CN112591786A - 一种从ito靶材磨削废液中回收ito粉末的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法，ITO靶材磨削后经磨削液冲洗产生磨削废液收集，磨削废液中包含ITO粉末和磨削轮杂质粉末，磨削轮杂质粉末是无机物粉末；磨削废液收集后经一次过滤和二次分离，得到的混合粉末固体除油进行比重分离得到ITO粉末固体和杂质固体分开，ITO粉末固体水洗后干燥得到ITO粉末。本发明具有从磨削废液中回收ITO粉末，磨削废液采用二次分离的方法，使固液分离机负担小，能耗降低，同时降低固液分离机的损耗，延长使用寿命的优点。
Description
技术领域
本发明涉及ITO靶材技术领域，具体为一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法。
背景技术
氧化铟锡是一种铟(III族)氧化物(In2O3)和锡(IV族)氧化物(SnO2)的混合物，通常质量比为90％In2O3，10％SnO2。它在薄膜状时，透明，略显茶色。在块状态时，它呈黄偏灰色。
ITO主要用于制作液晶显示器、平板显示器、等离子显示器、触摸屏、电子纸、有机发光二极管、以及太阳能电池、和抗静电镀膜还有EMI屏蔽的透明传导镀膜。
ITO也被用于各种光学镀膜，最值得注意的有建筑学中红外线-反射镀膜(热镜)、汽车、还有钠蒸汽灯玻璃等。别的应用包括气体传感器、抗反射膜、和用于VCSEL激光器的布拉格反射器。
ITO薄膜应可以在高于1400℃及严酷的环境中使用，例如气体涡轮、喷气引擎、还有火箭引擎。
近年来，随着电子信息技术的发展，用于沉积ITO薄膜的靶材用量迅猛增加，但是目前ITO靶材的利用率只有30％左右，会有70％的靶材成为废料，存在很大的资源浪费问题。在生产ITO靶材的过程中，磨削ITO靶材之后所剩下的磨削废液中，不仅含有磨削液以及少量的杂质粉末，还含有大量的ITO粉末残留，磨削液直接排放会导致ITO粉末的浪费，增加公司的生产成本。
发明内容
本发明的目的在于提供一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法，具备从磨削废液中回收ITO粉末，磨削废液采用二次分离的方法，使固液分离机负担小，能耗降低，同时降低固液分离机的损耗，延长使用寿命的优点，解决了磨削液直接排放会导致ITO粉末的浪费，增加公司的生产成本的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法，ITO靶材磨削后经磨削液冲洗产生磨削废液收集，磨削废液中包含ITO粉末和磨削轮杂质粉末，磨削轮杂质粉末是无机物粉末；
所述方法包括以下步骤：
S1、从磨削机上流出的磨削废液收集到超滤膜筒内，磨削废液从超滤膜筒内的超滤膜通过，超滤膜筒将磨削废液中大部分的混合粉末固体拦截过滤，少量小颗粒的混合粉末固体通过超滤膜筒；
S2、经过超滤膜筒一次过滤后的磨削废液进入到固液分离机内，在固液分离机的作用下，废液和混合粉末固体分离，废液和混合粉末固体分开排出；固液分离机只分离少量的混合粉末固体，使固液分离机负担小，能耗降低，同时降低固液分离机的损耗，延长使用寿命；
S3、经过超滤膜筒一次过滤后的混合粉末固体和固液分离机分离出的混合粉末固体一起加入到除油锅中，先加入机油，ITO粉末混合固体浸泡1-2min后再次加入阴离子表面活性剂，再次将ITO粉末混合固体浸泡3-5min，浸泡的过程通过搅拌机对除油锅内溶液匀速搅拌；除油后将混合粉末固体捞出并用纯净水进行洗涤得到干净的混合粉末固体；
S4、将S3中等到的干净的混合粉末固体加入到分离机中，分离机中加入50-60％浓度的蔗糖溶液，用蔗糖溶液作为比重分离溶液，混合粉末固体加入后先搅拌，然后停止搅拌使溶液静置，等到溶液分层后捞出上层溶液的漂浮物，再次沉淀，重复沉淀-捞出操作，直到上层溶液不再有漂浮物，将ITO粉末和杂质粉末分离；
S5、经过分离机分离后的ITO粉末固体进行水洗作业，水洗流程分为浸泡和持续冲洗两个步骤，经过分离机分离的ITO粉末固体装入到超滤膜袋中，超滤膜袋的超滤膜孔径为0.002μm，先将超滤膜袋内的ITO粉末固体在纯净水中浸泡1-2min，在将超滤膜袋捞起送入到纯净水排水管处进行冲洗2-3min，彻底去除蔗糖溶液的残留；
S6、经过水洗后的ITO粉末固体送入到干燥机内进行干燥，将ITO粉末固体的水分蒸发，得到ITO粉末。
作为本发明的进一步方案，磨削废液收集后经一次过滤和二次分离，得到的混合粉末固体除油进行比重分离得到ITO粉末固体和杂质固体分开，ITO粉末固体水洗后干燥得到ITO粉末。
作为本发明的进一步方案，磨削废液首先通过超滤膜筒，超滤膜筒内置的超滤膜孔径为0.01μm。
作为本发明的进一步方案，除油锅处于室温条件下进行作业。
作为本发明的进一步方案，除油后的ITO粉末混合固体加入到分离机前通过纯净水进行洗涤，去除含有的机油和阴离子表面活性剂。
作为本发明的进一步方案，干燥机内的温度设置在40-50℃，时间设定在5-6min，ITO粉末固体干燥后自然冷却。
作为本发明的进一步方案，超滤膜筒内置的超滤膜架与超滤膜筒之间通过螺栓固定，超滤膜架与超滤膜筒可拆卸。
与现有技术相比，本发明的有益效果如下：从磨削机上流出的磨削废液收集到超滤膜筒内，磨削废液从超滤膜筒内的超滤膜通过，超滤膜筒将磨削废液中大部分的混合粉末固体拦截过滤，少量小颗粒的混合粉末固体通过超滤膜筒；经过超滤膜筒一次过滤后的磨削废液进入到固液分离机内，在固液分离机的作用下，废液和混合粉末固体分离，废液和混合粉末固体分开排出；固液分离机只分离少量的混合粉末固体，使固液分离机负担小，能耗降低，同时降低固液分离机的损耗，延长使用寿命。
水洗流程分为浸泡和持续冲洗两个步骤，经过分离机分离的ITO粉末固体装入到超滤膜袋中，先将超滤膜袋内的ITO粉末固体在纯净水中浸泡1-2min，在将超滤膜袋捞起送入到纯净水排水管处进行冲洗，冲洗2-3分钟，彻底去除蔗糖溶液的残留。
附图说明
图1为本发明的回收流程示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
实施例1
请参阅图1，本发明提供的一种实施例：一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法，ITO靶材磨削后经磨削液冲洗产生磨削废液收集，磨削废液中包含ITO粉末和磨削轮杂质粉末，磨削轮杂质粉末是无机物粉末；
磨削废液首先通过超滤膜筒，超滤膜筒内置的超滤膜孔径为0.01μm，磨削废液收集后经一次过滤和二次分离；固液分离机只分离少量的混合粉末固体，使固液分离机负担小，能耗降低，同时降低固液分离机的损耗，延长使用寿命。除油锅内先加入机油，ITO粉末混合固体浸泡1-2min后再次加入阴离子表面活性剂，再次将ITO粉末混合固体浸泡3-5min；得到的混合粉末固体除油，除油后的ITO粉末混合固体加入到分离机前通过纯净水进行洗涤，去除含有的机油和阴离子表面活性剂，进行比重分离得到ITO粉末固体和杂质固体分开，ITO粉末固体水洗后干燥得到ITO粉末。
水洗流程分为浸泡和持续冲洗两个步骤，经过分离机分离的ITO粉末固体装入到超滤膜袋中，超滤膜袋的超滤膜孔径为0.002μm，先将超滤膜袋内的ITO粉末固体在纯净水中浸泡1-2min，在将超滤膜袋捞起送入到纯净水排水管处进行冲洗，冲洗2-3分钟，彻底去除蔗糖溶液的残留。
实施例2
本发明提供的一种实施例：一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法，操作步骤：
S1、从磨削机上流出的磨削废液收集到超滤膜筒内，磨削废液从超滤膜筒内的超滤膜通过，超滤膜筒将磨削废液中大部分的混合粉末固体拦截过滤，少量小颗粒的混合粉末固体通过超滤膜筒；
S2、经过超滤膜筒一次过滤后的磨削废液进入到固液分离机内，在固液分离机的作用下，废液和混合粉末固体分离，废液和混合粉末固体分开排出；固液分离机只分离少量的混合粉末固体；
S3、经过超滤膜筒一次过滤后的混合粉末固体和固液分离机分离出的混合粉末固体一起加入到除油锅中，先加入机油，ITO粉末混合固体浸泡1-2min后再次加入阴离子表面活性剂，再次将ITO粉末混合固体浸泡3-5min，浸泡的过程通过搅拌机对除油锅内溶液匀速搅拌；除油后将混合粉末固体捞出并用纯净水进行洗涤得到干净的混合粉末固体；
S4、将S3中等到的干净的混合粉末固体加入到分离机中，分离机中加入50-60％浓度的蔗糖溶液，用蔗糖溶液作为比重分离溶液，混合粉末固体加入后先搅拌30s，然后停止搅拌使溶液静置，静置时间在8-10min，等到溶液分层后捞出上层溶液的漂浮物，再次沉淀，重复沉淀-捞出操作5-7次，直到上层溶液不再有漂浮物，将ITO粉末和杂质粉末分离；
S5、经过分离机分离后的ITO粉末固体进行水洗作业，水洗流程分为浸泡和持续冲洗两个步骤，经过分离机分离的ITO粉末固体装入到超滤膜袋中，超滤膜袋的超滤膜孔径为0.002μm，先将超滤膜袋内的ITO粉末固体在纯净水中浸泡1-2min，在将超滤膜袋捞起送入到纯净水排水管处进行冲洗，冲洗2-3分钟，彻底去除蔗糖溶液的残留；
S6、经过水洗后的ITO粉末固体送入到干燥机内进行干燥，干燥机内的温度设置在50℃，干燥6min，将ITO粉末固体的水分蒸发，得到ITO粉末。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (7)
1.一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法，其特征在于：ITO靶材磨削后经磨削液冲洗产生磨削废液收集，磨削废液中包含ITO粉末和磨削轮杂质粉末，磨削轮杂质粉末是无机物粉末；
所述方法包括以下步骤：
S1、从磨削机上流出的磨削废液收集到超滤膜筒内，磨削废液从超滤膜筒内的超滤膜通过，超滤膜筒将磨削废液中大部分的混合粉末固体拦截过滤，少量小颗粒的混合粉末固体通过超滤膜筒；
S2、经过超滤膜筒一次过滤后的磨削废液进入到固液分离机内，在固液分离机的作用下，废液和混合粉末固体分离，废液和混合粉末固体分开排出；固液分离机只分离少量的混合粉末固体，使固液分离机负担小，能耗降低，同时降低固液分离机的损耗，延长使用寿命；
S3、经过超滤膜筒一次过滤后的混合粉末固体和固液分离机分离出的混合粉末固体一起加入到除油锅中，先加入机油，ITO粉末混合固体浸泡1-2min后再次加入阴离子表面活性剂，再次将ITO粉末混合固体浸泡3-5min，浸泡的过程通过搅拌机对除油锅内溶液匀速搅拌；除油后将混合粉末固体捞出并用纯净水进行洗涤得到干净的混合粉末固体；
S4、将S3中等到的干净的混合粉末固体加入到分离机中，分离机中加入50-60％浓度的蔗糖溶液，用蔗糖溶液作为比重分离溶液，混合粉末固体加入后先搅拌，然后停止搅拌使溶液静置，等到溶液分层后捞出上层溶液的漂浮物，再次沉淀，重复沉淀-捞出操作，直到上层溶液不再有漂浮物，将ITO粉末和杂质粉末分离；
S5、经过分离机分离后的ITO粉末固体进行水洗作业，水洗流程分为浸泡和持续冲洗两个步骤，经过分离机分离的ITO粉末固体装入到超滤膜袋中，超滤膜袋的超滤膜孔径为0.002μm，先将超滤膜袋内的ITO粉末固体在纯净水中浸泡1-2min，在将超滤膜袋捞起送入到纯净水排水管处进行冲洗2-3min，彻底去除蔗糖溶液的残留；
S6、经过水洗后的ITO粉末固体送入到干燥机内进行干燥，将ITO粉末固体的水分蒸发，得到ITO粉末。
2.一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法，其特征在于：磨削废液收集后经一次过滤和二次分离，得到的混合粉末固体除油进行比重分离得到ITO粉末固体和杂质固体分开，ITO粉末固体水洗后干燥得到ITO粉末。
3.根据权利要求1所述的一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法，其特征在于：磨削废液首先通过超滤膜筒，超滤膜筒内置的超滤膜孔径为0.01μm。
4.根据权利要求1所述的一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法，其特征在于：除油锅处于室温条件下进行作业。
5.根据权利要求1所述的一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法，其特征在于：除油后的ITO粉末混合固体加入到分离机前通过纯净水进行洗涤，去除含有的机油和阴离子表面活性剂。
6.根据权利要求1所述的一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法，其特征在于：干燥机内的温度设置在40-50℃，时间设定在5-6min，ITO粉末固体干燥后自然冷却。
7.根据权利要求1所述的一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法，其特征在于：超滤膜筒内置的超滤膜架与超滤膜筒之间通过螺栓固定，超滤膜架与超滤膜筒可拆卸。
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
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Application publication date: 20210402 |