CN112670150B - 一种光电元器件加工用离子注入装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种光电元器件加工用离子注入装置，涉及光电元器件加工技术领域。该光电元器件加工用离子注入装置，包括工作台，所述工作台的上表面固定连接有密封箱体与真空泵，所述密封箱体与真空泵之间通过管道组件连接，所述工作台的下表面固定连接有安装壳体，所述安装壳体的内部固定安装有伺服电机。本发明，通过主驱动轴带着上安装座、中安装座与下安装座同步转动，当上安装座转动时带着多个离子喷头转动，当中安装座转动时带着多个放置板转动，同时，由于固定齿环与转动齿轮啮合，使得多个放置板在绕着主驱动轴转动的同时，放置板自身也会发生自转，离子注入更加均匀，从而就提高了离子注入的效果。
Description
技术领域
本发明涉及光电元器件加工技术领域，具体为一种光电元器件加工用离子注入装置。
背景技术
光电器件是指利用半导体光敏特性工作的光电导器件，利用半导体光生伏特效应工作的光电池和半导体发光器件等。半导体光电器件如光导管、光电池、光电二极管、光电晶体管等；半导体热电器件如热敏电阻、温差发电器和温差电制冷器等。
离子注入是指当真空中有一束离子束射向一块固体材料时，离子束把固体材料的原子或分子撞出固体材料表面，这个现象叫做溅射；而当离子束射到固体材料时，从固体材料表面弹了回来，或者穿出固体材料而去，这些现象叫做散射；另外有一种现象是，离子束射到固体材料以后，受到固体材料的抵抗而速度慢慢减低下来，并最终停留在固体材料中的这一现象叫作离子注入。
在光电元器件加工过程中，需要对其进行离子注入，然而现有的离子注入装置多为固定式，光电元器件在注入离子的过程中无法做到均匀，从而降低了光电元器件离子注入的质量。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本发明提供了一种光电元器件加工用离子注入装置，解决了现有技术中存在的缺陷与不足。
(二)技术方案
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种光电元器件加工用离子注入装置，包括工作台，所述工作台的上表面固定连接有密封箱体与真空泵，所述密封箱体与真空泵之间通过管道组件连接，所述工作台的下表面固定连接有安装壳体，所述安装壳体的内部固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定连接有主驱动轴，所述主驱动轴延伸至密封箱体的内部并固定连接有连接轴，所述连接轴的顶部与密封箱体的内顶部转动连接，所述连接轴的外表面设置有离子注入组件，所述主驱动轴的外表面固定连接有中安装座，所述中安装座的表面贯穿并转动连接有副旋转轴，所述副旋转轴的顶部固定连接有放置板，所述放置板的上表面固定连接有夹持组件，所述副旋转轴的底部固定连接有转动齿轮，所述密封箱体的内底部设置有啮合组件。
优选的，所述管道组件包括与真空泵固定连接的主管道，所述主管道远离真空泵的一端固定连接有连接管道，所述连接管道远离主管道的一端固定连接有副管道，所述副管道远离连接管道的一端与密封箱体接通。
优选的，所述离子注入组件包括上安装座，所述上安装座与连接轴的外表面固定连接，所述上安装座的下表面固定连接有多个离子喷头。
优选的，所述副旋转轴的外表面固定连接有转动块，所述副旋转轴通过转动块与中安装座转动连接，所述中安装座的内部开设有与转动块相对应的安装槽。
优选的，所述夹持组件包括固定长条，所述固定长条的侧壁贯穿插接有抽拉插杆，所述抽拉插杆的一端固定连接有拉动块，所述抽拉插杆的另一端固定连接有夹持块，所述抽拉插杆的外表面套设有连接弹簧。
优选的，所述啮合组件包括大圆环，所述大圆环的内壁固定连接有固定齿环，所述固定齿环与转动齿轮啮合。
优选的，所述主驱动轴的外表面且位于中安装座的下方固定连接有下安装座，所述下安装座的内部固定连接有轴承，所述副旋转轴通过轴承与下安装座转动连接。
优选的，所述密封箱体的正面活动安装有密封门体，所述密封门体的正面设置有旋转件。
工作原理：使用时，将光电元器件放到放置板的上表面，然后利用两个夹持组件将光电元器件固定住，然后再启动伺服电机，伺服电机的输出主带着主驱动轴转动，使得主驱动轴带着上安装座、中安装座与下安装座同步转动，当上安装座转动时带着多个离子喷头转动，当中安装座转动时带着多个放置板转动，同时，由于固定齿环与转动齿轮啮合，使得多个放置板在绕着主驱动轴转动的同时，放置板自身也会发生自转，从而就提高了离子注入的效果，通过真空泵与管道组件之间的配合，使得密封箱体内部可以处于一个真空的状态。
(三)有益效果
本发明提供了一种光电元器件加工用离子注入装置。具备以下有益效果：
1、本发明，通过主驱动轴带着上安装座、中安装座与下安装座同步转动，当上安装座转动时带着多个离子喷头转动，当中安装座转动时带着多个放置板转动，同时，由于固定齿环与转动齿轮啮合，使得多个放置板在绕着主驱动轴转动的同时，放置板自身也会发生自转，离子注入更加均匀，从而就提高了离子注入的效果。
2、本发明，通过拉动块使得两个夹持块远离，然后放入光电元器件并松开拉动块，由于连接弹簧的作用将光电元器件夹紧，操作简单方便。
附图说明
图1为本发明整体结构示意图；
图2为本发明内部结构示意图；
图3为本发明图2-A的局部放大图；
图4为本发明图2-B的局部放大图；
图5为本发明图2-C的局部放大图；
图6为本发明大圆环结构俯视图。
其中，1、工作台；2、密封箱体；3、真空泵；4、连接管道；5、安装壳体；6、伺服电机；7、主驱动轴；8、连接轴；9、上安装座；10、离子喷头；11、中安装座；12、副旋转轴；13、转动块；14、安装槽；15、放置板；16、固定长条；17、抽拉插杆；18、拉动块；19、夹持块；20、连接弹簧；21、下安装座；22、轴承；23、转动齿轮；24、大圆环；25、固定齿环；26、密封门体；27、旋转件；28、主管道；29、副管道。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例：
如图1-6所示，本发明实施例提供一种光电元器件加工用离子注入装置，包括工作台1，工作台1的上表面固定连接有密封箱体2与真空泵3，密封箱体2与真空泵3之间通过管道组件连接，通过真空泵3与管道组件之间的配合，使得密封箱体2内部可以处于一个真空的状态，工作台1的下表面固定连接有安装壳体5，安装壳体5的内部固定安装有伺服电机6，伺服电机6的输出轴固定连接有主驱动轴7，主驱动轴7延伸至密封箱体2的内部并固定连接有连接轴8，连接轴8的顶部与密封箱体2的内顶部转动连接，连接轴8的外表面设置有离子注入组件，主驱动轴7的外表面固定连接有中安装座11，中安装座11的表面贯穿并转动连接有副旋转轴12，副旋转轴12的顶部固定连接有放置板15，放置板15的上表面固定连接有夹持组件，副旋转轴12的底部固定连接有转动齿轮23，密封箱体2的内底部设置有啮合组件。
管道组件包括与真空泵3固定连接的主管道28，主管道28远离真空泵3的一端固定连接有连接管道4，连接管道4远离主管道28的一端固定连接有副管道29，副管道29远离连接管道4的一端与密封箱体2接通。
离子注入组件包括上安装座9，上安装座9与连接轴8的外表面固定连接，上安装座9的下表面固定连接有多个离子喷头10，当上安装座9转动时带着多个离子喷头10转动。
副旋转轴12的外表面固定连接有转动块13，副旋转轴12通过转动块13与中安装座11转动连接，中安装座11的内部开设有与转动块13相对应的安装槽14。
夹持组件包括固定长条16，固定长条16的侧壁贯穿插接有抽拉插杆17，抽拉插杆17的一端固定连接有拉动块18，抽拉插杆17的另一端固定连接有夹持块19，抽拉插杆17的外表面套设有连接弹簧20，通过拉动块18使得两个夹持块19远离，然后放入光电元器件并松开拉动块18，由于连接弹簧20的作用将光电元器件夹紧，操作简单方便。
啮合组件包括大圆环24，大圆环24的内壁固定连接有固定齿环25，固定齿环25与转动齿轮23啮合，由于固定齿环25与转动齿轮23啮合，使得多个放置板15在绕着主驱动轴7转动的同时，放置板15自身也会发生自转。
主驱动轴7的外表面且位于中安装座11的下方固定连接有下安装座21，下安装座21的内部固定连接有轴承22，副旋转轴12通过轴承22与下安装座21转动连接，通过设置的下安装座21，使得副旋转轴12的转动更加的稳定。
密封箱体2的正面活动安装有密封门体26，密封门体26的正面设置有旋转件27，通过设置的旋转件27是为了方便打开密封门体26。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个引用结构”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (8)
1.一种光电元器件加工用离子注入装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的上表面固定连接有密封箱体(2)与真空泵(3)，所述密封箱体(2)与真空泵(3)之间通过管道组件连接，所述工作台(1)的下表面固定连接有安装壳体(5)，所述安装壳体(5)的内部固定安装有伺服电机(6)，所述伺服电机(6)的输出轴固定连接有主驱动轴(7)，所述主驱动轴(7)延伸至密封箱体(2)的内部并固定连接有连接轴(8)，所述连接轴(8)的顶部与密封箱体(2)的内顶部转动连接，所述连接轴(8)的外表面设置有离子注入组件，所述主驱动轴(7)的外表面固定连接有中安装座(11)，所述中安装座(11)的表面贯穿并转动连接有副旋转轴(12)，所述副旋转轴(12)的顶部固定连接有放置板(15)，所述放置板(15)的上表面固定连接有夹持组件，所述副旋转轴(12)的底部固定连接有转动齿轮(23)，所述密封箱体(2)的内底部设置有啮合组件。
2.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述管道组件包括与真空泵(3)固定连接的主管道(28)，所述主管道(28)远离真空泵(3)的一端固定连接有连接管道(4)，所述连接管道(4)远离主管道(28)的一端固定连接有副管道(29)，所述副管道(29)远离连接管道(4)的一端与密封箱体(2)接通。
3.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述离子注入组件包括上安装座(9)，所述上安装座(9)与连接轴(8)的外表面固定连接，所述上安装座(9)的下表面固定连接有多个离子喷头(10)。
4.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述副旋转轴(12)的外表面固定连接有转动块(13)，所述副旋转轴(12)通过转动块(13)与中安装座(11)转动连接，所述中安装座(11)的内部开设有与转动块(13)相对应的安装槽(14)。
5.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述夹持组件包括固定长条(16)，所述固定长条(16)的侧壁贯穿插接有抽拉插杆(17)，所述抽拉插杆(17)的一端固定连接有拉动块(18)，所述抽拉插杆(17)的另一端固定连接有夹持块(19)，所述抽拉插杆(17)的外表面套设有连接弹簧(20)。
6.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述啮合组件包括大圆环(24)，所述大圆环(24)的内壁固定连接有固定齿环(25)，所述固定齿环(25)与转动齿轮(23)啮合。
7.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述主驱动轴(7)的外表面且位于中安装座(11)的下方固定连接有下安装座(21)，所述下安装座(21)的内部固定连接有轴承(22)，所述副旋转轴(12)通过轴承(22)与下安装座(21)转动连接。
8.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述密封箱体(2)的正面活动安装有密封门体(26)，所述密封门体(26)的正面设置有旋转件(27)。
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Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20070043526A (ko) * | 2005-10-21 | 2007-04-25 | 삼성전자주식회사 | 이온주입설비의 엔드스테이션부 |
| CN101006545A (zh) * | 2004-04-05 | 2007-07-25 | 艾克塞利斯技术公司 | 用于使工件往复经过离子束的方法 |
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| WO2014013809A1 (ja) * | 2012-07-19 | 2014-01-23 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理方法 |
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|---|---|---|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN101006545A (zh) * | 2004-04-05 | 2007-07-25 | 艾克塞利斯技术公司 | 用于使工件往复经过离子束的方法 |
| KR20070043526A (ko) * | 2005-10-21 | 2007-04-25 | 삼성전자주식회사 | 이온주입설비의 엔드스테이션부 |
| KR20100077440A (ko) * | 2008-12-29 | 2010-07-08 | 주식회사 케이씨텍 | 가스분사 유닛 및 이를 구비하는 원자층 증착장치 |
| WO2014013809A1 (ja) * | 2012-07-19 | 2014-01-23 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理方法 |
| CN107527782A (zh) * | 2016-06-17 | 2017-12-29 | 三星电子株式会社 | 等离子体处理装置 |
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