第一流体致动器，所述第一相应的场效应晶体管组包括与至少一个第二尺寸的相应的场效应晶体管互连的至少一个第一尺寸场的相应的效应晶体管。
11.根据权利要求10所述的流体模具，其中，所述多个流体致动器还包括第二流体致动器，所述第二流体致动器连接到包括第一尺寸的单个场效应晶体管的第二相应的场效应晶体管组。
12.根据权利要求11所述的流体模具，其中，所述第一流体致动器对应于第一液滴尺寸，并且所述第二流体致动器对应于不同于所述第一液滴尺寸的第二液滴尺寸。
13.根据权利要求11所述的流体模具，其中，所述第一流体致动器对应于流体喷射器，并且所述第二流体致动器对应于流体泵。
14.一种用于流体模具的方法，包括：
在所述流体模具的基底上形成流体致动器，所述基底包括至少两种不同尺寸的场效应晶体管和断开的连接构件；并且
连接至少一些连接构件，以将至少一些场效应晶体管互连，并将相应的场效应晶体管组连接到所述流体致动器。
15.根据权利要求14所述的方法，进一步包括：
执行以下至少一者：形成流体腔室和喷嘴，以由此形成对应于至少两种不同液滴尺寸的液滴发生器；或形成微流体通道，其中设置有至少一些流体致动器。
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