CN112676706B - 一种基于脉冲激光的散热板的制备方法及散热板 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种基于脉冲激光的散热板的制备方法及散热板，其方法包括将散热板清洗干净并吹干后置于加工平台上；采用脉冲激光对散热板用于与冷却液接触的上表面进行面扫描，并在散热板的上表面形成微纳米复合结构；将散热板进行高温真空加热，并在散热板上表面形成超疏水表面；采用脉冲激光对散热板的超疏水表面进行间隔扫描，并在超疏水表面上形成条形亲水沟槽。本发明在超疏水表面形成亲水沟槽，超疏水表面结合亲水沟槽自身的虹吸力形成较大的合力，会使得冷却液沿金属板上的亲水沟槽迅速爬升并保持散热板湿润，整个散热板与冷却液的接触面积增大，增强散热效果，工艺简单，绿色环保无污染，成本低效率高。

Description

一种基于脉冲激光的散热板的制备方法及散热板

技术领域

本发明涉及激光加工技术领域，尤其涉及一种基于脉冲激光的散热板的制备方法及散热板。

背景技术

随着科学技术的发展，小型化，高效化，集中化已经成为高科技电子产品发展的主流趋势。但是随着高科技原件的集成化，电子产品在运行过程中势必会产生大量的热量，如果这些热量不能及时释放，就会在其核心部位周围聚集，影响整个产品的性能。所以，近年来电子产品的散热问题已然成为制约其快速发展的一个重要因素。

目前，市面上已有通过使用风扇散热、锯齿散热、热管散热、挤型散热、水冷散热等来加大对电子产品散热的方法。其中，水冷散热因其出色的散热效率、低廉的制作成本、对环境无污染而得到了广泛的应用。体积较大的设备可以采用水冷散热的办法，在水泵的驱动下，把热量通过管道中循环的水散出。但是，对于一些体积较小，结构紧凑的产品，不仅无法安装水泵，而且集成了水管的散热板也无法安装。因此，开发一种能够快速吸水，且不需要采用水泵进行输水的小体积散热板就显得尤其重要。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种基于脉冲激光的散热板的制备方法及散热板

本发明解决上述技术问题的技术方案如下：一种基于脉冲激光的散热板的制备方法，包括如下步骤：

S1：将散热板清洗干净并吹干后置于加工平台上；

S2：采用脉冲激光对散热板用于与冷却液接触的上表面进行面扫描，以对散热板面进行刻蚀处理，并在散热板的上表面形成微纳米复合结构；

S3：将散热板进行高温真空加热，以降低散热板表面能，并在散热板上表面形成超疏水表面；

S4：采用脉冲激光对散热板的超疏水表面进行间隔扫描，以对散热板的超疏水表面进行间隔刻蚀处理，并在超疏水表面上形成条形亲水沟槽。

本发明的有益效果是：本发明的基于脉冲激光的散热板的制备方法，通过先对散热板的上表面进行面扫描刻蚀处理，并对形成的微纳米复合结构进行加热，形成超疏水表面，再对超疏水表面进行间隔扫描刻蚀处理，在超疏水表面形成亲水沟槽，这样在接触冷却液时，超疏水表面结合亲水沟槽自身的虹吸力形成较大的合力，会使得冷却液沿金属板上的亲水沟槽迅速爬升并保持散热板湿润，这样使得整个散热板与冷却液的接触面积增大，增强散热效果，工艺简单，仅仅改变金属基材表面结构，不需要使用任何涂层或改变其化学组成，绿色环保无污染，成本低效率高。

在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进：

进一步：在所述步骤S1之前，还包括如下步骤：

S0：将散热板的表面进行机械加工研磨，使其表面平整。

上述进一步方案的有益效果是：通过预先对散热板的表面进行机械加工研磨，使其表面平整，有利于提高后续激光扫描刻蚀的精度，保证散热板的散热效果。

进一步：所述步骤2中，所述采用脉冲激光对散热板的上表面进行面扫描的扫描速度范围为1000-2000mm/s,扫描次数范围为5-15次。

上述进一步方案的有益效果是：通过控制面扫描的扫描速度和扫描次数，可以保证在采用脉冲激光对散热板的上表面刻蚀出规格合适的微纳米复合结构，而又不至于在上表面刻蚀出超出设定规格的微纳米结构，便于后续加热改性形成超疏水表面。

进一步：所述步骤S3中，高温真空加热的温度范围为100-300℃，烘烤时间范围为24h-48h。

上述进一步方案的有益效果是：通过将上表面形成有微纳米结构的散热板在特定的温度下进行设定时长的烘烤加热，可以增加散热板上表面的接触角，从而形成超疏水表面，这样便于后续在超疏水表面刻蚀亲水沟槽后使得虹吸力更大，增强亲水沟槽的亲水效果。

进一步：所述步骤S4中，所述采用脉冲激光对散热板的超疏水表面进行间隔扫描的扫描速度为100-1000mm/s,扫描次数范围为80-140次。

上述进一步方案的有益效果是：通过控制超疏水表面间隔扫描速度和扫描次数，可以在所述超疏水表面形成深度合适的亲水沟槽，保证亲水效果。

进一步：所述步骤S4之后，还包括如下步骤：

S5：采用金属件将散热板的下表面上用于设置电子元件的贴片区完全遮挡住，并采用脉冲激光对散热板的下表面贴片区的外围区域进行间隔扫描，对散热板的下表面进行间隔刻蚀处理，并在所述散热板的下表面贴片区的外围区域形成散热沟槽。

上述进一步方案的有益效果是：通过在散热板的下表面贴片区外围区域进行激光扫描刻蚀，并形成散热沟槽，这样可以进一步增加整个散热板的散热性能，提高散热效率，保证电子元件工作在合适的温度范围内，有利于提高电路的稳定性，延长电子元件的使用寿命。

进一步：所述亲水沟槽与所述散热沟槽上下交错设置在散热板的上表面和下表面。

上述进一步方案的有益效果是：通过将所述亲水沟槽与所述散热沟槽上下交错设置在散热板的上表面和下表面，这样可以在保证散热板的结构强度的基础上，尽可能增加散热板上下表面的总散热面积，提高散热效率。

进一步：所述步骤S5之后，还包括如下步骤：

S6：采用脉冲激光对散热板的下表面贴片区的边界进行环形扫描刻蚀，并在散热板的下表面贴片区的边界处形成环形固定槽，在所述环形固定槽内设置环形柔性导热垫。

上述进一步方案的有益效果是：通过对所述贴片区的边界进行环形扫描刻蚀，并形成环形固定槽，这样可以方便将所述环形柔性导热垫设置在所述环形固定槽内，从而使得环形柔性导热垫与电子元件接触，一方面可以对电子元件起到缓冲保护作用，避免电子元件受到应力损伤，另一方面通过环形柔性导热垫可以便于将电子元件产生的热量传递至散热板，以加快散热，提高散热效果。

进一步：所述步骤S6之后，还包括如下步骤：

S7：在所述散热板的下表面贴片区表面设置导热层。

上述进一步方案的有益效果是：通过设置导热层可以方便与电子元件形成面贴合，增加接触面积，从而进一步增强散热效果。

进一步：所述亲水沟槽的宽度与相邻两个所述散热沟槽之间的间距相等，且所述亲水沟槽的宽度范围为0.05mm-2mm。

上述进一步方案的有益效果是：通过将所述亲水沟槽的宽度与相邻两个所述散热沟槽之间的间距相等，可以在保证机械强度的情况下最大化接触面积。

进一步：所述吸水散热板为铝板或不锈钢板。

本发明还提供了一种散热板，采用所述的基于脉冲激光的散热板的制备方法制成。

本发明的散热板在接触冷却液时，通过超疏水表面结合亲水沟槽自身的虹吸力形成较大的合力，会使得冷却液沿金属板上的亲水沟槽迅速爬升并保持散热板湿润，这样使得整个散热板与冷却液的接触面积增大，增强散热效果，结构简单，仅仅改变金属基材表面结构，不需要使用任何涂层或改变其化学组成，绿色环保无污染，成本低效率高。

附图说明

图1为本发明一实施例的基于脉冲激光的散热板的正视图；

图2为图1的B-B剖视图；

图3为本发明一实施例的基于脉冲激光的散热板的轴测图；

图4为本发明一实施例的基于脉冲激光的散热板的侧视图；

图5a为本发明一实施例的基于脉冲激光制得的铝板的亲水沟槽实例图；

图5b为本发明一实施例的基于脉冲激光制得的铝板的亲水沟槽间距实例图；

图6a为本发明一实施例的基于脉冲激光制得的不锈钢板的亲水沟槽实例图；

图6b为本发明一实施例的基于脉冲激光制得的不锈钢板的亲水沟槽间距实例图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、散热板，2、亲水沟槽，3、散热沟槽，4、环形固定槽，5、环形柔性导热垫，6、导热层。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。

一种基于脉冲激光的散热板的制备方法, 包括如下步骤：

S1：将散热板1清洗干净并吹干后置于加工平台上；

S2：采用脉冲激光对散热板1用于与冷却液接触的上表面进行面扫描，以对散热板1面进行刻蚀处理，并在散热板1的上表面形成微纳米复合结构；

S3：将散热板1进行高温真空加热，以降低散热板1表面能，并在散热板1上表面形成超疏水表面；

S4：采用脉冲激光对散热板1的超疏水表面进行间隔扫描，以对散热板1的超疏水表面进行间隔刻蚀处理，并在超疏水表面上形成条形亲水沟槽。

本发明的基于脉冲激光的散热板的制备方法，通过先对散热板的上表面进行面扫描刻蚀处理，并对形成的微纳米复合结构进行加热，形成超疏水表面，再对超疏水表面进行间隔扫描刻蚀处理，在超疏水表面形成亲水沟槽，这样在接触冷却液时，超疏水表面结合亲水沟槽自身的虹吸力形成较大的合力，会使得冷却液沿金属板上的亲水沟槽迅速爬升并保持散热板湿润，这样使得整个散热板与冷却液的接触面积增大，增强散热效果，工艺简单，仅仅改变金属基材表面结构，不需要使用任何涂层或改变其化学组成，绿色环保无污染，成本低效率高。

可选地，在本发明的一个或多个实施例中，所述步骤S1之前，还包括如下步骤：

S0：将散热板1的表面进行机械加工研磨，使其表面平整。

通过预先对散热板1的表面进行机械加工研磨，使其表面平整，有利于提高后续激光扫描刻蚀的精度，保证散热板1的散热效果。

在本发明的一个或多个实施例中，所述步骤2中，所述采用脉冲激光对散热板1的上表面进行面扫描的扫描速度范围为1000-2000mm/s,扫描次数范围为5-15次。

通过控制面扫描的扫描速度和扫描次数，可以保证在采用脉冲激光对散热板1的上表面刻蚀出规格合适的微纳米复合结构，而又不至于在上表面刻蚀出超出设定规格的微纳米结构，便于后续加热改性形成超疏水表面。

在本发明的一个或多个实施例中，所述步骤S3中，高温真空加热的温度范围为100-300℃，烘烤时间范围为24h-48h。

通过将上表面形成有微纳米结构的散热板1在特定的温度下进行设定时长的烘烤加热，可以增加散热板1上表面的接触角，从而形成超疏水表面，这样便于后续在超疏水表面刻蚀亲水沟槽后使得虹吸力更大，增强亲水沟槽的亲水效果。

在本发明的一个或多个实施例中，所述步骤S4中，所述采用脉冲激光对散热板1的超疏水表面进行间隔扫描的扫描速度为100-1000mm/s,扫描次数范围为80-140次。

通过控制超疏水表面间隔扫描速度和扫描次数，可以在所述超疏水表面形成深度合适的亲水沟槽，保证亲水效果。

可选地，在本发明的一个或多个实施例中，所述步骤S4之后，还包括如下步骤：

S5：采用金属件将散热板1的下表面上用于设置电子元件的贴片区完全遮挡住，并采用脉冲激光对散热板1的下表面贴片区的外围区域进行间隔扫描，对散热板1的下表面进行间隔刻蚀处理，并在所述散热板1的下表面贴片区的外围区域形成散热沟槽3。

通过在散热板1的下表面贴片区外围区域进行激光扫描刻蚀，并形成散热沟槽3，这样可以进一步增加整个散热板1的散热性能，提高散热效率，保证电子元件工作在合适的温度范围内，有利于提高电路的稳定性，延长电子元件的使用寿命。

可选地，在本发明的一个或多个实施例中，所述亲水沟槽与所述散热沟槽3上下交错设置在散热板1的上表面和下表面。

通过将所述亲水沟槽与所述散热沟槽3上下交错设置在散热板1的上表面和下表面，这样可以在保证散热板1的结构强度的基础上，尽可能增加散热板1上下表面的总散热面积，提高散热效率。

可选地，在本发明的一个或多个实施例中，所述步骤S5之后，还包括如下步骤：

S6：采用脉冲激光对散热板1的下表面贴片区的边界进行环形扫描刻蚀，并在散热板1的下表面贴片区的边界处形成环形固定槽4，在所述固定槽内设置环形柔性导热垫6。

通过对所述贴片区的边界进行环形扫描刻蚀，并形成环形固定槽4，这样可以方便将所述环形柔性导热垫6设置在所述环形固定槽4内，从而使得环形柔性导热垫6与电子元件接触，一方面可以对电子元件起到缓冲保护作用，避免电子元件受到应力损伤，另一方面通过环形柔性导热垫6可以便于将电子元件产生的热量传递至散热板1，以加快散热，提高散热效果。

本发明中，所述环形柔性导热垫6柔性导热垫是一种有厚度的的导热衬垫,目前使用的基材基本上是硅橡胶和发泡橡胶，硅橡胶的特点是弹性好，发泡橡胶的特点是形变范围大，导热效果好，耐压等级更高。柔性导热垫往往作为较大间隙的填充物起到传递热量的作用，它通常使用在PCB板之间、PCB板与机壳之间、功率器件与机壳之间或者就粘贴在芯片上作为散热器使用。柔性导热垫中的导热填充颗粒一般为氧化铝颗粒或者是氧化铝、氧化镁及氮化硼的混合颗粒，具有良好的导热性能，同时能够防穿刺，真真起到绝缘的作用。

可选地，在本发明的一个或多个实施例中，所述步骤S6之后，还包括如下步骤：

S7：在所述散热板1的下表面贴片区表面设置导热层6。

通过设置导热层6可以方便与电子元件形成面贴合，增加接触面积，从而进一步增强散热效果。

本发明中，所述导热层6采用导热硅脂材质，其具有良好的导热、耐温、绝缘性能。

可选地，在本发明的一个或多个实施例中，所述亲水沟槽的宽度与相邻两个所述散热沟槽3之间的间距相等，且所述亲水沟槽的宽度范围为0.05mm-2mm。

通过将所述亲水沟槽的宽度与相邻两个所述散热沟槽3之间的间距相等，可以在保证机械强度的情况下最大化接触面积。

在本发明的一个或多个实施例中，所述吸水散热板1为铝板或不锈钢板。

本发明还提供了一种吸水散热板1，采用所述的基于脉冲激光的散热板1的制备方法制成。

本发明的吸水散热板1在接触冷却液时，通过超疏水表面结合亲水沟槽自身的虹吸力形成较大的合力，会使得冷却液沿金属板上的亲水沟槽迅速爬升并保持散热板湿润，这样使得整个散热板1与冷却液的接触面积增大，增强散热效果，结构简单，仅仅改变金属基材表面结构，不需要使用任何涂层或改变其化学组成，绿色环保无污染，成本低效率高。

如图1-4所示，图中从不同角度示出了根据本发明的基于脉冲激光的散热板1的制备方法制备得到的散热板的结构示意图。图中示出了散热板的下表面贴片区的数量为一个，且形状为矩形的情形，需要特别说明的是，实际中，散热板的下表面贴片区的数量可以为多个，且其形状不局限于矩形，也可以是其他形状，这些皆在本发明的保护范围内。

实施案例1

将铝板清洗干净并吹干后置于加工平台上，采用脉冲激光对待加工铝板的上表面进行激光面扫处理。

所述采用脉冲激光面扫处理的激光扫描速度范围为1000-2000mm/s,扫描次数范围为5-15次。

可选地，所述采用脉冲激光面扫处理的激光扫描速度为1500mm/s,扫描次数为10次。

将激光面扫处理完毕的铝板置入烤箱中进行烘烤，并在铝板上表面形成超疏水表面。

所述烤箱烘烤环境为真空环境，温度范围为100-300℃，烘烤时间范围为24h-48h。

可选地，所述烤箱烘烤环境为真空环境，烘烤温度为200℃，烘烤时间为48h。

将烘烤完毕的铝板置于工作台上，采用脉冲激光对铝板的超疏水表面进行间隔扫描，以对铝板的超疏水表面进行间隔刻蚀处理，并在铝板的超疏水表面形成若干条形亲水沟槽。

所述采用脉冲激光在铝板上刻蚀亲水性沟槽的激光扫描速度为100-1000mm/s,扫描次数范围为80-140次。

可选地，所述采用脉冲激光在铝板上刻蚀亲水性沟槽的激光扫描速度为800mm/s,扫描次数为120次。

可选地，所述采用脉冲激光在铝板上刻蚀亲水性沟槽宽度范围为0.05mm-1.2mm。

优选地，所述采用脉冲激光在铝板上刻蚀亲水沟槽的宽度为0.3mm。

可选地，所述采用脉冲激光在铝板上刻蚀亲水沟槽间距范围为0.1mm-2mm。

优选地，所述采用脉冲激光在铝板上刻蚀亲水沟槽间距为0.4mm。

可选地，所述采用脉冲激光在铝板上刻蚀亲性沟槽深度范围为0.1mm-0.3mm。

优选地，所述采用脉冲激光在铝板上刻蚀亲水沟槽深度为0.2mm。

本实施案例中制备得到的吸水散热铝板沟槽如图5a所示，沟槽间距如图5b所示。

本实施案例中利用脉冲激光制备的吸水散热铝板，将其底端浸入水中10mm，水可沿铝板表面迅速爬升，并保持散热板湿润，测试结果见表1。

本发明中,实验之前还将未经脉冲激光处理的原始铝板表面参照上述测量方法进行测量,得到未经脉冲激光处理的原始金属板表面浸入水中后的测试结果，见表1。

实施案例2

将不锈钢板清洗干净并吹干后置于加工平台上，采用脉冲激光对待加工不锈钢板的上表面进行激光面扫处理。

所述采用脉冲激光面扫处理的激光扫描速度范围为1000-2000mm/s,扫描次数范围为5-15次。

可选地，所述采用脉冲激光面扫处理的激光扫描速度为2000mm/s,扫描次数为10次。

将激光面扫处理完毕的不锈钢板置入烤箱中进行烘烤，并在不锈钢板的上表面形成超疏水表面。

所述烤箱烘烤环境为真空环境，温度范围为100-300℃，烘烤时间范围为24h-48h。

可选地，所述烤箱烘烤环境为真空环境，烘烤温度为200℃，烘烤时间为48h。

将烘烤完毕的不锈钢板置于工作台上，采用脉冲激光在不锈钢板的超疏水表面进行间隔扫描，以对不锈钢板的超疏水表面进行间隔刻蚀处理，并在不锈钢板的超疏水表面形成若干条形亲水沟槽。

所述采用脉冲激光在不锈钢板上刻蚀亲水性沟槽的激光扫描速度为100-1000mm/s,扫描次数范围为80-140次。

可选地，所述采用脉冲激光在不锈钢板上刻蚀亲水性沟槽的激光扫描速度为800mm/s,扫描次数为100次。

可选地，所述采用脉冲激光在不锈钢板上刻蚀亲水性沟槽宽度范围为0.05mm-1.2mm。

可选地，所述采用脉冲激光在不锈钢板上刻蚀亲水性沟槽宽度为0.3mm。

可选地，所述采用脉冲激光在不锈钢板上刻蚀亲水性沟槽间距范围为0.1mm-2mm。

优选地，所述采用脉冲激光在不锈钢板上刻蚀亲水性沟槽间距为0.3mm。

可选地，所述采用脉冲激光在不锈钢板上刻蚀亲水性沟槽深度范围为0.1mm-0.3mm。

优选地，所述采用脉冲激光在不锈钢板上刻蚀亲水性沟槽深度为0.2mm。

本实施案例中制备得到的吸水散热不锈钢板沟槽如图6a所示，沟槽间距如图6b所示。

本实施案例中利用脉冲激光制备的吸水散热不锈钢板，将其底端浸入水中10mm，水可沿不锈钢板表面迅速爬升，并保持散热板湿润，测试结果见表1。

本发明中,实验之前还将未经脉冲激光处理的原始不锈钢板表面参照上述测量方法进行测量,得到未经脉冲激光处理的原始不锈钢板表面浸入水中后的测试结果，见表1。

表1

实施案例	吸水高度(mm)	爬升用时(s)	保持湿润时间(h)
				原始铝板	0	15	0
原始不锈钢板	0	15	0
				实施案例1	80mm	15	12h
实施案例2	78mm	15	12h

由此可见，利用本发明方法制备的吸水散热板1具有优异的吸水性能，且仅仅改金属表面结构，不需要使用任何涂层或改变其化学组成，就能在金属板上制备吸水表面，达到保持湿润，加大散热的效果。可以应用于一些无法安装水泵和散热水管，体积较小，结构紧凑的产品，提高其散热效率。并且激光加工绿色环保无污染，能耗少，成本低效率高，同时加工工艺条件较宽，通过调控参数可以制备具有不同吸水性能的散热板1。

本发明的利用脉冲激光制备吸水散热板1的方法具有如下优点：

（1）本发明采用的激光制备方法工艺简单，仅仅改变金属表面结构，不需要使用任何涂层或改变其化学组成；

（2）采用本发明方法，绿色环保无污染，成本低效率高，同时加工工艺条件较宽，适用于加工不同吸水性能的散热板1。

（3）采用本发明方法制备得到的吸水散热板1，水可沿金属板表面沟槽迅速爬升并保持散热板湿润，在实际散热应用当中起到了很重要的作用。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种基于脉冲激光的散热板的制备方法, 其特征在于，包括如下步骤：

S1：将散热板（1）清洗干净并吹干后置于加工平台上；

S2：采用脉冲激光对散热板（1）用于与冷却液接触的上表面进行面扫描，以对散热板（1）面进行刻蚀处理，并在散热板（1）的上表面形成微纳米复合结构；

S3：将散热板（1）进行高温真空加热，以降低散热板（1）表面能，并在散热板（1）上表面形成超疏水表面；

S4：采用脉冲激光对散热板（1）的超疏水表面进行间隔扫描，以对散热板（1）的超疏水表面进行间隔刻蚀处理，并在超疏水表面上形成条形亲水沟槽（2）；

所述步骤S4之后，还包括如下步骤：

S5：采用金属件将散热板（1）的下表面上用于设置电子元件的贴片区完全遮挡住，并采用脉冲激光对散热板（1）的下表面贴片区的外围区域进行间隔扫描，对散热板（1）的下表面进行间隔刻蚀处理，并在所述散热板（1）的下表面贴片区的外围区域形成散热沟槽（3）；

所述亲水沟槽（2）与所述散热沟槽（3）上下交错设置在散热板（1）的上表面和下表面；

所述亲水沟槽（2）的宽度与相邻两个所述散热沟槽（3）之间的间距相等，且所述亲水沟槽（2）的宽度范围为0.05mm-2mm。

2.根据权利要求1所述的基于脉冲激光的散热板的制备方法, 其特征在于，在所述步骤S1之前，还包括如下步骤：

S0：将散热板（1）的表面进行机械加工研磨，使其表面平整。

3.根据权利要求1所述的基于脉冲激光的散热板的制备方法, 其特征在于，所述步骤2中，所述采用脉冲激光对散热板（1）的上表面进行面扫描的扫描速度范围为1000-2000mm/s,扫描次数范围为5-15次，所述步骤S4中，所述采用脉冲激光对散热板（1）的超疏水表面进行间隔扫描的扫描速度为100-1000mm/s,扫描次数范围为80-140次。

4.根据权利要求1所述的基于脉冲激光的散热板的制备方法, 其特征在于，所述步骤S3中，高温真空加热的温度范围为100-300℃，烘烤时间范围为24h-48h。

5.根据权利要求1所述的基于脉冲激光的散热板的制备方法, 其特征在于，所述步骤S5之后，还包括如下步骤：

S6：采用脉冲激光对散热板（1）的下表面贴片区的边界进行环形扫描刻蚀，并在散热板（1）的下表面贴片区的边界处形成环形固定槽（4），在所述环形固定槽（4）内设置环形柔性导热垫（5）。

6.根据权利要求5所述的基于脉冲激光的散热板的制备方法, 其特征在于，所述步骤S6之后，还包括如下步骤：

S7：在所述散热板（1）的下表面贴片区表面设置导热层（6）。

7.一种散热板，其特征在于，采用权利要求1-6任一项所述的基于脉冲激光的散热板的制备方法制成。

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