CN112683049A - 一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉及使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明属于钨钼加工设备领域，特别涉及一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉。一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉，包括炉壳体、位于所述炉壳体内部的炉芯组件、与所述炉壳体连接的真空系统、水路系统以及气路系统，所述的炉芯组件为长方体箱型结构，长方体箱型结构四周从内向外依次设有发热体、耐火材料、感应线圈，长方体箱型结构顶部设有炉顶盖；所述的真空系统为所述的炉壳体内部提供真空环境，所述的水路系统为所述炉壳体提供冷却水，所述的气路系统为所述炉壳体提供工作气体。本发明通过采用箱式结构炉膛，将被烧结的钨钼板坯制品水平放置在放料底托上，最大限度改善了被烧结材料的弯曲变形，减少钨钼制品的校直校平工序，降低生产成本。

Description

一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉及使用方法

技术领域

本发明属于钨钼加工设备领域，尤其涉及一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉及使用方法。

背景技术

真空、气氛中频感应烧结炉是钨、钼等特种金属加工行业广泛使用的重要设备。感应加热是电加热的良好形式之一，它是利用法拉第电磁感应原理将电能转变为热能，使三相电源通过中频感应电源变为中频交变电流，而当交变电流通过感应线圈后，就会产生交变感应磁场，也就是说会产生大小和方向都随时间改变的交变磁通。当把一块导电金属（即钨、钼工件）放在感应线圈内时，根据法拉第电磁感应定律，金属内部就会产生相应的感应电动势，由于金属是导体也就会因为感应电动势的存在产生感应电流，这个感应电流就叫做涡流，又根据焦耳-楞次定律，涡流在具有一定电阻的金属内部流动的时候就会产生一定的热量，从而使该金属被加热。

目前常规使用真空、气氛中频感应烧结炉为立式圆形，在板坯烧结时，空间利用率低，无法满足板坯的大量烧结。而且在烧结过程中，由于装料的不充分，板坯在烧结过程中易产生变形，不便于后续的加工制造，为了节约成本，变形的板坯需要进行加热校型，既增加了生产成本又因校型过程中的加热及压力加工对制品的质量有影响；圆形线圈，由于空间利用率低，在使用过程中能耗大，效率低。

发明内容

针对上述问题，本发明的目的是提供一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉及使用方法，通过采用箱式结构炉膛，可以使被烧结的钨钼板坯制品水平放置在放料底托上，最大限度改善了被烧结材料的弯曲变形，大幅度减少钨钼制品的校直校平工序，降低生产成本，同时避免校型过程中的加热及压力加工对制品质量的影响。

本发明的技术方案在于：一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉，包括炉壳体、位于所述炉壳体内部的炉芯组件、与所述炉壳体连接的真空系统、水路系统以及气路系统，其中：所述的炉芯组件为长方体箱型结构，长方体箱型结构四周从内向外依次设有发热体、耐火材料、感应线圈，长方体箱型结构顶部设有炉顶盖；所述的真空系统为所述的炉壳体内部提供真空环境，所述的水路系统为所述炉壳体提供冷却水，所述的气路系统为所述炉壳体提供工作气体。

所述炉壳体为卧式圆形双层水冷套结构，由封头、筒体及法兰焊接而成，所述炉壳体的筒体顶部中央位置分别设有观察窗测温孔、上炉体排水口、进气孔，所述炉壳体的筒体顶部两侧上分别设有吊耳，所述封头两端靠近所述法兰上部分别设有上炉体进水口Ⅰ、上炉体进水口Ⅱ，所述封头两端靠近所述法兰下部分别设有下炉体排水口Ⅰ、下炉体排水口Ⅱ，所述下炉体排水口Ⅰ下方的封头上设有水冷电极接孔，所述炉壳体筒体底部中央位置分别设有下炉体进水孔、排气孔，所述炉壳体筒体底部两侧上分别设有支腿，所述支腿为鞍式支座结构，所述炉壳体筒体中部靠近所述法兰下部两侧分别设有真空系统接孔、防爆器接孔。

所述真空系统与所述炉壳体通过所述真空系统接孔相连接，所述气路系统分别与所述炉壳体的进气孔、排气孔相连接形成气体回路，所述水路系统包括若干进水管路和若干回水管路，所述水路系统分别与所述上炉体进水口Ⅰ、上炉体进水口Ⅱ、下炉体进水孔相连接形成三条进水管路，所述水路系统分别与所述下炉体排水口Ⅰ、下炉体排水口Ⅱ、上炉体排水口相连接形成三条回水管路。

所述发热体由钼条、钨条采用四角搭接方式垒成。

所述的钼条、钨条为长方体，长方体的规格为40×20×800~1000mm。

所述耐火材料为方形，所述耐火材料有两层，依次为氧化锆内层、氧化铝外层。

所述氧化锆内层厚度为50mm，所述氧化铝外层厚度为40mm。

所述炉顶盖由上到下依次由氧化铝纤维板、氧化铝空心球砖、氧化锆空心球砖、钨板、钨支架直接堆叠组成。

所述的真空系统包括由真空管道连接的扩散泵、油增加泵、维持泵、罗茨泵、以及滑阀泵，其中：所述的扩散泵与所述炉壳体通过所述真空系统接孔相连接，所述的扩散泵与所述的炉壳体之间的真空管道上设有真空压力表，所述的增压泵与所述扩散泵连接，所述的罗次泵与所述扩散泵和所述增压泵连接，所述的罗次泵与所述扩散泵之间的真空管道上设有真空挡板阀，所述滑阀泵与所述罗茨泵连接，所述的罗茨泵与所述的滑阀泵之间的真空管道上设有电磁真空带充气压力阀，所述维持泵分别与所述增压泵和所述扩散泵连接，所述的真空管道采用真空波纹管。

一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉的使用方法，使用如上所述的任意一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉，包括以下步骤：

S1:将被烧结材料放入中频感应烧结炉均温区内，盖好炉顶盖，完成箱式真空中频感应烧结炉装料；

S2：开启中频感应烧结炉；

当工作方式选用真空烧结时，首先开启滑阀泵对炉壳体、油增加泵和扩散泵抽真空；当炉壳体内真空度到700Pa时开启罗茨泵，当油增加泵和扩散泵真空达到20Pa时，开启油增加泵和扩散泵加热电源，对泵内油温进行加热，当炉内压力抽至8x10^-1Pa，油增加泵投入使用；当炉内压力抽至8x10^-2Pa时，扩散泵投入使用，当炉内压力抽至2x10^-2Pa时，真空加热条件允许，可开启中频电源进行加热升温，在升温过程中由于挥发物较大炉内压力下降至8x10^-1Pa时，切换成油增加泵工作；当炉内压力抽至8x10^-2Pa时切换成扩散泵对炉内抽真空，当压力再次下降8x10^-1Pa时重复上述工作程序；按工艺要求升温和保温到工艺温度，完成烧结工艺后降温或随炉冷却，完成整个烧结过程，从而除去坯料的氧和其它杂质元素，使坯料致密化，生产出达到性能要求的制品；

当工作方式选用气氛烧结时：启动滑阀泵对炉壳体抽真空，炉压至9KPa时滑阀泵停机，停止抽真空，结束后通过气路系统为所述炉壳体内充入氮气，炉内压力上升，至充气到压值103KPa时，停止进气；再次抽真空，启动滑阀泵，对炉壳体抽真空，炉压至9KPa时滑阀泵停机，停止抽真空；结束后通过气路系统向炉壳体内快充氢气，炉压上升到压值95KPa，需转为工作充氢，向炉腔继续充入氢气，炉压上升至充气到压值103KPa后排气孔打开，水封出气，在炉体各取样口采集炉内氢气并做鸣爆试验、试验合格确认炉膛内无残余空气后可开启中频电源进行加热升温，按工艺要求升温和保温到工艺温度，完成烧结工艺后降温或随炉冷却，完成整个烧结过程，从而除去坯料的氧和其它杂质元素，使坯料致密化，生产出达到性能要求的制品。

本发明的技术效果在于：1、本发明炉芯组件采用的是长方形箱型结构，被烧结的钨钼板坯制品水平放置在放料底托上，最大限度改善了被烧结材料的弯曲变形，大幅度减少钨钼制品的校直校平工序，降低生产成本，同时避免了校型过程中的加热及压力加工对制品质量的影响；2、本发明炉壳体采用卧式圆形结构，相比立式圆形结构，大幅度增加了炉膛装料利用率，能源消耗大幅降低。

以下将结合附图进行进一步的说明。

附图说明

图1为本发明一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉主视图。

图2为本发明一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉侧视图。

图3为本发明一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉俯视图。

图4为本发明一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉的炉顶盖结构示意图。

附图标记：1-炉壳体，2-发热体，3-方形耐火材料，4-感应线圈，5-炉顶盖，6-真空系统，7-水路系统，8-气路系统，9-真空计、真空压力表，10-扩散泵，11-油增加泵，13-维持泵，14-罗茨泵，15-滑阀泵，16-电磁真空带充气压力阀，17-真空挡板阀，18-氧化铝纤维板，19-氧化铝空心球砖，20-氧化锆空心球砖，21-钨板，22-钨支架，23-真空系统接孔，24-防爆器接孔，25-上炉体进水口Ⅰ，26-封头，27-筒体，28-上炉体排水口，29-观察窗测温孔，30-进气口，31-吊耳，32-法兰，33-上炉体进水口Ⅱ，34-下炉体排水口Ⅰ，35-水冷电极接孔，36-支腿，37-下炉体进水孔，38-排气孔，39-下炉体排水口Ⅱ。

具体实施方式

实施例1

为了克服现有立式圆形结构烧结炉在板坯烧结时空间利用率低、板坯在烧结过程中易产生变形、不便于后续的加工制造的问题，本发明提供了如图1所示一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉，本发明通过采用箱式结构炉膛，将被烧结的钨钼板坯制品水平放置在放料底托上，最大限度改善了被烧结材料的弯曲变形，减少钨钼制品的校直校平工序，降低生产成本。

如图1、图2所示，一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉，包括炉壳体1、位于所述炉壳体1内部的炉芯组件、与所述炉壳体1连接的真空系统6、水路系统7以及气路系统8，其中：所述的炉芯组件为长方体箱型结构，长方体箱型结构四周从内向外依次设有发热体2、耐火材料3、感应线圈4，长方体箱型结构顶部设有炉顶盖5；所述的真空系统6为所述的炉壳体1内部提供真空环境，所述的水路系统7为所述炉壳体1提供冷却水，所述的气路系统8为所述炉壳体1提供工作气体。

本发明的炉芯组件为长方体箱型结构，耐火材料3作为保温隔热材料，利用感应线圈4进行感应加热，利用真空机组对加热炉抽真空，水路系统7为炉壳体提供冷却水，气路系统8为加热炉提供工作气体，保证烧结过程中钨钼料不被氧化，由于采用箱式结构炉膛，将被烧结的钨钼板坯制品水平放置在放料底托上，最大限度改善了被烧结材料的弯曲变形，减少钨钼制品的校直校平工序，降低生产成本，同时避免了校型过程中的加热及压力加工对制品质量的影响，相比立式圆形结构，大幅度增加了炉膛装料利用率，能源消耗大幅降低。

实施例2

优选的，在实施例1的基础上，本实施例中，所述炉壳体1为卧式圆形双层水冷套结构，由封头26、筒体27及法兰32焊接而成，所述炉壳体1的筒体27顶部中央位置分别设有观察窗测温孔29、上炉体排水口28、进气孔30，所述炉壳体1的筒体27顶部两侧上分别设有吊耳31，所述封头26两端靠近所述法兰32上部分别设有上炉体进水口Ⅰ25、上炉体进水口Ⅱ33，所述封头26两端靠近所述法兰32下部分别设有下炉体排水口Ⅰ34、下炉体排水口Ⅱ39，所述下炉体排水口Ⅰ34下方的封头26上设有水冷电极接孔35，所述炉壳体1筒体27底部中央位置分别设有下炉体进水孔37、排气孔38，所述炉壳体1筒体27底部两侧上分别设有支腿36，所述支腿36为鞍式支座结构，所述炉壳体1筒体27中部靠近所述法兰32下部两侧分别设有真空系统接孔23、防暴器接孔24。

实际使用过程中，所述炉壳体1为卧式圆形双层水冷套结构，内层材质为不锈钢，外层材质为碳钢，焊接完成后做水压试验，水压0.4Mpa保压24小时，无任何泄漏、异响和明显变形，保证炉壳体长期使用。

优选的，所述真空系统6与所述炉壳体1通过所述真空系统接孔23相连接，所述气路系统8分别与所述炉壳体1的进气孔30、排气孔38相连接形成气体回路，所述水路系统7包括若干进水管路和若干回水管路，所述水路系统7分别与所述上炉体进水口Ⅰ25、上炉体进水口Ⅱ33、下炉体进水孔37相连接形成三条进水管路，所述水路系统7分别与所述下炉体排水口Ⅰ34、下炉体排水口Ⅱ39、上炉体排水口28相连接形成三条回水管路。

实际使用过程中，所述的真空系统6为所述的炉壳体1内部提供真空环境，所述的水路系统7为所述炉壳体1提供冷却水，所述的气路系统8为所述炉壳体1提供工作气体，满足多工况使用的要求。

优选的，所述发热体2由钼条、钨条采用四角搭接方式垒成。所述的钼条、钨条为长方体，长方体的规格为40×20×800~1000mm。

实际使用过程中，发热体2由钨或高温钼材料组成，采用40×20×800~1000mm的钼条或钨条垒起来。装配时遵守上下错缝的原则，四个角搭接方式采用的是直角搭接方式，四个角端头预留有膨胀间隙，加热过程中产生的变形比较小。每根条之间的指扣形式采用的是阴阳指扣，防止在加热过程中由于磁场比较强导致条往出跑的现象。发热体条的宽度控制在30~40mm，厚度控制在20mm左右，这样既能保证发热体在安装过程中的稳定性，也能保证加热过程中发热体的变形量。

所述耐火材料3为方形，所述耐火材料3有两层，依次为氧化锆内层、氧化铝外层。所述氧化锆内层厚度为50mm，所述氧化铝外层厚度为40mm。

实际使用过程中，方形耐火材料3由氧化锆内层和氧化铝外层组成，所述氧化锆内层厚度为50mm，所述氧化铝外层厚度为40mm，耐火材料3四个面为独立面，砌砖时遵循上下错缝的原则，砖与砖之间上下、左右均预留有指扣，此结构具有良好的高温结构强度以及良好的热稳定性、化学稳定性，同时满足在最高温度2300℃满负荷载重等条件下使用。

优选的，如图4所示，所述炉顶盖5由上到下依次由氧化铝纤维板18、氧化铝空心球砖19、氧化锆空心球砖20、钨板21、钨支架22直接堆叠组成。

实际使用过程中，钨支架22保证在加热过程中平顶盖能长期使用，钨板21是用来放置耐火隔热砖氧化铝空心球砖19、氧化锆空心球砖20，隔热砖上面铺有氧化铝耐火纤椎板18，既能保温也能防止大量热从项部散失。此结构不但缩小炉膛容积，保证加热炉炉温更加均匀，而且此平顶结构稳定，能长期使用。

如图3所示，优选的，所述的真空系统6包括由真空管道连接的扩散泵10、油增加泵11、维持泵13、罗茨泵14、以及滑阀泵15，其中：所述的扩散泵10与所述炉壳体1通过所述真空系统接孔23相连接，所述的扩散泵10与所述的炉壳体1之间的真空管道上设有真空压力表9，所述的增压泵11与所述扩散泵10连接，所述的罗次泵14与所述扩散泵10和所述增压泵11连接，所述的罗次泵14与所述扩散泵10之间的真空管道上设有真空挡板阀17，所述滑阀泵15与所述罗茨泵14连接，所述的罗茨泵14与所述的滑阀泵15之间的真空管道上设有电磁真空带充气压力阀16，所述维持泵13分别与所述增压泵11和所述扩散泵10连接，所述的真空管道采用真空波纹管。

实际使用中，为减小炉体震动，真空管道与泵的连接采用金属波纹管，真空测量由真空压力表9测量。真空系统6中设有真空过滤器，以过滤粉尘等颗粒杂质，以利于延长真空泵的使用寿命。真空烧结时开启机械泵15对炉体抽真空，达到预定真空度后依次开启罗茨泵14、扩散泵10、油增加泵11、维持泵13，使炉内达到工艺要求的真空度，按工艺要求升温、保温，完成烧结工艺后降温，控制降温或随炉冷却，完成整个烧结过程，从而除去炉中坯料的氧和其它杂质元素，使坯料致密化，生产出达到性能要求的制品。

实施例3

一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉的使用方法，使用上述任意一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉，具体过程为：

S1:将被烧结材料放入中频感应烧结炉均温区内，盖好炉顶盖5，完成箱式真空中频感应烧结炉装料；

S2：开启中频感应烧结炉；

当工作方式选用真空烧结时，首先开启滑阀泵15对炉壳体1、油增加泵11和扩散泵10抽真空；当炉壳体1内真空度到700Pa时开启罗茨泵14，当油增加泵11和扩散泵10真空达到20Pa时，开启油增加泵11和扩散泵10加热电源，对泵内油温进行加热，当炉内压力抽至8x10^-1Pa，油增加泵11投入使用；当炉内压力抽至8x10^-2Pa时，扩散泵10投入使用，当炉内压力抽至2x10^-2Pa时，真空加热条件允许，可开启中频电源进行加热升温，在升温过程中由于挥发物较大炉内压力下降至8x10^-1Pa时，切换成油增加泵11工作；当炉内压力抽至8x10^-2Pa时切换成扩散泵10对炉内抽真空，当压力再次下降8x10^-1Pa时重复上述工作程序；按工艺要求升温和保温到工艺温度，完成烧结工艺后降温或随炉冷却，完成整个烧结过程，从而除去坯料的氧和其它杂质元素，使坯料致密化，生产出达到性能要求的制品；

当工作方式选用气氛烧结时：启动滑阀泵15对炉壳体1抽真空，炉压至9KPa时滑阀泵15停机，停止抽真空，结束后通过气路系统8为所述炉壳体1内充入氮气，炉内压力上升，至充气到压值103KPa时，停止进气；再次抽真空，启动滑阀泵15，对炉壳体1抽真空，炉压至9KPa时滑阀泵15停机，停止抽真空；结束后通过气路系统8向炉壳体1内快充氢气，炉压上升到压值95KPa，需转为工作充氢，向炉腔继续充入氢气，炉压上升至充气到压值103KPa后排气孔38打开，水封出气，在炉体各取样口采集炉内氢气并做鸣爆试验、试验合格确认炉膛内无残余空气后可开启中频电源进行加热升温，按工艺要求升温和保温到工艺温度，完成烧结工艺后降温或随炉冷却，完成整个烧结过程，从而除去坯料的氧和其它杂质元素，使坯料致密化，生产出达到性能要求的制品。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉，其特征在于：包括炉壳体（1）、位于所述炉壳体（1）内部的炉芯组件、与所述炉壳体（1）连接的真空系统（6）、水路系统（7）以及气路系统（8），其中：所述的炉芯组件为长方体箱型结构，长方体箱型结构四周从内向外依次设有发热体（2）、耐火材料（3）、感应线圈（4），长方体箱型结构顶部设有炉顶盖（5）；所述的真空系统（6）为所述的炉壳体（1）内部提供真空环境，所述的水路系统（7）为所述炉壳体（1）提供冷却水，所述的气路系统（8）为所述炉壳体（1）提供工作气体。

2.根据权利要求1所述一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉，其特征在于：所述炉壳体（1）为卧式圆形双层水冷套结构，由封头（26）、筒体（27）及法兰（32）焊接而成，所述炉壳体（1）的筒体（27）顶部中央位置分别设有观察窗测温孔（29）、上炉体排水口（28）、进气孔（30），所述炉壳体（1）的筒体（27）顶部两侧分别设有吊耳（31），所述封头（26）两端靠近所述法兰（32）上部分别设有上炉体进水口Ⅰ（25）、上炉体进水口Ⅱ（33），所述封头（26）两端靠近所述法兰（32）下部分别设有下炉体排水口Ⅰ（34）、下炉体排水口Ⅱ（39），所述下炉体排水口Ⅰ（34）下方的封头（26）上设有水冷电极接孔（35），所述炉壳体（1）筒体（27）底部中央位置分别设有下炉体进水孔（37）、排气孔（38），所述炉壳体（1）筒体（27）底部两侧上分别设有支腿（36），所述支腿（36）为鞍式支座结构，所述炉壳体（1）筒体（27）中部靠近所述法兰（32）下部两侧分别设有真空系统接孔（23）、防爆器接孔（24）。

3.根据权利要求1或2所述一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉，其特征在于：所述真空系统（6）与所述炉壳体（1）通过所述真空系统接孔（23）相连接，所述气路系统（8）分别与所述炉壳体（1）的进气孔（30）、排气孔（38）相连接形成气体回路，所述水路系统（7）包括若干进水管路和若干回水管路，所述水路系统（7）分别与所述上炉体进水口Ⅰ（25）、上炉体进水口Ⅱ（33）、下炉体进水孔（37）相连接形成三条进水管路，所述水路系统（7）分别与所述下炉体排水口Ⅰ（34）、下炉体排水口Ⅱ（39）、上炉体排水口（28）相连接形成三条回水管路。

4.根据权利要求1所述一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉，其特征在于：所述发热体（2）由钼条、钨条采用四角搭接方式垒成。

5.根据权利要求4所述一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉，其特征在于：所述的钼条、钨条为长方体，长方体的规格为40×20×800~1000mm。

6.根据权利要求1所述一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉，其特征在于：所述耐火材料（3）为方形，所述耐火材料（3）有两层，依次为氧化锆内层、氧化铝外层。

7.根据权利要求6所述一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉，其特征在于：所述氧化锆内层厚度为50mm，所述氧化铝外层厚度为40mm。

8.根据权利要求1所述一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉，其特征在于：所述炉顶盖（5）由上到下依次由氧化铝纤维板（18）、氧化铝空心球砖（19）、氧化锆空心球砖（20）、钨板（21）、钨支架（22）直接堆叠组成。

9.根据权利要求1所述一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉，其特征在于：所述的真空系统（6）包括由真空管道连接的扩散泵（10）、油增加泵（11）、维持泵（13）、罗茨泵（14）、以及滑阀泵（15），其中：所述的扩散泵（10）与所述炉壳体（1）通过所述真空系统接孔（23）相连接，所述的扩散泵（10）与所述的炉壳体（1）之间的真空管道上设有真空压力表（9），所述的增压泵（11）与所述扩散泵（10）连接，所述的罗次泵（14）与所述扩散泵（10）和所述增压泵（11）连接，所述的罗次泵（14）与所述扩散泵（10）之间的真空管道上设有真空挡板阀（17），所述滑阀泵（15）与所述罗茨泵（14）连接，所述的罗茨泵（14）与所述的滑阀泵（15）之间的真空管道上设有电磁真空带充气压力阀（16），所述维持泵（13）分别与所述增压泵（11）和所述扩散泵（10）连接，所述的真空管道采用真空波纹管。

10.一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉的使用方法，使用权利要求1-9所述的任意一种箱式真空、气氛中频感应烧结炉，其特征在于：包括以下步骤：

S1:将被烧结材料放入中频感应烧结炉均温区内，盖好炉顶盖（5），完成箱式真空中频感应烧结炉装料；

S2：开启中频感应烧结炉；

当工作方式选用真空烧结时，首先开启滑阀泵（15）对炉壳体（1）、油增加泵（11）和扩散泵（10）抽真空；当炉壳体（1）内真空度到700Pa时开启罗茨泵（14），当油增加泵（11）和扩散泵（10）真空达到20Pa时，开启油增加泵（11）和扩散泵（10）加热电源，对泵内油温进行加热，当炉内压力抽至8x10^-1Pa，油增加泵（11）投入使用；当炉内压力抽至8x10^-2Pa时，扩散泵（10）投入使用，当炉内压力抽至2x10^-2Pa时，真空加热条件允许，可开启中频电源进行加热升温，在升温过程中由于挥发物较大炉内压力下降至8x10^-1Pa时，切换成油增加泵（11）工作；当炉内压力抽至8x10^-2Pa时切换成扩散泵（10）对炉内抽真空，当压力再次下降8x10^-1Pa时重复上述工作程序；按工艺要求升温和保温到工艺温度，完成烧结工艺后降温或随炉冷却，完成整个烧结过程，从而除去坯料的氧和其它杂质元素，使坯料致密化，生产出达到性能要求的制品；

当工作方式选用气氛烧结时：启动滑阀泵（15）对炉壳体（1）抽真空，炉压至9KPa时滑阀泵（15）停机，停止抽真空，结束后通过气路系统（8）为所述炉壳体（1）内充入氮气，炉内压力上升，至充气到压值103KPa时，停止进气；再次抽真空，启动滑阀泵（15），对炉壳体（1）抽真空，炉压至9KPa时滑阀泵（15）停机，停止抽真空；结束后通过气路系统（8）向炉壳体（1）内快充氢气，炉压上升到压值95KPa，需转为工作充氢，向炉腔继续充入氢气，炉压上升至充气到压值103KPa后排气孔（38）打开，水封出气，在炉体各取样口采集炉内氢气并做鸣爆试验、试验合格确认炉膛内无残余空气后可开启中频电源进行加热升温，按工艺要求升温和保温到工艺温度，完成烧结工艺后降温或随炉冷却，完成整个烧结过程，从而除去坯料的氧和其它杂质元素，使坯料致密化，生产出达到性能要求的制品。

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