CN112700348A - 工艺数据处理方法、装置、存储介质与电子设备 - Google Patents

Abstract

本公开提供了一种工艺数据处理方法、工艺数据处理装置、计算机可读存储介质与电子设备，属于制造技术领域。所述方法包括：获取针对工艺数据的修改数据；根据所述修改数据的字段，检查所述修改数据是否合规；当确定所述修改数据合规时，根据所述修改数据生成修改记录。本公开可以提高数据检查的效率，降低数据修改的错误率。

Description

工艺数据处理方法、装置、存储介质与电子设备

技术领域

本公开涉及制造技术领域，尤其涉及一种工艺数据处理方法、工艺数据处理装置、计算机可读存储介质与电子设备。

背景技术

在半导体和集成电路等技术领域，电子元件的制造往往需要使用各种各样的机器设备，例如，半导体电子元件在制作过程中需要应用到薄膜机台、黄光机台、刻蚀机台和化学机械研磨机台等多种不同的加工机台，以逐步定义元件的图案；同时，为了使电子元件的产品特性符合规格需求，操作人员需要对作业环境制定严格的洁净度标准，对加工机台也制定了严苛的规格要求，在作业过程中，需要频繁检测作业环境和加工机台等是否满足生产标准。

在实际生产中，机台、配方等数据是每一生产步骤的关键，对该类数据的修改效率关乎生产和测试的进度。而一个元件的完整生产数据包括大量的数据表和字段，在进行修改时需要人工筛选修改位置并进行修改，但由于数据量较大，人工检查容易漏改、误改，导致工艺数据的查验效率较低，也耗费了大量的人力资源。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开提供了一种工艺数据处理方法、工艺数据处理装置、计算机可读存储介质与电子设备，进而至少在一定程度上改善现有技术工艺数据查验效率较低的问题。

本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本公开的实践而习得。

根据本公开的第一方面，提供一种工艺数据处理方法，所述方法包括：获取针对工艺数据的修改数据；根据所述修改数据的字段，检查所述修改数据是否合规；当确定所述修改数据合规时，根据所述修改数据生成修改记录。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述获取针对工艺数据的修改数据，包括：响应于用户对所述工艺数据的查询请求，提供所述工艺数据的可编辑数据；接收针对所述可编辑数据的修改数据。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述接收针对所述可编辑数据的修改数据，包括：响应于对所述可编辑数据的编辑完成操作，接收所述修改数据。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述可编辑数据包括所述工艺数据的预设字段，其中，所述预设字段包括机台组、机台、配方、配方版本号、配方对应使用反应室、不能使用的反应室、站点机台是否根据不同反应室选择不同配方标识、定义抽片的方式、定义抽片的数量、监控产品标识、是否等待监控产品量测完、探针卡群组、站点是否设定配方参数标识中的任意一种或多种。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述检查所述修改数据是否合规包括：确定所述修改数据的字段；获取各字段的预设修改规则；利用所述预设修改规则检查所述修改数据中对应字段下的数据是否合规。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述预设修改规则包括以下任意一条或多条：所述字段下允许设置的数值；所述字段下数据的格式为预设格式；所述字段下不存在重复数据；所述字段下不存在空值；所述字段下不存在特殊字符；所述字段下的数据为预设值中的任意一个；至少两个所述字段下数据的关联设置规则；所述字段下数据是否与预存数据一致。

在本公开的一种示例性实施方式中，在检查所述修改数据是否合规时，所述方法还包括：在确定所述修改数据不合规时，生成关于所述修改数据的提示信息。

在本公开的一种示例性实施方式中，在根据所述修改数据生成修改记录时，所述方法还包括：在所述修改记录中对所述修改数据对应的修改位置进行标记。

在本公开的一种示例性实施方式中，在根据所述修改数据生成修改记录时，所述方法还包括：生成关于所述修改记录的链接；响应于用户选择所述链接的操作，提供所述修改记录。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述方法还包括：获取当前工艺数据，并比对所述当前工艺数据与所述修改记录，得到比对结果。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述修改记录包括修改前的工艺数据和修改后的工艺数据。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述比对结果包括：所述修改前的工艺数据与当前工艺数据是否一致，所述修改后的工艺数据与当前工艺数据是否一致。

在本公开的一种示例性实施方式中，在获取针对工艺数据的修改数据前，所述方法还包括：响应于用户对所述工艺数据的查询请求，显示所述工艺数据的预览数据。

根据本公开的第二方面，提供一种工艺数据处理装置，所述装置包括：获取模块，用于获取针对工艺数据的修改数据；检查模块，用于根据所述修改数据的字段，检查所述修改数据是否合规；生成模块，用于当确定所述修改数据合规时，根据所述修改数据生成修改记录。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述获取模块用于响应于用户对所述工艺数据的查询请求，提供所述工艺数据的可编辑数据，接收针对所述可编辑数据的修改数据。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述获取模块还用于响应于对所述可编辑数据的编辑完成操作，接收所述修改数据。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述可编辑数据包括所述工艺数据的预设字段，其中，所述预设字段包括机台组、机台、配方、配方版本号、配方对应使用反应室、不能使用的反应室、站点机台是否根据不同反应室选择不同配方标识、定义抽片的方式、定义抽片的数量、监控产品标识、是否等待监控产品量测完、探针卡群组、站点是否设定配方参数标识中的任意一种或多种。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述检查模块用于确定所述修改数据的字段，获取各字段的预设修改规则，利用所述预设修改规则检查所述修改数据中对应字段下的数据是否合规。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述预设修改规则包括以下任意一条或多条：所述字段下允许设置的数值；所述字段下数据的格式为预设格式；所述字段下不存在重复数据；所述字段下不存在空值；所述字段下不存在特殊字符；所述字段下的数据为预设值中的任意一个；至少两个所述字段下数据的关联设置规则；所述字段下数据是否与预存数据一致。

在本公开的一种示例性实施方式中，在检查所述修改数据是否合规时，所述检查模块还用于在确定所述修改数据不合规时，生成关于所述修改数据的提示信息。

在本公开的一种示例性实施方式中，在根据所述修改数据生成修改记录时，所述生成模块用于在所述修改记录中对所述修改数据对应的修改位置进行标记。

在本公开的一种示例性实施方式中，在根据所述修改数据生成修改记录时，所述生成模块还用于生成关于所述修改记录的链接，响应于用户选择所述链接的操作，提供所述修改记录。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述获取模块还用于获取当前工艺数据，并比对所述当前工艺数据与所述修改记录，得到比对结果。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述修改记录包括修改前的工艺数据和修改后的工艺数据。

在本公开的一种示例性实施方式中，所述比对结果包括：所述修改前的工艺数据与当前工艺数据是否一致，所述修改后的工艺数据与当前工艺数据是否一致。

在本公开的一种示例性实施方式中，在获取针对工艺数据的修改数据前，所述获取模块还用于响应于用户对所述工艺数据的查询请求，显示所述工艺数据的预览数据。

根据本公开的第三方面，提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述任意一种工艺数据处理方法。

根据本公开的第四方面，提供一种电子设备，包括：处理器；以及存储器，用于存储所述处理器的可执行指令；其中，所述处理器配置为经由执行所述可执行指令来执行上述任意一种工艺数据处理方法。

本公开具有以下有益效果：

根据本示例性实施方式中的工艺数据处理方法、工艺数据处理装置、计算机可读存储介质和电子设备，可以通过获取针对工艺数据的修改数据，根据修改数据的字段检查修改数据是否合规，并在确定修改数据合规时，根据修改数据生成修改记录。一方面，通过获取针对工艺数据的修改数据，可以在工艺数据中快速筛选出经过用户修改的数据，能够减少用户确定修改数据的时间，提高数据检查的效率；另一方面，通过对修改数据进行合规检查，可以有效定位修改数据中存在错误的数据，对用户进一步修正数据提供了依据，降低了修改数据的错误率，对降低生产成本具有十分重要的意义；再一方面，通过生成修改记录，可以对用户每次修改后的修改信息进行存储，有助于用户确定工艺数据的修改情况，为数据、生产等的管理提供了数据支撑。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施方式，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出本示例性实施方式中一种工艺数据处理方法的流程图；

图2示出本示例性实施方式中一种数据存储的结构示意图；

图3示出本示例性实施方式中一种修改数据的获取方法示意图；

图4示出本示例性实施方式中一种修改数据的检查方法示意图；

图5示出本示例性实施方式中一种站点管控方法的示意图；

图6示出本示例性实施方式中一种修改记录的比对方法示意图；

图7示出本示例性实施方式中一种工艺数据快速检错方法的流程图；

图8示出本示例性实施方式中一种当前工艺数据比对方法的流程图；

图9示出本示例性实施方式中一种工艺数据处理装置的结构框图；

图10示出本示例性实施方式中一种用于实现上述方法的计算机可读存储介质；

图11示出本示例性实施方式中一种用于实现上述方法的电子设备。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。

鉴于前述的各种问题，本公开的示例性实施方式首先提供了一种工艺数据处理方法，该方法可以应用于工艺数据管理系统，使其可以对工艺数据进行管理和校验等。

图1示出了本示例性实施方式的一种流程，可以包括以下步骤S110～S130：

步骤S110.获取针对工艺数据的修改数据。

其中，工艺数据是指在工艺设计过程中使用和产生的数据。从数据性质来看，工艺数据一般可以包括静态工艺数据和动态工艺数据两种类型，静态工艺数据一般由加工材料数据、加工数据、机台数据、标准工艺规格数据、组分数据等组成；动态工艺数据一般是指在工艺规划过程中产生的相关信息、其一般由大量的中间过程数据、零件图形数据、工序图形数据、最终工艺规程等组成；修改数据可以是工艺数据中经过用户修改的数据，一般可以包括部分或全部工艺数据。此外，根据工艺数据的数据内容和类型等，上述工艺数据和修改数据均可以按照如图2所示的层级结构存储在特定的数据库或上述工艺数据管理系统中。

由于元件的制造需要使用多种机器设备，使得一个元件在制造过程中会产生大量的工艺数据，例如，在一些元件的工艺数据中，往往会产生大量的数据表，且各数据表中包括非常多的字段，若通过人工过滤修改数据，则需要耗费大量的时间。因此，通过获取针对工艺数据的修改数据，可以在工艺数据中快速筛选出用户修改过的数据，因而可以提高修改数据的查找效率。

工艺数据在生成后，用户可以对其进行编辑，因此，在一种可选的实施方式中，修改数据可以通过获取用户编辑后的工艺数据得到，具体的，可以通过以下方式得到：

响应于用户对工艺数据的查询请求，提供工艺数据的可编辑数据；

接收针对上述可编辑数据的修改数据。

其中，可编辑数据可以是能够编辑，如进行修改、添加、删除等操作的工艺数据，其可以与工艺数据完全相同，也可以与工艺数据不同，例如可编辑数据可以是工艺数据中的部分数据，如可以是对工艺过程有实质影响的数据，如机台数据、组分数据等。

当需要对工艺数据进行修改时，用户可以通过发送查询请求获取工艺数据的可编辑数据，例如，在如图3所示的工艺数据管理系统界面中，用户可以输入产品编号、流程编号和所在站点等数据，然后选择“添加”选项，则可在系统数据库的报表中进行关联查询，查询出对应的逻辑配方组及其包含的字段内容，并转存生成可编辑数据供用户修改，例如用户可以选择增加或删除数据记录，也可以对某个具体的数据记录进行修改等，在用户确定修改完成后，如图3所示，可以将完成修改后的可编辑数据保存为修改数据，并将该修改数据存储至工艺数据管理系统。

在一种可选的实施方式中，上述接收针对可编辑数据的修改数据可以通过响应于对上述可编辑数据的编辑完成操作，接收上述修改数据完成。例如，当用户完成可编辑数据的修改后，如图4中步骤S410所示，可以通过选择“读取修改数据”选项，将修改数据存储至工艺数据管理系统中。

在另一种可选的实施方式中，上述接收针对上述可编辑数据的修改数据也可以通过响应于对上述可编辑数据的编辑操作，接收上述修改数据完成。具体的，在用户对可编辑数据进行操作或修改时，实时接收用户修改可编辑数据得到的修改数据；或者也可以在用户对可编辑数据进行操作或修改时，实时接收用户对可编辑数据的修改信息，并根据该修改信息同步处理可编辑数据，以得到修改数据。

进一步的，在获取可编辑数据时，为了去除工艺数据中无影响的字段的数据，方便用户在可编辑数据中快速确定需要修改的数据，在一种可选的实施方式中，上述可编辑数据可以仅包括工艺数据的预设字段。其中，预设字段可以用于表示一个或多个数据记录的属性，可以包括机台组、机台、配方、配方版本号、配方对应使用反应室、不能使用的反应室、站点机台是否根据不同反应室选择不同配方标识、定义抽片的方式、定义抽片的数量、监控产品标识、是否等待监控产品量测完、探针卡群组、站点是否设定配方参数标识等中的任意一种或多种。下表1示出了本示例性实施方式中一种字段数据的示例：

表1

此外，为了便于用户获取其需要的工艺数据，提高用户的操作效率，在一种可选的实施方式中，在获取工艺数据时，可以响应于用户对工艺数据的查询请求，显示该工艺数据的预览数据。其中，预览数据可以是工艺数据中的部分数据，如可以是工艺数据中关键字段的数据。例如，在如图3所示的界面中，在接收到用户选择“添加”选项的操作时，可以显示查询到的工艺数据的预览数据，由图可知，预览数据可以包括Flag、Product、OperNo、LogicalRecipe ID和Equipment等关键字段和各关键字段对应的部分数值。

步骤S120.根据上述修改数据的字段，检查修改数据是否合规。

为了便于对修改数据进行查验，可以按照修改数据的字段检查修改数据中每个字段或修改字段的数据是否合规，来确定修改数据是否合规。例如，可以按照顺序依次检查修改数据中的数据记录是否存在重复，每个字段中是否包括不允许设置的特殊字符，如空格、下划线等。

考虑到在工艺数据中，可能存在一些字段的数据具有一定的取值范围，例如，机台字段要求输入的机台编码必须是实际存在的机台的编码，而不能是实际生产中不存在的机台编码。因此，在一种可选的实施方式中，步骤S120可以通过以下方式实现：

确定上述修改数据的字段；

获取各字段的预设修改规则；

利用上述预设修改规则检查上述修改数据中对应字段下的数据是否合规。

其中，预设修改规则可以根据对应字段的实际取值需求预先配置，例如，预设修改规则可以包括以下任意一条或多条：(1)字段下允许设置的数值，(2)字段下数据的格式为预设格式，如数值、字符串等，(3)字段下不存在重复数据，(4)字段下不存在空值，(5)字段下不存在特殊字符，如空格、下划线等，(6)字段下的数据为预设值，如必须为“是”或“否”，或者必须是已存在的参数值等中的任意一个，(7)至少两个字段下的数据的关联设置规则，例如可以包括当某个字段的数值为预设值时，其他一个或多个关联字段下数据所能够设置的值等，(8)字段下数据是否与预存数据一致，其中，预存数据可以是当前时刻在生产线上使用的标准工艺数据，例如，当修改数据中存在一个或多个特定字段的数据时，可以在检查修改数据是否合规时，获取系统中预存的标准工艺数据，并对修改数据中上述特定字段的数据与标准工艺数据中对应字段的数据进行比对，确定修改数据中上述特定字段的数据与标准工艺数据中对应字段的数据是否一致。

通过确定修改数据的字段，如可以是修改数据中的全部字段，也可以是修改数据中经过用户修改的字段，并获取所确定的各字段的预设修改规则，利用该预设修改规则检查上述修改数据中对应字段下的数据是否合规。例如，参考图4中步骤S420，可以自动检查修改数据中各字段下的数据是否符合预设修改规则，若确定各字段中的数据均满足对应的预设修改规则，则确定修改数据合规，反之，若确定各字段中的数据有任一数据不满足对应的预设修改规则，则确定修改数据不合规。具体的，系统可以读取修改数据各字段的数据，并在读取过程中检查各字段对应的数据是否符合上述预设修改规则，例如，以机台字段为例，系统可以读取机台字段的数据，并将该数据与数据库中预存的机台信息表进行比对，以确认机台字段中的机台ID是否是已建立的机台编码。

在检查到修改数据不合规时，为了提醒用户及时修正数据，在一种可选的实施方式中，在检查上述修改数据是否合规时，还可以在确定上述修改数据不合规时，通过如图4中步骤S430所示的方法生成关于上述修改数据的提示信息。其中，提示信息可以是一种信息弹窗，可以包括修改数据不合规的信息，也可以包括修改数据中不合规的具体的数据记录。例如，在确定上述机台ID不是已建立的机台编码，则生成如“当前输入的机台ID不存在”的提示信息。

由于在用户修改可编辑数据的过程中，修改数据也可以通过实时获取修改数据或接收可编辑数据的修改信息得到，因此，在一种可选的实施方式中，上述检查修改数据是否合规可以在用户修改可编辑数据的过程中，实时检查获取的修改数据是否合规实现。

此外，为了防止多个用户同时对可编辑数据的同一数据进行编辑，而导致数据修改错误，在一种可选的实施方式中，可以检测当前用户是否完成对可编辑数据中对应数据的操作或修改，当确定当前用户正在修改对应数据时，锁定对应的工艺数据或可编辑数据中的数据位置，以保证当前时刻仅允许当前用户修改上述数据位置中的数据；当确定当前用户修改结束时，将上述工艺数据和可编辑数据中的数据位置设置为允许修改的状态，以便于其他用户修改上述工艺数据或其对应的可编辑数据中对应位置的数据。例如，参考图5所示，当用户A在对可编辑数据中Recipe字段的数据进行操作或修改时，对用户A而言，工艺数据和对应的可编辑数据中Recipe字段的数据处于允许修改的状态，而对于用户B而言，工艺数据和可编辑数据中Recipe字段的数据处于锁定状态，如可以是允许查看，但不允许修改的状态，若此时用户B需要对可编辑数据中Recipe字段的数据进行修改，则需要等待用户A修改结束；同时，在用户B等待修改上述Recipe字段的数据的过程中，工艺数据管理系统可以循环检测上述Recipe字段的修改状态，当检测到数据的修改状态为“退回”、“结束”和“作废”中的任意一种时，可以解除上述Recipe字段的锁定状态，将其设置为允许修改的状态，此时，用户B可以对上述Recipe字段进行修改。

步骤S130.当确定修改数据合规时，根据该修改数据生成修改记录。

其中，修改记录是用户对修改数据进行修改的记录信息，可以包括时间、修改用户、修改位置、修改前数据和修改后数据等。

在确定修改数据合规时，为了记录用户修改信息，可以根据修改数据生成对应的修改记录。

为了便于确定修改数据中的修改位置，在一种可选的实施方式中，在根据修改数据生成修改记录时，可以在修改记录中对上述修改数据对应的修改位置进行标记，具体的，在对修改位置进行标记时，可以对修改位置的数据采用特殊颜色或字体样式等显示，也可以通过增加文本框、下划线等进行标记。例如，参考图4所示，可以通过步骤S440生成修改记录，并对修改记录中对应字段修改后的数据采用与其他位置不同的颜色进行标记。

在一种可选的实施方式中，在根据修改数据生成修改记录时，还可以生成关于上述修改记录的链接，在接收到用户选择上述链接的操作时，可以响应于该操作，提供上述修改记录，例如，继续参考图4所示，可以通过步骤S450自动生成修改记录的链接，并将其存储至修改记录中，在接收到用户选择上述链接的操作时，直接显示修改记录，或者将修改记录转存至本地，以供用户查看。

进一步的，在生成修改记录后，为了确定修改数据是否满足工业制造需求，上述用户或数据的管理人员，如审核表单的人员等可以对修改数据与当前时刻的工艺数据进行比对，以避免修改数据中出现与当前工艺数据不符的数据。在一种可选的实施方式中，可以通过以下方式对修改记录进行查验：

获取当前工艺数据，并比对该当前工艺数据与上述修改记录，得到比对结果。

其中，当前工艺数据可以是当前时刻在生产线上使用的标准工艺数据，该数据一般可以由加工工程师制定，并存储在上述工艺数据管理系统中，或者也可以存储在单独的数据管理系统中，如可以是标准规格管理系统等。

根据当前工艺数据的存储信息，可以从对应的数据管理系统中获取当前工艺数据，例如，可以通过相应的网页地址等进入数据管理系统中，并按照工艺数据的索引信息查找当前工艺数据。在获取当前工艺数据后，可以进一步比对该当前工艺数据和上述修改记录，从而得到两者的比对结果。参考图6中步骤S610所示，上述用户或审核表单的人员可以通过链接进入工艺数据管理系统，并获取修改记录，并通过步骤S620选择“比对”选项获取当前工艺数据，以对修改记录的当前工艺数据进行比对。

在一种可选的实施方式中，上述修改记录可以包括修改前的工艺数据和修改后的工艺数据。

在一种可选的实施方式中，上述比对结果可以包括上述修改前的工艺数据和上述当前工艺数据是否一致，上述修改后的工艺数据和当前工艺数据是否一致。

图7示出了一种工艺数据的修改流程。具体的，可以包括以下步骤S710～S780：

步骤S710.接收用户的查询请求。其中，查询请求可以包括用户输入的工艺数据的查询信息，如可以包括产品编号、流程编号和所在站点等数据。

步骤S720.获取工艺数据。

按照工艺数据的索引信息，可以在工艺数据管理系统中获取对应的工艺数据。

步骤S730.将上述工艺数据转换为可编辑数据。

步骤S740.响应于用户针对上述可编辑数据的修改操作，接收针对上述可编辑数据的修改数据。

步骤S750.检查上述修改数据是否合规，以在确定修改数据不合规时，执行步骤S760，生成上述修改数据不合规的提示信息，在确定修改数据合规时，执行步骤S770，根据上述修改数据生成修改记录。

同时，在生成上述修改数据不合规的提示信息后，可以通过步骤S740继续接收用户编辑可编辑数据后生成的修改数据。

步骤S760.生成上述修改数据不合规的提示信息。

其中，提示信息可以是一种信息弹窗，可以包括修改数据不合规的信息，也可以包括修改数据中不合规的具体的数据记录等。

步骤S770.根据上述修改数据生成修改记录。

在生成修改记录时，还可以对修改记录中对应的修改位置进行标记。

步骤S780.生成修改记录的链接，并将该链接存储至上述修改记录中。

通过生成修改记录的链接，可以在接收到用户对链接的访问请求时，快速定位对应的修改记录，以供用户查看和进一步操作。

进一步的，由于生产线上使用的标准工艺数据，即当前工艺数据可能会随着生产进程发生变化，为了确保当前工艺数据的正确性，在一种可选的实施方式中，在通过上述方法完成工艺数据的修改，并生成修改记录后，可以获取当前时刻的当前工艺数据，并对该当前工艺数据和系统中存储的修改记录，即也就是工艺变更需求记录，进行查看和比对。

图8示出了一种当前工艺数据的比对流程，具体的，可以包括以下步骤S810～S840：

步骤S810.获取当前时刻系统存储的工艺变更需求记录。

其中，工艺变更需求记录是指用户在过去时间内对工艺数据进行修改生成的修改记录，通常可以是最近一次用户对工艺数据进行修改生成的修改记录。

具体的，用户可以通过选择工艺变更需求记录的链接来获取对应的工艺变更需求记录。

步骤S820.获取当前时刻的当前工艺数据，并对该当前工艺数据和上述工艺变更需求记录进行比对，以确定当前工艺数据与工艺变更需求记录是否一致。

具体的，用户可以在系统界面中选择“查询”选项获取系统中存储的当前时刻的当前工艺数据，并选择“比对”选项对获取的当前工艺数据和上述工艺变更需求记录进行比对。

当确定当前工艺数据和上述工艺变更需求记录中的数据完全一致时，可以生成如“比对完成，数据一致”的提示信息；相应的，当确定当前工艺数据和上述工艺变更需求记录中的数据不一致时，可以生成如“比对完成，数据不一致”的提示信息，来提醒用户对当前工艺数据进行修改。

步骤S830.在确定当前工艺数据与工艺变更需求记录不一致时，确定修改当前工艺数据的准确性或退回请用户抓取最新数据，更新工艺变更需求记录。

例如，当确定当前工艺数据和上述工艺变更需求记录中的数据存在一处或多处不一致时，可以标记不一致的数据记录，以便用户对当前工艺数据进行修改。

步骤S840.在修改完成后，获取当前最新的工艺数据与工艺变更需求记录做对比，确认修改操作无误。

在修改完成后，可以实时获取系统中存储的当前工艺数据，并对该当前工艺数据和工艺变更需求记录再次进行比对，直至系统中存储的当前工艺数据和最近一次生成的工艺变更需求记录相一致。

通过对当前工艺数据进行修改，可以确保生产线上使用的标准工艺数据的正确性，相应的，也可以提高数据的管理效率。

综上，根据本示例性实施方式中的工艺数据处理方法，可以通过获取针对工艺数据的修改数据，根据修改数据的字段检查修改数据是否合规，并在确定修改数据合规时，根据修改数据生成修改记录。一方面，通过获取针对工艺数据的修改数据，可以在工艺数据中快速筛选出经过用户修改的数据，能够减少用户确定修改数据的时间，提高数据检查的效率；另一方面，通过对修改数据进行合规检查，可以有效定位修改数据中存在错误的数据，对用户进一步修正数据提供了依据，降低了修改数据的错误率，对降低生产成本具有十分重要的意义；再一方面，通过生成修改记录，可以对用户每次修改后的修改信息进行存储，有助于用户确定工艺数据的修改情况，为数据、生产等的管理提供了数据支撑。

进一步的，本示例性实施方式还提供了一种工艺数据处理装置，参考图9所示，工艺数据处理装置900可以包括：获取模块910，可以用于获取针对工艺数据的修改数据；检查模块920，可以用于根据修改数据的字段，检查修改数据是否合规；生成模块930，可以用于当确定修改数据合规时，根据修改数据生成修改记录。

在本公开的一种示例性实施方式中，获取模块910可以用于响应于用户对工艺数据的查询请求，提供工艺数据的可编辑数据，接收针对可编辑数据的修改数据。

在本公开的一种示例性实施方式中，获取模块910还可以用于响应于对可编辑数据的编辑完成操作，接收修改数据。

在本公开的一种示例性实施方式中，可编辑数据可以包括工艺数据的预设字段，其中，预设字段可以包括机台组、机台、配方、配方版本号、配方对应使用反应室、不能使用的反应室、站点机台是否根据不同反应室选择不同配方标识、定义抽片的方式、定义抽片的数量、监控产品标识、是否等待监控产品量测完、探针卡群组、站点是否设定配方参数标识中的任意一种或多种。

在本公开的一种示例性实施方式中，检查模块920可以用于确定修改数据的字段，获取各字段的预设修改规则，利用预设修改规则检查修改数据中对应字段下的数据是否合规。

在本公开的一种示例性实施方式中，预设修改规则可以包括以下任意一条或多条：字段下允许设置的数值；字段下数据的格式为预设格式；字段下不存在重复数据；字段下不存在空值；字段下不存在特殊字符；字段下的数据为预设值中的任意一个；至少两个字段下数据的关联设置规则；字段下数据是否与预存数据一致。

在本公开的一种示例性实施方式中，在检查修改数据是否合规时，检查模块920还可以用于在确定修改数据不合规时，生成关于修改数据的提示信息。

在本公开的一种示例性实施方式中，在根据修改数据生成修改记录时，生成模块930可以用于在修改记录中对修改数据对应的修改位置进行标记。

在本公开的一种示例性实施方式中，在根据修改数据生成修改记录时，生成模块930还可以用于生成关于修改记录的链接，响应于用户选择链接的操作，提供修改记录。

在本公开的一种示例性实施方式中，获取模块910还可以用于获取当前工艺数据，并比对当前工艺数据与修改记录，得到比对结果。

在本公开的一种示例性实施方式中，修改记录可以包括修改前的工艺数据和修改后的工艺数据。

在本公开的一种示例性实施方式中，比对结果可以包括：修改前的工艺数据与当前工艺数据是否一致，修改后的工艺数据与当前工艺数据是否一致。

在本公开的一种示例性实施方式中，在获取针对工艺数据的修改数据前，获取模块910还可以用于响应于用户对工艺数据的查询请求，显示工艺数据的预览数据。

上述装置中各模块的具体细节在方法部分实施方式中已经详细说明，未披露的方案细节内容可以参见方法部分的实施方式内容，因而不再赘述。

所属技术领域的技术人员能够理解，本公开的各个方面可以实现为系统、方法或程序产品。因此，本公开的各个方面可以具体实现为以下形式，即：完全的硬件实施方式、完全的软件实施方式(包括固件、微代码等)，或硬件和软件方面结合的实施方式，这里可以统称为“电路”、“模块”或“系统”。

本公开的示例性实施方式还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有能够实现本说明书上述方法的程序产品。在一些可能的实施方式中，本公开的各个方面还可以实现为一种程序产品的形式，其包括程序代码，当程序产品在终端设备上运行时，程序代码用于使终端设备执行本说明书上述“示例性方法”部分中描述的根据本公开各种示例性实施方式的步骤。

参考图10所示，描述了根据本公开的示例性实施方式的用于实现上述方法的程序产品1000，其可以采用便携式紧凑盘只读存储器(CD-ROM)并包括程序代码，并可以在终端设备，例如个人电脑上运行。然而，本公开的程序产品不限于此，在本文件中，可读存储介质可以是任何包含或存储程序的有形介质，该程序可以被指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用。

程序产品1000可以采用一个或多个可读介质的任意组合。可读介质可以是可读信号介质或者可读存储介质。可读存储介质例如可以为但不限于电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。可读存储介质的更具体的例子(非穷举的列表)包括：具有一个或多个导线的电连接、便携式盘、硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦式可编程只读存储器(EPROM或闪存)、光纤、便携式紧凑盘只读存储器(CD-ROM)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。

计算机可读信号介质可以包括在基带中或者作为载波一部分传播的数据信号，其中承载了可读程序代码。这种传播的数据信号可以采用多种形式，包括但不限于电磁信号、光信号或上述的任意合适的组合。可读信号介质还可以是可读存储介质以外的任何可读介质，该可读介质可以发送、传播或者传输用于由指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用的程序。

可读介质上包含的程序代码可以用任何适当的介质传输，包括但不限于无线、有线、光缆、RF等等，或者上述的任意合适的组合。

可以以一种或多种程序设计语言的任意组合来编写用于执行本公开操作的程序代码，程序设计语言包括面向对象的程序设计语言—诸如Java、C++等，还包括常规的过程式程序设计语言—诸如“C”语言或类似的程序设计语言。程序代码可以完全地在用户计算设备上执行、部分地在用户设备上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户计算设备上部分在远程计算设备上执行、或者完全在远程计算设备或服务器上执行。在涉及远程计算设备的情形中，远程计算设备可以通过任意种类的网络，包括局域网(LAN)或广域网(WAN)，连接到用户计算设备，或者，可以连接到外部计算设备(例如利用因特网服务提供商来通过因特网连接)。

本公开的示例性实施方式还提供了一种能够实现上述方法的电子设备。下面参照图11来描述根据本公开的这种示例性实施方式的电子设备1100。图11显示的电子设备1100仅仅是一个示例，不应对本公开实施方式的功能和使用范围带来任何限制。

如图11所示，电子设备1100可以以通用计算设备的形式表现。电子设备1100的组件可以包括但不限于：上述至少一个处理单元1110、上述至少一个存储单元1120、连接不同系统组件(包括存储单元1120和处理单元1110)的总线1130和显示单元1140。

其中，存储单元1120存储有程序代码，程序代码可以被处理单元1110执行，使得处理单元1110执行本说明书上述“示例性方法”部分中描述的根据本公开各种示例性实施方式的步骤。例如，处理单元1110可以执行图1、图4、图6至图8所示的方法步骤等。

存储单元1120可以包括易失性存储单元形式的可读介质，例如随机存取存储单元(RAM)1121和/或高速缓存存储单元1122，还可以进一步包括只读存储单元(ROM)1123。

存储单元1120还可以包括具有一组(至少一个)程序模块1125的程序/实用工具1124，这样的程序模块1125包括但不限于：操作系统、一个或者多个应用程序、其它程序模块以及程序数据，这些示例中的每一个或某种组合中可能包括网络环境的实现。

总线1130可以为表示几类总线结构中的一种或多种，包括存储单元总线或者存储单元控制器、外围总线、图形加速端口、处理单元或者使用多种总线结构中的任意总线结构的局域总线。

电子设备1100也可以与一个或多个外部设备1200(例如键盘、指向设备、蓝牙设备等)通信，还可与一个或者多个使得用户能与该电子设备1100交互的设备通信，和/或与使得该电子设备1100能与一个或多个其它计算设备进行通信的任何设备(例如路由器、调制解调器等等)通信。这种通信可以通过输入/输出(I/O)接口1150进行。并且，电子设备1100还可以通过网络适配器1160与一个或者多个网络(例如局域网(LAN)，广域网(WAN)和/或公共网络，例如因特网)通信。如图所示，网络适配器1160通过总线1130与电子设备1100的其它模块通信。应当明白，尽管图中未示出，可以结合电子设备1100使用其它硬件和/或软件模块，包括但不限于：微代码、设备驱动器、冗余处理单元、外部磁盘驱动阵列、RAID系统、磁带驱动器以及数据备份存储系统等。

应当注意，尽管在上文详细描述中提及了用于动作执行的设备的若干模块或者单元，但是这种划分并非强制性的。实际上，根据本公开的示例性实施方式，上文描述的两个或更多模块或者单元的特征和功能可以在一个模块或者单元中具体化。反之，上文描述的一个模块或者单元的特征和功能可以进一步划分为由多个模块或者单元来具体化。

此外，上述附图仅是根据本公开示例性实施方式的方法所包括的处理的示意性说明，而不是限制目的。易于理解，上述附图所示的处理并不表明或限制这些处理的时间顺序。另外，也易于理解，这些处理可以是例如在多个模块中同步或异步执行的。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员易于理解，这里描述的示例性实施方式可以通过软件实现，也可以通过软件结合必要的硬件的方式来实现。因此，根据本公开示例性实施方式的技术方案可以以软件产品的形式体现出来，该软件产品可以存储在一个非易失性存储介质(可以是CD-ROM，U盘，移动硬盘等)中或网络上，包括若干指令以使得一台计算设备(可以是个人计算机、服务器、终端装置、或者网络设备等)执行根据本公开示例性实施方式的方法。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其他实施方式。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施方式仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由权利要求指出。

Claims (16)

1.一种工艺数据处理方法，其特征在于，所述方法包括：

获取针对工艺数据的修改数据；

根据所述修改数据的字段，检查所述修改数据是否合规；

当确定所述修改数据合规时，根据所述修改数据生成修改记录。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取针对工艺数据的修改数据，包括：

响应于用户对所述工艺数据的查询请求，提供所述工艺数据的可编辑数据；

接收针对所述可编辑数据的修改数据。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述接收针对所述可编辑数据的修改数据，包括：

响应于对所述可编辑数据的编辑完成操作，接收所述修改数据。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述可编辑数据包括所述工艺数据的预设字段，其中，所述预设字段包括机台组、机台、配方、配方版本号、配方对应使用反应室、不能使用的反应室、站点机台是否根据不同反应室选择不同配方标识、定义抽片的方式、定义抽片的数量、监控产品标识、是否等待监控产品量测完、探针卡群组、站点是否设定配方参数标识中的任意一种或多种。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述检查所述修改数据是否合规包括：

确定所述修改数据的字段；

获取各字段的预设修改规则；

利用所述预设修改规则检查所述修改数据中对应字段下的数据是否合规。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述预设修改规则包括以下任意一条或多条：

所述字段下允许设置的数值；

所述字段下数据的格式为预设格式；

所述字段下不存在重复数据；

所述字段下不存在空值；

所述字段下不存在特殊字符；

所述字段下的数据为预设值中的任意一个；

至少两个所述字段下数据的关联设置规则；

所述字段下数据是否与预存数据一致。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在检查所述修改数据是否合规时，所述方法还包括：

在确定所述修改数据不合规时，生成关于所述修改数据的提示信息。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在根据所述修改数据生成修改记录时，所述方法还包括：

在所述修改记录中对所述修改数据对应的修改位置进行标记。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在根据所述修改数据生成修改记录时，所述方法还包括：

生成关于所述修改记录的链接；

响应于用户选择所述链接的操作，提供所述修改记录。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

获取当前工艺数据，并比对所述当前工艺数据与所述修改记录，得到比对结果。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述修改记录包括修改前的工艺数据和修改后的工艺数据。

12.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述比对结果包括：所述修改前的工艺数据与当前工艺数据是否一致，所述修改后的工艺数据与当前工艺数据是否一致。

13.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在获取针对工艺数据的修改数据前，所述方法还包括：

响应于用户对所述工艺数据的查询请求，显示所述工艺数据的预览数据。

14.一种工艺数据处理装置，其特征在于，所述装置包括：

获取模块，用于获取针对工艺数据的修改数据；

检查模块，用于根据所述修改数据的字段，检查所述修改数据是否合规；

生成模块，用于当确定所述修改数据合规时，根据所述修改数据生成修改记录。

15.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1-13任一项所述的方法。

16.一种电子设备，其特征在于，包括：

处理器；以及

存储器，用于存储所述处理器的可执行指令；

其中，所述处理器配置为经由执行所述可执行指令来执行权利要求1-13任一项所述的方法。

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