CN112452953A - 智能激光清洗工作头 - Google Patents

Abstract

智能激光清洗工作头，涉及一种清洗工作头。本发明解决了现有激光清洗装置对清洗激光实际输出功率及光斑尺寸不能实时调控的问题。本发明的分光镜模块按固定分光比将准直光束分为反射主光束和透射采样光束，反射主光束进入扫描振镜模块与F‑θ场镜模块聚焦在清洗工件上，透射采样光束进入激光功率监控模块。激光功率监控模块实时监测分光镜透射采样光束功率，控制器模块处理激光功率监控模块采集的功率信息结合分光镜分光比得到聚焦在清洗工件上的清洗激光功率。高度监控模块实时测量F‑θ场镜模块与清洗工件之间距离，控制器模块通过聚焦激光束的光学特性计算得到清洗工件上清洗激光的光斑尺寸大小。本发明用于激光清洗。

Description

智能激光清洗工作头

技术领域

本发明涉及一种清洗工作头，具体涉及智能激光清洗工作头，属于激光清洗技术领域。

背景技术

激光清洗作为近几年兴起的一种“绿色”清洗技术，该技术采用高功率密度的激光束作为清洗工具，作用在清洗工件表面的清洗对象上，迅速产生极高的温度和冲击力作用，实现清洗对象的瞬间气化及与清洗工件基材表面快速剥离。由于激光清洗技术具有无机械接触、清洗效率高、无二次污染、运行成本低等优点，已经得到了广泛的应用。

常规的激光清洗装置，注重激光清洗技术的操作便利性和清洗效率，在清洗过程中通常采用固定的工艺参数，不能随清洗工件轮廓特征进行调整，作用在清洗工件表面的凹凸结构及曲面部分的清洗激光能量密度不均匀，改变了清洗工件表面的激光清洗工艺参数，导致激光清洗过程中清洗效果稳定性与一致性较差。尤其采用常规激光清洗装置对清洗工件进行精密激光清洗时，针对清洗工件表面的形貌特征不能对清洗激光功率、光斑尺寸等工艺参数进行精确调控，不能在激光清洗过程中保持稳定的激光功率密度和激光清洗工艺参数，难以得到高一致性的精密激光清洗效果，从而限制了激光清洗在精密清洗领域的应用与推广。

发明内容

本发明为了解决现有激光清洗装置无法对输出激光功率及聚焦光斑尺寸不能实时调控，难以得到稳定的精密激光清洗效果的问题。进而提供了智能激光清洗工作头。

本发明的技术方案是一种智能激光清洗工作头，它包括激光准直模块、分束镜模块、激光功率监控模块、F-θ场镜模块、扫描振镜模块、高度监控模块、控制器模块和抽气除尘模块，激光准直模块竖直安装，且激光准直模块上端与外部光纤激光发生器通过标准接口连接，激光准直模块下端与分束镜模块入射通光接口之间采用机械方式连接，激光功率监控模块安装在分束镜模块正下方，抽气除尘模块安装在激光功率监控模块的下端，激光功率监控模块通过通讯线缆与控制器模块进行通讯连接，分光镜模块透射通光接口与激光功率监控模块之间采用机械方式连接，分光镜模块的反射通光接口与扫描振镜模块的入射通光接口之间采用机械方式连接，扫描振镜模块通过通讯线缆与控制器模块进行通讯连接，扫描振镜模块的输出通光接口与F-θ场镜模块的入射通光接口通过机械方式连接，高度监控模块与扫描振镜模块通过机械方式连接，高度监控模块通过通讯线缆与控制器模块进行通讯连接。

进一步地，激光准直模块包括激光准直模块机械壳体和激光准直模块光学组件，激光准直模块机械壳体竖直安装，激光准直模块光学组件水平安装在激光准直模块机械壳体内。

进一步地，分束镜模块包括分光镜和分束镜模块安装框，分光镜倾斜安装在分束镜模块安装框内，分束镜模块安装框靠近扫描振镜模块一侧有分光镜模块入射通光接口和分光镜模块反射通光接口，分束镜模块安装框的下端有分光镜模块透射通光接口。

进一步地，激光功率监控模块包括激光功率监控模块安装框和激光功率探测传感器，激光功率探测传感器安装在激光功率监控模块安装框上，激光功率监控模块安装框上开设水冷通道。

进一步地，扫描振镜模块包括扫描振镜模块壳体、两个振镜电机和两片反射镜，每个振镜与一片反射镜连接后安装在扫描振镜模块壳体内，两个反射镜的旋转轴相互垂直安装，扫描振镜模块壳体侧面有入射通光接口。

本发明与现有技术相比具有以下改进效果：

1、本发明在智能清洗工作头开始工作时，通过控制器模块7设定清洗激光功率，控制器模块7控制光纤激光束12的输出功率，光纤激光经过分光镜21分为反射激光束27和透射激光束26，透射激光束26进入功率监控模块3，控制器模块7提取功率监控模块3测量透射激光束26的功率监测信号结合分光镜21分光比进行处理得到实际用于激光清洗反射激光束27的功率大小及其稳定性。同时，激光功率监控模块3将采集的功率信号通过通讯线缆33传输给控制器模块7，控制器模块7对激光功率信号进行数据处理，得到实际输出激光功率与设定清洗激光功率偏差量，控制器模块7依据激光功率偏差量生成功率补偿调控信号71，对光纤激光12输出功率进行补偿调节，使反射激光束27功率准确及稳定控制，得到激光清洗过程中清洗激光功率工艺参数的精确、高稳定输出。本发明相比现有激光清洗工作头改进效果体现为：本发明对智能激光清洗工作头输出激光功率能够进行在线监测及闭环调控，避免了现有激光清洗工作头输出功率波动及不稳定对激光精密清洗质量的影响。

2、本发明在智能清洗工作头开始工作时，通过控制器模块7设定清洗激光光斑尺寸，外部运动机构携带智能激光清洗工作头运动到清洗工件上方，高度监控模块6监测F-θ场镜模块与清洗工件之间实时距离，高度监控模块6将距离信息通过通讯线缆62传输给控制器模块7，控制器模块7对工作距离信号进行数据处理，计算得到清洗激光束聚焦在清洗工件上实际光斑尺寸与设定光斑尺寸的偏差量，控制器模块7依据光斑尺寸偏差量生成运动机构高度反馈调控信号72，对F-θ场镜模块与清洗工件之间距离进行补偿调节，得到清洗激光光斑尺寸准确及稳定控制，得到激光清洗过程中清洗激光光斑尺寸工艺参数的精确、高稳定输出。本发明相比现有激光清洗工作头改进效果体现为：本发明对智能激光清洗工作头输出清洗激光光斑尺寸能够进行在线监测及闭环调控，避免了现有激光清洗工作头在工作过程中输出光斑尺寸波动及不稳定对激光精密清洗质量的影响。

附图说明

图1是智能激光清洗工作头结构示意图；

图2是准直器模块与分光镜模块示意图；

图3是激光功率监控模块与控制器模块示意图；

图4是激光扫描振镜模块、F-θ场镜模块与控制器模块示意图；

图5是高度传感器模块与控制器模块示意图。

具体实施方式

具体实施方式一：结合图1至图5说明本实施方式，智能激光清洗工作头，它包括激光准直模块1、分束镜模块2、激光功率监控模块3、F-θ场镜模块4、扫描振镜模块5、高度监控模块6、控制器模块7和抽气除尘模块8，激光准直模块1竖直安装，且激光准直模块1上端与外部光纤激光发生器通过标准接口连接，激光准直模块1下端与分束镜模块2的入射通光接口23之间采用机械方式连接，激光功率监控模块3安装在分束镜模块2正下方，抽气除尘模块8安装在激光功率监控模块3下端，激光功率监控模块3通过通讯线缆33与控制器模块7进行通讯连接，分光镜模块2透射通光接口24与激光功率监控模块3之间采用机械方式连接，分光镜模块2的反射通光接口25与扫描振镜模块5的入射通光接口52之间采用机械方式连接，扫描振镜模块5通过通讯线缆54与控制器模块7进行通讯连接，扫描振镜模块5输出通光接口55与F-θ场镜模块4入射通光接口41通过机械方式连接，高度监控模块6与扫描振镜模块5通过机械方式连接，高度监控模块6通过通讯线缆62与控制器模块7进行通讯连接。

本实施方式的激光准直模块，用于激光束准直，将带有发散角的清洗激光束准直为平行激光束输出；分光镜模块按固定分光比将准直光束分为反射激光束和透射激光束，反射激光束进入扫描振镜模块与F-θ场镜模块聚焦在清洗工件上，透射激光束进入激光功率监控模块。激光功率监控模块实时监测分光镜模块透射激光束功率及其稳定性。高度监控模块实时测量F-θ场镜模块与清洗工件之间距离。控制器模块分别与扫描振镜模块、激光功率监控模块及高度监控模块之间通讯连接，对聚焦激光束运动位置、反射激光束功率及其稳定性、聚焦光斑尺寸及其稳定性进行高精度控制。抽气除尘模块对激光清洗过程产生的烟尘进行抽离处理。

本实施方式的分光镜模块，安装于所述激光准直模块之后，用于对准直激光束进行固定比例的分光，激光束分光的大比例部分以反射激光束进入所述扫描振镜模块及所述F-θ场镜模块，聚焦在清洗工件表面，激光束分光的小比例部分以透射激光束进入所述激光功率监控模块；

本实施方式的激光功率监控模块，安装于所述分光镜模块透射光路上，用于监测所述分光镜模块透射激光束的功率大小及其稳定性；

本实施方式的高度监控模块，安装于所述扫描振镜模块上，用于测量所述F-θ场镜模块与清洗工件的距离；

本实施方式的控制器模块，所述控制器分别与所述扫描振镜模块、所述激光功率监控模块及所述高度监控模块通信连接。所述控制器向所述扫描振镜模块发送扫描运动指令信号，所述扫描振镜模块控制激光束在清洗工件表面扫描清洗。所述激光功率监控模块采集的功率监测信号上传到所述控制器模块进行处理。所述高度监控模块采集的高度监测信号上传到所述控制器模块进行处理。

本实施方式的激光功率监控模块实时监测所述分光模块的透射激光束的功率及其稳定性，获得反射激光束的功率大小及稳定性。

本实施方式的高度监控模块实时测量所述F-θ场镜模块与清洗工件的工作距离，结合聚焦激光束的光学特性获得聚焦光斑在清洗工件上的光斑尺寸。

本实施方式的控制器模块分别与所述扫描振镜模块、所述激光功率监控模块及所述高度监控模块通信连接，并与外部的激光发生器和运动机构通信连接。

本实施方式的控制器模块与所述扫描振镜模块通信，控制所述扫描振镜模块的所述反射镜角度位置，使所述反射激光束经所述扫描振镜模块与所述F-θ场镜模块后，控制所述反射激光束聚焦在清洗工件表面的位置、扫描路径及扫描速度。

本实施方式的激光功率监控模块实时采集的激光功率数据上传到所述控制器模块，所述控制器模块进行数据处理，生成激光功率偏离补偿控制信号，反馈调控外部激光发生器的输出功率，对所述扫描振镜模块输出的聚焦在清洗工件表面的激光功率及其稳定性进行精确调控。

本实施方式的高度监控模块实时采集所述F-θ场镜模块与清洗工件的距离数据上传到所述控制器模块，所述控制器模块进行数据处理，反馈调控外部运动机构位置，改变聚焦在清洗工件的聚焦激光光斑尺寸，精确调控聚焦光斑在清洗工件上的光斑尺寸及其稳定性。

本实施方式的抽气除尘模块在清洗工件表面附近对激光清洗过程中产生的烟尘及污染物进行抽除收集。

具体实施方式二：结合图1至图5说明本实施方式，本实施方式的激光准直模块1包括激光准直模块机械壳体和激光准直模块的光学组件11，激光准直模块机械壳体竖直安装，激光准直模块光学组件11水平安装在激光准直模块机械壳体内。如此安装，用于激光束准直，将带有发散角的激光束准直为平行激光束输出。其它组成和连接关系与具体实施方式一相同。

具体实施方式三：结合图2说明本实施方式，本实施方式的分束镜模块2包括分光镜21和分束镜模块安装框22，分光镜21倾斜安装在分束镜模块安装框22内，分束镜模块安装框22一侧有分光镜模块入射通光接口23和分光镜模块反射通光接口25，分束镜模块安装框22下端有分光镜模块透射通光接口24，本实施方式的分光镜与准直激光束角度为45°，所述分光镜反射光与透射光分光能量比大于90:10。如此安装，准直激光束经所述分光镜模块反射后，折转90°进入所述扫描振镜模块。其它组成和连接关系与具体实施方式一或二相同。

具体实施方式四：结合图3说明本实施方式，本实施方式的激光功率监控模块3包括激光功率监控模块安装框和激光功率探测传感器32，激光功率探测传感器32安装在激光功率监控模块安装框上，激光功率监控模块安装框上开设水冷通道31。如此安装，用于监测所述透射采样光束的功率及其稳定性。其它组成和连接关系与具体实施方式一、二或三相同。

具体实施方式五：结合图4至图5说明本实施方式，本实施方式的扫描振镜模块5包括扫描振镜模块壳体、两个振镜51和两片反射镜53，每个振镜51与一片反射镜53连接后安装在扫描振镜模块壳体内，两片反射镜53旋转轴相互垂直安装，扫描振镜模块壳体侧面开设扫描振镜模块的入射通光接口52。其它组成和连接关系与具体实施方式一、二、三或四相同。

实施例：

分光镜模块,包括高分光比的分光镜及机械安装转接模块，所述分光镜反射光与透射光分光比大于90:10，所述分光镜安装在所述安装转接模块中，位于准直激光束光路上，并与准直激光束呈45°位置；

激光功率监控模块，包括功率监测传感器及信号输出模块，所述激光功率监控模块置于所述分光镜模块透射光路中并与所述分光镜模块机械连接，所述激光功率监控模块信号输出模块与所述控制器模块通信连接；

扫描振镜模块，包括二维扫描振镜及通信模块，所述扫描振镜模块与所述分光镜模块机械连接，准直激光束经所述分光镜模块反射后进入所述扫描振镜模块，所述扫描振镜模块通信模块与所述控制器模块通信连接；

F-θ场镜模块，所述F-θ场镜模块与所述扫描振镜模块机械连接，准直激光束在所述扫描振镜模块中两次反射后经所述F-θ场镜模块聚焦输出；

高度监控模块，包括高度测量传感器及信号输出模块，所述高度监控模块与所述扫描振镜模块机械连接，所述高度测量传感器实时监测所述F-θ场镜模块与清洗工件的距离信息，所述高度监控模块信号输出模块与所述控制器通信连接；

控制器模块，所述控制器模块分别与所述激光功率监控模块、所述扫描振镜模块及所述高度监控模块通信连接；

抽气除尘模块，所述抽气除尘模块与所述扫描振镜模块机械连接，所述抽气除尘模块采用负压吸气方式将激光清洗过程中产生的烟尘与废弃物收集。

在其中一个实施例中，所述控制器模块采集所述激光功率监控模块的透射激光功率信息，所述控制器模块提取激光功率监控模块的透射激光功率监控信号结合分光镜的固定分光比进行数据处理，获得实际输出激光功率与设定激光功率之间的偏离量，生成激光功率偏离补偿控制信号，反馈调控外部激光发生器的输出功率，使聚焦在清洗工件表面的激光束功率达到设定输出功率值。

在其中一个实施例中，所述控制器模块采集所述高度监控模块测量的高度信息，经所述控制器模块数据处理，得到经所述F-θ场镜聚焦激光光斑尺寸及其与设定激光光斑尺寸的偏离量，所述控制器模块依据光斑尺寸偏离量生成高度调制信号，反馈调控外部运动机构位置，使激光束聚焦激光光斑精确达到设定光斑尺寸。

在所述智能激光清洗工作头的实施例中，所述智能激光清洗工作头的使用，包括以下步骤：

步骤一：将所述控制器模块与外部光纤激光发生器、外部运动机构、扫描振镜模块、激光功率监控模块、高度监控模块等通信连接，所述扫描振镜模块与外部运动机构机械连接；所述控制器模块可以实时调控激光发生器输出激光功率及外部运动机构位置；

步骤二：启动所述智能激光清洗工作头，设定智能激光清洗工作头输出聚焦激光功率计光斑尺寸等工艺参数，光纤激光发生器输出激光束进入所述准直器模块，准直后的激光束进入分光镜模块并被定比例分为反射激光束与透射激光束，分光镜的分光比大于90:10；

步骤三：分光镜模块透射激光束辐射在所述激光功率监控模块上，所述激光功率监控模块测量透射激光功率信息并上传给所述控制器模块，所述控制器模块处理激光功率信息获得实际输出激光功率与设定激光功率之间的偏离量，所述控制器模块生成激光功率补偿调控信号反馈调控外部光纤激光发生器，实现聚焦在清洗工件表面的激光束输出功率精确达到工艺设定值；

步骤四：分光镜模块反射激光束进入所述扫描振镜模块与所述F-θ场镜模块，所述F-θ场镜模块将所述反射激光束形成聚焦激光束，聚焦激光束光斑作用在清洗工件表面，所述扫描振镜模块通过改变所述反射镜角度控制所述反射激光束在智能激光清洗工作头中的光束方向，控制激光束光斑在清洗工件表面的聚焦位置及实施扫描清洗；

步骤五：高度监控模块测量所述F-θ场镜模块与清洗工件之间距离，所述高度监控模块将距离信息传递给所述控制器模块，所述控制器模块处理距离信息，得到实际聚焦激光光斑尺寸与设定激光光斑尺寸的偏差，并产生补偿调控信号反馈调控外部运动机构，调节聚焦激光束在清洗工件表面上聚焦光斑大小，实现聚焦激光光斑尺寸精确达到工艺设定值。

如图1所示，该智能激光清洗工作头包括用于准直传输激光的激光准直器模块1、用于激光束定比例分束的分束镜模块2、用于分束镜模块透射激光束功率监测的激光功率监控模块3、用于分束镜模块反射激光束聚焦的F-θ场镜模块4、用于分束镜模块反射激光束扫描运动的扫描振镜模块5、用于F-θ场镜模块与清洗工件之间距离测量的高度监控模块6、用于扫描振镜模块控制及激光功率监控模块与高度监控模块信息处理的控制器模块7、用于激光清过程中废弃烟尘收集处理的抽气除尘模块8。

如图2所示，激光准直模块1与外部光纤激光发生器通过标准接口连接，激光准直模块1与分光镜模块入射通光接口23之间采用机械方式连接。

分光镜模块透射通光接口24与激光功率监控模块3之间采用机械方式连接，分光镜模块反射通光接口25与扫描振镜模块入射通光接口52之间采用机械方式连接。

激光准直模块的光学组件11将光纤激光束12准直为平行输出激光束13。平行激光束13经分光镜21后被分为反射激光束27和透射激光束26，反射激光束27通过分光镜模块反射通光接口25进入扫描振镜模块5，透射激光束26通过透射通光接口24进入功率监控模块3的激光功率探测传感器32。

如图3所示，激光功率监控模块3的激光功率探测传感器32监测透射激光束功率后，监测信号通过通讯线缆33传输给控制器模块7，激光功率监控模块3的热量通过水冷通道31冷却。

处理器7接收激光功率监控模块3的监测信号后，经过数据处理及计算产生光纤激光发生器功率反馈调控信号71。

如图4所示，扫描振镜模块5的输出通光接口55与F-θ场镜模块4的入射通光接口41通过机械方式连接。扫描振镜模块5的振镜51通过通讯线缆54与控制器模块7连接。

激光束27通过扫描振镜入射通光接口52入射到反射镜53上，经过反射镜53两次反射后激光束56通过扫描振镜模块5的输出通光接口55进入F-θ场镜模块4的入射通光接口41，反射激光束56经过F-θ场镜模块4后聚焦为光束42。

控制器模块7通过扫描振镜模块5通讯线缆54与振镜电机51通讯，控制振镜电机51的旋转角角度，实现反射镜53角度位置变化，实现反射光束56与聚焦光束42的扫描运动控制。

如图5所示，高度监控模块6与扫描振镜模块5通过机械方式连接，高度监控模块6的通讯线缆62与控制器模块7进行通讯连接。

高度监控模块6发射探测光束61,探测光束61在清洗工件反射后被高度监控模块6探测，获得F-θ场镜模块4与清洗工件之间的距离信息。

高度监控模块6的探测信息通过通讯线缆62传输到控制器模块7，处理器7接收高度监控模块6探测信号后，经过数据处理及计算产生外部运动机构的反馈调控信号72。

如图2-图3所示，控制器模块7与功率监控模块3通讯连接，光纤激光束12经准直镜组11后，激光束被准直为平行激光束13。激光束13被固定分光比的分光镜21分为透射激光束26与反射激光束25，透射激光束25被激光功率监控模块3实施监测，通过分光镜21反射激光束与透射激光束之间的分光比，得到进入扫描振镜中用于激光清洗的反射激光束实时功率参数。

如图2-图3所示，控制器模块7与功率监控模块3、外部光纤激光发生器通讯连接，在智能精密清洗工作头开始工作时，在控制器模块7中设定清洗激光功率工艺参数，激光功率监控模块3测量通过分光镜21的透射激光束功率，得到实际用于激光清洗的反射激光束功率大小。激光功率监控模块3将采集的功率信号通过通讯线缆33传输给控制器模块7，控制器模块7处理激光功率信息获得实际输出激光功率与设定激光功率之间的偏离量，所述控制器模块7生成激光功率补偿调控信号71并反馈调控外部光纤激光发生器，实现所述分光镜模块反射激光束输出功率精确达到工艺设定值；

如图5所示，控制器模块7与高度监控模块6之间通讯连接，高度监控模块6发射主动探测光束61，经清洗工件反射后被高度监控模块6探测到，得到在激光清洗过程中F-θ场镜模块与清洗工件之间实时工作距离。

如图5所示，控制器模块7与高度监控模块6、外部运动机构通信连接，在智能清洗工作头开始工作时，在控制器模块7中设定清洗激光光斑尺寸工艺参数，外部运动机构携带智能激光清洗工作头的F-θ场镜模块运动到距离清洗工件上方某一高度。高度监控模块6监测F-θ场镜模块与清洗工件之间实时工作距离，将距离信息通过通讯线缆62传输给控制器模块7，控制器模块7对工作距离信号进行数据处理，得到清洗激光束聚焦在清洗工件上的实际激光光斑尺寸与设定激光光斑尺寸的偏差量，控制器模块7依据聚焦激光光斑尺寸偏差量生成光斑尺寸补偿调控信号72，调节外部运动机构位置，精确控制智能激光清洗工作头F-θ场镜模块与清洗工件之间工作距离，对聚焦激光束在清洗工件表面上聚焦光斑大小进行调节，实现聚焦激光光斑尺寸精确达到工艺设定值。

以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (5)

1.智能激光清洗工作头，其特征在于：它包括激光准直模块(1)、分束镜模块(2)、激光功率监控模块(3)、F-θ场镜模块(4)、扫描振镜模块(5)、高度监控模块(6)、控制器模块(7)和抽气除尘模块(8)；

激光准直模块(1)竖直安装，且激光准直模块(1)的上端与外部光纤激光发生器通过标准接口连接，激光准直模块(1)的下端与分束镜模块(2)的入射通光接口(23)采用机械方式连接，激光功率监控模块(3)安装在分束镜模块(2)的正下方，抽气除尘模块(8)安装在激光功率监控模块(3)的下方，激光功率监控模块(3)通过通讯线缆(33)与控制器模块(7)进行通讯连接，分光镜模块(2)的透射通光接口(24)与激光功率监控模块(3)之间采用机械方式连接，分光镜模块(2)的反射通光接口(25)与扫描振镜模块(5)的入射通光接口(52)之间采用机械方式连接，扫描振镜模块(5)通过通讯线缆(54)与控制器模块(7)进行通讯连接，扫描振镜模块(5)的输出通光接口(55)与F-θ场镜模块(4)的入射通光接口(41)通过机械方式连接，高度监控模块(6)与扫描振镜模块(5)通过机械方式连接，高度监控模块(6)通过通讯线缆(61)与控制器模块(7)进行通讯连接。

2.根据权利要求1所述的智能激光清洗工作头，其特征在于：激光准直模块(1)包括激光准直模块机械壳体和激光准直模块光学组件(11)，激光准直模块机械壳体竖直安装，激光准直模块光学组件(11)水平安装在激光准直模块机械壳体内。

3.根据权利要求2所述的智能激光清洗工作头，其特征在于：分束镜模块(2)包括分光镜(21)和分束镜模块安装框(22)，分光镜(21)倾斜安装在分束镜模块安装框(22)内，分束镜模块安装框(22)靠近扫描振镜模块(5)一侧有分光镜模块入射通光接口(23)和分光镜模块反射通光接口(25)，分束镜模块安装框(22)下端有分光镜模块透射通光接口(24)。

4.根据权利要求3所述的智能激光清洗工作头，其特征在于：激光功率监控模块(3)包括激光功率监控模块安装框和激光功率探测传感器(32)，激光功率探测传感器(32)安装在激光功率监控模块安装框上，激光功率监控模块安装框上开设水冷通道(31)。

5.根据权利要求4所述的智能激光清洗工作头，其特征在于：扫描振镜模块(5)包括扫描振镜模块壳体、两个振镜(51)和两片反射镜(53)，每个振镜(51)与一片反射镜(53)连接后安装在扫描振镜模块壳体内，两片反射镜(53)旋转轴相互垂直安装，扫描振镜模块壳体侧面有入射通光接口(52)。

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