CN112629579B - 校准机构及检测系统 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种校准机构及检测系统。校准机构包括本体、第一延伸部及第二延伸部。第一延伸部设置在本体的第一端，第一延伸部包括第一夹持件，第一夹持件用于与承载件的避让空间匹配。第二延伸部设置在与本体的第一端相背的第二端，第二延伸部的第一端相较于第二延伸部的第二端更靠近本体，第二延伸部开设有贯穿第二延伸部的第二端并向第二延伸部的第一端延伸的收容腔，在垂直于收容腔的延伸方向的平面上，收容腔的投影位于第一夹持件的投影内。本申请通过校准机构的第二延伸部上收容腔，来判断承载件上避让空间的位置信息，相较于将整个设备拆开后直接量取承载件的避让空间，能够更方便、快速且准确的获取承载件的位置信息。

Description

校准机构及检测系统

技术领域

本申请涉及检测技术领域，更具体而言，涉及一种校准机构及检测系统。

背景技术

通常晶圆检测设备中，一般将晶圆的承载装置设置在封闭的腔室内，以便于对承载在其上的晶圆进行检测。然而由于承载装置设置在腔室内，需要将整个检测设备拆开才能确定承载装置的位置信息时，如此比较费时费力。

发明内容

本申请实施方式提供一种校准机构及检测系统。

本申请实施方式的校准机构包括本体、第一延伸部及第二延伸部。所述第一延伸部设置在所述本体的第一端，所述第一延伸部包括第一夹持件，所述第一夹持件用于与承载件的避让空间匹配。所述第二延伸部设置在所述本体的第二端，所述本体的第一端与所述本体的第二端位于所述本体的相背两端，所述第二延伸部包括相背的第一端及第二端，所述第二延伸部的第一端相较于所述第二延伸部的第二端更靠近所述本体，所述第二延伸部开设有贯穿所述第二延伸部的第二端并向所述第二延伸部的第一端延伸的收容腔，在垂直于所述收容腔的延伸方向的平面上，所述收容腔的投影位于所述第一夹持件的投影内。

在某些实施方式中，所述避让空间能够完全收容所述第一夹持件，所述收容腔的深度小于或等于第一夹持件的厚度。

在某些实施方式中，所述避让空间能够完全收容所述第一夹持件，所述收容腔的宽度小于或等于第一夹持件的宽度。

在某些实施方式中，所述第一夹持件的延伸方向与所述收容腔的延伸方向相同，或者所述第一夹持件的延伸方向与所述收容腔的延伸方向相交。

在某些实施方式中，所述第一夹持件收容在所述避让空间内，所述第一夹持件抵持所述避让空间靠近所述承载件中心的一端的内侧壁。

在某些实施方式中，所述第一延伸部还包括与所述第一夹持件间隔相对的第二夹持件，所述第一夹持件与所述第二夹持件之间的距离大于或等于所述承载件的所述避让空间处的深度。

在某些实施方式中，相背的第一侧壁及第二侧壁，所述第二延伸部的第一侧壁及所述第二延伸部的第二侧壁均连接所述第二延伸部的第一端及第二端，所述第二侧壁相较于所述第一侧壁更靠近所述第二夹持件，所述收容腔贯穿所述第一侧壁。

在某些实施方式中，所述收容腔远离所述第一侧壁的内侧壁，与所述第一夹持件靠近所述第二夹持件的一端的端面在同一平面。

在某些实施方式中，所述第一延伸部的数量为多个，所述避让空间的数量为多个，多个所述第一延伸部与多个所述避让空间对应，相邻的两个所述第一延伸部之间的距离等于对应的两个所述避让空间之间的距离。

在某些实施方式中，所述第二延伸部的数量为多个，多个所述第二延伸部与多个所述第一延伸部对应，相邻的两个所述第二延伸部上的收容腔之间的距离等于对应的两个所述第一延伸部之间的距离。

在某些实施方式中，所述本体呈“工”字形，并包括连接部、所述本体的第一端及所述本体的第二端，所述连接部连接所述本体的第一端与所述本体的第二端，多个所述第一延伸部间隔设置在所述本体的第一端，多个所述第二延伸部间隔设置在所述本体的第二端。

在某些实施方式中，所述本体设置有通孔。

在某些实施方式中，所述收容腔用于与机械臂匹配。

本申请实施方式的检测系统包括承载件、机械臂及上述任意一实施方式所述的校准机构。所述校准机构的第一延伸部能够夹持所述承载件，所述校准机构的第二延伸部能够与所述机械臂配合。

本申请的校准机构及检测系统，利用第一延伸部与承载件上的避让空间配合，并且在垂直于收容腔的延伸方向的平面上，收容腔的投影位于第一夹持件的投影内，使用户能够通过校准机构的第二延伸部上的收容腔，来判断承载件上避让空间的位置信息，相较于将整个设备拆开后直接量取承载件的避让空间，能够更方便、快速且准确的获取承载件的位置信息。

本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请某些实施例中检测系统的结构示意图；

图2是本申请某些实施例中校准机构的结构示意图；

图3是本申请某些实施例中校准机构的结构示意图；

图4是本申请某些实施例中校准机构中的第一夹持件与收容腔，在垂直于收容腔的延伸方向的平面上的投影的示意图；

图5是本申请某些实施例中校准机构中的第一夹持件与收容腔，在垂直于收容腔的延伸方向的平面上的投影的示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本申请的实施方式作进一步说明。附图中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。

另外，下面结合附图描述的本申请的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在半导体检测设备中，一般将用于承载半导体元件的承载装置设置在封闭的腔室内，以便于对承载在其上的半导体元件进行检测，而机械臂一般设置在腔室外，以便于更换承载在承载装置上的半导体元件，以实现对多个半导体元件进行检测。为了方便机械臂更换承载在承载装置上的半导体元件，通常会在承载装置上开设能够收容机械臂运动的避让空间。因此，在半导体检测设备使用前，需要将机械臂调节至与承载装置上的避让空间相匹配的位置，如此半导体检测设备才能够正常使用。然而，目前，需要将整个半导体检测设备拆开才能确定承载装置的位置信息，即需要将整个检测设备拆开才能将机械臂调节至与承载装置上的避让空间相匹配的位置，如此费时费力。

为了解决上述问题，请参阅图1至图3，本申请提供一种校准机构10，校准机构10包括本体11、第一延伸部12及第二延伸部13。第一延伸部12设置在本体11的第一端111，第一延伸部12包括第一夹持件121，第一夹持件121用于与承载件20的避让空间23匹配。第二延伸部13设置在本体11的第二端112，本体11的第一端111与本体11的第二端112位于本体11的相背两端，第二延伸部13包括相背的第一端131及第二端132，第二延伸部13的第一端131相较于第二延伸部13的第二端132更靠近本体11，第二延伸部13开设有贯穿第二延伸部13的第二端132并向第二延伸部13的第一端131延伸的收容腔135，在垂直于收容腔135的延伸方向的平面上，收容腔135的投影位于第一夹持件121的投影内。

本申请的校准机构10的第一延伸部12与承载件20上的避让空间23配合，并且在垂直于收容腔135的延伸方向的平面上，收容腔135的投影位于第一夹持件121的投影内，使用者能够通过校准机构10的第二延伸部13上的收容腔135，来判断承载件20上避让空间23的位置信息，相较于将整个半导体检测设备拆开后直接量取承载件20的避让空间23，能够更方便、快速且准确的获取承载件20的位置信息，其中承载件20的位置信息包括避让空间23在承载件20上的位置、避让空间23的朝向、宽度及深度等信息。

下面结合附图做进一步说明。

请参阅图2及图3，校准机构10包括本体11、第一延伸部12及第二延伸部13，第一延伸部12及第二延伸部13分别设置在本体11相背的两端。

具体地，本体11包括第一端111、第二端112及连接部113，第一端111与第二端112位于在本体11相背两端，连接部113用于连接本体11的第一端111及本体11的第二端112。第一延伸部12设置在本体11的第一端111，第二延伸部13设置在本体11的第二端112。

在一些实施例中，本体11设置有通孔114。具体地，本体11的连接部113设置有贯穿连接部113的通孔114。如此，能够节省材料，降低校准机构10的制作成本，同时降低校准机构10的重量。需要说明的是，连接部113的长度可以根据需要设置，仅需要满足在第一延伸部12与半导体检测设备的腔室内的承载件20配合时，第二延伸部13能够从腔室中露出即可。如此用户无需打开封闭的腔室，也能够根据第二延伸部13获得腔室内的承载件20的避让空间23的位置信息。

第一延伸部12设置在本体11的第一端111，第一延伸部12包括第一夹持件121。请参阅图1，在使用校准机构10时，第一夹持件121用于与承载件20的避让空间23匹配。需要说明的是，承载件20可用于承载工件，工件可以是半导体元件(图未示)，其中半导体元件包括但不限于晶圆、芯片、显示屏等，工件还可是凸透镜、凹透镜或反射镜等光学元件。承载件20包括相背的第一面21及第二面22，工件承载在承载件20的第一面21。承载件20自第一面21向第二面22凹陷，形成避让空间23。

在一些实施例中，第一延伸部12还可包括第二夹持件122。具体地，第二夹持件122与第一夹持件121间隔相对，在使用校准机构10时，第一夹持件121收容在避让空间23内，第二夹持件122设置在承载件23的第二面22。也即是说，第一延伸部12能够夹持在承载件20设置有避让空间23的位置。在一些实施例中，第一夹持件121与第二夹持件122之间的距离等于承载件20的避让空间23处的厚度。具体地，在使用校准机构10时，第一夹持件121的一侧与避让空间23靠近承载件20的第二面22的一侧抵触，第二夹持件122靠近承载件20的一侧与承载件20的第二面22抵触。如此能够避免校准机构10在使用过程中，从承载件20上脱落。当然，在一些实施例中，第一夹持件121与第二夹持件122之间的距离也可以大于承载件20的避让空间23处的深度，在此不作限制。

请参阅图2及图3，第二延伸部13包括相背的第一端131及第二端132，第二延伸部13的第一端131相较于第二延伸部13的第二端132更靠近本体11。第二延伸部13还包括相背的第一侧壁133及第二侧壁134，第一侧壁133与第二侧壁134分别连接第二延伸部13的第一端131与第二端132，即第二延伸部13的第一端131、第一侧壁133、第二端132及第二侧壁134依次连接。在垂直于收容腔135的延伸方向的方向上，第二延伸部13的第二侧壁134相较于第一侧壁133更靠近第二夹持件122。

在垂直于收容腔135的延伸方向的平面上，收容腔135的投影位于第一夹持件121的投影内。例如，如图4及图5所示，平面Q为垂直于收容腔135的延伸方向的其中一个平面，其中第一投影1351为收容腔135在平面Q上的投影、第二投影1211为第一夹持件121在平面Q上的投影，并且第一投影1351位于第二投影1211内。需要说明的是，第一投影1351的面积可以等于第二投影1211的面积(如图4)，即在垂直于收容腔135的延伸方向的平面上，收容腔135的投影与第一夹持件121的投影完全重合；或者，第一投影1351的面积也可以小于第二投影1211的面积(如图5)，即在垂直于收容腔135的延伸方向的平面上，第一夹持件121的投影能够完全覆盖收容腔135的投影。

在使用校准机构10时，第一夹持件121伸入承载件20的避让空间23内，此时调节机械臂30与第二延伸部13的收容腔135匹配，即调节机械臂30收容在收容腔135内。由于第一夹持件121能够收容在避让空间21内，并且在垂直于收容腔135的延伸方向的平面上，收容腔135的投影位于第一夹持件121的投影内，能够使收容腔135的容纳空间小于或等于避让空间21。又因为校准机构10的结构是固定不变的，即第一夹持件121与收容腔135之间的距离及角度是确定的，用户仅需要调节机械臂30与收容腔135匹配，根据收容腔135及第一夹持件121与收容腔135之间的距离与角度，以确定机械臂30在更换承载件20上的工件时的运动参数，如此能够使机械臂30伸入避让空间21内，同时还能够避免机械臂30在更换承载件20上的工件时对承载在承载件20和/或承载件20上的工件造成损坏。

需要说明的是，机械臂30在取出承载在承载件20上的工件可以包括如下步骤：(1)位于初始位置的机械臂30根据第一参数运动(包括移动和/或转动)至承载件20的避让空间23内，其中第一参数包括位于初始位置的机械臂30与避让空间23的距离及角度；(2)位于避让空间23内的机械臂30根据第二参数运动至承载件20的上方，以使承载在承载件20上的工件远离承载件20，其中第二参数包括避让空间23的深度信息。机械臂30在将工件承载在承载件20上可以包括如下步骤：(1)位于初始位置的机械臂30承载待检测的工件根据第一参数、第二参数及第三参数运动(包括移动和/或转动)至承载件20设置有避让空间23的上方，其中第三参数包括避让空间23的宽度信息；(2)位于承载件20上方的机械臂30根据第二参数及第三参数运动至承载件20的避让空间23内，以将待检测的半导体承载在承载件20上；(3)位于避让空间23内的机械臂30根据第一参数运动(包括移动和/或转动)至初始位置。在本申请中，将机械臂30与收容腔135匹配即可获得机械臂30的初始位置；并且第一延伸部12伸入避让空间23，根据第一延伸部12与收容腔135之间的距离及角度，可获得位于初始位置的机械臂30与避让空间23之间的距离及角度，即能够获得第一参数。另外，由于在本申请实施例中，使用校准机构10时，避让空间23能够完全收容第一延伸部12，即可根据第一延伸部12的厚度h2及宽度w2获得避让空间23的深度h3及宽度w3，即能够获得第二参数。

示例地，请参阅图1、图2及图3，在一些实施例中，收容腔135的深度h1等于第一夹持件121的厚度h2，且在使用校准机构10时，避让空间23能够完全收容第一夹持件121。例如，在使用校准机构10时，第一夹持件121的一侧与避让空间23靠近承载件20的第二面22的一侧抵触，并且第一夹持件121的另一侧与承载件20的第一面21齐平，即第一夹持件121的厚度h2等于避让空间23的深度h3。又由于收容腔135的深度h1等于第一夹持件121的厚度h2，也就是说收容腔135的深度h1等于避让空间23的深度h3。如此根据收容腔135的深度h1就能够获得机械臂30在避让空间23内沿垂直第一面21方向上的第一运动范围，一方面能够避免机械臂30在使用过程中超出该第一运动范围，而对承载在承载件20和/或承载件20上的工件造成损坏；另一方面由于收容腔135的深度h1等于避让空间23的深度h3，即可根据收容腔135的深度h1获取第二参数，便于机械臂30从避让空间23内移动至承载件20的上方，或从承载件20上方移动至避让空间23内。当然，在一些实施例中，第一夹持件121的厚度h2可以小于避让空间23的深度h3，或者，收容腔135的深度h1小于第一夹持件121的厚度h2，均能够使收容腔135的深度h1小于避让空间23的深度h3，在此不作限制。

同样地，请参阅图1、图2及图3，在一些实施例中，收容腔135的宽度w1等于第一夹持件121的宽度w2，且在使用校准机构10时，避让空间23能够完全收容第一夹持件121。由于避让空间23能够完全收容第一夹持件121，可以理解第一夹持件121的宽度w2必然小于或等于避让空间23的宽度w3，即收容腔135的宽度w1必然小于或等于避让空间23的宽度w3。如此根据收容腔135的宽度w1就能够获得机械臂30在避让空间23内沿承载件20圆周方向上的第二运动范围，从而避免机械臂30在使用过程中超出该第二运动范围，而对承载在承载件20和/或承载件20上的工件造成损坏。另外，还可以根据收容腔135的宽度w1能够获取第三参数，便于机械臂30从避让空间23内移动至承载件20的上方，或从承载件20上方移动至避让空间23内。当然，在一些实施例中，收容腔135的宽度w1也可以小于第一夹持件121的宽度w2，在此不作限制。

另外，在一些实施例中，在第一夹持件121收容在避让空间23内时，第一夹持件121远离本体的一端，与避让空间23靠近承载件20中心的一端的内侧壁抵触。也即是说，第一夹持件121的长度l1等于避让空间23的长度l3。如此当机械臂30与收容腔135匹配后，可根据第一夹持件121的长度l1获得机械臂30在避让空间23内，沿承载件20圆周朝向承载件20的中心方向上的最大运动范围，从而避免机械臂30在使用过程中超出避让空间23的范围，对承载在承载件20造成损坏。当然第一夹持件121的长度l1也可以小于避让空间23的长度l3，在此不作限制。

在一些实施例中，第一夹持件121的延伸方向和收容腔135的延伸方向相同，即第一夹持件121与收容腔135在同一条直线上。如此当机械臂30与收容腔135匹配获得初始位置后，初始位置与避让空间23也处于同一直线上。此时机械臂30只需要水平移动，无需调节角度即可直接伸入承载件20的避让空间23内，从而能够降低机械臂30的操控难度。当然，在一些实施例中，第一夹持件121的延伸方向与收容腔135的延伸方向相交，即第一夹持件121的延伸方向与收容腔135的延伸方向之间有夹角，当机械臂30与收容腔135匹配获得初始位置后，机械臂30根据收容腔135与第一夹持件121之间的角度，调节方向也能够伸入承载件20的避让空间23内，在此不作限制。

在一些实施例中，请参阅图1至图3，收容腔135贯穿第二延伸部13的第一侧壁133。如此在调节机械臂30与收容腔135匹配时，机械臂30可以从第二延伸部13的第二端132处伸入收容腔135内，也可以从第二延伸部13的第一侧壁133处伸入收容腔135内。并且由于收容腔135贯穿第一侧壁133，在调节机械臂30与收容腔135匹配时，用户可以更加直观的看到机械臂30在收容腔135内的位置信息，一方面，能够获得更加准确的机械臂30的初始位置与避让空间23之间的间距及角度，即能够获得更加准确的第一参数，避免在机械臂30的使用过程中超出避让空间23的范围，对承载在承载件20造成损坏；另一方面，能够避免在调节机械臂30与收容腔135匹配时，机械臂30与收容腔135的内壁发生碰撞对机械臂30造成损坏。

在一些实施例中，收容腔135远离第一侧壁133的内侧壁1351，与第一夹持件121靠近第二夹持件122的一端的端面1211在同一平面。在校准机构10使用时，第一夹持件121的端面1211与避让空间23靠近承载件20的第二面22的一侧231抵触，调节机械臂30与收容腔135匹配，由于收容腔135的内侧壁1351与第一夹持件121的端面1211在同一平面，即使不调节机械臂30沿垂直承载件20的第一面21的方向上的距离，机械臂30也能够伸入避让空间23内，且不与避让空间23内侧壁1351和/或承载在承载件20上的工件碰撞，如此能够避免损坏承载件20和/或承载在承载件20上的工件。

请参阅图1及图3，在一些实施例中，当承载件20上的避让空间23的数量为多个时，第一延伸部12的数量也可为多个，多个第一延伸部12与多个避让空间23对应，并且相邻的两个第一延伸部12之间的距离等于对应的两个避让空间23之间的距离。例如，如图1及图3所示，承载件20设有两个避让空间23，校准机构10也包括两个第一延伸部12。两个第一延伸部12之间的间距d1等于两个避让空间23之间的间距d2。如此能够使校准机构10的两个第一延伸部12的第一夹持件121，能够同时伸入对应的避让空间23内。当然，在一些实施例中，若承载件20设有多个避让空间23，校准机构10上也可以仅有一个第一延伸部12，此时第一延伸部12仅与承载件20上的一个避让空间23对应，当调节机械臂30与收容腔135匹配后，机械臂30也仅能够伸入承载件20的一个避让空间23中，在此不作限制。如此，能实现机械臂30与承载件20上的避让空间23匹配，同时节省材料。

需要说明的是，相邻的两个避让空间23之间的间距可以为两个避让空间23的中心处之间的距离；或者，相邻的两个避让空间23之间的间距还可以是其中一个避让空间23的最左侧到另一个避让空间23的最左侧的距离；或者，相邻的两个避让空间23之间的间距还可以是其中一个避让空间23的最右侧到另一个避让空间23的最右侧的距离，在此不作限制。同样的两个第一延伸部12之间的间距，与下文中所提及的两个收容腔135之间的间距也是相同的解释，在此不作赘述。

在一些实施例中，当第一延伸部12的数量为多个时，第二延伸部13的数量也可为多个。第二延伸部13的数量与第一延伸部12的数量相同，且每一个第二延伸部13与一个第一延伸部12对应，即每个第二延伸部13上的收容腔135与一个第一夹持件121对应。也即是说，在垂直于收容腔135的延伸方向的平面上，每个第二延伸部13上的收容腔135的投影均位与其对应的第一夹持件121的投影内。相邻的两个第二延伸部13上的收容腔135之间的距离等于对应的第一延伸部12之间的距离。例如，如图1及图3所示，校准机构10包括两个第一延伸部12及两个第二延伸部13，两个第二延伸部13上的收容腔135之间的间距d3等于两个第一延伸部12之间的间距d1。在使用校准机构10时，两个第一延伸部12的第一夹持件121能够伸入承载件20上的两个避让空间23内，此时机械臂30可包括两个机械支臂(图未示)，并且调节机械支臂以使两个机械支臂分别与两个收容腔135匹配。如此在机械臂30使用过程中，两个机械支臂能够同时伸入承载件20的两个避让空间23内。由于在更换承载件20上的工件采用多个机械支臂来承载工件，能够避免工件在移动过程中从机械臂30上脱离。当然，在一些实施例中，若校准机构10上有多个第一延伸部12，校准机构10上也可以仅有一个第二延伸部13。此时第二延伸部13仅与其中一个第一延伸部12对应，当调节机械臂30与收容腔125匹配后，机械臂30也仅能够伸入承载件20的一个避让空间23中，在此不作限制。如此，能实现机械臂30与承载件20上的避让空间23匹配，同时节省材料。

需要说明的是，请参阅图3，当校准机构10包括多个第一延伸部12及多个第二延伸部13时，在一些实施例中，校准机构10的本体11呈“工”字形，多个第一延伸部12间隔设置在本体11的第一端111，多个第二延伸部13间隔设置在本体11的第二端112。如此能够节省材料降低校准机构10的制作成本，同时降低校准机构10的重量。

请参阅图1，本申请还提供一种检测系统100。检测系统100包括承载件20、机械臂30及上述任意一实施方式所述的校准机构10。校准机构10的第一延伸部12能够夹持承载件20，校准机构10的第二延伸部13能够与机械臂30配合。

具体地，第一延伸部12的第一夹持件121能够伸入承载件20开设的避让空间23内，调节机械臂30与第二延伸部13的收容腔135配合。如此可以根据第一夹持件121与收容腔135之间的间距及角度，确定机械臂30在更换承载件20上的工件时的运动参数，能够使机械臂30伸入避让空间21内，同时还能够避免机械臂30在更换承载件20上的工件时对承载在承载件20和/或承载件20上的工件造成损坏。

在本说明书的描述中，参考术语“某些实施方式”、“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个，除非另有明确具体的限定。

尽管上面已经示出和描述了本申请的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型，本申请的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (14)

1.一种校准机构，其特征在于，所述校准机构包括：

本体；

第一延伸部，所述第一延伸部设置在所述本体的第一端，所述第一延伸部包括第一夹持件，所述第一夹持件用于与承载件的避让空间匹配；及

第二延伸部，所述第二延伸部设置在所述本体的第二端，所述本体的第一端与所述本体的第二端位于所述本体的相背两端，所述第二延伸部包括相背的第一端及第二端，所述第二延伸部的第一端相较于所述第二延伸部的第二端更靠近所述本体，所述第二延伸部开设有贯穿所述第二延伸部的第二端并向所述第二延伸部的第一端延伸的收容腔，在垂直于所述收容腔的延伸方向的平面上，所述收容腔的投影位于所述第一夹持件的投影内。

2.根据权利要求1所述的校准机构，其特征在于，所述避让空间能够完全收容所述第一夹持件，所述收容腔的深度小于或等于第一夹持件的厚度。

3.根据权利要求1所述的校准机构，其特征在于，所述避让空间能够完全收容所述第一夹持件，所述收容腔的宽度小于或等于第一夹持件的宽度。

4.根据权利要求1所述的校准机构，其特征在于，所述第一夹持件的延伸方向与所述收容腔的延伸方向相同，或者所述第一夹持件的延伸方向与所述收容腔的延伸方向相交。

5.根据权利要求1所述的校准机构，其特征在于，所述第一夹持件收容在所述避让空间内，所述第一夹持件抵持所述避让空间靠近所述承载件中心的一端的内侧壁。

6.根据权利要求1至5任意一项所述的校准机构，其特征在于，所述第一延伸部还包括与所述第一夹持件间隔相对的第二夹持件，所述第一夹持件与所述第二夹持件之间的距离大于或等于所述承载件的所述避让空间处的厚度。

7.根据权利要求6所述的校准机构，其特征在于，所述第二延伸部还包括相背的第一侧壁及第二侧壁，所述第二延伸部的第一侧壁及所述第二延伸部的第二侧壁均连接所述第二延伸部的第一端及第二端，所述第二侧壁相较于所述第一侧壁更靠近所述第二夹持件，所述收容腔贯穿所述第一侧壁。

8.根据权利要求7所述的校准机构，其特征在于，所述收容腔远离所述第一侧壁的内侧壁，与所述第一夹持件靠近所述第二夹持件的一端的端面在同一平面。

9.根据权利要求1所述的校准机构，其特征在于，所述第一延伸部的数量为多个，所述避让空间的数量为多个，多个所述第一延伸部与多个所述避让空间对应，相邻的两个所述第一延伸部之间的距离等于对应的两个所述避让空间之间的距离。

10.根据权利要求9所述的校准机构，其特征在于，所述第二延伸部的数量为多个，多个所述第二延伸部与多个所述第一延伸部对应，相邻的两个所述第二延伸部上的收容腔之间的距离等于对应的两个所述第一延伸部之间的距离。

11.根据权利要求10所述的校准机构，其特征在于，所述本体呈“工”字形，并包括连接部、所述本体的第一端及所述本体的第二端，所述连接部连接所述本体的第一端与所述本体的第二端，多个所述第一延伸部间隔设置在所述本体的第一端，多个所述第二延伸部间隔设置在所述本体的第二端。

12.根据权利要求1所述的校准机构，其特征在于，所述本体设置有通孔。

13.根据权利要求1所述的校准机构，其特征在于，所述收容腔用于与机械臂匹配。

14.一种检测系统，其特征在于，包括：

承载件；

机械臂；及

权利要求1-13任意一项所述的校准机构，所述校准机构的第一延伸部能够夹持所述承载件，所述校准机构的第二延伸部能够与所述机械臂配合。

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