CN106771359A - 一种石英一体式谐振加速度计 - Google Patents
一种石英一体式谐振加速度计 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106771359A CN106771359A CN201611080437.6A CN201611080437A CN106771359A CN 106771359 A CN106771359 A CN 106771359A CN 201611080437 A CN201611080437 A CN 201611080437A CN 106771359 A CN106771359 A CN 106771359A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- quartz
- microns
- flexible
- shakes
- quartzy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims abstract description 78
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 78
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims abstract description 20
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 8
- 230000008901 benefit Effects 0.000 abstract description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/097—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by vibratory elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
一种石英一体式谐振加速度计，包括外围的支撑框架,支撑框架通过柔性铰链与两个柔性杠杆放大机构的一端相连，两个柔性杠杆放大机构的另一端通过柔性铰链和质量块连接，两个柔性杠杆放大机构位于加速度计的敏感方向SA上，两个柔性杠杆放大机构分别和两个石英振梁的一端连接，两个石英振梁的另一端和支撑框架连接，石英振梁上表面布有电极，石英振梁分别位于空槽内，石英一体式谐振加速度计成中心对称，质量块感应到加速度，通过柔性杠杆放大机构将由加速度引起的力放大，施加到石英振梁上，两个石英振梁上的频率相减求得差动频率，检测差动的频率变化值就能够得到加速度的大小，本发明具有数字信号输出、分辨率高和抗干扰性能优良等优点。
Description
技术领域
本发明属于微型机械电子(MEMS)技术领域，具体涉及一种石英一体式谐振加速度计。
背景技术
加速度计作为惯性导航系统的重要部分，在飞行控制如航空、航天、航海以及武器的稳姿、稳瞄系统如智能炮弹、火箭、导弹和无人军事系统如无人军事飞机、无人军事潜艇等军工领域具有广泛的应用需求。惯性导航系统内部处理的一般都是数字信号，因此随着商业以及国防等领域的导航与制导系统的蓬勃发展，能够直接嵌入导航系统的具有数字信号输出的谐振式加速度传感器正逐渐引起越来越多的注意力。谐振式加速度传感器能够实现对加速度的数字化测量，其输出的是频率准数字信号，能够直接嵌入复杂的导航系统，从而消除了由数模转换环节带来的误差，提高了导航精度。微数字谐振式加速度计是采用MEMS工艺制作的具有尺寸小、响应速度快、成本低等优点的加速度计。传统形式微型加速度传感器主要有的压阻式和电容式，与以上两种相比，谐振式加速度计直接输出准数字信号，能直接与高精度的数字系统相结合，避免了后处理电路的A/D转换模块，消除了模数转换误差，后处理电路简单，灵敏度高，和抗干扰能力强的优点。目前也有少量的谐振式硅微加速度传感器，虽然此类传感器输出的是数字信号，由于采用硅材料进行加工，振频率低、灵敏度差、品质因数Q值低。一部分加速度计也采用了差动的结构，由于结构的复杂性，导致加工工艺繁琐，加工难度大。总之，现有的加速度计普遍存在模拟输出，灵敏度低，加工复杂等问题。
发明内容
为了克服上述现有加速度计的缺点，本发明的目的在于提供一种石英一体式谐振加速度计，具有数字信号输出、分辨率高和抗干扰性能优良等优点。
为了实现上述目的，本发明采用的技术方案为：
一种石英一体式谐振加速度计，包括外围的支撑框架1,支撑框架1通过第一柔性铰链5和第三柔性铰链7分别与第一柔性杠杆放大机构3和第二柔性杠杆放大机构4的一端相连，第一柔性杠杆放大机构3和第二柔性杠杆放大机构4的另一端分别通过第二柔性铰链6、第四柔性铰链8和质量块2连接，第一柔性杠杆放大机构3和第二柔性杠杆放大机构4位于加速度计的敏感方向SA上，第一柔性杠杆放大机构3和第二柔性杠杆放大机构4靠近支撑框架1边框的一端分别和第一石英振梁9和第二石英振梁10的一端连接，第一石英振梁9和第二石英振梁10的另一端和支撑框架1连接，第一石英振梁9和第二石英振梁10上表面布有电极，第一石英振梁9和第二石英振梁10分别位于完全贯通的第一空槽11和第二空槽12内，第一空槽11和第二空槽12分别位于支撑框架1的一组对角上，石英一体式谐振加速度计成中心对称。
所述的支撑框架1为正方形，边长为7000微米，上下边框宽度为450微米，左右边框的宽度为900微米。
所述的质量块2为正方形，边长为5000微米，质量块2与支撑框架1、第一柔性杠杆放大机构3和第二柔性杠杆放大机之间存在间隙，间隙为100微米，当有加速度作用时，根据牛顿第二定律，质量块2在惯性力的作用下要产生一定位移，第一石英振梁9和第二石英振梁10发生微弱的变形，这种变形导致这对石英振梁一个受拉，一个受压，构成差动形式。
所述的第一柔性杠杆放大机构3和第二柔性杠杆放大机构4的宽度为350微米，长度为5500微米，厚度为360微米，力放大倍数为15-20。
所述的第一柔性铰链5、第二柔性铰链6、第三柔性铰链7和第四柔性铰链8长度为200微米，宽度为50微米，厚度为360微米，整体形状呈平板状，在Z轴方向不容易发生变形。
所述的第一石英振梁9和第二石英振梁10宽度为80微米，厚度为40微米，长度为2000微米，第一石英振梁9和第二石英振梁10通过干法刻蚀工艺加工获得，第一石英振梁9和第二石英振梁10的振动模态相同，频率相同。
所述的第一空槽11和第二空槽12的宽度为300微米以上。
本发明的有益效果为：
当加速度作用于敏感方向SA时，质量块2在惯性力作用下，发生平动，第一石英振梁9和第二石英振梁10总是一者承受拉力，另一者承受压力，且力的大小相等，形成差动的结构形式能够减少非敏感方向的输入信号对输出结果的影响，提高加速度计的抗干扰能力；通过柔性杠杆放大机构提高加速度计的灵敏度；采用石英作为材料，利用了石英单晶的压电特性和频率稳定性高。本发明具有体积小，重量小，数字信号输出、分辨率高和抗干扰性能优良等优点。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为图1的A-A截面示意图。
图3为图1的B-B截面示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明进行详细说明。
参照图1、图2和图3，一种石英一体式谐振加速度计，包括外围的支撑框架1,支撑框架1通过第一柔性铰链5和第三柔性铰链7分别与第一柔性杠杆放大机构3和第二柔性杠杆放大机构4的一端相连，第一柔性杠杆放大机构3和第二柔性杠杆放大机构4的另一端分别通过第二柔性铰链6、第四柔性铰链8和质量块2连接，第一柔性杠杆放大机构3和第二柔性杠杆放大机构4位于加速度计的敏感方向SA上，第一柔性杠杆放大机构3和第二柔性杠杆放大机构4靠近支撑框架1边框的一端分别和第一石英振梁9和第二石英振梁10的一端连接，第一石英振梁9和第二石英振梁10的另一端和支撑框架1连接，第一石英振梁9和第二石英振梁10上表面布有电极，第一石英振梁9和第二石英振梁10分别位于完全贯通的第一空槽11和第二空槽12内，第一空槽11和第二空槽12分别位于支撑框架1的一组对角上，石英一体式谐振加速度计成中心对称，通过质量块2感应到加速度的输入，然后通过第一柔性杠杆放大机构3和第二柔性杠杆放大机构4将由外界加速度引起的力放大，再分别施加到第一石英振梁9和第二石英振梁10上，第一石英振梁9和第二石英振梁10上的频率相减求得差动频率，检测差动的频率变化值就能够得到加速度的大小，完成对加速度的感应与测量。
所述的支撑框架1为正方形，边长为7000微米，上下边框宽度约为450微米，左右边框的宽度约为900微米。
所述的质量块2为正方形，边长为5000微米，质量块2与支撑框架1、第一柔性杠杆放大机构3和第二柔性杠杆放大机之间存在间隙，间隙为100微米，当有加速度作用时，质量块2在惯性力的作用下要产生一定位移，第一石英振梁9和第二石英振梁10发生微弱的变形，这种变形导致这对石英振梁一个受拉，一个受压，构成差动形式。
所述的第一柔性杠杆放大机构3和第二柔性杠杆放大机构4的宽度为350微米，长度为5500微米，厚度为360微米，力放大倍数为15-20。
所述的第一柔性铰链5、第二柔性铰链6、第三柔性铰链7和第四柔性铰链8长度为200微米，宽度为50微米，厚度为360微米，整体形状呈平板状，抗剪切能力强，在Z轴方向不容易发生变形，减小交叉灵敏度，有助于提高整个加速度计的性能。
所述的第一石英振梁9和第二石英振梁10宽度为80微米，厚度为40微米，长度为2000微米，第一石英振梁9和第二石英振梁10通过干法刻蚀工艺加工获得，第一石英振梁9和第二石英振梁10的振动模态相同，频率相同，侧壁平整度和粗糙度更加优良，这样可以保证第一石英振梁9和第二石英振梁10具有相同的结构尺寸和力频特性，侧壁使第一石英振梁9和第二石英振梁10的差动振动频率更准确的、客观的反应加速度的大小。
所述的第一空槽11和第二空槽12的宽度为300微米以上。
本发明的工作原理是：
石英单晶具有压电特性，在第一石英振梁9和第二石英振梁10的上表面布置电极，通过外部震荡电路使第一石英振梁9和第二石英振梁10发生共振，根据牛顿第二定律，当加速度作用于敏感方向SA时，质量块2在惯性力的作用发生平动，质量块2在惯性力作用下，发生平动，在第二柔性铰链6和第四柔性铰链8处同时有力输入，并且这对力一者为拉力，另一者为压力，这对拉压力分别被第一柔性杠杆放大机构3和第二柔性杠杆放大机构4放大后，又分别传递到第一石英振梁9和第二石英振梁10。受力会导致石英振梁的内应力变化，应力的变化致使谐振频率发生改变，改变的大小与加速度成正比。由于第一石英振梁9和第二石英振梁10总是一者承受拉力，另一者承受压力，且力的大小相等，将两者的谐振频率相减，得到差动频率变化值，通过检测差动的频率变化值就能够得到加速度的大小。差动的结构形式能够减少非敏感方向的输入信号对输出结果的影响，提高加速度计的抗干扰能力，通过柔性杠杆放大机构提高传感器的灵敏度。本发明采用石英作为材料，利用了石英单晶的压电特性和频率稳定性高。具有体积小，重量小，数字信号输出、分辨率高和抗干扰性能优良等优点。
Claims (7)
1.一种石英一体式谐振加速度计，包括外围的支撑框架(1),其特征在于：支撑框架(1)通过第一柔性铰链(5)和第三柔性铰链(7)分别与第一柔性杠杆放大机构(3)和第二柔性杠杆放大机构(4)的一端相连，第一柔性杠杆放大机构(3)和第二柔性杠杆放大机构(4)的另一端分别通过第二柔性铰链(6)、第四柔性铰链(8)和质量块(2)连接，第一柔性杠杆放大机构(3)和第二柔性杠杆放大机构(4)位于加速度计的敏感方向SA上，第一柔性杠杆放大机构(3)和第二柔性杠杆放大机构(4)靠近支撑框架(1)边框的一端分别和第一石英振梁(9)和第二石英振梁(10)的一端连接，第一石英振梁(9)和第二石英振梁(10)的另一端和支撑框架(1)连接，第一石英振梁(9)和第二石英振梁(10)上表面布有电极，第一石英振梁(9)和第二石英振梁(10)分别位于完全贯通的第一空槽(11)和第二空槽(12)内，第一空槽(11)和第二空槽(12)分别位于支撑框架(1)的一组对角上，石英一体式谐振加速度计成中心对称。
2.根据权利要求1所述的一种石英一体式谐振加速度计，其特征在于：所述的支撑框架(1)为正方形，边长为7000微米，上下边框宽度为450微米，左右边框的宽度为900微米。
3.根据权利要求1所述的一种石英一体式谐振加速度计，其特征在于：所述的质量块(2)为正方形，边长为5000微米，质量块(2)与支撑框架(1)、第一柔性杠杆放大机构(3)和第二柔性杠杆放大机(4)之间存在间隙，间隙为100微米，当有加速度作用时，质量块(2)在惯性力的作用下要产生一定位移，第一石英振梁(9)和第二石英振梁(10)发生微弱的变形，这种变形导致这对石英振梁一个受拉，一个受压，构成差动形式。
4.根据权利要求1所述的一种石英一体式谐振加速度计，其特征在于：所述的第一柔性杠杆放大机构(3)和第二柔性杠杆放大机构(4)的宽度为350微米，长度为5500微米，厚度为360微米，力放大倍数为15-20。
5.根据权利要求1所述的一种石英一体式谐振加速度计，其特征在于：所述的第一柔性铰链(5)、第二柔性铰链(6)、第三柔性铰链(7)和第四柔性铰链(8)长度为200微米，宽度为50微米，厚度为360微米，整体形状呈平板状，在Z轴方向不容易发生变形。
6.根据权利要求1所述的一种石英一体式谐振加速度计，其特征在于：所述的第一石英振梁(9)和第二石英振梁(10)宽度为80微米，厚度为40微米，长度为2000微米，第一石英振梁(9)和第二石英振梁(10)通过干法刻蚀工艺加工获得，第一石英振梁(9)和第二石英振梁(10)的振动模态相同，频率相同。
7.根据权利要求1所述的一种石英一体式谐振加速度计，其特征在于：所述的第一空槽(11)和第二空槽(12)的宽度为300微米以上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201611080437.6A CN106771359A (zh) | 2016-11-30 | 2016-11-30 | 一种石英一体式谐振加速度计 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201611080437.6A CN106771359A (zh) | 2016-11-30 | 2016-11-30 | 一种石英一体式谐振加速度计 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106771359A true CN106771359A (zh) | 2017-05-31 |
Family
ID=58901294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201611080437.6A Pending CN106771359A (zh) | 2016-11-30 | 2016-11-30 | 一种石英一体式谐振加速度计 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN106771359A (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108732382A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-11-02 | 西安交通大学 | 带有柔性放大机构的基于soq石英振梁加速度计芯片 |
| CN109100535A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-12-28 | 西安交通大学 | 基于soq的柔性杠杆放大振梁加速度计芯片及其加工工艺 |
| CN109883580A (zh) * | 2019-03-19 | 2019-06-14 | 西安交通大学 | 一种全石英差动式谐振压力传感器芯片 |
| CN112379126A (zh) * | 2020-11-02 | 2021-02-19 | 西安交通大学 | 一种复合量程石英谐振加速度传感器 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1844932A (zh) * | 2006-05-23 | 2006-10-11 | 北京航空航天大学 | 一种双轴谐振式微机械加速度计 |
| JP2009092396A (ja) * | 2007-10-04 | 2009-04-30 | Hitachi Metals Ltd | 振動式センサ |
| CN102147423A (zh) * | 2011-02-25 | 2011-08-10 | 东南大学 | 双轴集成全解耦硅微谐振式加速度计 |
| CN102495236A (zh) * | 2011-11-24 | 2012-06-13 | 北京航空航天大学 | 一种高灵敏度双轴硅微谐振式加速度计 |
| CN102539832A (zh) * | 2012-01-13 | 2012-07-04 | 北京航空航天大学 | 一种田字形双轴谐振式硅微机械加速度计结构 |
| CN105866470A (zh) * | 2016-05-05 | 2016-08-17 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 一种一体式石英双振梁加速度计 |
-
2016
- 2016-11-30 CN CN201611080437.6A patent/CN106771359A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1844932A (zh) * | 2006-05-23 | 2006-10-11 | 北京航空航天大学 | 一种双轴谐振式微机械加速度计 |
| JP2009092396A (ja) * | 2007-10-04 | 2009-04-30 | Hitachi Metals Ltd | 振動式センサ |
| CN102147423A (zh) * | 2011-02-25 | 2011-08-10 | 东南大学 | 双轴集成全解耦硅微谐振式加速度计 |
| CN102495236A (zh) * | 2011-11-24 | 2012-06-13 | 北京航空航天大学 | 一种高灵敏度双轴硅微谐振式加速度计 |
| CN102539832A (zh) * | 2012-01-13 | 2012-07-04 | 北京航空航天大学 | 一种田字形双轴谐振式硅微机械加速度计结构 |
| CN105866470A (zh) * | 2016-05-05 | 2016-08-17 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 | 一种一体式石英双振梁加速度计 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108732382A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-11-02 | 西安交通大学 | 带有柔性放大机构的基于soq石英振梁加速度计芯片 |
| CN109100535A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-12-28 | 西安交通大学 | 基于soq的柔性杠杆放大振梁加速度计芯片及其加工工艺 |
| CN109100535B (zh) * | 2018-06-22 | 2020-04-10 | 西安交通大学 | 基于soq的柔性杠杆放大振梁加速度计芯片及其加工工艺 |
| CN109883580A (zh) * | 2019-03-19 | 2019-06-14 | 西安交通大学 | 一种全石英差动式谐振压力传感器芯片 |
| CN109883580B (zh) * | 2019-03-19 | 2020-11-17 | 西安交通大学 | 一种全石英差动式谐振压力传感器芯片 |
| CN112379126A (zh) * | 2020-11-02 | 2021-02-19 | 西安交通大学 | 一种复合量程石英谐振加速度传感器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101067555B (zh) | 力平衡式谐振微机械陀螺 | |
| CN106771359A (zh) | 一种石英一体式谐振加速度计 | |
| CN102778583B (zh) | 一种硅基四梁结构石英谐振加速度传感器芯片 | |
| CN100567993C (zh) | 一种双轴谐振式微机械加速度计 | |
| CN102768291B (zh) | 压阻式单片集成四梁三轴加速度计 | |
| CN102435776B (zh) | 单片集成八梁臂三轴加速度计 | |
| CN106771358A (zh) | 一种微型差动式全石英谐振加速度计 | |
| CN104820113B (zh) | 一种集成温度敏感单元的石英双梁力频谐振器 | |
| CN102495236A (zh) | 一种高灵敏度双轴硅微谐振式加速度计 | |
| CN101303234A (zh) | 一种自解耦高灵敏度谐振硅微机械陀螺 | |
| CN105606845A (zh) | 一种基于二级微杠杆的双质量块高灵敏度硅微谐振式加速度计结构 | |
| CN1844931A (zh) | 一种谐振式微机械加速度计 | |
| CN112747731B (zh) | 一种基于面外振动的五质量块双轴检测硅微谐振式陀螺 | |
| CN107063223B (zh) | 单片式谐振加速度计陀螺仪结构 | |
| CN116147599B (zh) | 一种四质量全差分双轴mems陀螺仪 | |
| CN103529242A (zh) | 一种谐振式微加速度计 | |
| CN102539832A (zh) | 一种田字形双轴谐振式硅微机械加速度计结构 | |
| CN106443068B (zh) | 一种扭转差动式石英谐振加速度传感器芯片 | |
| CN110702088B (zh) | 一种轮式双轴微机械陀螺 | |
| CN100465088C (zh) | 一种“中”字形谐振式硅微机械压力传感器 | |
| CN104049107A (zh) | 基于t型结构的具有测温功能的一体差动式石英振梁加速度计 | |
| CN111780737B (zh) | 一种基于音叉驱动效应的高精度水平轴硅微陀螺仪 | |
| CN102721831A (zh) | 基于折叠梁结构的一体差动式石英振梁加速度计 | |
| Yang et al. | Design and analysis of a new three-axis micro-gyroscope | |
| CN112230017B (zh) | 弱耦合式mems加速度传感器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20170531 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |