CN112343853A - 分子泵高速轴承油润滑结构 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种分子泵高速轴承油润滑结构，包括主轴、轴承座、第一油棉、第二油棉以及第三油棉，所述主轴的端部安装在轴承座的内部且主轴和轴承座之间依次形成相连通的第一容纳空间、第二容纳空间、第三容纳空间；所述轴承座上沿第二容纳空间的周向布置有多个连接第一容纳空间和第三容纳空间的导油孔，第二容纳空间用于容纳轴承且轴承套装在主轴上，第一油棉安装在第一容纳空间中，第二油棉、第三油棉都安装在第三容纳空间中，本发明在维护保养时只需将盖板打开，添加适量的润滑油或者将油棉进行更换，无需其它操作，且不破坏高速转子的安装精度和动平衡等，结构简单紧凑，散热效果好，可靠性高、寿命长、维护方便。

Description

分子泵高速轴承油润滑结构

技术领域

本发明涉及真空获得设备领域，具体地，涉及一种分子泵高速轴承油润滑结构。

背景技术

分子泵作为一种高真空获得设备，具有抽速大、极限真空高、气氛洁净、振动小、可以连续工作等优点，广泛应用于半导体、新能源、航空航天、分析仪器、镀膜、科研等领域。常规的油润滑分子泵不可以进行任意角度安装，需要任意角度安装的分子泵，一般采用脂润滑分子泵或者价格非常昂贵的磁悬浮分子泵。分子泵，其工作转速一般高达每分钟几万转，是一种高转速、高精度的设备。因此，分子泵对轴承的润滑性能要求较高。如果润滑条件不充分，在高速运转的情况下加剧轴承的磨损，导致其故障，其寿命大大降低。另外，如果润滑油不及时得到补充，也会导致轴承失效，以致提早出现故障，寿命短。

目前，现有的分子泵润滑结构一般采用脂润滑轴承或者油杯润滑。采用脂润滑轴承，其缺点在于更换油脂操作不方便，需要全部拆下来后再进行动平衡；采用油杯润滑，其缺点在于散热不好，不能任意角度安装。

专利文献CN201461519U公开了一种分子泵供油锥,包括供油锥本体(1)、成型在所述供油锥本体(1)长度方向上供润滑油流动的通孔(2)以及在所述供油锥本体(1)上与所述分子泵下轴承(8)对应的位置的上部设有的自所述供油锥本体(1)内腔穿透所述供油锥本体(1)外壁的下轴承润滑孔(3),在所述供油锥本体(1)上与所述分子泵下轴承(8)对应的位置的下部还设有自所述供油锥本体(1)内腔穿透所述供油锥本体(1)外壁的泄油孔(4)，但该设备仍然存在润滑不充分的缺陷。

发明内容

针对现有技术中的缺陷，本发明的目的是提供一种分子泵高速轴承油润滑结构。

根据本发明提供的一种分子泵高速轴承油润滑结构，包括主轴、轴承座、第一油棉、第二油棉以及第三油棉；

所述主轴的端部安装在所述轴承座的内部且所述主轴和轴承座之间依次形成相连通的第一容纳空间、第二容纳空间、第三容纳空间；

所述轴承座上沿第二容纳空间的周向布置有多个连接第一容纳空间和第三容纳空间的导油孔；

所述第二容纳空间用于容纳轴承且所述轴承套装在所述主轴上；

所述第一油棉安装在第一容纳空间中，所述第二油棉、第三油棉都安装在第三容纳空间中。

优选地，所述主轴的端部安装有锥形螺母，所述锥形螺母用于固定所述轴承且所述锥形螺母延伸到第三容纳空间中与所述第二油棉接触。

优选地，所述锥形螺母上设置有导油槽。

优选地，所述锥形螺母用Cr马氏体不锈钢，表面进行渗氮处理。

优选地，所述第二油棉的中心采用花瓣式结构并与所述锥形螺母点接触。

优选地，所述第一油棉、第二油棉、第三油棉均采用纯羊毛和化纤合成的混合毛毡材料。

优选地，所述第三油棉设置在第二油棉的一侧或设置在第二油棉的两侧，所述第三油棉与所述锥形螺母间隙布置。

优选地，所述轴承座远离主轴的一端安装有盖板，所述盖板与轴承座之间设置有密封圈。

优选地，所述轴承采用开式结构，轴承的两侧不带防尘盖。

优选地，所述轴承座采用铸铁并经调质、镀铬处理。

与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：

1、本发明通过在轴承座内部设置多个油棉并设置导油孔，实现了转动设备的有效润滑，在维护保养时，只需将盖板打开，添加适量的润滑油或者将油棉进行更换，无需其它操作，不破坏高速转子的安装精度和动平衡等，弥补了现有结构的不足，且具有结构简单、紧凑，散热效果好，可靠性高、寿命长、维护方便等优点。

2、本发明中第二油棉的中心采用花瓣式结构，与锥形螺母点接触，接触面积小，温度低，第三油棉与锥形螺母间隙布置，能够使第三油棉储存一定量的润滑油，形成了连续润滑的效果。

3、本发明第一油棉、第二油棉、第三油棉均采用纯羊毛和化纤合成的混合毛毡材料，具有吸油性好、耐高温、耐磨、不易变形和方便冲压成型等优点，使用寿命长且方便更换。

4、本发明轴承座采用铸铁并经调质、镀铬处理，具有高阻尼、吸振效果好、防锈和表面耐磨等优良性能。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明的结构示意图。

图中示出：

主轴1 第一油棉5 第三油棉8

轴承座2 轴承6 盖板9

密封圈3 第二油棉7 导油孔10

锥形螺母4

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本发明，但不以任何形式限制本发明。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变化和改进。这些都属于本发明的保护范围。

本发明提供了一种分子泵高速轴承油润滑结构，如图1所示，包括主轴1、轴承座2、第一油棉5、第二油棉7以及第三油棉8，所述主轴1的端部安装在所述轴承座2的内部且所述主轴1和轴承座2之间依次形成相连通的第一容纳空间、第二容纳空间、第三容纳空间，所述轴承座2上沿第二容纳空间的周向布置有多个连接第一容纳空间和第三容纳空间的导油孔10，导油孔10用于将第一油棉5上多余的油回流到第二油棉7和第三油棉8上，所述第二容纳空间用于容纳轴承6且所述轴承6套装在所述主轴1上；所述第一油棉5安装在第一容纳空间中，所述第二油棉7、第三油棉8都安装在第三容纳空间中。所述轴承座2远离主轴1的一端安装有盖板9，所述盖板9与轴承座2之间设置有密封圈3，用于防止润滑油溢出到其它地方。

进一步地，所述第一油棉5用于经过主轴1的甩油结构吸收轴承6溢出的润滑油，并通过轴承座2上的多个导油孔10，将多余的油回流到第二油棉7和第三油棉8上，在具体使用时，应根据轴承6的大小和供油量的不同，灵活设置第一油棉5的大小、数量和厚薄，以匹配轴承6的正常润滑。

在一个具体地实施例中，所述第二油棉7的中心采用花瓣式结构，与所述锥形螺母4点接触，接触面积小，温度低，在实际应用中，根据轴承6的大小和供油量的不同，第二油棉7的大小、数量、厚薄和接触形式应灵活设置，以匹配设备的润滑效果。

具体地，所述主轴1的端部安装有锥形螺母4，所述锥形螺母4用于固定所述轴承6，所述锥形螺母4延伸到第三容纳空间中与所述第二油棉7接触，锥形螺母4形成圆锥形甩油结构，该结构用于将轴承6处溢出的油进行高速旋转后甩到第一油棉5上。

在一个优选例中，所述锥形螺母4上设置有导油槽，所述导油槽用于给所述轴承6供油，第二油棉7上的润滑油能够通过导油槽进入到轴承6的内部。

在具体应用中，为了使锥形螺母4拆卸方便、固定牢固，锥形螺母4靠近轴承6一侧的内螺纹旋向应根据轴承的旋向选择左旋还是右旋，以防止在轴承高速转动中脱落，锥形螺母4的另一侧设有内六角或者其它类型凹槽，用于工具的施力，方便安装和拆卸。

所述锥形螺母4采用2Cr13马氏体不锈钢，表面进行渗氮处理，渗氮后的马氏体不锈钢得到高的表面硬度、耐磨性、疲劳强度、抗咬合性，并降低缺口敏感性，增加设备的使用寿命。

具体地，所述第一油棉5、第二油棉7、第三油棉8均采用纯羊毛和化纤合成的混合毛毡材料，具有吸油性好、耐高温、耐磨、不易变形和方便冲压成型等优点，使用寿命长，方便更换。

所述第三油棉8与所述锥形螺母4间隙布置，能够使第三油棉8储存一定量的润滑油。在具体布置时，可以将所述第三油棉8设置在第二油棉7的一侧，也可以将第三油棉8的数量设置两个且两个第三油棉8分别设置在第二油棉7的两侧，形式不限，具体地应根据应用场景合理选择。

所述轴承6采用开式结构，轴承6的两侧不带防尘盖，方便润滑油的流动，所述轴承6内使用的润滑油采用分子泵专用润滑油，具有良好的润滑性能和较低的饱和蒸气压。

所述轴承座2采用铸铁并经调质、镀铬处理，具有高阻尼、吸振效果好、防锈和表面耐磨等优良性能。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

以上对本发明的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变化或修改，这并不影响本发明的实质内容。在不冲突的情况下，本申请的实施例和实施例中的特征可以任意相互组合。

Claims (10)

1.一种分子泵高速轴承油润滑结构，其特征在于，包括主轴(1)、轴承座(2)、第一油棉(5)、第二油棉(7)以及第三油棉(8)；

所述主轴(1)的端部安装在所述轴承座(2)的内部且所述主轴(1)和轴承座(2)之间依次形成相连通的第一容纳空间、第二容纳空间、第三容纳空间；

所述轴承座(2)上沿第二容纳空间的周向布置有多个连接第一容纳空间和第三容纳空间的导油孔(10)；

所述第二容纳空间用于容纳轴承(6)且所述轴承(6)套装在所述主轴(1)上；

所述第一油棉(5)安装在第一容纳空间中，所述第二油棉(7)、第三油棉(8)都安装在第三容纳空间中。

2.根据权利要求1所述的分子泵高速轴承油润滑结构，其特征在于，所述主轴(1)的端部安装有锥形螺母(4)，所述锥形螺母(4)用于固定所述轴承(6)且所述锥形螺母(4)延伸到第三容纳空间中与所述第二油棉(7)接触。

3.根据权利要求2所述的分子泵高速轴承油润滑结构，其特征在于，所述锥形螺母(4)上设置有导油槽。

4.根据权利要求2所述的分子泵高速轴承油润滑结构，其特征在于，所述锥形螺母(4)用2Cr13马氏体不锈钢，表面进行渗氮处理。

5.根据权利要求2所述的分子泵高速轴承油润滑结构，其特征在于，所述第二油棉(7)的中心采用花瓣式结构并与所述锥形螺母(4)点接触。

6.根据权利要求1所述的分子泵高速轴承油润滑结构，其特征在于，所述第一油棉(5)、第二油棉(7)、第三油棉(8)均采用纯羊毛和化纤合成的混合毛毡材料。

7.根据权利要求1所述的分子泵高速轴承油润滑结构，其特征在于，所述第三油棉(8)设置在第二油棉(7)的一侧或设置在第二油棉(7)的两侧，所述第三油棉(8)与所述锥形螺母(4)间隙布置。

8.根据权利要求1所述的分子泵高速轴承油润滑结构，其特征在于，所述轴承座(2)远离主轴(1)的一端安装有盖板(9)，所述盖板(9)与轴承座(2)之间设置有密封圈(3)。

9.根据权利要求1所述的分子泵高速轴承油润滑结构，其特征在于，所述轴承(6)采用开式结构，轴承(6)的两侧不带防尘盖。

10.根据权利要求1所述的分子泵高速轴承油润滑结构，其特征在于，所述轴承座(2)采用铸铁并经调质、镀铬处理。

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