CN112687514B - 钟罩及应用其的等离子去胶机 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种钟罩及应用其的等离子去胶机，其涉及一种去胶机，其包括供硅片放入的石英罩，所述石英罩上设有供氧气输入的进气管，所述进气管的端壁上且位于石英罩外连通设有输气管，所述石英罩内设有出气管，所述出气管与输气管之间设有至少一个分支气管，所述出气管的侧壁上设有若干个出气孔，若干个所述出气管沿出气管的轴向均布。本申请具有的效果在于可以对硅片均匀去胶，提高去胶的效果。

Description

钟罩及应用其的等离子去胶机

技术领域

本申请涉及一种去胶机，尤其是涉及一种钟罩及应用其的等离子去胶机。

背景技术

随着集成电路制造工艺的不断进步，半导体器件的体积变得越来越小，这也导致了非常微小的颗粒也足以影响半导体器件的制造和性能，所以硅片清洗工艺日益重要。在现有的硅片清洗步骤中，目前大多使用干法去胶工艺，干法去胶工艺通常采用的是等离子去胶机进行去胶。等离子去胶机其工作原理是将硅片置于钟罩中，并进行抽出空气形成真空状态，通入少量等离子气体，如氧气，加1500V高压，由高频信号发生器产生高频信号，使石英管内形成强的电磁场，使氧气电离，形成氧离子、活化的氧原子、氧分子和电子等混合物的等离子体的辉光柱。活化氧（活泼的原子态氧）可以迅速地将聚酰亚胺膜氧化成为可挥发性气体，被机械泵抽走，这样就把硅片上的聚酰亚胺膜去除了。

目前的等离子去胶机采用的钟罩如图1所示，钟罩01的端部设有供氧气进入的进气管路02，钟罩01远离进气管路02的一侧呈敞口状。

针对上述中的相关技术，发明人认为存在的缺陷在于：在对硅片进行清洗时，先将硅片放入钟罩中，通过进气管路将氧气通入钟罩中，这会导致靠近进气管路的硅片先进行反应，远离进气管路的硅片后反应，导致硅片去胶不均匀，最后导致去胶效果差。

发明内容

为了改善胶片去胶不均匀的问题，本申请提供一种钟罩及应用其的等离子去胶机。

本申请提供的一种钟罩采用如下的技术方案：

一种钟罩，包括供硅片放入的石英罩，所述石英罩上设有供氧气输入的进气管，所述进气管的端壁上且位于石英罩外连通设有输气管，所述石英罩内设有出气管，所述出气管与输气管之间设有至少一个分支气管，所述出气管的侧壁上设有若干个出气孔，若干个所述出气孔沿出气管的轴向均布。

通过采用上述技术方案，当需要对硅片进行去胶时，将氧气输入进气管中，氧气进入输气管，再从分支气管进入出气管上，最后从多个出气孔输出，以此可以对硅片均匀去胶，提高去胶的效果。

可选的，所述石英罩远离出气管的一侧设有若干个连通管，若干个所述连通管位于石英罩的下方共同连接有排气管。

通过采用上述技术方案，利用多个连通管，废气沿着连通管进入排气管，以此可以方便快捷的将废气排出。

本申请还提供的一种应用钟罩的等离子去胶机采用如下的技术方案：

一种应用钟罩的等离子去胶机，包括去胶机本体，所述去胶机本体上设有供石英罩安装的空腔，所述去胶机本体上设有用于封闭空腔的密封门，所述密封门上设有用于承托硅片的承托盘，所述承托盘远离密封门的一侧与石英罩连接。

通过采用上述技术方案，当需要进行清洗硅片时，将硅片放置在承托盘上，关闭密封门，再将氧气输入至石英罩中，对硅片进行反应，最后气体从排气管中排出，以此可以方便快捷的对硅片进行加工。

可选的，所述空腔的侧壁上设有供连通管和排气管放置的空槽；

所述空腔的侧壁上且位于空槽的一侧设有安装腔，所述安装腔内滑移设有连接块，所述连接块上设有伸入空腔的抵紧块，所述石英罩的外侧壁上设有供抵紧块滑移的滑移缺口，所述滑移缺口靠近石英罩开口的一侧设有用于挤压抵紧块的抵紧弧面，所述连接块远离抵紧块的一侧设有与安装腔连接的抵紧弹簧，所述连接块靠近空腔的一侧设有插块；

所述安装腔和空槽之间设有贯穿通槽，所述安装腔靠近空腔的一侧设有固定立板，所述安装腔内滑移设有移动板，所述移动板上设有供插块插入的插槽，所述移动板与固定立板之间设有若干个连接弹簧，所述移动板远离连接弹簧的一侧设有若干个橡胶块，所述橡胶块穿过贯穿通槽的一侧插入相邻连通管之间的空隙。

通过采用上述技术方案，当在安装时，将石英罩放入空腔中，抵紧块在滑移缺口中滑移，抵紧块遇到抵紧弧面后，抵紧弧面挤压抵紧块，抵紧块带动连接块下移，抵紧弹簧收到压缩后，连接块带动插块下移，松开移动板，连接弹簧复位，推动移动板在贯穿通槽中移动，从而推动橡胶块插入相邻连通管之间的间隙，以此可以加强石英罩在空腔中的安装稳定性。

可选的，所述空腔的内侧壁上且沿密封门的周向设有若干个固定杆，所述固定杆上转动连接有环板，所述固定杆上设有转动扭簧，所述转动扭簧的一端与固定杆连接、另一端与环板连接，所述环板上设有向密封块一侧延伸的挡板，所述环板远离挡板的一侧设有扣紧板；

所述密封门靠近空腔的一侧设有插入空腔并与石英罩的端壁抵触的密封块，所述密封块的截面积由靠近石英罩的一侧向远离石英罩的一侧递增，所述密封块的侧壁上设有与挡板抵触的抵触块，所述密封块靠近密封门的一侧设有限位块，所述限位块上设有供扣紧板插入的限位缺口。

通过采用上述技术方案，将硅片放置在承托盘上后，关闭密封门，此时再将密封块插入空腔中，密封块移动过程中，抵触块限于挡板抵触，抵触块推动环板转动，转动扭簧展开，环板带动扣紧板转动，扣紧插入限位缺口中，从而可以将密封门扣紧在去胶机本体上，以此可以减少密封门与去胶机本体之间产生空隙的可能性。

可选的，所述去胶机本体的相背离两侧壁上均设有用于驱动密封门启闭的动力件；

所述动力件包括分别设置在去胶机本体侧壁上的驱动电机和动力电机，所述动力电机位于驱动电机的下方，所述动力电机和驱动电机的电机轴均同轴设有驱动杆，所述驱动杆同轴设有驱动齿轮，所述去胶机本体的侧壁上滑移设有与驱动齿轮啮合的齿条；

靠近所述驱动电机的齿条上铰接设有伸缩转动杆，所述伸缩转动杆远离驱动电机的一端与密封门铰接连接，所述去胶机本体的侧壁上设有供伸缩转动杆移动的滑槽，所述滑槽靠近动力电机的一侧设有供伸缩转动杆转动的导向斜面；

靠近所述动力电机的齿条上设有连接杆，所述连接杆远离动力电机的一端与密封门转动连接；

所述密封门上设有用于推动密封门转动的推力组件。

通过采用上述技术方案，当需要进行对硅片进行清洗时，启动驱动电机和动力电机，从而带动驱动杆和驱动齿轮转动，从而带动齿条、伸缩转动杆以及连接杆移动，将密封门上的密封块脱离空腔，当伸缩转动杆和齿条之间的连接点移动至导向斜面处，伸缩转动杆沿着导向斜面转动并展开，密封门从而可以沿着连接杆翻转，以此可以打开去胶机本体，方便将硅片拿取；放入待清洗的硅片时，驱动电机和动力电机带动驱动杆和驱动齿轮转动，从而带动密封门向去胶机本体移动，推力组件推动密封门转动，伸缩转动杆收缩最后密封门关闭，实现再次进行清洗硅片。

可选的，所述去胶机本体的侧壁上设有支撑板，所述支撑板位于密封门的下方，所述密封门的底壁上设有安装缺口，所述支撑板上设有插入安装缺口的固定块；

所述密封门的外侧壁上设有与安装缺口连通的定位缺口；

所述推力组件包括转动设置在定位缺口中的支撑杆，所述定位缺口内转动连接有支撑杆，所述支撑杆靠近支撑板的一侧设有安装槽，所述安装槽内设有支撑电机，所述支撑电机的电机轴同轴设有丝杆，所述丝杆上螺纹连接有与固定块吸附的支撑块，所述支撑块滑移设置在安装槽的槽壁上。

通过采用上述技术方案，当密封块移出空腔后，固定块移出安装缺口，支撑块与固定块分开，支撑电机驱动丝杠转动，支撑块缩回安装槽，密封门翻转展开后，支撑杆由于自身的重力移出定位缺口，此时支撑电机驱动丝杆带动支撑块伸出定位缺口，支撑块与支撑板抵触，从而可以对密封门行支撑，当硅片清理完毕后，支撑电机驱动丝杆转动，再次驱动支撑块继续伸出，从而可以推动密封门复位，伸缩转动杆从而可以沿着导向斜面滑入滑槽中并收缩，以此可以增加驱动电机驱动伸缩转动杆移动至滑槽内的便利性。

可选的，所述定位缺口靠近去胶机本体的一侧设有固定缺口，所述固定缺口内设有两个相对设置的转动电机，所述转动电机的电机轴同轴设有转动轴，所述转动轴同轴设有转动齿轮；

所述固定缺口的侧壁上设有两个相对设置的移动槽，所述移动槽沿密封门的高度方向设置，所述移动槽内滑移连接有与转动齿轮啮合的橡胶齿条，所述移动槽的槽壁上设有供橡胶齿条移动的弧形槽，所述弧形槽与定位缺口连通设置。

通过采用上述技术方案，当密封门翻转展开后，利用转动电机驱动转动轴和转动齿轮转动，从而带动橡胶齿条移动，橡胶齿条沿着移动槽和弧形槽伸入定位缺口中，橡胶齿条从而可以推动支撑杆转动，以此可以减少支撑杆卡在定位缺口中无法转动的可能性，增加支撑杆支撑密封门的便利性。

可选的，所述去胶机本体的侧壁上设有锁紧电机，所述锁紧电机位于驱动电机和动力电机之间，所述锁紧电机的电机轴同轴设有丝杠，所述丝杠的轴线与驱动杆的轴线平行，所述丝杠上设有旋向相反的两螺纹，所述去胶机本体的侧壁上滑移连接有与丝杠螺纹连接的滑块；

所述密封门的侧壁上设有锁紧块，所述锁紧块远离密封门的一侧延伸至两滑块之间，所述锁紧块相背离两侧均设有抵接块，两所述滑块相对侧壁上设有与抵接块抵触的锁紧斜面。

通过采用上述技术方案，当密封门关闭后，抵接块移动至两滑块之间，锁紧电机驱动丝杠转动，丝杠带动两个滑块相对滑移，滑块挤压抵接块，从而将抵接块向远离密封门一侧移动，以此可以锁定密封门，减少发生漏气的可能性。

可选的，所述承托盘的底壁上设有两个第一伸缩杆，所述第一伸缩杆远离承托盘的一端与石英罩的内侧壁连接；

所述承托盘的底壁上铰接设有第二伸缩杆，所述第二伸缩杆远离承托盘的一端与密封块铰接连接。

通过采用上述技术方案，当密封门打开后，第一伸缩杆拉长，密封门展开后，第二伸缩杆拉伸，从而可以露出承托盘，方便拿取硅片。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.将氧气输入进气管中，再进入输气管、分支气管进入出气管中，最后从多个出气孔中输出，以此可以均匀的将气体输入石英罩中，以此可以对硅片均匀去胶，提高去胶的效果；

2.利用多个连通管将废气排入排气管中，以此可以快速将废气排出；

3.在安装石英罩时，将石英罩安装在空腔中，挤压抵紧块，抵紧弹簧受压蓄力，推动连接块下移，插块从而脱离移动板，连接弹簧从而可以推动移动板，橡胶块从而可以插入相邻连通管之间的空隙中，以此可以增加石英罩的安装稳定性。

附图说明

图1是相关技术中钟罩的结构示意图。

图2是本申请实施例钟罩的结构示意图。

图3是沿图2中A-A线的剖视图。

图4是本申请实施例应用钟罩的等离子去胶机的结构示意图。

图5是本申请实施例中空腔和空槽的结构示意图。

图6是沿图5中B-B线的剖视图。

图7是图6中A部放大图。

图8是沿图5中C-C线的剖视图。

图9是本申请实施例中动力组件的结构示意图。

图10是沿图9中D-D线的剖视图。

图11是沿图9中E-E线的剖视图。

图12是图11的B部放大图。

图13是沿图9中F-F线的剖视图。

图14是图13的C部放大图。

图15是沿图9中G-G线的剖视图。

附图标记说明：01、钟罩；02、进气管路；1、石英罩；10、进气管；11、输气管；12、出气管；13、分支气管；14、出气孔；15、连通管；16、排气管；17、滑移缺口；18、抵紧弧面；2、去胶机本体；20、支撑板；21、安装缺口；22、固定块；23、锁紧电机；24、丝杠；25、螺纹；26、滑块；27、抵紧凸块；3、空腔；30、空槽；31、安装腔；32、连接块；33、抵紧块；34、抵紧弹簧；35、插块；36、贯穿通槽；37、固定立板；38、移动板；39、插槽；300、橡胶块；301、尖端；302、固定杆；303、环板；304、转动扭簧；305、挡板；306、扣紧板；307、连接弹簧；4、密封门；40、密封块；41、抵触块；42、限位块；43、限位缺口；44、定位缺口；45、支撑杆；46、安装槽；47、电缸；48、支撑块；49、锁紧块；400、抵接块；401、锁紧斜面；402、固定缺口；403、转动电机；404、转动轴；405、转动齿轮；406、移动槽；407、橡胶齿条；408、弧形槽；409、推力组件；5、动力组件；50、动力件；51、驱动电机；52、动力电机；53、驱动杆；54、驱动齿轮；55、齿条；56、伸缩转动杆；57、滑槽；58、导向斜面；59、连接杆；500、第三伸缩杆；501、第四伸缩杆；502、延长杆；503、滑移凸块；504、限位滑槽；505、橡胶垫；506、第一电磁铁；507、限位杆；508、通孔；509、铰接轴；510、抵接杆；511、滑移斜面；512、限位扭簧；513、第二电磁铁；514、滑移槽；515、橡胶条；516、行程开关；517、限位滑块；518、移动滑槽；6、承托盘；60、第一伸缩杆；61、第二伸缩杆。

具体实施方式

以下结合附图2-15对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种钟罩。

参照图2和图3，一种钟罩包括供硅片放入的石英罩1，石英罩1呈圆柱状，石英罩1上设有供氧气输入的进气管10，进气管10的轴线与石英罩1的轴线垂直，进气管10的端壁上连通设有输气管11，输气管11位于石英罩1外，输气管11的轴线与进气管10的轴线垂直，石英罩1内设有出气管12，出气管12的轴线与石英罩1的轴线平行，出气管12与输气管11之间设有至少一个分支气管13，分支气管13可以为两个，分支气管13的一端与出气管12连通，分支气管13的另一端与进气管10连通，分支气管13的轴线与进气管10和输气管11的轴线均垂直，出气管12的侧壁上设有若干个出气孔14，若干个出气孔14沿出气管12的轴向均布，出气孔14开口朝向输气管11；当氧气沿着进气管10、输气管11和分支气管13进入出气管12时，最后从出气孔14输出，氧气撞击到石英罩1呈圆形内壁，再四散到石英罩1内，氧气从而可以均匀填充石英罩1；通过多个出气孔14输出氧气，以此可以快速且均匀的填充石英罩1，硅片从而可以均匀进行发生反应，有利于减少降低去胶效果的可能性。

参照图2，石英罩1的下方设有排气管16，石英罩1远离出气管12的一侧设有若干个连通管15，连通管15远离石英罩1的一端与排气管16连通设置，排气管16的轴线与石英罩1的轴线平行；当反应完毕后，产生的废气通过多个连通管15排出，最后汇集到排气管16中排出，通过多个连通管15排出，提高排气的效率。

本申请实施例还公开一种应用钟罩的等离子去胶机。

参照图4和图5，一种应用钟罩的等离子去胶机，包括去胶机本体2，去胶机本体2的侧壁上设有供石英罩1安装的空腔3，去胶机本体2上设有用于封闭空腔3的密封门4，去胶机本体2上设有用于驱动密封门4的动力组件5，密封门4上设有用于承托硅片的承托盘6，承托盘6远离密封门4的一侧与石英罩1连接；首先将石英罩1安装在空腔3中，再将硅片放置在承托盘6上，利用动力组件5将密封门4进行锁紧，再输入氧气，对硅片进行反应清除硅片上的胶，以此可以方便快捷的对硅片进行清理。

参照图6和图7，由于石英罩1呈圆柱形，当石英罩1放置在呈圆柱形的空腔3内，空腔3的侧壁上设有供连通管15和排气管16放置的空槽30，此时石英罩1容易发生周向运动；所以在空腔3的侧壁上且位于空槽30的一侧设有安装腔31，安装腔31和空槽30之间的侧壁上设有贯穿通槽36。

参照图7和图8，安装腔31的顶壁上设有固定立板37，安装腔31的顶壁上且靠近贯穿通槽36的一侧滑移设有移动板38，移动板38的底壁上设有插槽39，移动板38和固定立板37之间设有若干个连接弹簧307，移动板38上设有穿过贯穿通槽36的橡胶块300，橡胶块300与贯穿通槽36滑移连接，橡胶块300插入相邻连通管15之间的空隙中，橡胶块300远离移动板38的一端设有尖端301；通过橡胶块300的尖端301，便于橡胶块300插入相邻连通管15之间的间隙中。安装腔31的顶壁上且位于固定立板37远离连接弹簧307的一侧滑移设有抵紧块33，抵紧块33伸入安装腔31的一侧设有连接块32，连接块32滑移设置在安装腔31内，连接块32远离抵紧块33的一侧设有若干个抵紧弹簧34，抵紧弹簧34远离连接块32的一侧与安装腔31的底壁连接，连接块32靠近抵紧块33的一侧设有插入插槽39的插块35。

参照图7和图8，石英罩1的外侧壁上设有供抵紧块33滑移的滑移缺口17，滑移缺口17靠近石英罩1开口的一侧设有用于挤压抵紧块33的抵紧弧面18；在安装石英罩1时，首先将石英罩1放入空腔3中，同时将排气管16和连通管15放入空槽30中，同时将滑移缺口17对准抵紧块33，从而可以将抵紧块33滑入滑移缺口17，当抵紧块33遇到抵紧弧面18，抵紧弧面18挤压抵紧块33，推动抵紧块33和连接块32下移，抵紧弹簧34受压下移，从而带动插块35脱离插槽39，连接弹簧307复位，推动移动板38移动，从而带动橡胶块300插入相邻连通管15之间的空隙中，通过橡胶块300与连通管15之间的摩擦力，以此可以将石英罩1固定在空腔3中，减少石英罩1发生周向转动的可能性，也可以减少石英罩1在工作中发生振动的可能性；橡胶块300插入相邻连通管15之间的空隙时，橡胶块300挤压连通管15，从而可以方便石英罩1安装到位。

参照图9，动力组件5包括两个用于驱动密封门4启闭的动力件50，两个动力件50分别位于去胶机本体2的左右两侧。

参照图9，去胶机本体2的侧壁上且位于动力件50的一侧设有两个滑槽57，两个滑槽57上下相对设置，动力件50包括上下相对设置的驱动电机51和动力电机52，驱动电机51和动力电机52位于去胶机本体2的同侧侧壁上，动力电机52和驱动电机51的电机轴均同轴设有驱动杆53，驱动杆53同轴设有驱动齿轮54，去胶机本体2的侧壁上滑移设有与驱动齿轮54啮合的齿条55，齿条55在滑槽57中滑移。

参照图9，靠近驱动电机51的齿条55上铰接设有在滑槽57中滑移的伸缩转动杆56，伸缩转动杆56靠近齿条55的一端呈圆弧状，滑槽57靠近驱动电机51的一侧设有供伸缩转动杆56转动的导向斜面58。

参照图9，靠近动力电机52的齿条55上设有连接杆59，连接杆59远离动力电机52的一端与密封门4转动连接，密封门4上设有用于推动密封门4转动的推力组件409。当需要打开密封门4时，驱动电机51和动力电机52均带动驱动杆53和驱动齿轮54转动，从而带动齿条55向密封门4的一侧移动，密封门4从而脱离去胶机本体2，露出承托盘6，当伸缩转动杆56移动至导向斜面58处，伸缩转动杆56沿着导向斜面58发生转动并伸长，密封门4从而可以转动，以此可以加大打开密封门4的范围，方便拿取硅片；当需要再次清理硅片时，推力组件409推动密封门4转动，伸缩转动杆56收缩，动力电机52和驱动电机51带动驱动杆53和驱动齿轮54转动，从而可以带动齿条55向远离密封门4的一侧移动，密封门4从而可以密封去胶机本体2，实现再次对硅片进行去胶。

参照图9，伸缩转动杆56包括与齿条55连接的第三伸缩杆500、与密封门4连接的第四伸缩杆501以及滑移设置在第三伸缩杆500和第四伸缩杆501之间的延长杆502。

参照图10，第三伸缩杆500的内侧壁上设有滑移凸块503，滑移凸块503靠近第三伸缩杆500开口的一侧设置，延长杆502的外侧壁上设有供滑移凸块503滑移的限位滑槽504，限位滑槽504位于第三伸缩杆500内，限位滑槽504的槽底壁上设有与滑移凸块503抵触的橡胶垫505，限位滑槽504靠近第四伸缩杆501的一侧设有吸附滑移凸块503的第一电磁铁506，滑移凸块503材质可以为铁，第三伸缩杆500内底壁上设有限位杆507，延长杆502的端壁上设有供限位杆507滑移穿过的通孔508，限位杆507穿过通孔508的一端设有两个相对设置的铰接轴509，铰接轴509上转动设有抵接杆510，通孔508靠近第四伸缩杆501内底壁的一侧设有供抵接杆510滑移的滑移斜面511，铰接轴509上设有限位扭簧512，限位扭簧512的一端与铰接轴509连接，限位扭簧512的另一端与抵接杆510连接，延长杆502的端壁上设有用于吸附抵接杆510的第二电磁铁513，抵接杆510的材质可以为铁。

参照图10，第四伸缩杆501的内侧壁上设有供抵接杆510滑移的滑移槽514，滑移槽514的槽底壁上设有与抵接杆510抵触橡胶条515，滑移槽514内设有用于控制第一电磁铁506和第二电磁铁513得失电的行程开关516，行程开关516靠近第四伸缩杆501开口的一侧设置，当抵接杆510接触到行程开关516时，抵触杆510挤压行程开关516的接触头，行程开关516的接触头靠近延长杆502的一侧设置，行程开关516与第一电磁铁506和第二电磁铁513电连接，第四伸缩杆501的内侧壁上设有限位滑块517，限位滑块517靠近第四伸缩杆501开口的一侧设置，延长杆502的外侧壁上设有供限位滑块517滑移的移动滑槽518；当密封门4发生翻转时，密封门4由于自身重力，第四伸缩杆501先发生转动，抵接杆510沿着滑移槽514滑移，橡胶条515与抵接杆510发生摩擦，从而可以减缓第四伸缩杆501展开的速度，当抵接杆510挤压行程开关516的接触头时，第一电磁铁506和第二电磁铁513失电，抵接杆510与第二电磁铁513脱离，滑移凸块503也与第一电磁铁506脱离，第三伸缩杆500从而可以松开延长杆502，密封门4根据自身重力继续翻转，延长杆502从第四伸缩杆501中伸出，限位杆507拉动抵接杆510向通孔508中转动，限位杆507沿着滑移斜面511滑入通孔508中，限位扭簧512展开蓄力。

参照图10，延长杆502伸出第三伸缩杆500时，滑移凸块503在限位滑槽504中滑移，滑移凸块503与橡胶垫505抵触并沿着橡胶垫505滑移，从而可以减缓延长杆502移动的速度，以此可以现实第四伸缩杆501先伸出，延长杆502再伸出，代替延长杆502和第三伸缩杆500同时伸出的方式，减少第四伸缩杆501和延长杆502同时伸出产生的振动，有利于减少硅片在承托盘6上产生的振动。

参照图10，当密封门4需要封闭时，推力组件409推动密封门4转动，此时由于抵接杆510在通孔508中，而滑移凸块503与橡胶垫505抵触，所以第四伸缩杆501与延长杆502之间的摩擦力小于第三伸缩杆500与延长杆502之间的摩擦力，因此第四伸缩杆501先复位，延长杆502不动，限位滑块517在移动滑槽518中滑移，限位滑块517滑移靠近第三伸缩杆500一侧后，延长杆502再伸入第三伸缩杆500中，限位杆507同时在延长杆502的通孔508中移动，限位杆507推动抵接杆510从通孔508中露出，限位扭簧512复位，推动抵接杆510展开；由于抵接杆510脱离行程开关516的接触头后，第一电磁铁506和第二电磁铁513再次得电，所以抵接杆510伸入滑移槽514中，第一电磁铁506便吸附抵接杆510，从而可以将抵接杆510固定在延长杆502的端壁上，延长杆502伸入第三伸缩杆500中，第二电磁铁513吸附滑移凸块503，从而可以将延长杆502固定在第三伸缩杆500中，以此可以实现第四伸缩杆501先固定，延长杆502后固定的方式，以此可以稳定的封闭门进行关闭。

参照图9，密封门4的侧壁上且位于连接杆59和伸缩转动杆56之间设有锁紧块49，锁紧块49上设有两个抵接块400，其中一个抵接块400靠近连接杆59一侧设置，另一个抵接块400靠近伸缩转动杆56一侧设置。

参照图9，去胶机本体2的侧壁上设有锁紧电机23，锁紧电机23的电机轴同轴设有丝杠24，丝杠24的轴线与驱动杆53的轴线平行，丝杠24位于伸缩转动杆56和连接杆59之间，丝杠24上设有旋向相反的两螺纹25，去胶机本体2的侧壁上滑移连接有与螺纹25螺纹连接的滑块26，滑块2靠近抵接块400的一侧设有抵紧凸块27，抵紧凸块27向抵接块400一侧延伸，抵紧凸块27上设有与抵接块400抵触的锁紧斜面401；当密封门4关闭后，锁紧块49移动两滑块26之间，锁紧电机23驱动丝杠24转动，驱动两滑块26相对运动，抵紧凸块27与抵接块400接触，从而带动抵紧块33向远离密封门4一侧移动，从而可以增加密封门4与去胶机本体2之间的密封性。

参照图11，去胶机本体2的侧壁上且位于密封门4的下方设有支撑板20，密封门4的底壁上且靠近去胶机本体2的一侧设有安装缺口21，密封门4的外侧壁上设有与安装缺口21连通的定位缺口44，安装缺口21位于空腔3的下方，支撑板20上设有插入安装缺口21的固定块22，固定块22材质可以为吸铁石。

参照图11，推力组件409包括转动设置在定位缺口44内的支撑杆45，支撑杆45可以采用铰接连接，支撑杆45内设有安装槽46，安装槽46开口朝向支撑板20，安装槽46内设有电缸47，电缸47的轴线与支撑杆45的轴线平行，电缸47的伸缩杆端壁上设有支撑块48，支撑块48位于安装槽46的槽口处并与固定块22吸附，支撑块48的材质可以为铁；当密封门4未发生开启时，利用固定块22吸附支撑块48，此时可以固定支撑杆45；当密封门4发生翻转时，支撑杆45根据自重下垂移出定位缺口44，启动电缸47，电缸47推动支撑块48伸出安装槽46，支撑块48与支撑板20抵触，即可对密封门4进行支撑，有利于减少密封门4对伸缩转动杆56的拉力，增加密封门4打开的稳定性；当密封门4需要合上时，电缸47继续将支撑块48推出安装槽46，从而可以推动密封门4转动，以此可以减少驱动电机51驱动伸缩转动杆56复位进入滑槽57的拉力，减少损坏驱动电机51的可能性。

参照图11和图12，定位缺口44的底壁上设有固定缺口402，固定缺口402内设有两个转动电机403，两个转动电机403上下相对设置，转动电机403的电机轴同轴设有转动轴404，转动轴404同轴设有转动齿轮405。

参照图11和图12，固定缺口402的侧壁上设有两个移动槽406，两个移动槽406上下相对设置，移动槽406沿密封门4的高度方向设置，移动槽406内滑移连接有与转动齿轮405啮合的橡胶齿条407，移动槽406的槽壁上设有供橡胶齿条407移动的弧形槽408，弧形槽408与定位缺口44连通设置；当密封门4翻转后，转动电机403驱动转动轴404和转动齿轮405转动，从而带动橡胶齿条407在移动槽406和弧形槽408中移动，橡胶齿条407移出弧形槽408从而推动支撑杆45转动，以此可以减少支撑杆45卡在定位缺口44的可能性，方便支撑杆45顺利移出定位缺口44。

参照图13和图14，密封门4靠近石英罩1的一侧设有密封块40，密封块40插入空腔3并与石英罩1的端壁抵触设置，有利于增加密封石英罩1的密封性能。

参照图13和图14，空腔3的内侧壁上且沿密封门4的周向设有若干个固定杆302，固定杆302可以为四个，固定杆302上转动连接有环板303，固定杆302上设有转动扭簧304，转动扭簧304的一端与固定杆302连接、另一端与环板303连接，环板303上设有向密封块40一侧延伸的挡板305，挡板305靠近石英罩1的一侧设置，环板303远离挡板305的一侧设有扣紧板306，扣紧板306靠近密封门3的一侧设置。

参照图13和图14，密封块40的截面积由靠近石英罩1的一侧向远离石英罩1的一侧递增，密封块40的侧壁上设有与挡板305抵触的抵触块41，密封块40靠近密封门4的一侧设有限位块42，限位块42上设有供扣紧板306插入的限位缺口43，限位缺口43开口朝向远离抵触块41的一侧，限位缺口43的宽度大于扣紧板306的厚度；当密封块40插入空腔3时，抵触块41先与挡板305接触，此时推动环板303转动，转动扭簧304展开蓄力，环板303从而带动扣紧板306转动，扣紧板306插入限位缺口43中，以此可以将密封块40进行扣紧在空腔3中，以此可以增加密封门4与去胶机本体2之间的密封性能。

参照图15，承托盘6的底壁上设有两个第一伸缩杆60，两个第一伸缩杆60均靠近石英罩1内侧壁的一侧设置，第一伸缩杆60远离承托盘6的一端与石英罩1的内侧壁连接；承托盘6的底壁上铰接设有第二伸缩杆61，第二伸缩杆61远离承托盘6的一端与密封块40铰接连接；当密封块40移出空腔3时，将第一伸缩杆60展开，当密封门4翻转时，第二伸缩杆61展开，以此可以保持承托盘6保持水平状态，方便拿取硅片。

本申请实施例一种钟罩及应用其的等离子去胶机的实施原理为：首先将氧气充入进气管10中，再沿着输气管11和分支气管13进入出气管12中，最后从多个出气管12输出，以此可以均匀填充石英罩1，硅片从而可以均匀进行发生反应，有利于减少降低去胶效果的可能性。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种钟罩，其特征在于：包括供硅片放入的石英罩（1），所述石英罩（1）上设有供氧气输入的进气管（10），所述进气管（10）的端壁上且位于石英罩（1）外连通设有输气管（11），所述石英罩（1）内设有出气管（12），所述出气管（12）与输气管（11）之间设有至少一个分支气管（13），所述出气管（12）的侧壁上设有若干个出气孔（14），若干个所述出气孔（14）沿出气管（12）的轴向均布。

2.根据权利要求1所述的钟罩，其特征在于：所述石英罩（1）远离出气管（12）的一侧设有若干个连通管（15），若干个所述连通管（15）位于石英罩（1）的下方共同连接有排气管（16）。

3.一种等离子去胶机，采用如权利要求1-2任一项所述的钟罩，其特征在于：包括去胶机本体（2），所述去胶机本体（2）上设有供石英罩（1）安装的空腔（3），所述去胶机本体（2）上设有用于封闭空腔（3）的密封门（4），所述密封门（4）上设有用于承托硅片的承托盘（6），所述承托盘（6）远离密封门（4）的一侧与石英罩（1）连接。

4.根据权利要求3所述的等离子去胶机，其特征在于：所述空腔（3）的侧壁上设有供连通管（15）和排气管（16）放置的空槽（30）；

所述空腔（3）的侧壁上且位于空槽（30）的一侧设有安装腔（31），所述安装腔（31）内滑移设有连接块（32），所述连接块（32）上设有伸入空腔（3）的抵紧块（33），所述石英罩（1）的外侧壁上设有供抵紧块（33）滑移的滑移缺口（17），所述滑移缺口（17）靠近石英罩（1）开口的一侧设有用于挤压抵紧块（33）的抵紧弧面（18），所述连接块（32）远离抵紧块（33）的一侧设有与安装腔（31）连接的抵紧弹簧（34），所述连接块（32）靠近空腔（3）的一侧设有插块（35）；

所述安装腔（31）和空槽（30）之间设有贯穿通槽（36），所述安装腔（31）靠近空腔（3）的一侧设有固定立板（37），所述安装腔（31）内滑移设有移动板（38），所述移动板（38）上设有供插块（35）插入的插槽（39），所述移动板（38）与固定立板（37）之间设有若干个连接弹簧（307），所述移动板（38）远离连接弹簧（307）的一侧设有若干个橡胶块（300），所述橡胶块（300）穿过贯穿通槽（36）的一侧插入相邻连通管（15）之间的空隙。

5.根据权利要求3所述的等离子去胶机，其特征在于：所述空腔（3）的内侧壁上且沿密封门（4）的周向设有若干个固定杆（302），所述固定杆（302）上转动连接有环板（303），所述固定杆（302）上设有转动扭簧（304），所述转动扭簧（304）的一端与固定杆（302）连接、另一端与环板（303）连接，所述密封门（4）靠近空腔（3）的一侧设有插入空腔（3）并与石英罩（1）的端壁抵触的密封块（40），所述环板（303）上设有向密封块（40）一侧延伸的挡板（305），所述环板（303）远离挡板（305）的一侧设有扣紧板（306）；

所述密封块（40）的截面积由靠近石英罩（1）的一侧向远离石英罩（1）的一侧递增，所述密封块（40）的侧壁上设有与挡板（305）抵触的抵触块（41），所述密封块（40）靠近密封门（4）的一侧设有限位块（42），所述限位块（42）上设有供扣紧板（306）插入的限位缺口（43）。

6.根据权利要求3所述的等离子去胶机，其特征在于：所述去胶机本体（2）的相背离两侧壁上均设有用于驱动密封门（4）启闭的动力件（50）；

所述动力件（50）包括分别设置在去胶机本体（2）侧壁上的驱动电机（51）和动力电机（52），所述动力电机（52）位于驱动电机（51）的下方，所述动力电机（52）和驱动电机（51）的电机轴均同轴设有驱动杆（53），所述驱动杆（53）同轴设有驱动齿轮（54），所述去胶机本体（2）的侧壁上滑移设有与驱动齿轮（54）啮合的齿条（55）；

靠近所述驱动电机（51）的齿条（55）上铰接设有伸缩转动杆（56），所述伸缩转动杆（56）远离驱动电机（51）的一端与密封门（4）铰接连接，所述去胶机本体（2）的侧壁上设有供伸缩转动杆（56）移动的滑槽（57），所述滑槽（57）靠近动力电机（52）的一侧设有供伸缩转动杆（56）转动的导向斜面（58）；

靠近所述动力电机（52）的齿条（55）上设有连接杆（59），所述连接杆（59）远离动力电机（52）的一端与密封门（4）转动连接；

所述密封门（4）上设有用于推动密封门（4）转动的推力组件（409）。

7.根据权利要求6所述的等离子去胶机，其特征在于：所述去胶机本体（2）的侧壁上设有支撑板（20），所述支撑板（20）位于密封门（4）的下方，所述密封门（4）的底壁上设有安装缺口（21），所述支撑板（20）上设有插入安装缺口（21）的固定块（22）；

所述密封门（4）的外侧壁上设有与安装缺口（21）连通的定位缺口（44）；

所述推力组件（409）包括转动设置在定位缺口（44）中的支撑杆（45），所述支撑杆（45）靠近支撑板（20）的一侧设有安装槽（46），所述安装槽（46）内设有电缸（47），所述电缸（47）的伸缩杆端壁上设有与固定块（22）吸附的支撑块（48）。

8.根据权利要求7所述的等离子去胶机，其特征在于：所述定位缺口（44）靠近去胶机本体（2）的一侧设有固定缺口（402），所述固定缺口（402）内设有两个相对设置的转动电机（403），所述转动电机（403）的电机轴同轴设有转动轴（404），所述转动轴（404）同轴设有转动齿轮（405）；

所述固定缺口（402）的侧壁上设有两个相对设置的移动槽（406），所述移动槽（406）沿密封门（4）的高度方向设置，所述移动槽（406）内滑移连接有与转动齿轮（405）啮合的橡胶齿条（407），所述移动槽（406）的槽壁上设有供橡胶齿条（407）移动的弧形槽（408），所述弧形槽（408）与定位缺口（44）连通设置。

9.根据权利要求3所述的等离子去胶机，其特征在于：所述去胶机本体（2）的侧壁上设有锁紧电机（23），所述锁紧电机（23）位于驱动电机（51）和动力电机（52）之间，所述锁紧电机（23）的电机轴同轴设有丝杠（24），所述丝杠（24）的轴线与驱动杆（53）的轴线平行，所述丝杠（24）上设有旋向相反的两螺纹（25），所述去胶机本体（2）的侧壁上滑移连接有与丝杠（24）螺纹连接的滑块（26）；

所述密封门（4）的侧壁上设有锁紧块（49），所述锁紧块（49）远离密封门（4）的一侧延伸至两滑块（26）之间，所述锁紧块（49）相背离两侧均设有抵接块（400），两所述滑块（26）相对侧壁上设有与抵接块（400）抵触的锁紧斜面（401）。

10.根据权利要求3所述的等离子去胶机，其特征在于：所述承托盘（6）的底壁上设有两个第一伸缩杆（60），所述第一伸缩杆（60）远离承托盘（6）的一端与石英罩（1）的内侧壁连接；

所述承托盘（6）的底壁上铰接设有第二伸缩杆（61），所述第二伸缩杆（61）远离承托盘（6）的一端与密封块（40）铰接连接。

Images