CN112612073A - 一种能实现超宽色域的颜色滤光片及其结构参数确定方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种能实现超宽色域的颜色滤光片及其结构参数确定方法。现有的等离子体滤光片透射或反射所形成的色彩范围和饱和度是非常有限的。本发明包括基底层和银膜。基底层的材质为SiO2。银膜覆盖在基底层上。银膜上蚀刻有多个镂空微结构。镂空微结构包括一个十字形槽和四个矩形槽组成。四个矩形槽与十字形槽的四个端部分别连接。与现有的表面等离子体滤光器相比,本发明获得的颜色可以超过sRGB的颜色空间,获得更宽的色域。与现有的基于表面等离子体共振的彩色滤波器相比,本发明具有更宽的色域和更高的饱和度,能够提供更丰富的色彩和更生动的图像质量。
Description
技术领域
本发明属于颜色滤光片器件建模仿真技术领域,具体涉及一种新的基于表面等离子体共振的,能获得超宽色域的颜色滤光片。。
背景技术
滤光片是一种常用的光学设备,通常用于传输或反射特定波长的光,以显示所需的颜色。滤光片广泛应用于显示器、成像传感器、防伪技术、色彩装饰、彩色打印等领域。传统的滤光片使用传统的染料着色来吸收特定波长的光以显示特定的颜色。这种传统的化学染色滤光片不能承受高温或紫外线辐射,滤光片的性能会随着时间的推移而显著下降。为了解决传统滤光片存在的问题,近年来出现了基于结构色彩的滤光片。结构色是自然光与微纳结构相互作用而产生的,通常发生在干涉、衍射、散射等光学现象中。与化学染色形成的颜色相比,结构色具有不褪色、颜色稳定、环保等优点。结构颜色的这些优势使得研究者致力于基于导模共振、表面等离子体共振、Mie共振或Fabry Perot共振的滤光片的研究。
在实际应用中,高饱和的结构色彩和宽色域在显示和成像中起着至关重要的作用。在显示或成像中,饱和度越高,显示的颜色越生动,色域越宽,显示的颜色越多。然而,光通过现有的等离子体滤光片透射或反射所形成的色彩范围和饱和度是非常有限的。有限的色彩范围和饱和度会导致光的颜色在通过滤光片后,所产生的颜色太少达不到理想中的效果。这一缺陷会使成像后的图像质量过低,从而限制了等离子体滤光片的进一步应用。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能实现超宽色域的颜色滤光片,以利用入射的白光来获得超宽的色域。
本发明一种能实现超宽色域的颜色滤光片,包括基底层和银膜。基底层的材质为SiO2。银膜覆盖在基底层上。银膜上蚀刻有多个镂空微结构。镂空微结构包括一个十字形槽和四个矩形槽组成。四个矩形槽与十字形槽的四个端部分别连接。
作为优选,通过调节矩形槽的长度D的大小来调节滤光片的透光波段范围。
作为优选,各镂空微结构呈矩阵状排列;相邻两个镂空微结构的中心点间距P的取值范围为150~300nm。
作为优选,所述银膜的厚度H的取值范围为40~100nm。
作为优选,所述矩形槽的长度D的取值范围为20~80nm;
作为优选,镂空微结构关于十字形槽的中心点中心对称。
作为优选,所述矩形槽与十字形槽上对应端部的连接处为矩形槽的中间位置。
作为优选,所述的矩形槽与十字形槽上的对应端部相互垂直。
作为优选,所述的十字形槽由相互垂直等分的的两条长条形槽组成。
该能实现超宽色域的颜色滤光片及其结构参数确定方法,具体步骤如下:
步骤一、确定透过滤光片的设计要求。设计要求包括目标可见光波段范围和最大透光率。
步骤二、根据目标可见光波段范围确定银膜厚度H和相邻镂空微结构中心距P的数值以及矩形槽长度D;
目标可见光波段范围与绿色波段范围、蓝色波段范围、红色波段范围,分别进行比对如下:
①.若目标可见光波段范围与绿色波段范围的重合程度最高,且最大透光率大于或等于50%,则在40nm~80nm的范围内选定银膜厚度H;在150nm~210nm的范围内选定相邻镂空微结构中心距P。设定矩形槽长度D的取值范围为20nm~80nm。
②.若目标可见光波段范围与绿色波段范围的重合程度最高,且最大透光率小于50%,则在90nm~100nm的范围内选定银膜厚度H;在210nm~300nm的范围内选定相邻镂空微结构中心距P。设定矩形槽长度D的取值范围为20nm~80nm。
③.若目标可见光波段范围与蓝色波段范围的重合程度最高,则在40nm~80nm的范围内选定银膜厚度H;在150nm~210nm的范围内选定相邻镂空微结构中心距P。设定矩形槽长度D的取值范围为50nm~80nm。
④.若目标可见光波段范围与红色波段范围的重合程度最高,则在40nm~80nm的范围内选定银膜厚度H;在150nm~210nm的范围内选定相邻镂空微结构中心距P。设定矩形槽长度D的取值范围为20nm~40nm。
步骤三、在步骤二确定的矩形槽长度D的取值范围中,取最大值作为矩形槽长度D,并逐渐增小;每次减小后均对当前参数的滤光片通过时域有限差分方法模拟透射谱,直到模拟出的结果满足步骤一中确定的设计要求。
本发明的有益效果:
本发明在二氧化硅衬底上镀一层银膜,并在银膜上蚀刻十字形槽和四个矩形槽组成的镂空微结构。在正常入射光下,纳米孔作为光栅耦合器提供光子-等离子体动量匹配,使表面等离子体共振发生在金属/介质界面。在这种情况下,等离子体通过孔径,并在通过金属薄膜后衰变为辐射光子。通过改变阵列的尺寸、形状、厚度和周期,可以调整允许的等离子体元耦合频率,从而决定透射光的颜色。与现有的表面等离子体滤光器相比,该滤光器获得的颜色可以超过sRGB的颜色空间,获得更宽的色域。与现有的基于表面等离子体共振的彩色滤波器相比,该滤波器具有更宽的色域和更高的饱和度,能够提供更丰富的色彩和更生动的图像质量。
附图说明
图1a为本发明的结构原理图。
图1b为本发明中单个镂空微结构的示意图;
图2a为本发明不同参数下透射蓝、绿、红光的透射谱图;
图2b为本发明不同参数下透射蓝、绿、红光时在CIE1931色度图上的坐标图;
图2c为本发明在保持P、H不变情况下调整D大小时的透射谱图;
图2d为本发明在保持P、H不变情况下调整D大小时在CIE1931色度图上的坐标图;
图3a为本发明在保持P、D不变情况下调整H大小时的透射谱图;
图3b-3h为本发明在保持P不变情况下调整D、H大小时在CIE1931色度图上的坐标图;
图4a为本发明在保持H、D不变情况下调整P大小时的透射谱图;
图4b-4q为本发明在保持H不变情况下调整D、P大小时在CIE1931色度图上的坐标图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明作进一步说明。
如图1a和1b所示,一种能实现超宽色域的颜色滤光片,包括基底层1和银膜2。基底层1的材质为SiO2。银膜2覆盖在基底层1上。银膜2的厚度为H。银膜2上蚀刻有多个镂空微结构3。各镂空微结构3呈矩阵状排列;相邻两个镂空微结构3的中心点间距(即结构周期)为P。镂空微结构3包括一个十字形槽3-1和四个矩形槽3-2组成。镂空微结构3关于十字形槽3-1的中心点中心对称。十字形槽3-1由垂直交叉的两个长条形槽组成。四个矩形槽3-2的中间位置与十字形槽3-1的四个端部分别连接。矩形槽3-2与自身连接的长条形槽相互垂直。十字形槽3-1和矩形槽3-2的槽宽均为W。矩形槽3-2的长度为D;十字形槽3-1中单个长条形槽的长度(即相对的两个矩形槽3-2的间距)为L。
W=20nm;L=80nm;H=40~100nm;P=150~300nm;D=20~80nm。
通过调节矩形槽3-2长度D的大小能够调节滤光片的各波段光的透射率,从而实现滤光片对不同波段光的滤除。
该能实现超宽色域的颜色滤光片及其结构参数确定方法,具体步骤如下:
步骤一、确定透过滤光片的设计要求。设计要求包括目标可见光波段范围和该波段光线的最大透光率。总的波段范围为380nm~780nm,包括可见光红、绿、蓝波段的范围和最大透光率,其中红色波段范围为640nm~780nm,绿色波段范围为500nm~550nm,蓝色波段范围为420nm~500nm,在可见光波段范围内,滤光片的最大透光率所对应的波长应在目标可见光波段范围内,最大透光率应大于10%,该最大透光率应该为该波段内的峰值,且该峰值为该波段内的唯一峰值。
步骤二、根据目标可见光波段范围确定H和P的数值;
图3a和图4a分别仅为改变H的数值透射率的变化和仅改变P的数值透射率的变化,图3a结构参数为P=200nm,D=80nm,H从40nm增大至100nm,步长为10nm,图4a结构参数为H=80nm,D=80nm,P从150nm增大至300nm,步长为10nm。
从两幅图可以看出,当银膜2厚度H增大时,最大透射率在减小,且共振波长往短波方向移动,透射率都在40%以上;当周期P增大时,最大透射率在减小,且共振波长往长波方向移动。
如果想要获取绿色波段(500nm~550nm)的光,从两个图中可以直观看出图中的波段范围基本都位于绿色波段,对透射率要求50%以上,银膜2厚度H可以设置为40nm~80nm,周期P可以设置为150nm~210nm;对透射率要求50%以下则可以将银膜2厚度H设置为90nm~100nm,周期P可以设置为210nm~300nm;
如果想要获取蓝色波段(420nm~500nm)的光,由图2c可以知道随着矩形槽3-2长度D的变化,峰值波长会逐渐从绿色波段左移至蓝色波段,且中心透射率会减小,D的长度减小至50nm之后蓝色波段的峰值会消失,由此我们应使得在D长度最长时即80nm时,滤光片的透射率尽可能的大,银膜2厚度H可以设置为40nm~80nm,周期P可以设置为150nm~210nm,在透射率高的同时,峰值波长更偏向蓝色波段,使其在绿光波段范围时透射率超过50%,峰值波长左移至蓝色波段时透射率尽可能大;
如果想要获取红色波段(640nm~780nm)的光,由图2c可以知道当矩形槽3-2长度D减小至20nm~40nm时,峰值波长正好就位于红色波段,而想要获取高透射率银膜2厚度H设置为40nm~80nm,周期P可以设置为150nm~210nm。
步骤三、将矩形槽3-2长度D由80nm逐渐增小;每次减小5nm;每次减小后均对当前参数的滤光片通过时域有限差分(FDTD)方法模拟透射谱,直到模拟出的结果满足步骤一中确定的设计要求。
以下通过时域有限差分(FDTD)方法模拟本发明的纳米结构的透射谱,来验证不同参数的本发明的滤光波段的差异。
彩色滤光片的光谱和色度图
通过改变银膜2厚度H、结构周期P和四个矩形槽3-2D的大小,可以得到红、绿、蓝的三色透射谱;如图2a所示。为了直观地看到滤波后的显色效果,将仿真得到的谱数据绘制在CIE1931色度图上,如图2b所示。从这两幅图可以看出,我们设计的结构可以实现红、绿、蓝三色滤波。
具体来说,在图2a中,蓝色谱线对应的结构参数为H=70nm,D=64nm,P=130nm;绿色谱线对应的结构参数为H=70nm、D=80nm、P=200nm;红色谱线对应的结构参数为H=70nm,D=20nm,P=200nm。图2b中显示了红、绿、蓝色谱线对应的色坐标在CIE1931色度图中。
当确定银膜2的厚度H和结构周期P(确定为P=200nm和H=80nm)时,仅减小矩形槽3-2长度D,峰值波长将蓝移且透射率将减小,第二个峰值波长将出现在红色波段中。如图2c所示,随着矩形槽3-2长度D的减小,第二峰值波长的透射率将向蓝色波段偏移。它表明,仅将矩形槽3-2长度D从80nm减小到20nm(步长为10nm),就可以获得相对较大的颜色范围。在CIE1931色度图上绘制了将矩形槽3-2长度D从80nm减小到20nm之后获得的透射光谱相对应的颜色,如图2(d)所示。绘制CIE1931色度图后,可以看出,通过将矩形槽3-2长度D从80nm减小到20nm,图2(d)中的黑点分布在一个较宽的范围内,可以获得宽范围的色域。
模拟银膜2厚度H和矩形槽3-2长度D对滤光片特性的影响
首先,我们在改变矩形槽3-2长度D的基础上,研究了改变银膜2厚度对滤光片特性的影响。将周期固定在200nm,矩形槽3-2长度D固定在80nm。当银膜2厚度从40nm增加到100nm时(步长为10nm),可以得到图3a所示的透射谱。当银膜2厚度从40nm增加到100nm时,透射率降低,透射峰发生蓝移。半波全宽也在减小。由于将矩形槽3-2长度D从80nm减小到20nm可以得到很宽的色域范围,所以当银膜2厚度选择一个值时,将矩形槽3-2长度D从80nm减小到20nm。所以每改变银膜2的厚度,都将矩形槽3-2长度D从80nm减小到20nm,步长值为5nm。图中的红色三角形是标准的红、绿、蓝颜色空间(sRGB)。然后计算得到的透射谱,得到色度图上的坐标,并在CIE1931色度图上标记颜色变化,如图3b-h所示。图3b中表现了P=200nm,H=20nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;图3c中表现了P=200nm,H=30nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;图3d中表现了P=200nm,H=40nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;图3e中表现了P=200nm,H=50nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;图3f中表现了P=200nm,H=60nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;图3g中表现了P=200nm,H=70nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;图3h中表现了P=200nm,H=80nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;
当银膜2厚度为60nm时,滤光片产生的红光比银膜2厚度为70nm或80nm时产生的红光更靠近色度图的中心,导致饱和度较低,如图3d-(f)所示。当银膜2厚度为90nm或100nm时,滤光片产生的色域会向左上方偏移,滤光片生成的蓝色光和红色光比银膜2厚度是70nm和80nm时生成的蓝色光和红色光更接近色度图的中心,同样导致较低的饱和度,如图3(e)-(h)所示。当银膜2厚度为70nm或80nm时,滤色器产生的颜色范围可以更好地匹配sRGB颜色空间的范围,从而获得更宽的色域。低饱和度会导致更少的颜色和更窄的色域。比较上述七幅图,可以得出结论,当银膜2的厚度是70或80nm,可以获得更好的色域范围,除了矩形槽3-2长度D,银膜2的厚度也是影响色域的一个因素。
模拟结构周期P和矩形槽3-2长度D对滤光片特性的影响
在此部分中,在改变矩形槽3-2长度D的基础上,探讨了滤光片周期对显色效果的影响。图4(a)显示了当厚度不变时,滤光片周期从150nm增加到300nm时的透射光谱。银膜2的厚度为80nm,矩形槽3-2长度D为80nm。从图中可以清楚地看出,周期越小,透射率越大,半波全宽越大。随着周期的增加,峰值波长将出现红移。每当周期的大小改变时,都将矩形槽3-2长度D从80nm减小到20nm,步长为5nm。然后计算获得的透射光谱,在CIE1931色度图上绘制坐标,如图4b-q所示。图4b中表现了P=150nm,H=80nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;图4c中表现了P=160nm,H=80nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;4d中表现了P=170nm,H=80nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;图4e中表现了P=180nm,H=80nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;图4f中表现了P=190nm,H=80nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;图4g中表现了P=200nm,H=80nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;图4h中表现了P=210nm,H=80nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;图4i中表现了P=220nm,H=80nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;图4j中表现了P=230nm,H=80nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;图4k中表现了P=240nm,H=80nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;图4l中表现了P=250nm,H=80nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;图4m中表现了P=260nm,H=80nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;图4n中表现了P=270nm,H=80nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;图4o中表现了P=280nm,H=80nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;图4p中表现了P=290nm,H=80nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况;图4q中表现了P=300nm,H=80nm,D从80nm减小到20nm时透射光波段的变化情况。
从图4b-4q这十六张图中可以看出,彩色滤光片获得的蓝光和红光的饱和度不会随着周期的增加而发生很大变化,而绿光的变化则更为明显。当周期大小在150nm-240nm或280nm-300nm这两个范围内时,可以清楚地看到滤光片获得的绿光在sRGB的色彩空间内,并且低于当周期在250nm至270nm范围内时滤波器产生的绿光的饱和度,如图4(b)-(k)和图4(o)-(q)。当周期大小在250nm-270nm范围内时,可以获得高饱和度的绿光,并且总体颜色可以超过sRGB色彩空间的范围,从而导致更宽的色域,如图4(l)-(n)所示。比较上面的十七幅图,可以得出结论,当滤光器的周期在250nm-270nm范围内时,获得的色彩范围超过sRGB色彩空间,可以获得更宽的色域和更高的饱和度。除了矩形槽3-2长度D和银膜2的厚度,周期的大小是影响色域的另一个主要因素。
Claims (10)
1.一种能实现超宽色域的颜色滤光片,包括基底层(1)和银膜(2);其特征在于:银膜(2)覆盖在基底层(1)上;银膜(2)上蚀刻有多个镂空微结构(3);镂空微结构(3)包括一个十字形槽(3-1)和四个矩形槽(3-2)组成;四个矩形槽(3-2)与十字形槽(3-1)的四个端部分别连接。
2.根据权利要求1所述的一种能实现超宽色域的颜色滤光片,其特征在于:通过调节矩形槽(3-2)的长度D的大小来调节滤光片的透光波段范围。
3.根据权利要求1所述的一种能实现超宽色域的颜色滤光片,其特征在于:各镂空微结构(3)呈矩阵状排列;相邻两个镂空微结构(3)的中心点间距P的取值范围为150~300nm。
4.根据权利要求1所述的一种能实现超宽色域的颜色滤光片,其特征在于:所述银膜(2)的厚度H的取值范围为40~100nm。
5.根据权利要求1所述的一种能实现超宽色域的颜色滤光片,其特征在于:所述矩形槽(3-2)的长度D的取值范围为20~80nm。
6.根据权利要求1所述的一种能实现超宽色域的颜色滤光片,其特征在于:镂空微结构(3)关于十字形槽(3-1)的中心点中心对称。
7.根据权利要求1所述的一种能实现超宽色域的颜色滤光片,其特征在于:所述矩形槽(3-2)与十字形槽(3-1)上对应端部的连接处为矩形槽(3-2)的中间位置。
8.根据权利要求1所述的一种能实现超宽色域的颜色滤光片,其特征在于:所述的矩形槽(3-2)与十字形槽(3-1)上的对应端部相互垂直。
9.根据权利要求1所述的一种能实现超宽色域的颜色滤光片,其特征在于:所述的十字形槽(3-1)由相互垂直等分的的两条长条形槽组成。
10.如权利要求3所述的一种能实现超宽色域的颜色滤光片的结构参数确定方法,其特征在于:步骤一、确定透过滤光片的设计要求;设计要求包括目标可见光波段范围和最大透光率;
步骤二、根据目标可见光波段范围确定银膜厚度H和相邻镂空微结构中心距P的数值以及矩形槽长度D;
目标可见光波段范围与绿色波段范围、蓝色波段范围、红色波段范围,分别进行比对如下:
①.若目标可见光波段范围与绿色波段范围的重合程度最高,且最大透光率大于或等于50%,则在40nm~80nm的范围内选定银膜(2)厚度H;在150nm~210nm的范围内选定相邻镂空微结构(3)中心距P;设定矩形槽长度D的取值范围为20nm~80nm;
②.若目标可见光波段范围与绿色波段范围的重合程度最高,且最大透光率小于50%,则在90nm~100nm的范围内选定银膜(2)厚度H;在210nm~300nm的范围内选定相邻镂空微结构(3)中心距P;设定矩形槽长度D的取值范围为20nm~80nm;
③.若目标可见光波段范围与蓝色波段范围的重合程度最高,则在40nm~80nm的范围内选定银膜(2)厚度H;在150nm~210nm的范围内选定相邻镂空微结构(3)中心距P;设定矩形槽长度D的取值范围为50nm~80nm;
④.若目标可见光波段范围与红色波段范围的重合程度最高,则在40nm~80nm的范围内选定银膜(2)厚度H;在150nm~210nm的范围内选定相邻镂空微结构(3)中心距P;设定矩形槽长度D的取值范围为20nm~40nm;
步骤三、在步骤二确定的矩形槽长度D的取值范围中,取最大值作为矩形槽长度D,并逐渐增小;每次减小后均对当前参数的滤光片通过时域有限差分方法模拟透射谱,直到模拟出的结果满足步骤一中确定的设计要求。
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