CN112349613B - 一种硅片清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种硅片清洗装置，包括：箱体、驱动电机、搅拌装置、插片箱、第一U型水管、第二U型水管、第一支撑板、第二支撑板、滤板、输水管、储水筒、水泵、集水间、进水口和出水口；其特征在于：所述箱体内连接有水平的所述第一支撑板和第二支撑板，且所述第一支撑板位于所述第二支撑板的上侧，所述第一支撑板和所述第二支撑板的上端均连接有四个所述插片箱；所述驱动电机设置于所述箱体的外壁的顶部。
Description
技术领域
本发明一般涉及插片清洗设备技术领域，尤其涉及一种硅片清洗装置。
背景技术
随着世界经济的不断发展，现代化建设对高效能源需求不断增长。光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的一种主要能源，日益受到世界各国的重视并得到大力发展。以硅片为主体的电池是太阳能电池领域的主流产品，其所需的硅片是通过对方形或准方形的硅锭或硅棒通过切片加工后获得的。半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，但目前的清洗机自动化程度不高,而且现有的清洗装置存在体积大、价格高昂、普适性低等问题。
发明内容
为了克服上述现有技术的不足，本发明提供一种硅片清洗装置。
本发明实施的技术方案是：一种硅片清洗装置，包括：箱体、驱动电机、搅拌装置、插片箱、第一U型水管、第二U型水管、第一支撑板、第二支撑板、滤板、输水管、储水筒、水泵、集水间、进水口和出水口；
所述箱体内连接有水平的所述第一支撑板和第二支撑板，且所述第一支撑板位于所述第二支撑板的上侧，所述第一支撑板和所述第二支撑板的上端均连接有四个所述插片箱；
所述搅拌装置共有四个，分别设置于所述箱体内壁的顶端有两个所述搅拌装置，另两个所述搅拌装置设置于所述第一支撑板的下侧；
所述驱动电机设置于所述箱体的外壁顶部，且与所述搅拌装置电连接；
所述第一支撑板上侧的箱体侧壁上设有所述进水口，所述进水口下端的所述箱体侧壁上设有第一U型水管，所述第一U型水管的两端分别设在所述第一支撑板的两侧并与所述箱体内部连通设置，所述箱体远离所述第一U型水管的侧壁上设有第二U型水管，所述第二U型水管的两端分别设在第二支撑板的两侧并与所述箱体内部连通设置；
所述集水间设置于所述第二支撑板的下端；所述滤板共有两个，分别水平间隔的设置于所述集水间的内部；
所述出水口设置于所述集水间的外壁上，所述出水口与所述储水筒连接，所述储水筒的上端设置有所述水泵，所述输水管连接所述水泵和所述进水口；
所述第一U型水管和所述第二U型水管上连接有控制阀。
相对于现有技术而言，本发明的有益效果是：一种硅片清洗装置，能够满足清洗的使用需求，结构简单，方便实用，提高了清洗的效率，并达到了节约用水的效果。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为一种硅片清洗装置的示意图。
图中标号：1.箱体 2.驱动电机 3.搅拌装置 4.插片箱 5.第一U型水管 6.第二U型水管 7.第一支撑板 8.第二支撑板 9.滤板 10.输水管 11.储水筒 12.水泵 13.集水间14.进水口 15.出水口。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
请参考图1，一种硅片清洗装置，包括：箱体1、驱动电机2、搅拌装置3、插片箱4、第一U型水管5、第二U型水管6、第一支撑板7、第二支撑板8、滤板9、输水管10、储水筒11、水泵12、集水间13、进水口14和出水口15；
所述箱体1内连接有水平的所述第一支撑7板和第二支撑板8，且所述第一支撑板7位于所述第二支撑板8的上侧，所述第一支撑板7和所述第二支撑板8的上端均连接有四个所述插片箱4；
所述搅拌装置3共有四个，分别设置于所述箱体1内壁的顶端有两个所述搅拌装置3，另两个所述搅拌装置3设置于所述第一支撑板7的下侧；
所述驱动电机2设置于所述箱体1的外壁顶部，且与所述搅拌装置3电连接；
所述第一支撑板7上侧的箱体侧壁上设有所述进水口14，所述进水口14下端的所述箱体1侧壁上设有第一U型水管5，所述第一U型水管5的两端分别设在所述第一支撑板7的两侧并与所述箱体1内部连通设置，所述箱体1远离所述第一U型水管5的侧壁上设有第二U型水管6，所述第二U型水管6的两端分别设在第二支撑板8的两侧并与所述箱体1内部连通设置；
所述集水间13设置于所述第二支撑板8的下端；所述滤板9共有两个，分别水平间隔的设置于所述集水间13的内部；
所述出水口15设置于所述集水间13的外壁上，所述出水口15与所述储水筒11连接，所述储水筒11的上端设置有所述水泵12，所述输水管10连接所述水泵12和所述进水口15；
所述第一U型水管5和所述第二U型水管5上连接有控制阀。
本发明的工作原理是：将干净的水加入储水筒中，通过进水口进去箱体，使用过的水进入集水间，通过过滤变成干净的水存入储水筒，再进行循环利用。
以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。
Claims (3)
1.一种硅片清洗装置，其特征在于，包括：
箱体；
所述箱体内连接有水平的第一支撑板和第二支撑板，且所述第一支撑板位于所述第二支撑板的上侧，所述第一支撑板和所述第二支撑板的上端均连接有四个插片箱；
搅拌装置，共有四个，分别设置为 所述箱体内壁的顶端有两个所述搅拌装置，另两个所述搅拌装置设置于所述第一支撑板的下侧；
所述第一支撑板上侧的箱体侧壁上设有进水口，所述进水口下端的所述箱体侧壁上设有第一U型水管，所述第一U型水管的两端分别设在所述第一支撑板的两侧并与所述箱体内部连通设置，所述箱体远离所述第一U型水管的侧壁上设有第二U型水管，所述第二U型水管的两端分别设在第二支撑板的两侧并与所述箱体内部连通设置；
集水间，设置于所述第二支撑板的下端；
滤板，共有两个，分别水平间隔的设置于所述集水间的内部；
出水口，设置于所述集水间的外壁上，所述出水口与储水筒连接，所述储水筒的上端设置有水泵；
驱动电机，所述驱动电机设置于所述箱体的外壁顶部，且与所述搅拌装置电连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗装置，其特征在于，包括输水管，所述输水管连接所述水泵和所述进水口。
3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗装置，其特征在于，所述第一U型水管和所述第二U型水管上连接有控制阀。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201910719580.2A CN112349613B (zh) | 2019-08-06 | 2019-08-06 | 一种硅片清洗装置 |
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| CN201910719580.2A CN112349613B (zh) | 2019-08-06 | 2019-08-06 | 一种硅片清洗装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN112349613A CN112349613A (zh) | 2021-02-09 |
| CN112349613B true CN112349613B (zh) | 2022-06-21 |
Family
ID=74366280
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201910719580.2A Active CN112349613B (zh) | 2019-08-06 | 2019-08-06 | 一种硅片清洗装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN112349613B (zh) |
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