CN112577571A - 一种具有传感器标定流路的供液系统及其标定方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种具有传感器标定流路的供液系统及其标定方法，包括液体排放模块、具有检测供给流路中的温度和/或流量用传感器的液体流路、第一标定流路和第二标定流路，第一标定流路用于标定液体流路中具有的传感器，第一标定流路为第一高精度检测流路，第一标定流路具有第一高精度传感器，第一高精度传感器包括第一高精温度传感器和/或第一高精流量传感器；第一标定流路连接设于多条液体流路后级和液体排放模块前级之间位置处，第二标定流路为第二高精度检测流路，待标定传感器和第一高精度传感器无需从供液系统中取出，便可确定传感器校正量，实现传感器重新标定，标定方式灵活多样，便捷有效，标定精度高。

Description

一种具有传感器标定流路的供液系统及其标定方法

技术领域

本发明涉及供液系统控制技术，尤其是涉及一种具有传感器标定流路的供液系统及标定方法。

背景技术

在供液系统中，为满足多样化、差异化生产需求，例如浸没式光刻机中的浸没液体控制系统，需要对被控制液体在温度、流量和压力等特性参数上实现可靠稳定输出，而通常用于对供液系统中的液体进行温度、流量和压力测量的传感器，在长期测量使用过程中，出现和存在测量漂移的问题，导致经用于进行温度、流量和压力测量后的液体仍不满足控制需求，无法实现液体于设定范围值内的可靠稳定输出。

在申请号为CN201010239620.2的中国发明专利中，公开了一种光刻设备和器件制造方法，该发明专利在其设备内部设有两路流体路径和一路旁路路径，旁路路径负责将两条流体路径桥接连结，使得在两路流体路径内部流动的流体均能流至另一路流体路径中；该发明专利在其中一路流体路径和旁路路径中均设有温度传感器，通过切断其中一路流体流动，并使得另一路流体流经流体路径和旁路路径中所设置的温度传感器，通过比较两个温度传感器所输出的信号，进行温度校准，该校准方式为相对校准方式，在正常使用过程中，两温度传感器均处于工作负载状态，两温度传感器均能产生误差，该发明专利采用的相对校准方式只是将两温度传感器校准至同一温度检测值，在长期使用过程中，两温度传感器可能存在以正反馈的形式不断偏离原定温度检测值，该校准方式不适用于输出流体温度精度要求高的设备。

在申请号为CN201010618388.3的中国发明专利中公开了一种温度传感器标定装置及方法，该发明专利在其内部设置有标准传感器，在以标准传感器为中心处圆周设置有待标定温度传感器，待标定温度传感器旁设有用于检测标定温度传感器电阻值的电阻测量仪，温度标定时，以标准传感器检测的温度值为标定温度下，记录待标定温度传感器检测出的温度值和待标定温度传感器的电阻值，通过设定多个温度标定点，拟合得到待标定温度传感器特性方程参数，根据所得参数调节待标定温度传感器，该校准方式因其检测原理使得适用范围受到限制，只适用于采用电阻式的温度传感器。

在申请号为CN201710218045.X的中国发明专利中公开了一种流量传感器校准方法及系统，该发明专利在其设备内部设有流量传感器、压差传感器和PC校准端，通过压差传感器检测流体多个不同流量下其对应的压差，将记录的数据进行拟合得到测试量程内的标准流量——压差曲线，校准时，记录流量传感器测得的测量流量值和压差传感器下的压差值并发送给PC校准端，PC校准端将测量流量值和标准流量——压差曲线进行比对，计算出补偿因子并对流量传感器进行校准，该校准方式在使用前，需要进行多次标定实验，实验后得出的标准流量——压差曲线其作用范围受管路和流体介质限定，任意改变管路布局或流体介质更替，原有的标准流量——压差曲线便失效，需要重新实验制图。

发明内容

本发明为解决现有供液系统中因传感器在长久工作后，其检测值会因其系统内部误差累积而产生漂移缺陷而需要采用的标定技术存在着标定使用范围较为有限、标定结果容易因管路或介质的改变而失效导致的标定工作量大，标定方式较为单一等现状而提供的一种待标定传感器无需改变固定位置或从安装设备内取出，便可进行有效便捷标定，标定方式灵活多样，便捷有效，标定精度高的具有传感器标定流路的供液系统及其标定方法。

本发明为解决上述技术问题所采用的具体技术方案为：一种具有传感器标定流路的供液系统，包括液体排放模块和具有检测供给流路中的温度和/或流量用传感器的液体流路，其特征在于：还包括第一标定流路，第一标定流路旁通与液体流路相连，第一标定流路用于标定所述液体流路中具有的传感器，第一标定流路采用为第一高精度检测流路，所述第一标定流路具有第一高精度传感器，所述的第一高精度传感器包括第一高精温度传感器和/或第一高精流量传感器；液体流路中流动的液体经第一标定流路检测后排放至液体排放模块中。无需将液体流路中的传感器改变固定位置或从安装设备内取出，只需将待标定传感器与高精度传感器进行多次数值测量和对比，从而确定待标定传感器校正量，便可对上述传感器进行标定，便捷有效灵活的实现对待标定传感器重新

标定；标定方式灵活多样，便捷有效，标定精度高。

作为优选，所述的与第一标定流路旁通相连的液体流路可不止仅具有一条，其数量可以为两条及更多条。提高可标定的液体流路实际有效应用。

作为优选，所述的第一标定流路中设有第四开关阀、第一高精温度传感器和第一高精流量传感器，第四开关阀用于控制第一标定流路中流向第一高精温度传感器和第一高精流量传感器液体的流动，第一高精温度传感器用于检测第一高精度检测流路中流动液体的温度，第一高精流量传感器用于检测第一高精度检测流路中流动液体的流量大小。提高第一高精度检测流路对液体流路中的传感器的检测标定灵活便捷有效性。

作为优选，所述的第一标定流路上位于第四开关阀与高精度传感器间设置有第四分叉节点，通过第四分叉节点与第一标定流路旁通相连有用于标定第一标定流路中传感器的第二标定流路，第二标定流路采用为第二高精度检测流路，第二标定流路连接设有第二液体供给模块和第二高精度传感器，第二液体供给模块作为第二标定流路标定第一标定流路中传感器过程中时的所被检测液体的供给源，所述的第二高精度传感器包括第二高精温度传感器和/或第二高精流量传感器；第二标定流路与第一标定流路之间连接设有第三流路支路，第三流路支路具有第八开关阀，第二标定流路通过第八开关阀与第一标定流路中设置的第四分叉节点相连接，通过对第一高精传感器的可靠灵活有效标定，避免了因长久使用而导致第一高精传感器出现的测量漂移现象，使得第一高精传感器在长久使用中无需从装置内部取出，降低供液系统的污染风险，于装置内部即可完成重新标定，重新用于对液路流路中传感器的标定。

作为优选，所述的液体流路包括第一流路、第二流路、第一进液流路、第一流路支路、第二流路支路和第一液体供给模块，其中第一进液流路下游终端处具有第一分叉节点，第一分叉节点后端分别与第一流路和第二流路相连接；第一流路从第一进液流路下游终端到第一用液单元上游终端之间依次设有第一控制器、第二加热器、第一温度传感器、第一流量传感器、第二分叉节点和第二开关阀，第一控制器用于改变第一流路中流动液体的流量大小和保持第一分叉节点处的压力基本恒定，第二加热器用于满足可能存在的第一用液单元对所需液体温度的限定而改变第一流路中流动液体的温度，第一温度传感器用于检测经第二加热器加热后流动液体的温度，第一流量传感器用于检测第一标定流路中流动液体的流量大小，第二开关阀控制第一标定流路中流向第一用液单元液体的流动；第二流路从第一进液流路下游终端到第二用液单元上游终端之间依次设有第二控制器、第三加热器、第二温度传感器、第二流量传感器、第五分叉节点和第五开关阀，第二控制器用于改变第二流路中流动液体的流量大小和保持第一分叉节点处的压力基本恒定，第三加热器用于满足可能存在的第二用液单元对所需液体温度的限定而改变第二流路中流动液体的温度，第二温度传感器用于检测经第三加热器加热后流动液体的温度，第二流量传感器用于检测第二流路中流动液体的流量大小，第五开关阀控制第二流路中流向第二用液单元液体的流动，第五分叉节点后端连接有第二流路支路，第五分叉节点作为第二流路支路上游源头部分，第二流路支路下游终端为第三分叉节点，第二流路支路中并位于第五分叉节点和第三分叉节点两者间设有第六开关阀，第二流路支路作为第二流路和高精度检测流路两者间液体流通通道；第六开关阀用于控制第二流路和第一高精度检测流路两者间液体的流动；第二分叉节点作为第一流路支路上游源头部分，第一流路支路下游终端具有第三分叉节点，第一流路支路中并位于第二分叉节点和第三分叉节点两者间设有第三开关阀，第三分叉节点后端连接有第一高精度检测流路，第一流路支路作为第一流路和高精度检测流路两者间液体流通通道；第三开关阀用于控制第一流路和第一高精度检测流路两者间液体的流动，第三分叉节点作为第一高精度检测流路上游源头部分，第一高精度检测流路下游终端为一液体排放模块。提高多条液体流路中各传感器被检测标定的标定便捷灵活有效性。

作为优选，所述的第二标定流路下游终端处具有第六分叉节点，第六分叉节点后端连接有第三流路和第三流路支路，第六分叉节点作为第三流路上游源头部分，第三流路下游终端为一第三用液单元，第三用液单元的设置使得第二标定流路在无需对第一标定流路标定时，第二标定流路可作为液体流路的设置，第三流路中并位于第六分叉节点和第三用液单元两者间设有第七开关阀，第七开关阀控制第三流路中流向第三用液单元液体的流动，第六分叉节点也作为第三流路支路上游源头部分，第三流路支路下游终端为第四分叉节点。提高第二标定流路的标定与用液灵活有效性。

作为优选，所述的第二高精度传感器中的第二高精温度传感器和第二高精流量传感器均为可拆卸式高精传感器，也即第二高精温度传感器采用为可拆卸式温度传感器，第二高精流量传感器采用为可拆卸式流量传感器，第二高精温度传感器和第二高精流量传感器均可于供液系统中设置于用于容纳供液系统的设备的外部或内部靠近外部一侧。提高对第一高精度检测流路中高精传感器的标定可靠灵活有效性，降低因第一高精度传感器本身测量误差带来的标定误差性，提高第一高精度传感器的长时间使用后的精度标定可靠灵活有效性。

作为优选，第一高精度传感器和第二高精度传感器的精度等级均优于液体流路中的各传感器至少一个精度等级，第二高精度传感器的精度等级等于或优于第一高精度传感器。提高标定可靠有效性，提高标定精度有效性。

作为优选，多条液体流路中的各传感器还包括压力传感器，第一高精度传感器和第二高精度传感器也均包括对应标定用途的压力传感器。提高标定灵活有效性。

本发明申请的另一个发明目的在于提供一种具有传感器标定流路的供液系统标定方法，其特征在于：包括如下标定步骤

A1.根据实际工作运转或标定需求，通过控制上述技术方案之一所述各开关控制阀，控制上述技术方案之一所述的各流路中的液体流通，改变液体在对应流路中流动方向，实现在正常工作运转或实际标定需求用途之间的自由切换，并根据实际标定需求对应执行下列第A2～A3中的标定步骤；

A2.在执行标定上述技术方案之一所述的多条液体流路中的各传感器时，将待标定传感器与到第一高精度传感器进行对应多次数值测量和对比，从而确定待标定传感器校正量，实现待标定传感器的重新标定；

A3.在执行标定上述技术方案之一所述的第一标定流路中的第一高精度传感器时，将待标定第一高精度传感器与到第二标定流路中的第二高精度传感器进行对应多次数值测量和对比，从而确定待标定第一高精度传感器校正量，实现待标定第一高精度传感器的重新标定。

无需将多条液体流路中的传感器改变固定位置或从安装设备内取出，只需根据实际需求执行相应标定任务，将待标定传感器与高精度传感器进行多次数值测量和对比，从而确定待标定传感器校正量，便可对上述传感器进行标定，便捷有效灵活的实现对待标定传感器重新标定；标定方式灵活多样。便捷有效，标定精度高。

作为优选，上述步骤包括如下具体步骤

B1.改变液体流路与第一标定流路间液体的流动方向，实现在正常工作运转或实际标定液体流路中传感器需求用途之间的自由切换，改变第二标定流路与第一标定流路间液体的流动方向，实现可作为液体流路功能的第二标定流路在正常工作运转或标定第一标定流路中传感器需求用途之间的自由切换；

B2.标定液体流路中的温度或流量传感器时，记录于液体流路中流动且流经位于液体流路内的温度或流量传感器所获得的液体的温度值或流量值，控制液体流路与第一标定流路间的连通，液体经液体流路流入第一标定流路中，记录于第一标定流路中流动且流经位于第一标定流路内的温度或流量传感器所获得的液体的温度值或流量值，上述液体经第一标定流路中的传感器检测后向液体排放模块流动排出，通过多次测定和比较液体流路温度测量值和第一标定流路温度测量值，确定该液体流路中温度传感器调整参数，实现该液体流路中温度传感器重新标定；通过多次测定和比较液体流路流量测量值和第一标定流路流量测量值，确定该液体流路中流量传感器调整参数，实现该液体流路中流量传感器重新标定；

B3.标定第一标定流路中的温度或流量传感器时，控制第二标定流路与第一标定流路间的连通，从第二液体供给模块流出的液体经第二标定流路流入第一标定流路中，分别记录于第二标定流路和第一标定流路中的温度或流量传感器所获得的液体的温度值或流量值，上述液体经第一标定流路中的传感器检测后向液体排放模块流动排出，通过多次测定和比较第二标定流路温度测量值和第一标定流路流路温度测量值，确定该第一标定流路中温度传感器调整参数，实现该第一标定流路中温度传感器重新标定；通过多次测定和比较第二标定流路流量测量值和第一标定流路流量测量值，确定该第一标定流路中流量传感器调整参数，实现该第一标定流路中流量传感器重新标定；

B4.同时标定多路液体流路中的温度传感器时，向所述多路液体流路中供给的液体具有相等的温度或是供给的液体来自于同一液体供给源，分别记录每一路液体流路中流动且流经位于每一路液体流路内的温度传感器所获得的液体的温度值，控制多路液体流路同时与第一标定流路间的连通，液体经液体流路流入第一标定流路中，记录于第一标定流路中流动且流经位于第一标定流路内的温度传感器所获得的液体的温度值，上述液体经第一标定流路中的温度传感器检测后向液体排放模块流动排出，通过多次测定和比较每一路液体流路温度测量值和第一标定流路温度测量值，确定每一路液体流路中温度传感器调整参数，实现每一路液体流路中温度传感器重新标定，最终完成同时多路液体流路温度的标定；

注：在标定使用中，并非严格按上述第B1～B4步骤顺序执行，根据实际需求标定使用，启动执行相关步骤。标定使用灵活多样，有效对多条液体流路中的各传感器进行实际需求标定，标定方法灵活有样便捷简单。

本发明的有益效果是：本发明涉及供液系统控制技术，本发明在待标定传感器所在流路旁相连设有支路和第一标定流路，所有流路上均设有控制阀，通过控制阀控制所在流路中液体的流通，改变液体在流路中流动方向，便能实现流路在正常工作运转和标定两种用途间自由切换，提升管道利用效率，针对常使用易产生检测漂移的待标定传感器进行标定时，待标定传感器无需改变固定位置或从安装设备内取出，只需将待标定传感器与第一标定流路中的传感器进行多次数值测量和对比，从而确定待标定传感器校正量，实现待标定传感器重新标定，该标定方式既能实现流路温度的标定也能实现流路流量的标定，该标定方式受流路布局和流体介质因素影响小，具有广泛的适用性，针对使用不频繁但精度要求高的第一标定流路中的传感器进行标定时，还设置有第二标定流路，将第一标定流路中的传感器与第二标定流路中的传感器进行多次数值测量和对比，从而确定第一标定流路中的传感器校正量，实现第一标定流路中的传感器重新标定，第二标定流路中的传感器采用可拆卸式传感器，且设置于用于容纳供液系统的设备的外部或内部靠近外部一侧，方便其放入外界的标定仪器中进行高精度和准确度校准，进而确保其用于检测第一标定流路中的传感器时具有尽可能高的精度，本发明还可以同时实现多路液体流路中温度传感器的标定，解决了多路流路中存在的多个温度传感器标定调测费时费力的问题。

附图说明：

下面结合附图和具体实施方式对本发明做进一步的详细说明。

图1是本发明具有传感器标定流路的供液系统的原理结构示意图。

图2是本发明具有传感器标定流路的供液系统在未标定时液体流动示意图。

图3是本发明具有传感器标定流路的供液系统在标定第一流路时的液体流动示意图。

图4是本发明具有传感器标定流路的供液系统在标定第二流路时的液体流动示意图。

图5是本发明具有传感器标定流路的供液系统在标定第一高精度检测流路时的液体流动示意图。

图6是本发明具有传感器标定流路的供液系统在多路流路温度同时标定时的液体流动示意图。

具体实施方式

实施例1：

图1、图2、图3、图4、图5、图6所示的实施例中，一种具有传感器标定流路的供液系统，包括液体排放模块和具有检测供给流路中的温度和/或流量用传感器的液体流路，还包括第一标定流路125，第一标定流路旁通与液体流路相连，第一标定流路用于标定所述液体流路中具有的传感器，第一标定流路采用为第一高精度检测流路，所述第一标定流路具有第一高精度传感器，所述的第一高精度传感器包括第一高精温度传感器和/或第一高精流量传感器；液体流路中流动的液体经第一标定流路检测后排放至液体排放模块中。与第一标定流路旁通相连的液体流路可不止仅具有一条，其数量可以为两条及更多条。第一标定流路连接设于多条液体流路后级和液体排放模块前级之间位置处。第一高精度检测流路125中依次连接设有第四开关阀28、第四分叉节点35、第一高精度温度传感器29和第一高精度流量传感器30，其中第四开关阀28设于第四分叉节点35前级，第一高精度温度传感器29和第一高精度流量传感器30设于第四分叉节点35后级；第四开关阀28用于控制第一高精度检测流路125中流向第一高精度温度传感器29和第一高精度流量传感器30液体的流动，第一高精度温度传感器29用于检测第一高精度检测流路125中流动液体的温度，第一高精度流量传感器30用于检测第一高精度检测流路125中流动液体的流量大小。多条液体流路后级连接设有用于标定第一标定流路中第一高精度传感器的第二标定流路，第二标定流路采用为第二高精度检测流路126，第二标定流路126连接设有第二液体供给模块105，所述的第二高精度传感器包括第二高精温度传感器和/或第二高精流量传感器；第二标定流路126与第一标定流路125之间连接设有第三流路支路128，第三流路支路128具有第八开关阀34，第二标定流路126通过第八开关阀34与第一标定流路125中设置的第四分叉节点35相连接。虽然使用第一标定流路进行标定就足够了，不过考虑高第一高精度检测流路的高精传感器标定使用时间久了，也会有测量误差现象，所以通过第二高精度检测流路对第二高精度检测流路进行标定，可更可靠有效的解决上述问题，第二高精度检测流路还可以通过设置于设备外部或内部靠近外部一侧以及第二高精传感器还可拆卸，还可用专门检测仪器检测来保证自身具有尽可能高的检查精度和准确度，避免了第一高精度检测流路设置于内部难以取出进行测量漂移矫正。多条液体流路包括第一流路121、第二流路123、第一进液流路120、第一流路支路122、第二流路支路124和第一液体供给模块101，其中第一进液流路120下游终端处具有第一分叉节点12，第一分叉节点12后端分别与第一流路121和第二流路123相连接；第一流路从第一进液流路下游终端到第一用液单元102上游终端之间依次设有第一控制器13、第二加热器14、第一温度传感器15、第一流量传感器16、第二分叉节点17和第二开关阀18，第一控制器13用于改变第一流路121中流动液体的流量大小和保持第一分叉节点12处的压力基本恒定，第二加热器14用于满足可能存在的第一用液单元102对所需液体温度的限定而改变第一流路121中流动液体的温度，第一温度传感器15用于检测经第二加热器14加热后流动液体的温度，第一流量传感器16用于检测第一标定流路121中流动液体的流量大小，第二开关阀18控制第一标定流路121中流向第一用液单元102液体的流动；第二流路123从第一进液流路下游终端到第二用液单元103上游终端之间依次设有第二控制器19、第三加热器20、第二温度传感器21、第二流量传感器22、第五分叉节点23和第五开关阀24，第二控制器19用于改变第二流路123中流动液体的流量大小和保持第一分叉节点12处的压力基本恒定，第三加热器20用于满足可能存在的第二用液单元103对所需液体温度的限定而改变第二流路123中流动液体的温度，第二温度传感器21用于检测经第三加热器20加热后流动液体的温度，第二流量传感器22用于检测第二流路123中流动液体的流量大小，第五开关阀24控制第二流路123中流向第二用液单元103液体的流动，第五分叉节点23后端连接有第二流路支路124，第五分叉节点23作为第二流路支路124上游源头部分，第二流路支路124下游终端为第三分叉节点26，第二流路支路124中并位于第五分叉节点23和第三分叉节点26两者间设有第六开关阀27，第二流路支路124作为第二流路123和高精度检测流路125两者间液体流通通道；第六开关阀27用于控制第二流路123和第一高精度检测流路125两者间液体的流动；第二分叉节点17作为第一流路支路122上游源头部分，第一流路支路122下游终端具有第三分叉节点26，第一流路支路122中并位于第二分叉节点17和第三分叉节点26两者间设有第三开关阀25，第三分叉节点26后端连接有第一高精度检测流路125，第一流路支路122作为第一流路121和高精度检测流路125两者间液体流通通道；第三开关阀25用于控制第一流路121和第一高精度检测流路125两者间液体的流动，第三分叉节点26作为第一高精度检测流路125上游源头部分，第一高精度检测流路125下游终端为一液体排放模块104。第一液体供给模块101作为第一进液流路120上游源头部分，第一进液流路120下游终端为一第一分叉节点12，第一进液流路120中并位于第一液体供给模块101和第一分叉节点12两者间按照上游至下游顺序依次设有第一开关阀10和第一加热器11，第一开关阀10负责第一进液流路120中总的液体的流动，第一加热器11为满足用液单元对于供给液体温度的限定用于位于第一进液流路120中流动的液体进行初步加热，第一分叉节点12后端连接有第一流路121和第二流路123，第一分叉节点12作为第一流路121上游源头部分，第一流路121下游终端为第一用液单元102，第一分叉节点12也作为第二流路123上游源头部分，第二流路123下游终端为一第二用液单元103。第二标定流路下游终端处具有第六分叉节点31，第六分叉节点31后端连接有第三流路127和第三流路支路128，第六分叉节点31作为第三流路127上游源头部分，第三流路127下游终端为一第三用液单元106，第三用液单元的设置使得第二标定流路在无需对第一标定流路标定时，第二标定流路可作为液体流路的设置，第三流路127中并位于第六分叉节点31和第三用液单元106两者间设有第七开关阀36，第七开关阀36控制第三流路127中流向第三用液单元106液体的流动，第六分叉节点31也作为第三流路支路128上游源头部分，第三流路支路128下游终端为第四分叉节点35。第三流路支路128中并位于第六分叉节点31和述第四分叉节点35两者间设有第八开关阀34，第三流路支路128作为第三流路127和高精度检测流路125两者间液体流通通道，第八开关阀34用于控制第三流路127和高精度检测流路125两者间液体的流动。

第二高精度传感器中的第二高精温度传感器和第二高精流量传感器均为可拆卸式高精传感器，也即第二高精温度传感器采用为可拆卸式温度传感器33，第二高精流量传感器采用为可拆卸式流量传感器32，第二高精温度传感器和第二高精流量传感器均可于供液系统中设置于用于容纳供液系统的设备的外部或内部靠近外部一侧。可拆卸式温度传感器33和可拆卸式流量传感器32可设置于设备外部或靠近外部一侧，两传感器采用可拆卸式设置，方便传感器放入外界的标定仪器中进行高精度和准确度校准，可拆卸式温度传感器33用于检测第二进液流路126中流动液体的温度，可拆卸式流量传感器32用于检测第二进液流路126中流动液体的流量大小。第一高精度传感器和第二高精度传感器的精度等级均优于液体流路中的各传感器至少一个精度等级，第二高精度传感器的精度等级等于或优于第一高精度传感器。多条液体流路中的各传感器还包括压力传感器，第一高精度传感器和第二高精度传感器也均包括对应标定用途的压力传感器。

上述的第一、第二、第三等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其所指代零件的相对重要性或所指代零件其包含的技术特征的数量。

实施例2：

图1、图2、图3、图4、图5、图6所示的实施例中，一种具有传感器标定流路的供液系统标定方法，包括如下标定步骤

A1.根据实际工作运转或标定需求，通过控制实施例一所述各开关控制阀，控制实施例一所述的各流路中的液体流通，改变液体在对应流路中流动方向，实现在正常工作运转或实际标定需求用途之间的自由切换，并根据实际标定需求对应执行下列第A2～A3中的标定步骤；

A2.在执行标定实施例一所述的多条液体流路中的各传感器时，将待标定传感器与到第一高精度传感器进行对应多次数值测量和对比，从而确定待标定传感器校正量，实现待标定传感器的重新标定；

A3.在执行标定实施例一所述的第一标定流路中的第一高精度传感器时，将待标定第一高精度传感器与到第二标定流路126中的第二高精度传感器进行对应多次数值测量和对比，从而确定待标定第一高精度传感器校正量，实现待标定第一高精度传感器的重新标定。

更具体的正常工作运转或标定步骤包括如下步骤：

B1.改变液体流路与第一标定流路间液体的流动方向，实现在正常工作运转或实际标定液体流路中传感器需求用途之间的自由切换，改变第二标定流路与第一标定流路间液体的流动方向，实现可作为液体流路功能的第二标定流路在

正常工作运转或标定第一标定流路中传感器需求用途之间的自由切换；

第一流路121、第二流路123和第三流路127用于正常运转工作时，打开第一开关阀10、第二开关阀18、第五开关阀24和第七开关阀36，并关闭第三开关阀25、第四开关阀28、第六开关阀27和第八开关阀34；第一液体供给模块101中的液体经第一加热器11初步加热后流至第一分叉节点12处，按第一控制器13控制的流量大小进入第一流路121，按第二控制器19控制的流量大小进入第二流路123，流动于第一流路121中的液体经第二加热器14、第一温度传感器15、第一流量传感器16和第二分叉节点17流入第一用液单元102中，流动于第二流路123中的液体经第三加热器20、第二温度传感器21、第二流量传感器22和第五分叉节点23流入第二用液单元103中，第二液体供给模块105中的液体经第二进液流路126和第三流路127流入第三用液单元106中；见图2所示的实施例；

B2.标定液体流路中的温度或流量传感器时，记录于液体流路中流动且流经位于液体流路内的温度或流量传感器所获得的液体的温度值或流量值，控制液体流路与第一标定流路间的连通，液体经液体流路流入第一标定流路中，记录于第一标定流路中流动且流经位于第一标定流路内的温度或流量传感器所获得的液体的温度值或流量值，上述液体经第一标定流路中的传感器检测后向液体排放模块流动排出，通过多次测定和比较液体流路温度测量值和第一标定流路温度测量值，确定该液体流路中温度传感器调整参数，实现该液体流路中温度传感器重新标定；通过多次测定和比较液体流路流量测量值和第一标定流路流量测量值，确定该液体流路中流量传感器调整参数，实现该液体流路中流量传感器重新标定；

标定第一流路中的第一温度传感器或第一流量传感器时，打开第一开关阀10、第三开关阀25、第四开关阀28、第五开关阀24和第七开关阀36，并关闭第二开关阀18、第六开关阀27和第八开关阀34；第二液体供给模块105中的液体经第二进液流路126和第三流路127流入第三用液单元106中，第一液体供给模块101中的液体经第一加热器11初步加热后流至第一分叉节点12处，按第一控制器13控制的流量大小进入第一流路121，按第二控制器19控制的流量大小进入第二流路123，流动于第二流路123中的液体经第三加热器20、第二温度传感器21、第二流量传感器22和第五分叉节点23流入第二用液单元103中，流动于第一流路121中的液体经第二加热器14进一步加热后，流至第一温度传感器15处，获得第一温度传感器15测定的第一流路温度测量值，流至第一流量传感器16处，获得第一流量传感器16测定的第一流路流量测量值，完成温度和流量测定后，第一流路121中流动的液体经第二分叉节点17、第一流路支路122和第三分叉节点26流入高精度检测流路125中，流动于第一高精度检测流路125中的液体流至高精度温度传感器29处，获得高精度温度传感器29测定的高精度温度测量值，流至高精度流量传感器30处，获得高精度流量传感器30测定的高精度流量测量值，完成高精度温度和流量测定后，第一高精度检测流路125中流动的液体流入液体排放模块104(见图示Y箭头所示方向，下同)，通过多次测定和比较第一流路温度测量值和高精度温度测量值，确定第一温度传感器15调整参数，实现第一温度传感器15重新标定；通过多次测定和比较第一流路流量测量值和高精度流量测量值，确定第一流量传感器16调整参数，实现第一流量传感器16重新标定；见图3所示的实施例；

标定第二流路中的第二温度传感器或第二流量传感器时，打开第一开关阀10、第二开关阀18、第四开关阀28、第六开关阀27和第七开关阀36，并关闭第三开关阀25、第五开关阀24和第八开关阀34；第二液体供给模块105中的液体(见图示Y箭头所示方向，下同)经第二进液流路126和第三流路127流入第三用液单元106中，第一液体供给模块101中的液体经第一加热器11初步加热后流至第一分叉节点12处，按第一控制器13控制的流量大小进入第一流路121，按第二控制器19控制的流量大小进入第二流路123，流动于第一流路121中的液体经第二加热器14、第一温度传感器15、第一流量传感器16和第二分叉节点17流入第一用液单元102中，流动于第二流路123中的液体经第三加热器20进一步加热后，流至第二温度传感器21处，获得第二温度传感器21测定的第二流路温度测量值，流至第二流量传感器22处，获得第二流量传感器22测定的第二流路流量测量值，完成温度和流量测定后，第二流路123中流动的液体经第五分叉节点23、第二流路支路124和第三分叉节点26流入第一高精度检测流路125中，流动于第一高精度检测流路125中的液体流至第一高精度温度传感器29处，获得第一高精度温度传感器29测定的高精度温度测量值，流至第一高精度流量传感器30处，获得第一高精度流量传感器30测定的高精度流量测量值，完成高精度温度和流量测定后，第一高精度检测流路125中流动的液体流入液体排放模块104，通过多次测定和比较第二流路温度测量值和高精度温度测量值，确定第二温度传感器21调整参数，实现第二温度传感器21重新标定；通过多次测定和比较第一流路流量测量值和高精度流量测量值，确定第二流量传感器22调整参数，实现第二流量传感器22重新标定；见图4所示的实施例；

B3.标定第一标定流路中的温度或流量传感器时，控制第二标定流路与第一标定流路间的连通，从第二液体供给模块流出的液体经第二标定流路流入第一标定流路中，分别记录于第二标定流路和第一标定流路中的温度或流量传感器所获得的液体的温度值或流量值，上述液体经第一标定流路中的传感器检测后向液体排放模块流动排出，通过多次测定和比较第二标定流路温度测量值和第一标定流路流路温度测量值，确定该第一标定流路中温度传感器调整参数，实现该第一标定流路中温度传感器重新标定；通过多次测定和比较第二标定流路流量测量值和第一标定流路流量测量值，确定该第一标定流路中流量传感器调整参数，实现该第一标定流路中流量传感器重新标定；

标定第一高精度检测流路125中的第一高精温度传感器29或第一高精流量传感器30时，打开第一开关阀10、第二开关阀18、第五开关阀24和第八开关阀34，并关闭第三开关阀25、第四开关阀28、第六开关阀27和第七开关阀36；第一液体供给模块101中的液体(见图示Y箭头所示方向，下同)经第一加热器11初步加热后流至第一分叉节点12处，按第一控制器13控制的流量大小进入第一流路121，按第二控制器19控制的流量大小进入第二流路123，流动于第一流路121中的液体经第二加热器14、第一温度传感器15、第一流量传感器16和第二分叉节点17流入第一用液单元102中，流动于第二流路123中的液体经第三加热器20、第二温度传感器21、第二流量传感器22和第五分叉节点23流入第二用液单元103中，第二液体供给模块105中的液体于第二进液流路126中流动，流至可拆卸式温度传感器33处，获得可拆卸式温度传感器33测定的第二进液流路温度测量值，流至可拆卸式流量传感器32处，获得可拆卸式流量传感器32测定的第二进液流路流量测量值，完成温度和流量测定后，第二进液流路126中流动的液体经第三流路支路128流入第一高精度检测流路125中，流动于高精度检测流路125中的液体流至第一高精度温度传感器29处，获得第一高精度温度传感器29测定的高精度温度测量值，流至第一高精度流量传感器30处，获得高第一精度流量传感器30测定的高精度流量测量值，完成高精度温度和流量测定后，第一高精度检测流路125中流动的液体流入液体排放模块104，通过多次测定和比较第二进液流路温度测量值和高精度温度测量值，确定第一高精度温度传感器29调整参数，实现第一高精度温度传感器29重新标定，通过多次测定和比较第二进液流路流量测量值和高精度流量测量值，确定第一高精度流量传感器30调整参数，实现第一高精度流量传感器30重新标定；见图5所示的实施例；

B4.同时标定多路液体流路中的温度传感器时，向所述多路液体流路中供给的液体具有相等的温度或是供给的液体来自于同一液体供给源，分别记录每一路液体流路中流动且流经位于每一路液体流路内的温度传感器所获得的液体的温度值，控制多路液体流路同时与第一标定流路间的连通，液体经液体流路流入第一标定流路中，记录于第一标定流路中流动且流经位于第一标定流路内的温度传感器所获得的液体的温度值，上述液体经第一标定流路中的温度传感器检测后向液体排放模块流动排出，通过多次测定和比较每一路液体流路温度测量值和第一标定流路温度测量值，确定每一路液体流路中温度传感器调整参数，实现每一路液体流路中温度传感器重新标定，最终完成同时多路液体流路温度的标定；

同时标定第一流路和第二流路中的温度传感器时，向所述第一流路和第二流路中供给的液体具有相等的温度或是供给的液体来自于同一液体供给源，打开第一开关阀10、第三开关阀25、第四开关阀28、第六开关阀27和第七开关阀36，并关闭第二开关阀18、第五开关阀24、和第八开关阀34，同时关闭第一加热器11、第二加热器14和第三加热器20，停止对这三个加热器的加热，因本发明流路中的加热器全部停止加热，因此所有流路内流动液体的温度均可视为相等一致，液体(见图示Y箭头所示方向，下同)以恒定温度从第一液体供给模块101和第二液体供给模块105中流出，第一液体供给模块101流出的液体经第一分叉节点12分别进入第一流路121和第二流路123，流动于第一流路121中的液体流至第一温度传感器15处，获得第一温度传感器15测定的第一流路温度测量值，完成温度测定后，第一流路121中流动的液体经第二分叉节点17、第一流路支路122、第三分叉节点26流入第一高精度检测流路125中，流动于第二流路123中的液体流至第二温度传感器21处，获得第二温度传感器21测定的第二流路温度测量值，完成温度测定后，第二流路123中流动的液体经第五分叉节点23、第二流路支路124、第三分叉节点26流入第一高精度检测流路125中，第二液体供给模块105流出的液体直接流向第三用液单元106，第一流路121和第二流路123中的液体经支路流入第一高精度检测流路125中，于第一高精度检测流路125中流动的液体流至第一高精度温度传感器29处，获得第一高精度温度传感器29测定的高精度温度测量值，完成高精度温度测定后，第一高精度检测流路125中流动的液体流入液体排放模块104，通过多次测定和比较不同液体流路与第一高精度检测流路125中温度传感器的测量值，确定不同液体流路中的温度传感器校正量，本发明可以同时实现不同液体流路中温度传感器的重新标定，解决了多流路中存在的温度传感器标定调测费时费力的问题；见图6所示的实施例；

注：在标定使用中，并非严格按上述第B1～B4步骤顺序执行，根据实际需求标定使用，启动执行相关步骤。

在本发明位置关系描述中，出现诸如术语“内”、“外”、“上”、“下”、“左”、“右”等指示方位或者位置关系的为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了方便描述实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

以上内容和结构描述了本发明产品的基本原理、主要特征和本发明的优点，本行业的技术人员应该了解。上述实例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都属于要求保护的本发明范围之内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.一种具有传感器标定流路的供液系统，包括液体排放模块和具有检测供给流路中的温度和/或流量用传感器的液体流路，其特征在于：还包括第一标定流路，第一标定流路旁通与液体流路相连，第一标定流路用于标定所述液体流路中具有的传感器，第一标定流路采用为第一高精度检测流路，所述第一标定流路具有第一高精度传感器，所述的第一高精度传感器包括第一高精温度传感器和/或第一高精流量传感器；液体流路中流动的液体经第一标定流路检测后排放至液体排放模块中。

2.按照权利要求1所述的具有传感器标定流路的供液系统，其特征在于：所述的与第一标定流路旁通相连的液体流路可不止仅具有一条，其数量可以为两条及更多条。

3.按照权利要求1所述的具有传感器标定流路的供液系统，其特征在于：所述的第一标定流路中设有第四开关阀、第一高精温度传感器和第一高精流量传感器，第四开关阀用于控制第一标定流路中流向第一高精温度传感器和第一高精流量传感器液体的流动，第一高精温度传感器用于检测第一高精度检测流路中流动液体的温度，第一高精流量传感器用于检测第一高精度检测流路中流动液体的流量大小。

4.按照权利要求1～3之一所述的具有传感器标定流路的供液系统，其特征在于：所述的第一标定流路上位于第四开关阀与高精度传感器间设置有第四分叉节点，通过第四分叉节点与第一标定流路旁通相连有用于标定第一标定流路中传感器的第二标定流路，第二标定流路采用为第二高精度检测流路，第二标定流路连接设有第二液体供给模块和第二高精度传感器，第二液体供给模块作为第二标定流路标定第一标定流路中传感器过程中时的所被检测液体的供给源，所述的第二高精度传感器包括第二高精温度传感器和/或第二高精流量传感器；第二标定流路与第一标定流路之间连接设有第三流路支路，第三流路支路具有第八开关阀，第二标定流路通过第八开关阀与第一标定流路中设置的第四分叉节点相连接。

5.按照权利要求4所述的具有传感器标定流路的供液系统，其特征在于：所述的第二标定流路下游终端处具有第六分叉节点，第六分叉节点后端连接有第三流路和第三流路支路，第六分叉节点作为第三流路上游源头部分，第三流路下游终端为一第三用液单元，第三用液单元的设置使得第二标定流路在无需对第一标定流路标定时，第二标定流路可作为液体流路的设置，第三流路中并位于第六分叉节点和第三用液单元两者间设有第七开关阀，第七开关阀控制第三流路中流向第三用液单元液体的流动，第六分叉节点也作为第三流路支路上游源头部分，第三流路支路下游终端为第四分叉节点。

6.按照权利要求4所述的具有传感器标定流路的供液系统，其特征在于：所述的第二高精度传感器中的第二高精温度传感器和第二高精流量传感器均为可拆卸式高精传感器，也即第二高精温度传感器采用为可拆卸式温度传感器，第二高精流量传感器采用为可拆卸式流量传感器，第二高精温度传感器和第二高精流量传感器均可于供液系统中设置于用于容纳供液系统的设备的外部或内部靠近外部一侧。

7.按照权利要求1～6之一所述的具有传感器标定流路的供液系统，其特征在于：第一高精度传感器和第二高精度传感器的精度等级均优于液体流路中的各传感器至少一个精度等级，第二高精度传感器的精度等级等于或优于第一高精度传感器。

8.按照权利要求1～7之一所述的具有传感器标定流路的供液系统，其特征在于：多条液体流路中的各传感器还包括压力传感器，第一高精度传感器和第二高精度传感器也均包括对应标定用途的压力传感器。

9.一种具有传感器标定流路的供液系统标定方法，其特征在于：包括如下标定步骤

A1.根据实际工作运转或标定需求，通过控制权利要求1～8之一所述各开关控制阀，控制权利要求1～8之一所述的各流路中的液体流通，改变液体在对应流路中流动方向，实现在正常工作运转或实际标定需求用途之间的自由切换，并根据实际标定需求对应执行下列第A2～A3中的标定步骤；

A2.在执行标定权利要求1～8之一所述的多条液体流路中的各传感器时，将待标定传感器与到第一高精度传感器进行对应多次数值测量和对比，从而确定待标定传感器校正量，实现待标定传感器的重新标定；

A3.在执行标定权利要求1～8之一所述的第一标定流路中的第一高精度传感器时，将待标定第一高精度传感器与到第二标定流路中的第二高精度传感器进行对应多次数值测量和对比，从而确定待标定第一高精度传感器校正量，实现待标定第一高精度传感器的重新标定。

10.按照权利要求9所述的具有传感器标定流路的供液系统标定方法，其特征在于：包括如下具体步骤

B1.改变液体流路与第一标定流路间液体的流动方向，实现在正常工作运转或实际标定液体流路中传感器需求用途之间的自由切换，改变第二标定流路与第一标定流路间液体的流动方向，实现可作为液体流路功能的第二标定流路在正常工作运转或标定第一标定流路中传感器需求用途之间的自由切换；

B2.标定液体流路中的温度或流量传感器时，记录于液体流路中流动且流经位于液体流路内的温度或流量传感器所获得的液体的温度值或流量值，控制液体流路与第一标定流路间的连通，液体经液体流路流入第一标定流路中，记录于第一标定流路中流动且流经位于第一标定流路内的温度或流量传感器所获得的液体的温度值或流量值，上述液体经第一标定流路中的传感器检测后向液体排放模块流动排出，通过多次测定和比较液体流路温度测量值和第一标定流路温度测量值，确定该液体流路中温度传感器调整参数，实现该液体流路中温度传感器重新标定；通过多次测定和比较液体流路流量测量值和第一标定流路流量测量值，确定该液体流路中流量传感器调整参数，实现该液体流路中流量传感器重新标定；

B3.标定第一标定流路中的温度或流量传感器时，控制第二标定流路与第一标定流路间的连通，从第二液体供给模块流出的液体经第二标定流路流入第一标定流路中，分别记录于第二标定流路和第一标定流路中的温度或流量传感器所获得的液体的温度值或流量值，上述液体经第一标定流路中的传感器检测后向液体排放模块流动排出，通过多次测定和比较第二标定流路温度测量值和第一标定流路流路温度测量值，确定该第一标定流路中温度传感器调整参数，实现该第一标定流路中温度传感器重新标定；通过多次测定和比较第二标定流路流量测量值和第一标定流路流量测量值，确定该第一标定流路中流量传感器调整参数，实现该第一标定流路中流量传感器重新标定；

B4.同时标定多路液体流路中的温度传感器时，向所述多路液体流路中供给的液体具有相等的温度或是供给的液体来自于同一液体供给源，分别记录每一路液体流路中流动且流经位于每一路液体流路内的温度传感器所获得的液体的温度值，控制多路液体流路同时与第一标定流路间的连通，液体经液体流路流入第一标定流路中，记录于第一标定流路中流动且流经位于第一标定流路内的温度传感器所获得的液体的温度值，上述液体经第一标定流路中的温度传感器检测后向液体排放模块流动排出，通过多次测定和比较每一路液体流路温度测量值和第一标定流路温度测量值，确定每一路液体流路中温度传感器调整参数，实现每一路液体流路中温度传感器重新标定，最终完成同时多路液体流路温度的标定；

注：在标定使用中，并非严格按上述第B1～B4步骤顺序执行，根据实际需求标定使用，启动执行相关步骤。

Images