CN112670146A - 一种离子注入机晶片并行传送的软件调度方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种离子注入机晶片并行传送的软件调度方法，包括：预备程序(1)、左片库线程程序(2)、定向台线程程序(3)、靶台线程程序(4)、左机械手线程程序(5)、右机械手线程程序(6)。左片库全局状态变量LLL_Sts(7)、定向台全局状态变量Ort_Sts(8)、靶台全局状态变量Platen_Sts(9)、左机械手全局状态变量TM1_Sts(10)、右机械手全局状态变量TM2_Sts(11)。其中预备程序(1)和线程程序(2)、(3)、(4)、(5)、(6)是在平台基础上的二次开发。全局状态变量(7)、(8)、(9)、(10)、(11)是内存变量。线程程序(2)、(3)、(4)、(5)、(6)根据状态变量来调度运动单元，动作完成后更新状态变量，以此实现晶片传送。
Description
技术领域
本发明应用于离子注入机，可以提高离子注入机的晶片传送效率，提高机台产能。
背景技术
离子注入机是一种大型先进的半导体加工装备，包括上千个精密部件，这些部件的紧密配合来实现对晶片的注入加工。机台产能是离子注入机的一个重要指标。提高机台产能可以降低离子注入机的注入加工成本。晶片传送效率是影响产能的一个重要因素，一直是关注的焦点。
离子注入机的晶片传送子系统包括多个运动单元，这些运动单元的协调工作，实现晶片在机台内部传递。运动单元之间的并行度越高，传送效率越高。上位机软件如何调度各个运动部件，使得运动单元并行动作是一个重要问题。
发明内容
本发明公开了一种离子注入机晶片并行传送的软件调度方法，主要用于离子注入机的晶片传送的产能提升问题的处理。通过为每个运动单元分配一个线程程序和一个全局状态变量，每个线程函数都在实时查看每个单元的状态，根据运动单元的状态执行动作，来实现各个运动单元并发执行动作，来提升晶片传送产能。
本发明通过以下技术方案实现：预备程序(1)、左片库线程程序(2)、定向台线程程序(3)、靶台线程程序(4)、左机械手线程程序(5)、右机械手线程程序(6)。左片库全局状态变量LLL_Sts(7)、定向台全局状态变量Ort_Sts(8)、靶台全局状态变量Platen_Sts(9)、左机械手全局状态变量TM1_Sts(10)、右机械手全局状态变量TM2_Sts(11)。
其特征在于：首先执行预备程序(1)，让各个运动单元运动到预备位置，并设置状态变量为初始预备状态；然后启动每个运动单元的线程程序，线程程序根据状态执行动作，所有传送动作完成后，线程退出，晶片传送结束。
附图说明
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。
图1整体传片程序流程图；
图2预备程序流程图；
图3线程程序流程图。
具体实施方式
1、一种离子注入机晶片并行传送的软件调度方法包括：预备程序(1)、左片库线程程序(2)、定向台线程程序(3)、靶台线程程序(4)、左机械手线程程序(5)、右机械手线程程序(6)。左片库全局状态变量LLL_Sts(7)、定向台全局状态变量Ort_Sts(8)、靶台全局状态变量Platen_Sts(9)、左机械手全局状态变量TM1_Sts(10)、右机械手全局状态变量TM2_Sts(11)。
2、各运动单元的全局状态变量(7)、(8)、(9)、(10)、(11)表示运动单元完成某个运动动作，也预示下一个要进行的动作，表1-5为运动单元完成某个动作后的状态。
表1左片库完成动作后的状态
| 动作单元 | 动作 | 变量 | 状态 |
| 预备动作 | LLL_Sts | Prepare_sended | |
| TM1 | EXTPICK BM1 slot | LLL_Sts | ExtPick |
| LLL | PKSLOTL 1 slot | LLL_Sts | ExtPicked |
| TM1 | RETPICK BM1 slot | LLL_Sts | Prepare_recv |
| LLL | goslotl slot | LLL_Sts | Prepare_recved |
| TM1 | EXTPLACE BM1 slot | LLL_Sts | ExtPlace |
| LLL | gosloth slot | LLL_Sts | ExtPlaced |
| TM1 | RETPLACE BM1 slot | LLL_Sts | Prepare_send |
| LLL | gosloth slot | LLL_Sts | Prepare_sended |
表2定向台完成动作后的状态
| 动作单元 | 动作 | 变量 | 状态 |
| 预备动作 | Ort_Sts | Prepare_recved | |
| TM1 | EXTPLACE PM1 1 | Ort_Sts | ExtPlace |
| ORT | chkup | Ort_Sts | ExtPlaced |
| TM1 | RETPLACE PM1 1 | Ort_Sts | Prepare_send |
| ORT | ORT(定向) | Ort_Sts | Prepare_sended |
| TM2 | EXTPICK PM1 1 | Ort_Sts | ExtPick |
| ORT | chkdn | Ort_Sts | Prepare_recv |
| TM2 | RETPICK PM1 1 | Ort_Sts | Prepare_recved |
表3靶台完成动作后的状态
表4左机械手完成动作后的状态
| 动作单元 | 动作 | 变量 | 状态 |
| 预备动作 | TM1_Sts | Prepare_sended_LLL | |
| TM1 | EXTPICK BM1 slot | TM1_Sts | Other |
| TM1 | pre_move PM1 | TM1_Sts | Prepare_recved_ORT |
| TM1 | EXTPLACE PM1 | TM1_Sts | Other |
| TM1 | pre_move PM2 | TM1_Sts | Prepare_sended_IMP |
| TM1 | EXTPICK PM2 1 | TM1_Sts | Other |
| TM1 | pre_move LLL | TM1_Sts | Prepare_recved_LLL |
| TM1 | EXTPLACE BM1 slot | TM1_Sts | Other |
| TM1 | pre_move LLL | TM1_Sts | Prepare_sended_LLL |
表5右机械手完成动作后的状态
| 动作单元 | 动作 | 变量 | 状态 |
| 预备动作 | TM2_Sts | Prepare_sended | |
| TM2 | EXTPICK PM1 1 | TM2_Sts | Other |
| TM2 | pre_move PM2 | TM2_Sts | Prepare_recved |
| TM2 | EXTPLACE PM2 1 | TM2_Sts | Other |
| TM2 | pre_move PM1 | TM2_Sts | Prepare_sended |
3、晶片传送程序首先执行预备程序(1)，让各个运动单元运动到预备位置，并设置各个运动单元的全局状态变量为初始预备状态；然后同时启动全部运动单元的线程程序：即左片库线程程序(2)、定向台线程程序(3)、靶台线程程序(4)、左机械手线程程序(5)、右机械手线程程序(6)，线程程序根据全局状态变量的状态值执行动作，并在执行完动作后更新状态；线程程序判断全部晶片传送动作执行完后结束线程，等到全部线程都结束后，晶片传送程序结束。
4、预备程序执行一些预备动作，并设置运动单元的全局状态变量的初始状态值，如表6所示。
表6预备程序执行的预备动作和预备状态
5、每个运动单元的线程程序都是一个循环程序，循环过程为：判断全局状态变量的状态值，执行动作命令，更新状态。当线程程序发现所有的晶片传送动作都完成时，则退出线程。如果执行动作命令时出现错误，则设置错误代码，并退出线程。其余线程发现错误代码不为零时，也会退出。一个单元出现错误，所有单元线程程序都会退出，停止动作，保证安全。
6、当使用右片库传送晶片时，软件调度方法与上述方法相似，只需把左片库变为右片库，左右机械手互换即可。
本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
Claims (4)
1.一种离子注入机晶片并行传送的软件调度方法包括：预备程序(1)、左片库线程程序(2)、定向台线程程序(3)、靶台线程程序(4)、左机械手线程程序(5)、右机械手线程程序(6)、左片库全局状态变量LLL_Sts(7)、定向台全局状态变量Ort_Sts(8)、靶台全局状态变量Platen_Sts(9)、左机械手全局状态变量TM1_Sts(10)、右机械手全局状态变量TM2_Sts(11)；其特征在于：首先执行预备程序(1)，让各个运动单元运动到预备位置，并设置状态变量为初始预备状态；然后同时启动每个运动单元的线程程序，线程程序根据状态执行动作，所有传送动作完成后，线程退出，晶片传送结束。
2.如权利要求1所示的一种离子注入机晶片并行传送的软件调度方法，预备程序(1)执行一些预备动作，并设置运动单元的全局状态变量的初始状态值。
3.如权利要求1所示的一种离子注入机晶片并行传送的软件调度方法，线程程序(2)、(3)、(4)、(5)、(6)都是一个循环过程，循环过程为：判断全局状态变量的状态值，执行动作命令，更新状态；当线程程序发现所有的晶片传送动作都完成时，则退出线程；如果执行动作命令时出现错误，则设置错误代码，并退出线程；其余线程发现错误代码不为零时，也会退出；一个单元出现错误，所有单元线程程序都会退出，停止动作，保证安全。
4.如权利要求1所示的一种离子注入机晶片并行传送的软件调度方法，当使用右片库传送晶片时，软件调度方法与上述方法相似，只需把左片库变为右片库，左右机械手互换即可。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910980459.5A CN112670146A (zh) | 2019-10-15 | 2019-10-15 | 一种离子注入机晶片并行传送的软件调度方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201910980459.5A CN112670146A (zh) | 2019-10-15 | 2019-10-15 | 一种离子注入机晶片并行传送的软件调度方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN112670146A true CN112670146A (zh) | 2021-04-16 |
Family
ID=75400042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910980459.5A Pending CN112670146A (zh) | 2019-10-15 | 2019-10-15 | 一种离子注入机晶片并行传送的软件调度方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN112670146A (zh) |
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2019
- 2019-10-15 CN CN201910980459.5A patent/CN112670146A/zh active Pending
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| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
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| RA01 | Restoration of patent right |
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