CN112379126A - 一种复合量程石英谐振加速度传感器 - Google Patents
一种复合量程石英谐振加速度传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112379126A CN112379126A CN202011205643.1A CN202011205643A CN112379126A CN 112379126 A CN112379126 A CN 112379126A CN 202011205643 A CN202011205643 A CN 202011205643A CN 112379126 A CN112379126 A CN 112379126A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- stress distribution
- quartz
- flexible lever
- tuning fork
- lever
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/097—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by vibratory elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
一种复合量程石英谐振加速度传感器,由外部的小量程加速度计和中间的大量程加速度计嵌套构成,大小量程加速度计为相似结构,整体结构成中心对称布局,由一石英片贯穿腐蚀加工而成;大小量程加速度计均包括石英音叉、柔性杠杆、应力分配梁和敏感质量块,敏感质量块受到加速度作用产生的惯性力传递到柔性杠杆上,经过柔性杠杆放大作用传递到应力分配梁上,应力分配梁把惯性力先集中然后再均分到石英音叉的两根振梁上;根据被测量的大小启动大小量程加速度计,一端的石英音叉受到的力为拉应力,频率升高,另一端受到压应力,频率降低,两者的频率差与加速度的大小成正比,通过测量频率差获得加速度的大小;具有测量量程大、精度高、体积小等优势。
Description
技术领域
本发明属于微机械电子(MEMS)数字式加速度计技术领域,具体涉及一种复合量程石英谐振加速度传感器。
背景技术
加速度传感器作为惯性测量器件,常常被用于航空航天、武器装备的导航制导,通常需要测量的加速度差异巨大,甚至可以从几个g覆盖到上万g。例如,常规弹药发射时的加速度一般非常大,而在飞行过程中所承受的加速度要小的多。在子母弹的发射、飞行和开舱抛撒过程中,弹丸所承受的过载值从几个g到上万g,在实现高g值精确测量的同时,应保证低g值测量单元结构不发生破坏,其性能保持不变;另外考虑到生产、装配和测试等过程中,由于偶然跌落所产生的冲击加速度作用,传感器的性能应保持不变。因此在使用过程中,既需要测试发射过程中上万个g的加速度,也需要测试飞行过程中几个g的加速度,这些值无法通过现有的一个微加速度计完成测试。
发明内容
为了克服上述现有技术的缺点,本发明的目的在于提供了一种复合量程石英谐振加速度传感器,提高加速度传感器的使用范围,并且保证在各量程范围内的精度,具有集成度高,体积小,既能测量大量程加速度,又能在小量程测量范围内保持高精度的优点。
为了实现上述目的,本发明采用的技术方案为:
一种复合量程石英谐振加速度传感器,由外部的小量程加速度计和中间的大量程加速度计6嵌套构成,小量程加速度计和大量程加速度计为相似结构,整体结构成中心对称布局,由一整片石英片贯穿腐蚀加工而成。
所述的小量程加速计由石英安装框架1、第一石英音叉2a和第二石英音叉2b、第一柔性杠杆3a和第二柔性杠杆3b、第一应力分配梁4a和第二应力分配梁4b、第一敏感质量块5组成;其中石英安装框架1用来进行传感器敏感芯片与壳体基座的装配,第一石英音叉2a通过第一应力分配梁4a与第一柔性杠杆3a的输出端连接,第二石英音叉2b通过第二应力分配梁4b与第二柔性杠杆3b的输出端连接,第一石英音叉2a和第二石英音叉2b、第一柔性杠杆3a和第二柔性杠杆3b、第一应力分配梁4a和第二应力分配梁4b分别成中心对称布局,第一柔性杠杆3a和第二柔性杠杆3b的输入端与第一敏感质量块5连接,第一敏感质量块5的中间设有大量程加速度计6,大量程加速度计6为第一敏感质量块5的一部分。
所述的大量程加速度计6由第三柔性杠杆7a和第四柔性杠杆7b、第三石英音叉8a和第四石英音叉8b、第三应力分配梁9a和第四应力分配梁9b、第二敏感质量块10组成;第三石英音叉8a通过第三应力分配梁9a与第三柔性杠杆7a的输出端连接,第四石英音叉8b通过第四应力分配梁9b与第四柔性杠杆7b的输出端连接,第三柔性杠杆7a和第四柔性杠杆7b、第三石英音叉8a和第四石英音叉8b、第三应力分配梁9a和第四应力分配梁9b分别成中心对称布局,第三柔性杠杆7a和第四柔性杠杆7b的输入端与第二敏感质量块10连接。
所述的第一柔性杠杆3a、第二柔性杠杆3b和第三柔性杠杆7a、第四柔性杠杆7b结构相同,均为由杠杆阻力臂11、柔性铰链12、输出端13、动力臂14和输入端15组成的微杠杆放大机构,动力臂14的一端下方和输入端15连接,动力臂14的另一端下方和输出端13连接,动力臂14的另一端和杠杆阻力臂11连接,杠杆阻力臂11端头下方和柔性铰链12连接;
在大量程加速度计6中,第三柔性杠杆7a和第四柔性杠杆7b的柔性铰链12的一端与第一敏感质量块5连接,另一端与杠杆阻力臂11连接,输出端13分别通过第三应力分配梁9a、第四应力分配梁9b与第三石英音叉8a、第四石英音叉8b连接,输入端15与第二敏感质量块10连接;
在小量程加速度计中,第一柔性杠杆3a和第二柔性杠杆3b的柔性铰链12的一端与石英安装框架1连接,另一端与杠杆阻力臂11连接,输出端13分别通过第一应力分配梁4a、第二应力分配梁4b与第一石英音叉2a、第二石英音叉2b连接,输入端15与第一敏感质量块5连接。
本发明的有益效果为:
本发明可以实现覆盖高低量程的加速度测量,在几个g到上万g的测量范围内,完成高精度测量,极大的扩大了传感器的测量范围,实现了大量程和高精度的集成。单晶石英的压电特性,可以实现准数字输出,没有模数转换的精度损失,有利于与IC系统的集成。利用MEMS工艺,由一整片单晶石英贯穿式腐蚀而成,整个加速度计芯片为同种材料,没有异质材料的热膨胀系数不匹配问题,没有装配误差,有利于传感器高稳定性的实现。内外嵌套式的布置结构,有利于传感器的小型化。本发明传感器具有量程范围大,精度高,稳定性好,体积小,批量化等优势。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为图1中大量程加速度计的局部放大图。
图3为本发明柔性杠杆局部放大图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本发明进行详细说明。
参照图1,一种复合量程石英谐振加速度传感器,由外部的小量程加速度计和中间的大量程加速度计6嵌套构成,小量程加速度计和大量程加速度计为相似结构,整体结构成中心对称布局,由一整片石英片贯穿腐蚀加工而成。
所述的小量程加速计由石英安装框架1、第一石英音叉2a和第二石英音叉2b、第一柔性杠杆3a和第二柔性杠杆3b、第一应力分配梁4a和第二应力分配梁4b、第一敏感质量块5组成;其中石英安装框架1用来进行传感器敏感芯片与壳体基座的装配,第一石英音叉2a通过第一应力分配梁4a与第一柔性杠杆3a的输出端连接,第二石英音叉2b通过第二应力分配梁4b与第二柔性杠杆3b的输出端连接,第一石英音叉2a和第二石英音叉2b、第一柔性杠杆3a和第二柔性杠杆3b、第一应力分配梁4a和第二应力分配梁4b分别成中心对称布局,第一柔性杠杆3a和第二柔性杠杆3b的输入端与第一敏感质量块5连接,第一敏感质量块5的中间设有大量程加速度计6,大量程加速度计6为第一敏感质量块5的一部分。
参照图2,所述的大量程加速度计6由第三柔性杠杆7a和第四柔性杠杆7b、第三石英音叉8a和第四石英音叉8b、第三应力分配梁9a和第四应力分配梁9b、第二敏感质量块10组成;第三石英音叉8a通过第三应力分配梁9a与第三柔性杠杆7a的输出端连接,第四石英音叉8b通过第四应力分配梁9b与第四柔性杠杆7b的输出端连接,第三柔性杠杆7a和第四柔性杠杆7b、第三石英音叉8a和第四石英音叉8b、第三应力分配梁9a和第四应力分配梁9b分别成中心对称布局,第三柔性杠杆7a和第四柔性杠杆7b的输入端与第二敏感质量块10连接。
参照图3,所述的第一柔性杠杆3a、第二柔性杠杆3b和第三柔性杠杆7a、第四柔性杠杆7b结构相同,均为由杠杆阻力臂11、柔性铰链12、输出端13、动力臂14和输入端15组成的微杠杆放大机构,动力臂14的一端下方和输入端15连接,动力臂14的另一端下方和输出端13连接,动力臂14的另一端和杠杆阻力臂11连接,杠杆阻力臂11端头下方和柔性铰链12连接;
在大量程加速度计6中,第三柔性杠杆7a和第四柔性杠杆7b的柔性铰链12的一端与第一敏感质量块5连接,另一端与杠杆阻力臂11连接,输出端13分别通过第三应力分配梁9a、第四应力分配梁9b与第三石英音叉8a、第四石英音叉8b连接,输入端15与第二敏感质量块10连接;第二敏感质量块10受到加速度作用产生惯性力,惯性力通过输入端15传递到第三柔性杠杆7a和第四柔性杠杆7b上,经过杠杆的放大作用,传递到第三应力分配梁9a、第四应力分配梁9b上,第三应力分配梁9a、第四应力分配梁9b把第三柔性杠杆7a、第四柔性杠杆7b上传递过来的惯性力先集中然后再均分到第三石英音叉8a、第四石英音叉8b的两根振梁上。
在小量程加速度计中,第一柔性杠杆3a和第二柔性杠杆3b的柔性铰链12的一端与石英安装框架1连接,另一端与杠杆阻力臂11连接,输出端13分别通过第一应力分配梁4a、第二应力分配梁4b与第一石英音叉2a、第二石英音叉2b连接,输入端15与第一敏感质量块5连接;第一敏感质量块5受到加速度作用产生惯性力,惯性力通过输入端15传递到第一柔性杠杆3a和第二柔性杠杆3b上,经过杠杆的放大作用,传递到第一应力分配梁4a、第二应力分配梁4b上,第一应力分配梁4a、第二应力分配梁4b把第一柔性杠杆3a、第二柔性杠杆3b上传递过来的惯性力先集中然后再均分到第一石英音叉2a、第二石英音叉2b的两根振梁上。
本发明的工作原理是:
当传感器受到来于沿石英音叉长度方向的加速度时,当加速度为几个g时,第一敏感质量块5受到加速作用产生惯性力,惯性力通过第一柔性杠杆3a、第二柔性杠杆3b的放大并传递到第一应力分配梁4a、第二应力分配梁4b上,并由第一应力分配梁4a、第二应力分配梁4b进行力的集中再均分到第一石英音叉2a、第二石英音叉2b的两根振梁上;垂直纸面中心对称的结构,一端的石英音叉受到的力为拉应力,频率升高,另一端受到压应力,频率降低,两者的频率差与加速度的大小成正比,从而通过测量频率差获得加速度的大小。
当加速度为上万g时,由于石英安装框架1的限位作用,小量程加速度计的位移受限,测量不再起作用,此时,大量程加速度计6的第二敏感质量块10受到加速作用产生惯性力,惯性力通过第三柔性杠杆7a、第四柔性杠杆7b的放大并传递到第三应力分配梁9a、第四应力分配梁9b上,并由第三应力分配梁9a、第四应力分配梁9b进行力的集中再均分到第三石英音叉8a、第四石英音叉8b的两根振梁上;垂直纸面中心对称的结构,一端的石英音叉受到的力为拉应力,频率升高,另一端受到压应力,频率降低,两者的频率差与加速度的大小成正比,从而通过测量频率差获得加速度的大小。
Claims (4)
1.一种复合量程石英谐振加速度传感器,其特征在于:由外部的小量程加速度计和中间的大量程加速度计(6)嵌套构成,小量程加速度计和大量程加速度计为相似结构,整体结构成中心对称布局,由一整片石英片贯穿腐蚀加工而成。
2.根据权利要求1所述的一种复合量程石英谐振加速度传感器,其特征在于:所述的小量程加速计由石英安装框架(1)、第一石英音叉(2a)和第二石英音叉(2b)、第一柔性杠杆(3a)和第二柔性杠杆(3b)、第一应力分配梁(4a)和第二应力分配梁(4b)、第一敏感质量块(5)组成;其中石英安装框架(1)用来进行传感器敏感芯片与壳体基座的装配,第一石英音叉(2a)通过第一应力分配梁(4a)与第一柔性杠杆(3a)的输出端连接,第二石英音叉(2b)通过第二应力分配梁(4b)与第二柔性杠杆(3b)的输出端连接,第一石英音叉(2a)和第二石英音叉(2b)、第一柔性杠杆(3a)和第二柔性杠杆(3b)、第一应力分配梁(4a)和第二应力分配梁(4b)分别成中心对称布局,第一柔性杠杆(3a)和第二柔性杠杆(3b)的输入端与第一敏感质量块(5)连接,第一敏感质量块(5)的中间设有大量程加速度计(6),大量程加速度计(6)为第一敏感质量块(5)的一部分。
3.根据权利要求1所述的一种复合量程石英谐振加速度传感器,其特征在于:所述的大量程加速度计(6)由第三柔性杠杆(7a)和第四柔性杠杆(7b)、第三石英音叉(8a)和第四石英音叉(8b)、第三应力分配梁(9a)和第四应力分配梁(9b)、第二敏感质量块(10)组成;第三石英音叉(8a)通过第三应力分配梁(9a)与第三柔性杠杆(7a)的输出端连接,第四石英音叉(8b)通过第四应力分配梁(9b)与第四柔性杠杆(7b)的输出端连接,第三柔性杠杆(7a)和第四柔性杠杆(7b)、第三石英音叉(8a)和第四石英音叉(8b)、第三应力分配梁(9a)和第四应力分配梁(9b)分别成中心对称布局,第三柔性杠杆(7a)和第四柔性杠杆(7b)的输入端与第二敏感质量块(10)连接。
4.根据权利要求2或3所述的一种复合量程石英谐振加速度传感器,其特征在于:所述的第一柔性杠杆(3a)、第二柔性杠杆(3b)和第三柔性杠杆(7a)、第四柔性杠杆(7b)结构相同,均为由杠杆阻力臂(11)、柔性铰链(12)、输出端(13)、动力臂(14)和输入端(15)组成的微杠杆放大机构,动力臂(14)的一端下方和输入端(15)连接,动力臂(14)的另一端下方和输出端(13)连接,动力臂(14)的另一端和杠杆阻力臂(11)连接,杠杆阻力臂(11)端头下方和柔性铰链(12)连接;
在大量程加速度计(6)中,第三柔性杠杆(7a)和第四柔性杠杆(7b)的柔性铰链(12)的一端与第一敏感质量块(5)连接,另一端与杠杆阻力臂(11)连接,输出端(13)分别通过第三应力分配梁(9a)、第四应力分配梁(9b)与第三石英音叉(8a)、第四石英音叉(8b)连接,输入端(15)与第二敏感质量块(10)连接;
在小量程加速度计中,第一柔性杠杆(3a)和第二柔性杠杆(3b)的柔性铰链(12)的一端与石英安装框架(1)连接,另一端与杠杆阻力臂(11)连接,输出端(13)分别通过第一应力分配梁(4a)、第二应力分配梁(4b)与第一石英音叉(2a)、第二石英音叉(2b)连接,输入端(15)与第一敏感质量块(5)连接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202011205643.1A CN112379126B (zh) | 2020-11-02 | 2020-11-02 | 一种复合量程石英谐振加速度传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202011205643.1A CN112379126B (zh) | 2020-11-02 | 2020-11-02 | 一种复合量程石英谐振加速度传感器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN112379126A true CN112379126A (zh) | 2021-02-19 |
CN112379126B CN112379126B (zh) | 2021-08-27 |
Family
ID=74577584
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202011205643.1A Active CN112379126B (zh) | 2020-11-02 | 2020-11-02 | 一种复合量程石英谐振加速度传感器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN112379126B (zh) |
Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001130370A (ja) * | 1999-11-08 | 2001-05-15 | Fujitsu Ten Ltd | レベル弁別装置およびそれを用いる車両の乗員保護装置 |
CN101122611A (zh) * | 2006-08-09 | 2008-02-13 | 日立金属株式会社 | 多量程三轴加速度传感器装置 |
CN101173958A (zh) * | 2007-10-19 | 2008-05-07 | 杭州电子科技大学 | 双向微惯性传感器及其制作方法 |
RU2362173C1 (ru) * | 2008-03-21 | 2009-07-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Военно-космическая академия имени А.Ф. Можайского" | Способ измерения линейного ускорения в системах управления ракет и устройство для его осуществления |
US7779689B2 (en) * | 2007-02-21 | 2010-08-24 | Freescale Semiconductor, Inc. | Multiple axis transducer with multiple sensing range capability |
CN102495236A (zh) * | 2011-11-24 | 2012-06-13 | 北京航空航天大学 | 一种高灵敏度双轴硅微谐振式加速度计 |
CN102778232A (zh) * | 2012-07-10 | 2012-11-14 | 清华大学 | 微惯性测量装置 |
CN102928622A (zh) * | 2012-10-17 | 2013-02-13 | 中北大学 | 梁岛塔形压阻式三轴mems高量程加速度传感器阵列 |
CN103675349A (zh) * | 2013-12-11 | 2014-03-26 | 江苏物联网研究发展中心 | 多量程的叉指电容加速度计 |
CN105738654A (zh) * | 2016-02-01 | 2016-07-06 | 中国科学院空间应用工程与技术中心 | 一种加速度测量装置及基于量程切换的数据采集方法 |
CN105866470A (zh) * | 2016-05-05 | 2016-08-17 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 一种一体式石英双振梁加速度计 |
CN106771359A (zh) * | 2016-11-30 | 2017-05-31 | 西安交通大学 | 一种石英一体式谐振加速度计 |
CN106970244A (zh) * | 2017-04-18 | 2017-07-21 | 四川知微传感技术有限公司 | 一种多量程的mems闭环加速度计 |
CN108732382A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-11-02 | 西安交通大学 | 带有柔性放大机构的基于soq石英振梁加速度计芯片 |
CN109100535A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-12-28 | 西安交通大学 | 基于soq的柔性杠杆放大振梁加速度计芯片及其加工工艺 |
CN109765404A (zh) * | 2018-12-28 | 2019-05-17 | 西安交通大学 | 基于QoS工艺的Z向敏感石英振梁加速度计芯片及加工工艺和加速度计 |
US20190187170A1 (en) * | 2017-12-20 | 2019-06-20 | Apple Inc. | Multi-Stage MEMS Accelerometer for Mixed G-Level Operation |
-
2020
- 2020-11-02 CN CN202011205643.1A patent/CN112379126B/zh active Active
Patent Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001130370A (ja) * | 1999-11-08 | 2001-05-15 | Fujitsu Ten Ltd | レベル弁別装置およびそれを用いる車両の乗員保護装置 |
CN101122611A (zh) * | 2006-08-09 | 2008-02-13 | 日立金属株式会社 | 多量程三轴加速度传感器装置 |
JP2008039664A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Hitachi Metals Ltd | マルチレンジ加速度センサー |
US7779689B2 (en) * | 2007-02-21 | 2010-08-24 | Freescale Semiconductor, Inc. | Multiple axis transducer with multiple sensing range capability |
CN101173958A (zh) * | 2007-10-19 | 2008-05-07 | 杭州电子科技大学 | 双向微惯性传感器及其制作方法 |
RU2362173C1 (ru) * | 2008-03-21 | 2009-07-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Военно-космическая академия имени А.Ф. Можайского" | Способ измерения линейного ускорения в системах управления ракет и устройство для его осуществления |
CN102495236A (zh) * | 2011-11-24 | 2012-06-13 | 北京航空航天大学 | 一种高灵敏度双轴硅微谐振式加速度计 |
CN102778232A (zh) * | 2012-07-10 | 2012-11-14 | 清华大学 | 微惯性测量装置 |
CN102928622A (zh) * | 2012-10-17 | 2013-02-13 | 中北大学 | 梁岛塔形压阻式三轴mems高量程加速度传感器阵列 |
CN103675349A (zh) * | 2013-12-11 | 2014-03-26 | 江苏物联网研究发展中心 | 多量程的叉指电容加速度计 |
CN105738654A (zh) * | 2016-02-01 | 2016-07-06 | 中国科学院空间应用工程与技术中心 | 一种加速度测量装置及基于量程切换的数据采集方法 |
CN105866470A (zh) * | 2016-05-05 | 2016-08-17 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 一种一体式石英双振梁加速度计 |
CN106771359A (zh) * | 2016-11-30 | 2017-05-31 | 西安交通大学 | 一种石英一体式谐振加速度计 |
CN106970244A (zh) * | 2017-04-18 | 2017-07-21 | 四川知微传感技术有限公司 | 一种多量程的mems闭环加速度计 |
US20190187170A1 (en) * | 2017-12-20 | 2019-06-20 | Apple Inc. | Multi-Stage MEMS Accelerometer for Mixed G-Level Operation |
CN108732382A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-11-02 | 西安交通大学 | 带有柔性放大机构的基于soq石英振梁加速度计芯片 |
CN109100535A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-12-28 | 西安交通大学 | 基于soq的柔性杠杆放大振梁加速度计芯片及其加工工艺 |
CN109765404A (zh) * | 2018-12-28 | 2019-05-17 | 西安交通大学 | 基于QoS工艺的Z向敏感石英振梁加速度计芯片及加工工艺和加速度计 |
Non-Patent Citations (9)
Title |
---|
C. HAN 等: ""A Novel Resonant Accelerometer Based on Quartz on Silicon"", 《IEEE INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON INERTIAL SENSORS AND SYSTEMS》 * |
HU TJ 等: ""The Research on Actuation Performance of MEMS Safety-and-Arming Device with Interlock Mechanism"", 《MICROMACHINES 》 * |
于桂臻 等: ""谐振梁在高量程加速度传感器非线性测试中的应用"", 《计量与测试技术》 * |
刘陆燕 等: ""基于不同量程的MEMS加速度传感器综合测试系统研究"", 《物联网技术》 * |
朱杰 等: ""复合量程加速度计在炮射导弹中的研究及应用"", 《科学技术与工程》 * |
李东光 等: ""双加速度计弹丸运动速度检测技术研究"", 《探测与控制学报》 * |
熊继军 等: ""复合量程微加速度计的研究"", 《传感技术学报》 * |
韩超 等: ""石英谐振加速度传感器芯片设计与仿真"", 《导航与控制》 * |
高杨 等: ""高性能氮化铝差分谐振式加速度计的结构设计"", 《中国惯性技术学报》 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN112379126B (zh) | 2021-08-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10859596B2 (en) | Mechanically-isolated in-plane pendulous vibrating beam accelerometer | |
CN104820113B (zh) | 一种集成温度敏感单元的石英双梁力频谐振器 | |
US20200025790A1 (en) | In-plane translational vibrating beam accelerometer with mechanical isolation and 4-fold symmetry | |
US8082790B2 (en) | Solid-state inertial sensor on chip | |
Tatar et al. | Stress effects and compensation of bias drift in a MEMS vibratory-rate gyroscope | |
US6826960B2 (en) | Triaxial acceleration sensor | |
US4751849A (en) | Force-sensitive resonator load cell | |
JP5567279B2 (ja) | 振動環境における性能が改善された振動梁加速度計 | |
KR20030097874A (ko) | 가속도 측정기 스트레인 경감 구조 | |
CN103235155A (zh) | 一种具有全桥微梁结构的压阻式加速度传感器 | |
Zhang et al. | A quartz resonant ultra-high pressure sensor with high precision and high stability | |
US20200064367A1 (en) | Vibrating beam accelerometer | |
CN109254170B (zh) | 一体式石英双振梁加速度计及制备方法 | |
CN109164272B (zh) | 推拉全差动式单轴硅微谐振式加速度计 | |
US7444883B2 (en) | Vibrating beam force transducer | |
Zhang et al. | Design and implementation of a novel membrane-island structured MEMS accelerometer with an ultra-high range | |
CN100465088C (zh) | 一种“中”字形谐振式硅微机械压力传感器 | |
CN112379126B (zh) | 一种复合量程石英谐振加速度传感器 | |
CN104049107A (zh) | 基于t型结构的具有测温功能的一体差动式石英振梁加速度计 | |
Han et al. | A triaxial accelerometer based on differential resonant beams and force-balanced capacitive plates | |
CN106771359A (zh) | 一种石英一体式谐振加速度计 | |
Taïbi et al. | SWaP reduction for high dynamic navigation grade accelerometer based on quartz VBA technology | |
Shi et al. | Design and Experiment of a hybrid-integrated ultra-high-g accelerometer with variable-section beam | |
CN111812355B (zh) | 一种低应力敏感度硅微谐振式加速度计结构 | |
JPS61178667A (ja) | 振動式加速度計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |