CN112378624A - 一种模拟像增强器近贴距离参数的测试装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种模拟像增强器近贴距离的参数测试装置及方法，包括紫外光源、阴极输入窗、外置环形磁铁、阴极装配环、导向柱、阳极装配环、管壳、导向筒、观察窗、耦合成像镜头、CCD、内置环形磁铁、旋转筒、微通道板、阳极输出窗及真空腔体。外置环形磁铁带动旋转筒旋转，并带动导向柱沿导向筒的直槽上下垂直移动，使阴极输入窗、阴极装配环以及阳极输出窗、阳极装配环也产生上下垂直移动；真空腔体底部设观察窗，观察窗通过耦合成像镜头与CCD相连接，通过观察CCD在显示器上阴极输入窗所成的分辨力图案的像，判读分辨力图案组数值就获得了未改变像增强器近贴距离或调整了近贴距离后的分辨力指标。本发明进一步提升了现有像增强器的性能水平。

Description

一种模拟像增强器近贴距离参数的测试装置及方法

技术领域

本发明涉及一种模拟像增强器近贴距离参数的测试装置及方法，主要用于通过模拟像增强器近贴距离，测试其分辨力并精确连续地调节近贴距离，实现优化分辨力参数、提升像增强器的分辨力水平并进一步提升产品整体水平的目的。

背景技术

像增强器是能够把低微照度的目标图像变为足够亮度的可见光图像的真空光电管，它是微光探测器的一种，一般由输入窗、光电阴极、微通道板、荧光屏、输出窗以及高压电源组成。

像增强器在工作时，物镜将微弱光学图像成像在输入窗上，该图像经过输入窗传输到光电阴极上，由光电阴极产生相对应的电子图像，电子图像束流经过微通道板放大，再经高压加速激发荧光屏转换成亮度增强了的可见光图像，图像位于阳极输出窗表面，便于采用目镜放大后供人眼观察。

分辨力是像增强器主要性能指标之一，直接影响像增强器的成像质量好坏。像增强器分辨力的定义是规定对比度的分辨力图案投射到光阴极上，荧光屏上可分辨的图案的最大空间频率，利用纵向均匀电场近贴聚焦原理制造的像增强器称之为近贴式像增强器，成像质量取决于光电阴极与微通道板之间、微通道板与阳极之间所加的电压和光电阴极与微通道板之间、光电阴极与微通道板之间的距离，只有当距离极小时才有较好的像质，因此称之为近贴距离，可以通过调节近贴距离改善、提升像增强器的成像质量，提升分辨力，由于光电阴极与微通道板、微通道板与阳极之间存在高压电场，当近贴距离减小到某个值时，光电阴极与微通道板、微通道板与阳极之间就容易产生放电现象，导致像增强器无法正常工作甚至报废，因此像增强器的近贴距离是必须经过精确调整才能获得的。

目前像增强器的批量制造工艺，一般都是在制造完成后通过测试像增强器才能获得分辨力指标的，零件误差、装配误差、制造误差的积累和综合作用，使像增强器的近贴距离产生了误差，造成像增强器成品分辨力指标参差不一，指标值分布低多高少，产品性能难以提升。

因此，在目前像增强器构成条件、各极电压不变的情况下，需要提供一种装置及方法，该装置及方法能够模拟像增强器工作状态下的近贴距离，并进行精确的连续调节获得最佳的近贴距离，给最佳近贴距离匹配研究提供依据，从根本克服像增强器分辨力指标不稳定，提升指标缺少测量手段的现象，有效地提升分辨力指标和像增强器的整体性能水平。

发明内容

本发明要解决的主要技术问题是针对像增强器在制作完成前难以获知像增强器分辨力指标的真实水平、其指标值分布低多高少以及产品性能难以提升等难题，通过模拟像增强器近贴距离，测试其分辨力并精确连续地调节近贴距离，能够优化分辨力参数，提升像增强器的分辨力水平，从而进一步提升产品整体水平。

根据像增强器近贴聚焦成像原理，本发明提供一种装置来模拟像增强器工作状态下的近贴距离并经精确的连续调节后获得最佳的近贴距离，给最佳近贴距离匹配研究提供依据，从根本克服像增强器分辨力指标参差不一、指标值分布低多高少、不稳定，提升指标缺少测量手段的现象，有效地提升分辨力指标和像增强器的整体性能水平。

本发明的一种模拟像增强器近贴距离参数的测试装置，该装置包含：紫外光源、阴极输入窗、外置环形磁铁、阴极装配环、导向柱、阳极装配环、管壳、导向筒、观察窗、耦合成像镜头、CCD、内置环形磁铁、旋转筒、微通道板、阳极输出窗及真空腔体。

其结构为：整个装置除紫外光源、外置环形磁铁、耦合成像镜头、CCD外均安装在真空腔体内，工作时装置内为真空状态，阴极装配环的C面与阴极输入窗边缘的A面(Ni-Cr金属膜层)通过导电胶相连，保证连接牢固并且具有导电性；

阴极装配环的D面有螺纹孔，导向柱穿过导向筒的直槽与阴极装配环牢固连接连为一体，旋转筒套入导向筒外圆柱面，使导向柱插入旋转筒内表面的螺旋槽中，再装上内置环形磁铁，保证与旋转旋入筒吸附牢固后，装入真空腔体内上部，通过旋转安装在真空腔体外部的外置环形磁铁，在磁铁吸附力的作用下，带动旋转筒旋转，带动导向柱沿导向筒的直槽上下垂直移动，从而使阴极输入窗、阴极装配环也产生上下垂直移动，经设计计算，外置环形磁铁的旋转角度与阴极输入窗上下垂直移动距离相对应，在真空腔体外部标定好外置环形磁铁的旋转角度刻度，读取外置环形磁铁旋转的角度值，就可以得到阴极输入窗与微通道板之间的近贴距离数值；

管壳为圆形，是由金属环、金属环、与陶瓷环、陶瓷环钎焊而成的筒状外壳，管壳通过支架固定在真空腔体内部，位置固定不动；

微通道板通过弹簧压圈安装在管壳的金属环与金属环之间，位置固定不动；

阳极装配环的F面有螺纹孔，导向柱穿过导向筒的直槽与阳极装配环牢固连接连为一体，旋转筒套入导向筒外圆柱面，使导向柱插入旋转筒内表面的螺旋槽中，再装上内置环形磁铁，保证与旋转旋入筒吸附牢固后，装入真空腔体内下部，通过旋转安装在真空腔体外部的外置环形磁铁，在磁铁吸附力的作用下，带动旋转筒旋转，带动导向柱沿导向筒的直槽上下垂直移动，从而使阳极装配环、阳极输出窗也产生上下垂直移动，经设计计算，外置环形磁铁的旋转角度与阳极输出窗上下垂直移动距离相对应，在真空腔体外部标定好外置环形磁铁的旋转角度刻度，读取外置环形磁铁旋转的角度值，就可以得到阳极输出窗与微通道板之间的近贴距离数值；

真空腔体的底部设计了一个观察窗，位置正对着阳极输出窗，观察窗与镜头通过夹具相连接，镜头末端与CCD相连接，通过观察CCD在显示器上阴极输入窗所成的分辨力图案像，判读分辨力图案组数值就获得了未改变像增强器近贴距离或调整了近贴距离后的分辨力指标。

一种模拟像增强器近贴距离的参数测试方法，包括以下步骤：

步骤A，装配好本发明的像增强器近贴距离参数的模拟测试装置；真空腔体连接抽真空排气泵；

步骤B，旋转真空腔体上部的外置环形磁铁，外置环形磁铁与内置环形磁铁、旋转筒三者互相吸合，在磁铁吸附力的作用下，带动旋转筒旋转，并带动导向柱沿导向筒的直槽上下垂直移动，使阴极输入窗、阴极装配环也产生上下垂直移动，调节阴极输入窗至微通道板的近贴距离,读取外置环形磁铁旋转的角度值，其调节范围为0.2mm～0.07mm；

步骤C，旋转真空腔体下部的外置环形磁铁，外置环形磁铁与内置环形磁铁、旋转筒三者互相吸合，在磁铁吸附力的作用下，带动旋转筒旋转，并带动导向柱沿导向筒的直槽上下垂直移动，使阳极输入窗、阳极装配环也产生上下垂直移动，调节阳极输出窗至微通道板的近贴距离，读取外置环形磁铁旋转的角度值，其调节范围为0.7mm～0.55mm；

步骤D，按先后顺序开启连接真空腔体的机械泵和分子泵进行抽真空排气，然后再打开紫外光源；

步骤E，当真空腔体的真空度优于1×10^-5mbar时，接通外置高压电源，设置工作电压，阴极输入窗对微通道板输入端的电压不高于-200Vdc，微通道板输出端对其输入端施加电压为800Vdc，微通道板输出端与阳极输出窗之间电压不高于6KVdc；

步骤F，旋转真空腔体上部、下部的外置环形磁铁，上下垂直移动精确调节阴极输入窗与微通道板、微通道板与阳极输出窗的近贴距离，按照在真空腔体外部标定好的外置环形磁铁旋转角度刻度，读取外置环形磁铁旋转的角度值，就可以得到阴极输入窗与微通道板、微通道板与阳极输出窗之间的近贴距离数值，观察由CCD输出并显示的阴极输入窗所成的分辨力案像，读出分辨力图案的组数值就获得了像增强器近贴距离对应的分辨力指标值；

步骤G，重复步骤F，就可以获得最佳的近贴距离或接近最佳近贴距离的分辨力指标。

本发明的有益效果：

本发明的装置及方法能够准确模拟出像增强器工作状态下的近贴距离，通过精确连续调节获得最佳的近贴距离，经制作工艺控制，制作出最佳近贴距离或接近最佳近贴距离的像增强器，目前已经应用于1XZ18/18WHS、1XZ16/16WHS两种系列等产品中，与原来相比，像增强器分辨力从50lp/mm～60lp/mm稳步提升20％左右，使像增强器性能水平跃上了一个新台阶。

附图说明

下面结合附图，对本发明的具体实施方式作进一步详细的描述。

图1为本发明的一种像增强器近贴距离参数的模拟测试装置。

图2为本发明的阴极输入窗的结构示意图(该图分上、下图，上图为俯视图，下图为主视图，此图中：S1代表分辨力图案，S2代表Ni-Cr金属导电膜层，S3代表阴极输入窗，A代表阴极输入窗的A面，B代表阴极输入窗的B面)。

图3为本发明的阴极装配环的结构示意图(此图中：C阴极装配环的C面，D代表阴极装配环的D面，P代表螺孔)。

图4为本发明的阳极装配环的结构示意图(此图中：E代表阳极装配环的E面，F代表，阳极装配环的F面，P代表螺孔)。

图5为本发明的管壳结构剖视图。

图6为本发明的导向筒结构示意图(该图分左、右图，左图主视图，右图为左视图，图中：M代表直槽)。

图7为本发明的旋转筒结构示意图(此图中，N代表螺旋槽)。

图8为本发明的阳极输出窗结构示意图(此图中，H代表阳极输出窗的H面，G代表阳极输出窗的G面)。

图中：1-紫外光源、2-阴极输入窗、3-外置环形磁铁、4-阴极装配环、5-导向柱、6-阳极装配环、7-管壳、7a-金属环、7b-陶瓷环、7c-金属环、7d-陶瓷环、8-导向筒、9-观察窗、10-耦合成像镜头、11-CCD、12-内置环形磁铁、13-旋转筒、14-微通道板、15-阳极输出窗、16-真空腔体。

具体实施方式

参照图1，对本发明的技术方案进行说明：本发明包含：紫外光源1、阴极输入窗2、外置环形磁铁3、阴极装配环4、导向柱5、阳极装配环6、管壳7、导向筒8、观察窗9、耦合成像镜头10、CCD11、内置环形磁铁12、旋转筒13、微通道板14、阳极输出窗15、真空腔体16。

其中，阴极输入窗2、阴极装配环4、导向柱5、管壳7、导向筒8、阳极装配环6、旋转筒13、微通道板14、阳极输出窗15、内置环形磁铁12安装在真空腔体16内，紫外光源1、观察窗9、耦合成像镜头10、CCD11安装在真空腔体16外，装置工作在真空状态下，阴极装配环4的C面与阴极输入窗2边缘的A面(Ni-Cr金属膜层)通过导电胶相连，保证连接牢固并且具有导电性，通过旋转外置环形磁铁3利用磁铁的吸附作用，使内置环形磁铁12同步旋转，带动带动旋转筒13旋转，使导向柱5沿导向筒8的直槽M上下垂直移动，从而使阴极装配环4、阴极输入窗2也产生上下垂直移动，经设计计算，外置环形磁铁3的旋转角度与阴极输入窗2上下垂直移动距离相对应，在真空腔体16外部标定好外置环形磁铁3的旋转角度刻度，读取外置环形磁铁3旋转的角度值，就可以得到阴极输入窗2与微通道板14之间的近贴距离数值；

管壳7通过支架固定在真空腔体16内部，位置固定不动；

微通道板14通过弹簧压圈安装在管壳7的金属环7a与金属环7c之间，位置固定不动；

旋转外置环形磁铁3利用磁铁的吸附作用，使内置环形磁铁12同步旋转，带动带动旋转筒13旋转，使导向柱5沿导向筒8的直槽M上下垂直移动，从而使阳极装配环6、阳极输入窗15也产生上下垂直移动，经设计计算，外置环形磁铁3的旋转角度与阳极输入窗15上下垂直移动距离相对应，在真空腔体16外部标定好外置环形磁铁3的旋转角度刻度，读取外置环形磁铁3旋转的角度值，就可以得到阳极输入窗15与微通道板14之间的近贴距离数值；

真空腔体16的底部设计了一个观察窗9，位置正对着阳极输出窗15，观察窗9与耦合成像镜头10通过夹具相连接，镜头末端与CCD11相连接，通过观察CCD11在显示器上阴极输入窗2所成的分辨力图案像，判读分辨力图案组数值就获得了未改变像增强器近贴距离或调整了近贴距离后的分辨力指标。

参照图1，所述的紫外光源1用支架安装在真空腔体16的正上方，紫外光通过真空腔体16上端面的透射窗口进入，照射在阴极输入窗2上，紫外光源1型号为德国生产的Heraeus XD 5665-10J-80133124氘灯。

参照图2，所述的阴极输入窗2是在石英窗的基底B面上镀制厚度100nm～200nm的铬膜，用光刻、腐蚀的方法在隔膜上做出具有分辨力的图案，最后在图案区域上面镀制厚度8nm～10nm的金(Au)膜作为阴极材料，阴极输入窗2上的光电阴极为金阴极，边缘A面镀有Ni-Cr金属导电膜层。

参照图3，阴极装配环4的C面涂覆薄层导电胶，保证与阴极输入窗2导通和连接可靠，D面有螺纹孔P，导向柱5穿过导向筒8的直槽M与阴极装配环4牢固连接连为一体，通过旋转和上下移动，进而可以调节阴极输入窗2与微通道板14之间的距离，导电胶为SEM导电胶731。

参照图4，阳极装配环6的E面涂覆薄层导电胶，保证与阳极输入窗15导通和连接可靠，F面有螺纹孔P，导向柱5穿过导向筒8的直槽M与阳极装配环6牢固连接连为一体，通过旋转和上下垂直移动，进而可以调节阳极输入窗15与微通道板14之间的距离，导电胶为SEM导电胶731。

参照图5，管壳7为圆形，是由金属环7a、金属环7c与陶瓷环7b、陶瓷环7d钎焊而成的筒状壳体，所用金属材料为可阀合金或不锈钢，陶瓷环材料为95％氧化铝陶瓷，微通道板14通过弹簧压圈安装在管壳7的金属环4a与金属环4c之间，位置固定不动，金属环7a是微通道板14的电压输入端，金属环7c是微通道板14的电压输出端。

参照图6，导向筒8为圆柱形金属筒，材料为不锈钢，在圆柱面上有两条直槽M，直槽M的长度尺寸限制阴极装配环4及阴极输入窗2或阳极装配环6及阳极输入窗15上下垂直移动的行程范围，直槽M的宽度尺寸与导向柱5导向部分的直径尺寸为配合尺寸，导向筒8的外径与旋转筒13的内径为小间隙配合，当旋转筒13在磁铁吸附力的作用下，与外置环形磁铁3同步转动时，推动导向柱5在导向筒8的两条直槽M中上下垂直移动，带动阴极装配环4及阴极输入窗2或阳极装配环6及阳极输入窗15上下垂直移动，达到精密调节阴极输入窗2与微通道板14、阳极输入窗15与微通道板14之间近贴距离的目的。

参照图7，旋转筒13为圆柱形金属筒，材料为可伐合金，在内圆柱面上有一条贯通的螺旋槽N，旋向为左旋，螺旋槽N的宽度尺寸与导向柱5导向部分的直径尺寸为配合尺寸，旋转筒13的的内径与导向筒8外径为小间隙配合，当旋转筒13在磁铁吸附力的作用下，与外置环形磁铁3同步转动时，推动导向柱5在导向筒8的两条直槽M中上下垂直移动，带动阴极装配环4及阴极输入窗2或阳极装配环6及阳极输入窗15上下垂直移动，利用螺旋槽N螺旋角的自锁作用，使上下垂直移动的距离准确无偏差，达到精密调节阴极输入窗2与微通道板14、阳极输入窗15与微通道板14之间近贴距离的目的。

参照图8，阳极输出窗15的H面制作有荧光屏，其主要特征是，阳极输出窗15的G面涂覆薄层银膏延伸至阳极输出窗15的H面边缘与阳极装配环6的E面通过导电胶相连，保证连接牢固并且具有导电性，银膏为像增强器制作常用辅料，主要成份为99.99％纯银和粘接剂等。

参照图1、2、3、4、5、6、7及8，本发明工作条件为暗室条件，其操作测试流程为：

A，阴极装配环4的C面涂覆薄层导电胶，与阴极输入窗2的A面相连接，保证导通和连接可靠，将导向柱5穿过导向筒8的直槽M与阴极装配环4的D面上的螺孔P连接牢固，连接连为一体，旋转筒13套入导向筒8外圆柱面，使导向柱5插入旋转筒13内表面的螺旋槽N中，再装上内置环形磁铁12，保证与旋转旋入筒13吸附牢固后，装入真空腔体16内上部，真空腔体16连接抽真空排气泵；

B：微通道板14通过弹簧压圈安装在管壳7的金属环4a与金属环4c之间，位置固定不动，管壳7通过支架固定在真空腔体16内部，位置固定不动；其中阴极输入窗2至微通道板14的近贴距离调节范围为0.2mm～0.07mm；

C：阳极输出窗15的G面与阳极装配环6的E面通过导电胶相连，保证连接牢固并且具有导电性，将导向柱5穿过导向筒8的直槽M与阳极装配环6的F面上的螺孔P连接牢固，连接连为一体，旋转筒13套入导向筒8外圆柱面，使导向柱5插入旋转筒13内表面的螺旋槽N中，再装上内置环形磁铁12，保证与旋转旋入筒13吸附牢固后，装入真空腔体16内下部，阳极输出窗15至微通道板14的近贴距离调节范围为0.7mm～0.55mm；

D：真空腔体16底部安装观察窗9，耦合成像镜头10、CCD11安装至观察窗9下方，正对阳极输出窗15，其中耦合成像镜头10末端用夹具与CCD11连接，同时前端连接观察窗9，按先后顺序开启连接真空腔体16的机械泵和分子泵进行抽真空排气，其型号分别为MVP070-3和HiPace400PMP0424，然后再打开紫外光源1，紫外光源1的型号为德国生产Heraeus XD5665-10J-80133124氘灯；

E：当真空腔体16的真空度优于1×10^-5mbar时，接通外置高压电源，设置工作电压，阴极输入窗2对微通道板14输入端的电压不高于-200Vdc，微通道板14输出端对其输入端施加电压为800Vdc，微通道板14输出端与阳极输出窗15之间电压不高于6KVdc；

F：旋转真空腔体16上部、下部的外置环形磁铁3，上下垂直移动精确调节阴极输入窗2与微通道板14、阳极输出窗15与微通道板14的近贴距离，按照在真空腔体16外部标定好的外置环形磁铁3旋转角度刻度，读取外置环形磁铁3旋转的角度值，就可以得到阴极输入窗2与微通道板14、阳极输出窗15与微通道板14之间的近贴距离数值，观察由CCD11输出并显示的阴极输入窗2所成的分辨力图案像，读出分辨力图案的组数值就获得了像增强器近贴距离对应的分辨力指标值，重复步骤F，就可以获得最佳的近贴距离或接近最佳近贴距离的分辨力指标，外置环形磁铁3与真空腔体16的接触面粘贴有高压隔离防护垫片，磁铁极性与内置环形磁铁12相同。

本发明在像增强器近贴距离实际应用中，选取一些生产中分辨力高于常规水平(50lp/mm～60lp/mm)的像增强器，解剖测量其近贴距离，对测量值经过处理设定为最佳近贴距离范围，在装置中加以模拟，通过精确调节近贴距离，再通过测试实际能达到的分辨力指标水平。保证了像增强器达到最佳近贴距离或接近最佳近贴距离，从应用效果看，分辨力指标稳定提高了20％左右，因此该装置和方法是可靠的。

Claims (11)

1.一种模拟像增强器近贴距离的参数测试装置，其特征在于，该装置包含：

真空腔体(16)；

设置在所述真空腔体(16)内部的阴极输入窗(2)、阴极装配环(4)、导向柱(5)、阳极装配环(6)、管壳(7)、导向筒(8)、观察窗(9)、内置环形磁铁(12)、旋转筒(13)、微通道板(14)及阳极输出窗(15)；

设置在所述真空腔体(16)外部的紫外光源(1)、外置环形磁铁(3)、耦合成像镜头(10)及CCD(11)；

所述阴极装配环(4)的C面与阴极输入窗(2)边缘的A面相连，阴极装配环(4)的D面有螺纹孔，导向柱(5)穿过导向筒(8)的直槽(M)与阴极装配环(4)连为一体，旋转筒(13)套入导向筒(8)外圆柱面，使导向柱(5)插入旋转筒(13)内表面的螺旋槽(N)中，再装上内置环形磁铁(12)后，装入真空腔体(16)内的上部；

所述外置环形磁铁(3)在磁铁吸附力的作用下，带动旋转筒(13)旋转，并带动导向柱(5)沿导向筒(8)的直槽(M)上下垂直移动，使阴极输入窗(2)、阴极装配环(4)也产生上下垂直移动；

微通道板(14)通过弹簧压圈安装在管壳(7)的金属环(7a)与金属环(7c)之间，管壳(7)通过支架固定在真空腔体(16)内部，管壳(7)与微通道板(14)在真空腔体(16)内位置固定不动；

所述阳极装配环(6)的F面设置有螺纹孔，导向柱(5)穿过导向筒(8)的直槽(M)与阳极装配环(6)连为一体，旋转旋入筒(13)套入导向筒(8)外圆柱面，使导向柱(5)插入旋转筒(13)内表面的螺旋槽(N)中，再装上内置环形磁铁(12)后，装入真空腔体(16)内的下部；

所述外置环形磁铁(3)，在磁铁吸附力的作用下，带动旋转筒(13)旋转，带动导向柱(5)沿导向筒(8)的直槽(M)上下垂直移动，使阳极输出窗(15)、阳极装配环(6)也产生上下垂直移动；

所述真空腔体(16)的底部设计了一个观察窗(9)，位置正对着阳极输出窗(15)，观察窗(9)与耦合成像镜头(10)通过夹具相连接，镜头末端与CCD(11)相连接，通过观察CCD(11)在显示器上阴极输入窗(2)所成的分辨力图案的像。

2.根据权利要求1所述的模拟测试装置，其特征在于：

所述外置环形磁铁(3)的旋转角度与阴极输入窗(2)上下垂直移动距离相对应，在真空腔体(16)外部标定好外置环形磁铁(3)的旋转角度刻度，读取外置环形磁铁(3)旋转的角度值，就可以得到阴极输入窗(2)与微通道板(14)之间的近贴距离数值。

3.根据权利要求2所述的模拟测试装置，其特征在于：

所述外置环形磁铁(3)的旋转角度与阳极输出窗(15)上下垂直移动距离相对应，在真空腔体(16)外部标定好外置环形磁铁(3)的旋转角度刻度，读取外置环形磁铁(3)旋转的角度值，就可以得到阳极输出窗(15)与微通道板(14)之间的近贴距离数值。

4.根据权利要求3所述的模拟测试装置，其特征在于：

所述阴极输入窗(2)是在石英玻璃窗的基底上镀制100nm～200nm厚的铬膜，用光刻、腐蚀的方法在隔膜上做出具有分辨力线对图案，最后在图案区域上面镀制8nm～10nm厚的(Au)金膜作为阴极材料，阴极输入窗(2)上的光电阴极为金阴极。

5.根据权利要求4所述的模拟测试装置，其特征在于：

所述阴极装配环(4)的C面与阴极输入窗(2)边缘对照Ni-Cr金属膜层的A面通过导电胶相连。

6.根据权利要求5所述的模拟测试装置，其特征在于：

所述管壳(7)为圆形，是由金属环(7a)、金属环(7c)、与陶瓷环(7b)、陶瓷环(7d)钎焊而成的筒状外壳，管壳(7)通过支架固定在真空腔体(16)内部，位置固定不动。

7.根据权利要求6所述的模拟测试装置，其特征在于：

所述微通道板(14)通过弹簧压圈安装在管壳(7)的金属环(7a)与金属环(7c)之间，位置固定不动。

8.根据权利要求7所述的模拟测试装置，其特征在于：

所述阳极输出窗(15)的G面涂覆薄层银膏与阳极装配环(6)的E面通过导电胶相连。

9.根据权利要求8所述的模拟测试装置，其特征在于：

所述外置环形磁铁(3)与真空腔体(16)的接触面粘贴有高压隔离防护垫片，磁铁极性与所述内置环形磁铁(12)相同。

10.根据权利要求9所述的模拟测试装置，其特征在于：

所述阳极输出窗(15)H面制作有荧光屏，其G面涂覆的银膏延伸至H面的边缘。

11.一种模拟像增强器近贴距离的参数测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤A，装配好如权利要求10所述的像增强器近贴距离参数的模拟测试装置；真空腔体(16)连接抽真空排气泵；

步骤B，旋转真空腔体(16)上部的外置环形磁铁(3)，外置环形磁铁(3)与内置环形磁铁(12)、旋转筒(13)三者互相吸合，在磁铁吸附力的作用下，带动旋转筒(13)旋转，并带动导向柱(5)沿导向筒(8)的直槽(M)上下垂直移动，使阴极输入窗(2)、阴极装配环(4)也产生上下垂直移动，调节阴极输入窗(2)至微通道板(14)的近贴距离,读取外置环形磁铁(3)旋转的角度值，其调节范围为0.2mm～0.07mm；

步骤C，旋转真空腔体(16)下部的外置环形磁铁(3)，外置环形磁铁(3)与内置环形磁铁(12)、旋转筒(13)三者互相吸合，在磁铁吸附力的作用下，带动旋转筒(13)旋转，并带动导向柱(5)沿导向筒(8)的直槽(M)上下垂直移动，使阳极输入窗(15)、阳极装配环(6)也产生上下垂直移动，调节阳极输出窗(15)至微通道板(14)的近贴距离，读取外置环形磁铁(3)旋转的角度值，其调节范围为0.7mm～0.55mm；

步骤D，按先后顺序开启连接真空腔体(16)的机械泵和分子泵进行抽真空排气，然后再打开紫外光源(1)；

步骤E，当真空腔体(16)的真空度优于1×10^-5mbar时，接通外置高压电源，设置工作电压，阴极输入窗(2)对微通道板(14)输入端的电压不高于-200Vdc，微通道板(14)输出端对其输入端施加电压为800Vdc，微通道板(14)输出端与阳极输出窗(15)之间电压不高于6KVdc；

步骤F，旋转真空腔体(16)上部、下部的外置环形磁铁(3)，上下垂直移动精确调节阴极输入窗(2)与微通道板(14)、阳极输出窗(15)与微通道板(14)之间的近贴距离，按照在真空腔体(16)外部标定好的外置环形磁铁(3)旋转角度刻度，读取外置环形磁铁(3)旋转的角度值，就可以得到阴极输入窗(2)与微通道板(14)、微通道板(14)与阳极输出窗(15)之间的近贴距离数值，观察由CCD(11)输出并显示的阴极输入窗(2)所成的分辨力案像，读出分辨力图案的组数值就获得了像增强器近贴距离对应的分辨力指标值；

步骤G，重复步骤F，就可以获得最佳的近贴距离或接近最佳近贴距离的分辨力指标。

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