CN112578267A - 高低温测试工作盘的平面度补偿方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种高低温测试工作盘的平面度补偿方法，包括S1、以基于晶圆构建的map图的中心为中心点，将map图划分为不同的补偿区域，分别包括以中心点为中心的中心补偿区域和围绕中心补偿区域的多个外围补偿区域；S2、以每个补偿区域的中心点作为对焦位置，沿Z轴方向移动晶圆，将每个补偿区域的中心点分别与相机进行对焦，获得每个补偿区域的Z轴高度值；S3、将中心补偿区域的Z轴高度值作为基准，计算与每个外围补偿区域的Z轴高度值的高度差；S4、根据计算出的各高度差对各外围补偿区域的高度进行补偿。本发明通过对补偿区域的划分，实现对平面度的精确补偿，使针卡与晶圆各部分接触高度误差减小，保证针痕的一致性，及各部分针卡使用情况一致性。
Description
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种高低温测试工作盘的平面度补偿方法。
背景技术
在利用晶圆探针台对晶圆进行测试的过程中，晶圆探针台的Z轴运动机构在经过多次上下运动及扎针测试后，会造成工作盘表面的平面度发生变化，由于晶圆真空吸附在工作盘上，当工作盘表面的平面度发生变化时，会因吸力不均，导致晶圆表面的平面度发生变化。当对晶圆进行高低温测试时，温度的变化也容易导致晶圆表面的平面度发生变化。因此，亟需一种对高低温测试工作盘的平面度进行补偿的方法。
发明内容
鉴于上述技术问题，本发明旨在提供一种高低温测试工作盘的平面度补偿方法，通过对map进行多个补偿区域的划分，以中心区域的中心点作为补偿基准，对其他的补偿区域进行补偿，可以提高工作盘表面平面度的补偿精度。
为实现上述目的，本发明采用以下具体技术方案：
本发明提供一种高低温测试工作盘的平面度补偿方法，包括如下步骤：
S1、以基于晶圆构建的map图的中心为中心点，将map图划分为不同的补偿区域，分别包括以中心点为中心的中心补偿区域和围绕中心补偿区域的多个外围补偿区域；
S2、以每个补偿区域的中心点作为对焦位置，沿Z轴方向移动晶圆，将每个补偿区域的中心点分别与相机进行对焦，获得每个补偿区域的Z轴高度值；
S3、将中心补偿区域的Z轴高度值作为基准，计算与每个外围补偿区域的Z轴高度值的高度差；
S4、根据计算出的各高度差对各外围补偿区域的高度进行补偿。
优选地，在步骤S1中，将map图划分为9个补偿区域或25个补偿区域。
优选地，在步骤S2中，相机固定在晶圆的上方，通过移动晶圆的方式，实现每个补偿区域与相机的对焦。
优选地，先通过晶圆探针台的XY轴运动机构将晶圆移动至与相机同轴，再通过晶圆探针台的Z轴运动机构沿Z轴方向移动晶圆，实现某个补偿区域与相机的对焦。
优选地，在步骤S3之后，还包括如下步骤：
判断中心补偿区域的Z轴高度值与某个外围补偿区域的Z轴高度值的高度差是否大于设定阈值；如果是，选择报警；如果否，则进行步骤S4。
优选地，在步骤S4中，将高度差手动补偿到外围补偿区域的Z轴高度值中。
优选地，在步骤S4中，将高度差自动补偿到外围补偿区域的Z轴高度值中。
本发明能够取得以下技术效果：
1、将map图划分为多个补偿区域，能够提高补偿精度；
2、通过对晶圆多个补偿区域的测量，实时检测各补偿区域高度差是否超过设定阈值范围，如果超过，选择报警；
3、map图划分补偿区域后实现每个补偿区域的对焦，用于对焦测量的图像具有一致性，保证测量精度；
4、通过多个补偿区域的划分，能够测量出晶圆平面度的变化趋势，为机械调平提供依据；
5、手动补偿方式灵活方便，自动补偿能够根据每次的对焦结果进行实时补偿，提高补偿精度；
6、通过平面度补偿，保证各位置的测试高度一致，提高测试良率；
7、通过平面度补偿，使针卡与晶圆各部分接触的高度误差减小，保证针痕的一致性，及各部分针卡使用情况一致性。
附图说明
图1为根据本发明一个实施例的高低温测试工作盘的平面度补偿方法的流程示意图；
图2为根据本发明一个具体实施例的高低温测试工作盘的平面度补偿方法的流程示意图；
图3为根据本发明一个实施例的补偿界面示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，而不构成对本发明的限制。
下面将对本发明实施例提供的高低温测试工作盘的平面度补偿方法进行详细说明。
图1示出了根据本发明一个实施例的高低温测试工作盘的平面度补偿方法的流程。
如图1所示，本发明实施例提供的高低温测试工作盘的平面度补偿方法，包括步骤：
S1、以基于晶圆构建的map图的中心为中心点，将map图划分为不同的补偿区域，分别包括以中心点为中心的中心补偿区域和围绕中心补偿区域的多个外围补偿区域。
map图的构建为现有技术，故在此不再赘述。
本发明是以中心补偿区域为补偿基准，对多个外围补偿区域进行补偿，这种补偿方式可以实现晶圆多个区域的补偿，能够提高补偿精度。
中心补偿区域的中心点为晶圆的中心位置，以该中心点的高度作为补偿基准，将所有的外围补偿区域补偿至于中心补偿区域的中心点的高度一致。
S2、以每个补偿区域的中心点作为对焦位置，沿Z轴方向移动晶圆，将每个补偿区域的中心点分别与相机进行对焦，获得每个补偿区域的Z轴高度值。
相机位于在晶圆的上方固定不动，本发明是通过移动晶圆的方式，实现每个补偿区域与相机的对焦。
本发明以每个补偿区域的中心点作为对焦位置，实现与相机的对焦，中心补偿区域的中心点为晶圆的中心位置，而每个外围补偿区域的中心点为每个外围补偿区域的中心位置。
每个补偿区域的Z轴高度值是指每个补偿区域的中心点到自定义零点的距离，则中心补偿区域的Z轴高度值为中心补偿区域的中心点到自定义零点的距离，中心补偿区域的Z轴高度值为外围补偿区域的中心点到自定义零点的距离。
S3、将中心补偿区域的Z轴高度值作为基准，计算与每个外围补偿区域的Z轴高度值的高度差。
实际上是计算中心补偿区域的中心点与每个外围补偿区域的中心点的高度差。
S4、根据计算出的各高度差对各外围补偿区域的高度进行补偿。
在计算出每个外围补偿区域的中心点相对于中心补偿区域的中心点的高度后，通过该高度差对外围补偿区域的高度进行补偿，使外围补偿区域的高度与中心补偿区域的高度一致，从而保证晶圆表面的平面度。
map图划分的补偿区域越多，所需要补充的中心点越多，越能够提高补偿精度，但随着补偿区域的增多，补偿时间也会随之增加。
权衡时间与补偿精度两个因素，优选将map图划分为9个补偿区域或25个补偿区域。下面以9个补偿区域为例进行对本发明提供的高低温测试工作盘的平面度补偿方法进行详述。
在将map图划分为9个补偿区域时，位于map图中心的补偿区域为中心补偿区域，围绕中心补偿区域的8个补偿区域为外围补偿区域。
图2示出了根据本发明一个具体实施例的高低温测试工作盘的平面度补偿方法的流程。
如图2所示，本发明一个具体实施例提供的高低温测试工作盘的平面度补偿方法，包括步骤：
S1`、通过晶圆探针台的XY轴运动机构将晶圆移动至与相机同轴。
S2`、通过晶圆探针台的Z轴运动机构移动晶圆，实现某个补偿区域与相机的对焦。
S1`和S2`为一个补偿区域的对焦步骤，所有的补偿区域均按照这两个步骤进行对焦。本实施例中，可以先进行中心补偿区域的对焦，也可以先进行外围补偿区域的对焦。
S3`、判断多个补偿区域是否对焦完成，如果是，执行步骤S4`；如果否，返回步骤S1`，重新开始对焦。
S4`、计算中心补偿区域的中心点与每个外围补偿区域的中心点的高度差。
S5`、判断中心补偿区域的中心点与某个外围补偿区域的中心点的高度差是否超出设定阈值，如果是，执行步骤S6`；如果否，执行步骤S7`。
步骤S6`、停止测试，进行报警。
步骤S7`、将高度差补偿到外围补偿区域的Z轴高度值中。
补偿分为两种方式，一种是固定补偿方式，手动将高度差添加到外围补偿区域的中心点的固定补偿数值中，实现固定补偿。另一种为自动补偿方式，将每次对焦后计算出的高度差加自动到外围补偿区域的Z轴高度值中，实现实时补偿。
如果中心补偿区域的Z轴高度值与外围补偿区域的Z轴高度值相等，则无需对该外围补偿区域进行补偿。
最终的补偿结果如图3所示，界面中包括对晶圆均匀划分后的每个补偿区域的测试高度(即Z轴高度值)，图3中左侧为对焦前的界面，右侧为对焦结束后的界面。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、部分、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、部分、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
以上本发明的具体实施方式，并不构成对本发明保护范围的限定。任何根据本发明的技术构思所作出的各种其他相应的改变与变形，均应包含在本发明权利要求的保护范围内。
Claims (7)
1.一种高低温测试工作盘的平面度补偿方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、以基于晶圆构建的map图的中心为中心点，将所述map图划分为不同的补偿区域，分别包括以所述中心点为中心的中心补偿区域和围绕所述中心补偿区域的多个外围补偿区域；
S2、以每个补偿区域的中心点作为对焦位置，沿Z轴方向移动晶圆，将每个补偿区域的中心点分别与相机进行对焦，获得每个补偿区域的Z轴高度值；
S3、将所述中心补偿区域的Z轴高度值作为基准，计算与每个外围补偿区域的Z轴高度值的高度差；
S4、根据计算出的各高度差对各外围补偿区域的高度进行补偿。
2.如权利要求1所述的高低温测试工作盘的平面度补偿方法，其特征在于，在步骤S1中，将所述map图划分为9个补偿区域或25个补偿区域。
3.如权利要求1所述的高低温测试工作盘的平面度补偿方法，其特征在于，在步骤S2中，相机固定在所述晶圆的上方，通过移动所述晶圆的方式，实现每个补偿区域与所述相机的对焦。
4.如权利要求3所述的高低温测试工作盘的平面度补偿方法，其特征在于，先通过晶圆探针台的XY轴运动机构将所述晶圆移动至与所述相机同轴，再通过所述晶圆探针台的Z轴运动机构沿Z轴方向移动所述晶圆，实现某个补偿区域与所述相机的对焦。
5.如权利要求4所述的高低温测试工作盘的平面度补偿方法，其特征在于，在步骤S3之后，还包括如下步骤：
判断中心补偿区域的Z轴高度值与某个外围补偿区域的Z轴高度值的高度差是否大于设定阈值；如果是，选择报警；如果否，则进行步骤S4。
6.如权利要求5所述的高低温测试工作盘的平面度补偿方法，其特征在于，在步骤S4中，将高度差手动补偿到外围补偿区域的Z轴高度值中。
7.如权利要求5所述的高低温测试工作盘的平面度补偿方法，其特征在于，在步骤S4中，将高度差自动补偿到外围补偿区域的Z轴高度值中。
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