CN112692729A - 用于自旋转磨抛机的单晶金刚石夹具及其装夹方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了用于自旋转磨抛机的单晶金刚石夹具及其装夹方法，夹具包括一本体、两滑块和两调节件；该本体顶壁具有基壁和相对基壁凸出设置的凸台，该凸台具有两朝向基壁且竖直布置的定位壁；该本体的基壁凹设有两通至本体侧壁的滑槽且两滑槽分别沿两定位壁布置；该滑块顶部水平凸伸有伸出部，该两滑块分别滑接在两滑槽且伸出部位于基壁上，该伸出部端面构成锁接壁，该两滑块的锁接壁和两定位壁分别面对布置；该两调节件分别连接两滑块和本体以通过调节件调节滑块沿滑槽滑动调节，通过两锁接壁和两定位壁夹紧粘接在基壁上的单晶金刚石。它具有如下优点：能夹紧小厚度之金刚石，能适配不同尺寸的金刚石，解决了金刚石衬底片难以装夹的问题。
Description
技术领域
本发明涉及金刚石抛光技术领域，尤其涉及用于自旋转磨抛机的单晶金刚石夹具及其装夹方法。
背景技术
中国专利数据库公告了CN202498423U,一种磨抛机夹持装置，包括工装夹具体，在所述工装夹具体上设置有弹簧机构，用于将待加工工件顶在磨盘的磨抛面上。所述弹簧机构包括在磨盘磨抛面的垂线方向上设置的导向孔，第一压缩弹簧位于所述导向孔内并且一端固定，另一端顶住装有待加工工件的工件连接部。所述工件连接部包括靠近所述第一压缩弹簧一侧的连接杆部，所述连接杆部插入到所述导向孔内。所述连接杆部与所述第一压缩弹簧接触端为T形，所述导向孔的孔壁上设置有用于阻挡连接杆部T形端部的限位凸起部。所述工装夹具体上开设有安装孔以及插入安装孔的安装座，所述导向孔位于所述安装座内。所述安装孔的孔壁设置有台肩，使得所述安装孔的在所述台肩靠近所述磨盘磨抛面一侧的孔径，大于所述安装孔的在所述台肩远离所述磨盘磨抛面一侧的孔径；所述安装座开设有导向孔的一端的相反的一端穿过所述安装孔后与一锁紧螺母固定；所述安装座侧壁上设置有顶在所述台肩上的凸台结构。该夹持装置夹持、拆卸步骤繁琐，且夹持牢固性较差，有进一步改进之需求。
发明内容
本发明提供了用于自旋转磨抛机的单晶金刚石夹具及其装夹方法，其克服了背景技术中夹具所存在的不足。
本发明解决其技术问题的所采用的技术方案之一是：用于自旋转磨抛机的单晶金刚石夹具，包括一本体、两滑块和两调节件；该本体顶壁具有基壁和相对基壁凸出设置的凸台，该凸台具有两朝向基壁且竖直布置的定位壁；该本体的基壁凹设有两通至本体侧壁的滑槽且两滑槽分别沿两定位壁布置；该滑块顶部水平凸伸有伸出部，该两滑块分别滑接在两滑槽且伸出部位于基壁上，该伸出部端面构成锁接壁，该两滑块的锁接壁和两定位壁分别面对布置；该两调节件分别连接两滑块和本体以通过调节件调节滑块沿滑槽滑动调节，通过两锁接壁和两定位壁夹紧粘接在基壁上的单晶金刚石。
一实施例之中：该凸台呈L形结构，该基壁呈小矩形结构，该L形结构和小矩形结构配合构成大矩形结构；该两定位壁分别平行大矩形结构的两相邻侧边，该两滑槽分别平行大矩形结构的两相邻侧。
一实施例之中：该两定位壁相垂直布置且配合呈L形，该两滑槽相垂直。
一实施例之中：该滑槽的一槽壁和定位壁对齐布置。
一实施例之中：该滑块顶壁和凸台顶壁齐平，该伸出部底壁能适配滑接在基壁上。
一实施例之中：该调节件包括调节螺钉，该调节螺钉穿过滑块且螺接在本体以通过调节螺钉转动带动滑块沿滑槽滑动。
一实施例之中：还包括基体，该本体粘接在基体上。
一实施例之中：该本体、滑块都采用不锈钢制成，该基体采用碳化硅或蓝宝石材质。
本发明解决其技术问题的所采用的技术方案之二是：用于自旋转磨抛机的单晶金刚石夹具的装夹方法，包括：
步骤1，将本体置放在加热板上，采用粘结剂将单晶金刚石粘接在基壁上且单晶金刚石两侧壁分别靠接两定位壁；
步骤2，通过调节件带动滑块沿滑槽滑动以使两滑块的锁接壁分别顶抵单晶金刚石另外两侧壁，通过两锁接壁和两定位壁夹紧单晶金刚石；
步骤3，从加热板上取下本体，粘接剂冷却凝固后单晶金刚石被装夹在本体上；
步骤4，将本体粘接在基体上。
本技术方案与背景技术相比，它具有如下优点：
本体顶壁具有基壁和凸台，滑块滑接在滑槽且滑块顶部水平凸伸的伸出部位于基壁上以构成锁接壁，通过两锁接壁和两定位壁夹紧粘接在基壁上的单晶金刚石，因此能产生如下技术效果：其一，能夹紧小厚度之金刚石，能适配不同尺寸的金刚石，解决了金刚石衬底片难以装夹的问题；其二，夹紧牢固稳定可靠；其三，安装拆卸简单方便，提高了加工效率。
两定位壁相垂直布置且配合呈L形，两滑槽相垂直，四面夹紧金刚石，夹紧牢固稳定可靠。
滑槽的一槽壁和定位壁对齐布置，方便装配，夹紧牢固稳定，能适配不同尺寸的金刚石。
本体粘接在基体上，方便将夹具装接在加工设备。
装夹方法，包括：将本体置放在加热板上，采用粘结剂将单晶金刚石粘接在基壁上且单晶金刚石两侧壁分别靠接两定位壁；通过调节件带动滑块沿滑槽滑动以使两滑块的锁接壁分别顶抵单晶金刚石另外两侧壁，通过两锁接壁和两定位壁夹紧单晶金刚石；从加热板上取下本体，粘接剂冷却凝固后单晶金刚石被装夹在本体上；将本体粘接在基体上，装接方便，夹紧牢固稳定可靠。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步说明。
图1是具体实施方式的夹具的立体结构示意图。
标号说明：本体1、滑块2、调节件3、基体4、单晶金刚石5；基壁11、凸台12、定位壁121、滑槽13、伸出部21、锁接壁211。
具体实施方式
请查阅图1，用于自旋转磨抛机的单晶金刚石夹具，包括一本体1、两滑块2、两调节件3和一基体4；该本体1顶壁具有基壁11和相对基壁11凸出设置的凸台12，该凸台12具有两朝向基壁11且竖直布置的定位壁121，两定位壁121相垂直布置且配合呈L形；该本体1的基壁11凹设有两通至本体1侧壁的滑槽13且两滑槽13分别沿两定位壁121布置，该两滑槽13相垂直布置；该滑块2顶部水平凸伸有伸出部21，该两滑块2分别滑接在两滑槽13且伸出部21位于基壁11上，该伸出部21端面构成锁接壁211，该两滑块2的锁接壁211和两定位壁121分别面对布置；该两调节件3分别连接两滑块2和本体1以通过调节件3调节滑块2沿滑槽13滑动调节，通过两锁接壁211和两定位壁121夹紧粘接在基壁11上的单晶金刚石5。
该凸台12呈L形结构，该基壁11呈小矩形结构，该L形结构和小矩形结构配合构成大矩形结构；该两定位壁121分别平行大矩形结构的两相邻侧边，该两滑槽13分别平行大矩形结构的两相邻侧；该滑槽13的一槽壁和定位壁121对齐布置；该滑块2顶壁和凸台12顶壁齐平，该伸出部21底壁能适配滑接在基壁11上。
该调节件3包括调节螺钉，该调节螺钉穿过滑块2且螺接在本体1之滑槽13的内槽壁以通过调节螺钉转动带动滑块2沿滑槽13滑动，如滑块2设贯穿孔，该调节螺钉顶抵滑块2外侧壁，则能通过螺钉拧紧使锁紧壁顶抵金刚石5。
该本体1粘接在基体4上；该本体1、滑块2都采用不锈钢制成，该基体4采用碳化硅或蓝宝石材质制成；该粘接剂如为黄蜡、热熔胶等热固性粘接剂。
用于自旋转磨抛机的单晶金刚石夹具的装夹方法，其中：金刚石5厚度大于凸台12高度，金刚石5厚度约为2mm，凸台12高度为1.5mm，基体4为4英寸或8英寸的碳化硅或蓝宝石硬质衬底；该装夹方法包括：
步骤1，将本体1置放在加热板上，采用粘结剂将单晶金刚石5粘接在基壁11上且单晶金刚石5两侧壁分别靠接两定位壁121；
步骤2，通过调节件3带动滑块2沿滑槽13滑动以使两滑块2的锁接壁211分别顶抵单晶金刚石5另外两侧壁，通过两锁接壁211和两定位壁121夹紧单晶金刚石5；
步骤3，从加热板上取下本体1，粘接剂冷却凝固后单晶金刚石5被装夹在本体上1；
步骤4，将本体1粘接在基体4上；装夹好的金刚石夹具配合自旋转磨抛机使用，具体如基体4底部通过自旋转磨抛机加工台面的真空吸盘吸附固定。
本具体实施方式的夹具，可配合自选转磨抛机配套使用，可有效夹持厚度仅为2mm的金刚石衬底片，解决了金刚石衬底片难以装夹的问题，且安装拆卸简单方便，提高了加工效率。
以上所述，仅为本发明较佳实施例而已，故不能依此限定本发明实施的范围，即依本发明专利范围及说明书内容所作的等效变化与修饰，皆应仍属本发明涵盖的范围内。
Claims (9)
1.用于自旋转磨抛机的单晶金刚石夹具，其特征在于：包括一本体、两滑块和两调节件；该本体顶壁具有基壁和相对基壁凸出设置的凸台，该凸台具有两朝向基壁且竖直布置的定位壁；该本体的基壁凹设有两通至本体侧壁的滑槽且两滑槽分别沿两定位壁布置；该滑块顶部水平凸伸有伸出部，该两滑块分别滑接在两滑槽且伸出部位于基壁上，该伸出部端面构成锁接壁，该两滑块的锁接壁和两定位壁分别面对布置；该两调节件分别连接两滑块和本体以通过调节件调节滑块沿滑槽滑动调节，通过两锁接壁和两定位壁夹紧粘接在基壁上的单晶金刚石。
2.根据权利要求1所述的用于自旋转磨抛机的单晶金刚石夹具，其特征在于：该凸台呈L形结构，该基壁呈小矩形结构，该L形结构和小矩形结构配合构成大矩形结构；该两定位壁分别平行大矩形结构的两相邻侧边，该两滑槽分别平行大矩形结构的两相邻侧。
3.根据权利要求1所述的用于自旋转磨抛机的单晶金刚石夹具，其特征在于：该两定位壁相垂直布置且配合呈L形，该两滑槽相垂直。
4.根据权利要求1所述的用于自旋转磨抛机的单晶金刚石夹具，其特征在于：该滑槽的一槽壁和定位壁对齐布置。
5.根据权利要求1所述的用于自旋转磨抛机的单晶金刚石夹具，其特征在于：该滑块顶壁和凸台顶壁齐平，该伸出部底壁能适配滑接在基壁上。
6.根据权利要求1所述的用于自旋转磨抛机的单晶金刚石夹具，其特征在于：该调节件包括调节螺钉，该调节螺钉穿过滑块且螺接在本体以通过调节螺钉转动带动滑块沿滑槽滑动。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的用于自旋转磨抛机的单晶金刚石夹具，其特征在于：还包括基体，该本体粘接在基体上。
8.根据权利要求7所述的用于自旋转磨抛机的单晶金刚石夹具，其特征在于：该本体、滑块都采用不锈钢制成，该基体采用碳化硅或蓝宝石材质。
9.根据权利要求7所述的用于自旋转磨抛机的单晶金刚石夹具的装夹方法，其特征在于：包括：
步骤1，将本体置放在加热板上，采用粘结剂将单晶金刚石粘接在基壁上且单晶金刚石两侧壁分别靠接两定位壁；
步骤2，通过调节件带动滑块沿滑槽滑动以使两滑块的锁接壁分别顶抵单晶金刚石另外两侧壁，通过两锁接壁和两定位壁夹紧单晶金刚石；
步骤3，从加热板上取下本体，粘接剂冷却凝固后单晶金刚石被装夹在本体上；
步骤4，将本体粘接在基体上。
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