CN112324643A - 一种低温罐车抽真空方法及抽真空装置 - Google Patents

Abstract

本发明公布了一种低温罐车抽真空方法及抽真空装置，属于抽真空领域，包括外箱体，所述外箱体内设置内腔，所述内腔内固定设置密封箱体，所述密封箱体内设置的吸气管道口上连接主管道，所述密封箱体内设置若干个隔间，所述密封箱体的侧面上固定连接控制器，便于快速的进行定位检修，同时密封的隔间，能减少因为气密性的问题而带来的抽真空时间长的问题，通过设置备用吸泵，使在抽真空的主要部件不能正常工作和使用的时候，能继续对罐体内部进行抽真空的操作，在吸入口的压力小于排出口的压力时，控制进气控制阀打开，向罐体被充入置换气体，能大幅减少进入到罐体真空夹层内的水汽。

Description

一种低温罐车抽真空方法及抽真空装置

技术领域

本发明属于抽真空领域，具体为一种低温罐车抽真空方法及抽真空装置。

背景技术

低温罐车主要运输液氮、液氧、液氩、LNG等低温介质，随着社会经济的快速发展，对低温运输介质的需求量越来越多，低温介质在运输过程应尽可能地保持液态，一是防止汽化带来的压力升高，二是汽化后压力升高需进行安全排放，造成能源资源的浪费，为维持低温介质液态，必须做好罐体的隔热保温，利用夹层设置真空层是目前最好的方式，真空层的真空度检测时每次罐车定期检验的重点检验项目之一。其中《移动式压力容器安全技术监察规程》（TSGR0005）、《压力容器定期检验规则》（TSG R7001-密封罐20隔间13）都对真空度检测有明确的规定：对于真空多层的罐体要求真空度≤1.33P主泵A ，否则要进行补抽真空；对真空粉末罐体要求真空度≤1.33P主泵A≤隔间13.3P主泵A，否则要进行补抽真空。

目前，当发现真空度不合格，除了少数几个大型检验机构和使用单位拥有抽真空的设备外，都需第三方提供抽真空的服务，一般是返厂进行真空抽取，车辆返厂费用昂贵，花费的时间也很多。

即使拥有抽取真空设备的单位，其因为罐体容积且需要高真空的环境，抽取高真空对抽取设备的要求非常高，在抽取的过程需要相当长时间，需要耗费非常多的能源。

在抽真空的过程中，如果设备之间产生泄露，也会对抽真空的时间产生影响，特别是在抽高真空的时候，设备在运行时不能随意的停止，但在无法正常的进行抽高真空的时候，低温罐车内的真空夹层会吸取外界的空气，吸入的空气当中含有大量的水分，这会使下一次抽取真空的时间更长。

发明内容

本发明的目的是针对以上问题，提供一种低温罐车抽真空方法及抽真空装置，对安装的设备的气密性进行检测，防止出现泄露，在不停机的情况下，继续进行抽真空，防止回吸的水汽。

为实现以上目的，本发明采用的技术方案是：包括外箱体，所述外箱体内设置内腔，所述内腔内固定设置密封箱体，所述密封箱体内设置的吸气管道口上连接主管道，所述密封箱体内设置若干个隔间，所述密封箱体的侧面上固定连接控制器，所述隔间内设置若干个通过管道进行连通的进行抽真空的泵体和阀体，所述隔间的顶面上密封设置封盖，所述封盖上设置若干个探测所述隔间内压力变化的压力检测器，所述控制器与所述压力检测器之间信号连接；

所述内腔内固定设置备用吸泵，所述备用吸泵与所述控制器之间通过电线连接，所述备用吸泵的吸入口与所述主管道之间通过管道选择性连通，所述备用吸泵的吸入口所连接的管道上连接充气管道，所述充气管道选择性的向所述备用吸泵吸入口处所连接的管道上通入置换气体，所述备用吸泵的吸入口管道与排出口管道之间，设置控制向所述备用吸泵的吸入口管道内通入置换气体的控制机构；

所述主管道上设置干燥机构，所述主管道与所述充气管道之间设置充气机构。

进一步的，所述控制机构包括设置于所述充气管道和所述备用吸泵的吸入口管道之间的进气控制阀，所述内腔上固定设置密封罐，所述密封罐的一头与所述备用吸泵的吸入口管道连通，另一头与所述备用吸泵的排出口管道连通，所述密封罐内滑动设置滑板，所述滑板上连接电源，所述滑板上设置与电源连接的电刷，所述密封罐内设置分别与所述进气控制阀上侧电磁铁的电路相连接的电路接头，所述密封罐的内腔内表面上设置上下两部分分别与所述上下两侧的电路接头相连通的导电涂层。

进一步的，所述干燥机构包括固定设置在所述主管道上的连接座，所述连接座上设置若干个与所述主管道内管内相通的干燥芯棒，所述连接座的外侧面上可拆卸的设置将所述干燥芯棒完全密封的密封滑套。

进一步的，所述充气机构包括可拆卸的固定连接于所述主管道上的阀体，所述阀体内滑动设置阀芯，所述阀芯向所述阀体远离所述主管道的一端延伸贯穿所述阀体端部，所述阀体的端部转动设置与所述阀芯之间螺纹连接的螺纹套管，所述螺纹套管上连接驱动其转动的驱动源，所述驱动源的启动由所述控制器进行控制，所述阀体与所述充气管道之间设置对充入的置换气体进行加热的加热装置。

进一步的，所述主管道上设置真空计，所述主管道上连通设置换向阀，所述换向阀的出口处分别与所述密封箱体的吸气口管道以及所述备用吸泵的吸入口管道相连通，所述控制器与所述换向阀电线连接。

进一步的，所述隔间内设置的阀体包括高真空阀、预抽阀、前级阀、电磁阀、隔离阀、旁通阀，泵体包括主泵、维持泵、前级泵、预抽泵，所述阀体分别与所述隔间通过电线连接。

进一步的，包括以下步骤：

（1）、设备安装：将所述主管道的端部与低温罐体的真空夹层连接，将所述充气管道与供应充气设备连接；

（2）、抽真空前准备：

ⅰ、启动预抽泵，打开电磁阀、前级阀、旁通阀，对管路和主泵腔室进行抽气，维持5-10min；

ⅱ、启动维持泵，打开隔离阀，关闭前级阀、旁通阀,停止预抽泵；

（3）、抽真空：

Ⅰ、预抽真空：ⅰ、启动预抽泵，打开旁通阀、预抽阀、电磁阀, 对低温罐体进行粗抽真空，当真空度达到1000Pa-1200Pa时，打开阀芯，向低温罐体内充入加热的置换气体，停止预抽泵，关闭所有阀门，停止抽真空，保持10-15min；

ⅱ、启动前级泵、预抽泵,打开预抽阀、电磁阀,由前级泵、预抽泵共同抽取真空，当真空度达到6Pa-120Pa时，打开阀芯，继续向低温罐体内充入加热的置换气体，停止前级泵、预抽泵,并关闭所有的阀门，停止抽真空，保持-15-18min；

Ⅱ、抽取高真空：启动主泵、前级泵、预抽泵，打开高真空阀、前级阀、电磁阀，由主泵、前级泵、预抽泵共同抽取真空，直到合格。

进一步的，所述步骤（3）中还包括：在所述压力检测器检测到低压时，所述控制器控制主泵、维持泵、前级泵、预抽泵、高真空阀、预抽阀、前级阀、隔离阀、电磁阀、旁通阀停止工作，并执行以下步骤：

（1）所述换向阀连通所述主管道和所述备用吸泵的吸入口管道，启动所述备用吸泵，所述备用吸泵继续抽真空；

（2）通过在所述密封罐内比较所述备用吸泵的排出口管道的压力和吸入口管道的压力，控制所述进气控制阀打开和关闭：

ⅰ，所述备用吸泵的排出口的管道压力大于吸入口的管道的压力时，所述进气控制阀打开，向所述备用吸泵内的吸入口管道内通入置换气体，

ⅱ，当所述备用吸泵的排出口的管道压力小于吸入口的管道的压力时，所述进气控制阀关闭，所述备用吸泵继续抽真空。

本发明的有益效果：本发明提供了一种低温罐车抽真空方法及抽真空装置，1、通过将抽真空的各个泵体和阀体密封设置在密封箱体内，并单独的对各个隔间内的泵体和阀体进行监控，当隔间内的泵体、阀体以及所连接的管道之间气密性出现问题的时候，便于快速的进行定位检修，同时密封的隔间，也能进一步的保证各个部件之间连接的气密性，从而能减少因为气密性的问题而带来的抽真空时间长的问题。

2、通过设置干燥机构和充气机构，使被抽真空的罐体内的水分更快的排出和被吸收，从而大大减少抽真空的时间。

3、通过设置备用吸泵，使在抽真空的主要部件不能正常工作和使用的时候，能继续对罐体内部进行抽真空的操作，而且在备用吸泵的功率不能达到所需要真空的情况时，减缓水汽向罐体内的进入速度，通过对比备用吸泵的吸入口和排出口的压力，在吸入口的压力小于排出口的压力时，控制进气控制阀打开，向罐体被充入置换气体，能大幅减少进入到罐体真空夹层内的水汽。

附图说明

图1为本发明整体结构示意图；

图2为图1中A- A方向的剖视示意图；

图3为图1中B处的局部放大结构示意图；

图4为图1中C处的局部放大结构示意图；

图5为图1中D处的局部放大结构示意图；

图6为图1中E处的局部放大结构示意图；

图7为图4中F-F方向的剖视示意图；

图8为密封箱体中的泵体和阀体之间连接简图。

图中所述文字标注表示为：10、外箱体；11、内腔；12、密封箱体；13、隔间；14、封盖；15、压力检测器；16、主管道；17、备用吸泵；18、充气管道；19、进气控制阀；20、密封罐；21、滑板；22、电路接头；23、连接座；24、干燥芯棒；25、密封滑套；26、阀体；27、阀芯；28、螺纹套管；29、换向阀；30、控制器；31、真空计；a、主泵；b、维持泵；c、前级泵；d、预抽泵；x、高真空阀；y、预抽阀；z、前级阀；v、隔离阀；u、电磁阀；w、旁通阀。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本发明的保护范围有任何的限制作用。

如说明书附图1-8所示，本发明的具体结构为：一种低温罐车抽真空方法及抽真空装置，包括外箱体10，所述外箱体10内设置内腔11，所述内腔11内固定设置密封箱体12，所述密封箱体12内设置的吸气管道口上连接主管道16，所述密封箱体12内设置若干个隔间13，所述隔间13具体设置六个，所述密封箱体12的侧面上固定连接控制器30，所述隔间13内设置若干个通过管道进行连通的进行抽真空的泵体和阀体，阀体和泵体之间所连接的管道穿过各个所述隔间13之间的隔板，并且相互之间密封连接，所述隔间13的顶面上密封设置封盖14，所述封盖14由设置与所述封盖14和所述密封箱体12之间的螺杆进行固定密封，所述封盖14上设置若干个探测所述隔间13内压力变化的压力检测器15，所述压力检测器15主要检测所述隔间13内的压力是否降低，从而判断所述隔间13内的泵体或者阀体的连接是否有泄露，所述控制器30与所述压力检测器15之间信号连接，所述控制器30负责接受信号和控制内腔11内的部分用电设备的电源通断；

所述内腔11内固定设置备用吸泵17，所述备用吸泵17与所述控制器30之间通过电线连接，所述控制器30控制备用吸泵17的起停，所述备用吸泵17的吸入口与所述主管道16之间通过管道选择性连通，当所述压力检测器15检测到隔间13内的压力降低的时候，将信号传输给控制器30时，主管道16和备用吸泵17的吸入口处所连接的管道相连通，所述备用吸泵17的吸入口所连接的管道上连接充气管道18，所述充气管道18选择性的向所述备用吸泵17吸入口处所连接的管道上通入置换气体，所述备用吸泵17的吸入口管道与排出口管道之间，设置控制向所述备用吸泵17的吸入口管道内通入置换气体的控制机构，控制机构主要是通过所述备用吸泵17的吸入口管道和排出口管道之间的压力，来控制是否向所述备用吸泵17的吸入口管道内通入置换气体，当所述备用吸泵17的吸入口管道的压力小于排出口管道的压力时，向所述备用吸泵17的吸入口管道内通入置换气体；

所述主管道16上设置干燥机构，所述干燥机构主要是吸取水汽，减少抽真空的时间，所述主管道16与所述充气管道18之间设置充气机构，充气机构主要是向被抽罐体的真空夹层内充入置换气体，使被抽罐体的真空夹层内的水汽向外侧排出。

优选的，如说明书附图1、6所示，所述控制机构包括设置于所述充气管道18和所述备用吸泵17的吸入口管道之间的进气控制阀19，所述进气控制阀19属于电磁控制阀，所述内腔11上固定设置密封罐20，所述密封罐20的一头与所述备用吸泵17的吸入口管道连通，另一头与所述备用吸泵17的排出口管道连通，所述密封罐20内滑动设置滑板21，所述滑板21与所述密封罐20的内腔内表面之间设置完全密封的弹性密封膜，密封膜隔绝掉所述滑板21上下两侧的压力，并提供拉动滑板21回弹的弹力，所述滑板21上连接电源，所述滑板21上设置与电源连接的电刷，所述密封罐20内设置分别与所述进气控制阀19上侧电磁铁的电路相连接的电路接头22，所述密封罐20的内腔内表面上设置上下两部分分别与所述上下两侧的电路接头22相连通的导电涂层，通过滑板21上下两侧的压力差推动滑板21在密封罐20内滑动，当滑板21的上侧的压力大于滑板21下侧的压力时，推动滑板21向下运动，使滑板21下侧部分的电路接头22和电源接通，从而使进气控制阀19通电，向备用吸泵17的吸入口管道内通入置换气体，从而防止被抽罐体的真空夹层内在回吸时吸入大量的水汽。

优选的，如说明书附图1、4、7所示，所述干燥机构包括固定设置在所述主管道16上的连接座23，所述主管道16与所述连接座23之间密封连接，所述连接座23上设置若干个与所述主管道16内管内相通的干燥芯棒24，所述干燥芯棒24内填充吸水物质，能快速的吸取空气中的水汽，所述连接座23的外侧面上可拆卸的设置将所述干燥芯棒24完全密封的密封滑套25，当干燥芯棒24达到使用的寿命的时候，通过将密封滑套25拆开，可是将干燥芯棒24从连接座23上取下进行更换。

优选的，如说明书附图1、3所示，所述充气机构包括可拆卸的固定连接于所述主管道16上的阀体26，所述阀体26与所述主管道16之间向连通，所述阀体26内滑动设置阀芯27，所述阀芯27向所述阀体26远离所述主管道16的一端延伸贯穿所述阀体26端部，所述阀体26的端部转动设置与所述阀芯27之间螺纹连接的螺纹套管28，所述螺纹套管28上连接驱动其转动的驱动源，所述驱动源主要是由电动机通过蜗轮蜗杆对所述螺纹套管28进行驱动，所述驱动源的启动由所述控制器30进行控制，所述阀体26与所述充气管道18之间设置对充入的置换气体进行加热的加热装置，所述加热装置主要是使用线圈加热，线圈在通电之后对通入置换气体的管道加热，从而使管道内的气体加热，在向被抽罐体的真空夹层内通入置换气体的时候，通过控制器30控制启动螺纹套管28所连接的电动机，使电动机电动螺纹套管28转动，螺纹套管28带动阀芯27在阀体26内滑动，使阀体26内被导通，从而由充气管道18引入到置换气体在经过加热装置加热后通过阀体26进入到被抽罐体的真空夹层内，从而将大量的水汽挤出，加热的置换气体使真空夹层内的水汽更快的蒸发。

优选的，如说明书附图1所示，所述主管道16上设置真空计31，所述主管道16上连通设置换向阀29，所述换向阀29的出口处分别与所述密封箱体12的吸气口管道以及所述备用吸泵17的吸入口管道相连通，所述控制器30与所述换向阀29电线连接，当控制器30接受到压力检测器15的信号时，控制对换向阀29通电，实现对所述备用吸泵17的吸入口管道和所述主管道16之间选择性连通。

优选的，如说明书附图2、8所示，所述隔间13内设置的阀体包括高真空阀x、预抽阀y、前级阀z、电磁阀u、隔离阀v、旁通阀w，泵体包括主泵a、维持泵b、前级泵c、预抽泵d，所述主泵a是扩散泵，所述维持泵b是旋片泵，所述前机泵c是罗茨泵，所述预抽泵d旋片泵，所述阀体分别与所述隔间13通过电线连接。

优选的，如说明书附图1-8所示，所述低温罐车抽真空装置的使用方法是：

（1）、设备安装：将所述主管道16的端部与低温罐体的真空夹层连接，将所述充气管道18与供应充气设备连接；

（2）、抽真空前准备：

ⅰ、启动预抽泵d，打开电磁阀u、前级阀z、旁通阀w，对管路和主泵a腔室进行抽气，维持5-10min，优选维持外箱体10min；

ⅱ、启动维持泵b，打开隔离阀v，关闭前级阀z、旁通阀w,停止预抽泵d，此时由维持泵b维持主泵的前级压力；

（3）、抽真空：

Ⅰ、预抽真空：ⅰ、启动预抽泵d，打开旁通阀w、预抽阀y、电磁阀u, 对低温罐体进行粗抽真空，当真空度达到1000Pa-1200Pa时，优选1000pa，打开阀芯27，向低温罐体内充入加热的置换气体，停止预抽泵d，关闭所有阀门，停止抽真空，使通入的置换气体在被抽罐体的真空夹层内，对水进行加热，使水蒸发成气态，以便于在下一次的抽取时，将真空夹层内的水蒸气一起抽走，置换气体在充入到真空夹层内后，保持10-15min，优选10min；

ⅱ、启动前级泵c、预抽泵d,打开预抽阀y、电磁阀u,由前级泵c、预抽泵d共同抽取真空，当真空度达到6pa-120pa时，优选6pa，打开阀芯27，继续向低温罐体内充入加热的置换气体，停止前级泵c、预抽泵d,并关闭所有的阀门，停止抽真空，保持15-18min，优选15min；

Ⅱ、抽取高真空：启动主泵a、前级泵c、预抽泵d，在主泵a启动之前打开维持泵b，主泵a启动之后，关闭维持泵b打开高真空阀x、前级阀z、电磁阀u，由主泵a、前级泵c、预抽泵d共同抽取真空，直到合格。

优选的，如说明书附图1-8所示，所述步骤（3）中还包括：在所述压力检测器15检测到低压时，所述控制器30控制主泵a、维持泵b、前级泵c、预抽泵d、高真空阀x、预抽阀y、前级阀z、隔离阀v、电磁阀u、旁通阀w停止工作，并执行以下步骤：

（1）、压力检测器15将低压信号传送给控制器30，此时显示在隔间13内泵体和阀体以及所连接的管道上出现了泄露，控制器30控制对换向阀29通电，使所述换向阀29连通所述主管道16和所述备用吸泵17的吸入口管道，控制器30控制对备用吸泵17通电，启动所述备用吸泵17，所述备用吸泵17继续抽真空；

（2）、通过在所述密封罐20内比较所述备用吸泵17的排出口管道的压力和吸入口管道的压力，密封罐20内设置的滑板21在其上下压力差的推动下，带动滑板21上设置的电刷和导电涂层之间接触连通，从而使滑板21所连接的电源和导电涂层连接，将电流导入到电路接头22上，使进气控制阀19上的电磁铁通电，从而控制所述进气控制阀19打开和关闭，

ⅰ，所述备用吸泵17的排出口的管道压力大于吸入口的管道的压力时，所述进气控制阀19打开，向所述备用吸泵17内的吸入口管道内通入置换气体，

ⅱ，当所述备用吸泵17的排出口的管道压力小于吸入口的管道的压力时，所述进气控制阀19关闭，所述备用吸泵17继续抽真空。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均应视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种低温罐车抽真空装置，包括外箱体（10），所述外箱体（10）内设置内腔（11），其特征在于：所述内腔（11）内固定设置密封箱体（12），所述密封箱体（12）内设置的吸气管道口上连接主管道（16），所述密封箱体（12）内设置若干个隔间（13），所述密封箱体（12）的侧面上固定连接控制器（30），所述隔间（13）内设置若干个通过管道进行连通的进行抽真空的泵体和阀体，所述隔间（13）的顶面上密封设置封盖（14），所述封盖（14）上设置若干个探测所述隔间（13）内压力变化的压力检测器（15），所述控制器（30）与所述压力检测器（15）之间信号连接；

所述内腔（11）内固定设置备用吸泵（17），所述备用吸泵（17）与所述控制器（30）之间通过电线连接，所述备用吸泵（17）的吸入口与所述主管道（16）之间通过管道选择性连通，所述备用吸泵（17）的吸入口所连接的管道上连接充气管道（18），所述充气管道（18）选择性的向所述备用吸泵（17）吸入口处所连接的管道上通入置换气体，所述备用吸泵（17）的吸入口管道与排出口管道之间，设置控制向所述备用吸泵（17）的吸入口管道内通入置换气体的控制机构；

所述主管道（16）上设置干燥机构，所述主管道（16）与所述充气管道（18）之间设置充气机构。

2.根据权利要求 1 所述的一种低温罐车抽真空装置，其特征在于：所述控制机构包括设置于所述充气管道（18）和所述备用吸泵（17）的吸入口管道之间的进气控制阀（19），所述内腔（11）上固定设置密封罐（20），所述密封罐（20）的一头与所述备用吸泵（17）的吸入口管道连通，另一头与所述备用吸泵（17）的排出口管道连通，所述密封罐（20）内滑动设置滑板（21），所述滑板（21）上连接电源，所述滑板（21）上设置与电源连接的电刷，所述密封罐（20）内设置分别与所述进气控制阀（19）上侧电磁铁的电路相连接的电路接头（22），所述密封罐（20）的内腔内表面上设置上下两部分分别与所述上下两侧的电路接头（22）相连通的导电涂层。

3.根据权利要求 2 所述的一种低温罐车抽真空装置，其特征在于：所述干燥机构包括固定设置在所述主管道（16）上的连接座（23），所述连接座（23）上设置若干个与所述主管道（16）内管内相通的干燥芯棒（24），所述连接座（23）的外侧面上可拆卸的设置将所述干燥芯棒（24）完全密封的密封滑套（25）。

4.根据权利要求 3所述的一种低温罐车抽真空装置，其特征在于：所述充气机构包括可拆卸的固定连接于所述主管道（16）上的阀体（26），所述阀体（26）内滑动设置阀芯（27），所述阀芯（27）向所述阀体（26）远离所述主管道（16）的一端延伸贯穿所述阀体（26）端部，所述阀体（26）的端部转动设置与所述阀芯（27）之间螺纹连接的螺纹套管（28），所述螺纹套管（28）上连接驱动其转动的驱动源，所述驱动源的启动由所述控制器（30）进行控制，所述阀体（26）与所述充气管道（18）之间设置对充入的置换气体进行加热的加热装置。

5.根据权利要求 4 所述的一种低温罐车抽真空装置，其特征在于：所述主管道（16）上设置真空计（31），所述主管道（16）上连通设置换向阀（29），所述换向阀（29）的出口处分别与所述密封箱体（12）的吸气口管道以及所述备用吸泵（17）的吸入口管道相连通，所述控制器（30）与所述换向阀（29）电线连接。

6.根据权利要求 5 所述的一种低温罐车抽真空装置，其特征在于：所述隔间（13）内设置的阀体包括高真空阀（x）、预抽阀（y）、前级阀（z）、电磁阀（u）、隔离阀（v）、旁通阀（w），泵体包括主泵（a）、维持泵（b）、前级泵（c）、预抽泵（d），所述阀体分别与所述隔间（13）通过电线连接。

7.根据权利要求 6 所述的一种低温罐车抽真空装置的抽真空方法，其特征在于：包括以下步骤：

（1）、设备安装：将所述主管道（16）的端部与低温罐体的真空夹层连接，将所述充气管道（18）与供应充气设备连接；

（2）、抽真空前准备：

ⅰ、启动预抽泵（d），打开电磁阀（u）、前级阀（z）、旁通阀（w），对管路和主泵（a）腔室进行抽气，维持5-10min；

ⅱ、启动维持泵（b），打开隔离阀（v），关闭前级阀（z）、旁通阀（w）,停止预抽泵（d）；

（3）、抽真空：

Ⅰ、预抽真空：ⅰ、启动预抽泵（d），打开旁通阀（w）、预抽阀（y）、电磁阀（u）, 对低温罐体进行粗抽真空，当真空度达到1000pa-1200pa时，打开阀芯（27），向低温罐体内充入加热的置换气体，停止预抽泵（d），关闭所有阀门，停止抽真空，保持10-15min；

ⅱ、启动前级泵（c）、预抽泵（d）,打开预抽阀（y）、电磁阀（u）,由前级泵（c）、预抽泵（d）共同抽取真空，当真空度达到6pa-120pa时，打开阀芯（27），继续向低温罐体内充入加热的置换气体，停止前级泵（c）、预抽泵（d）,并关闭所有的阀门，停止抽真空，保持15-18min；

Ⅱ、抽取高真空：启动主泵（a）、前级泵（c）、预抽泵（d），打开高真空阀（x）、前级阀（z）、电磁阀（u），由主泵（a）、前级泵（c）、预抽泵（d）共同抽取真空，直到合格。

8.根据权利要求 7 所述的抽真空方法，其特征在于：所述步骤（3）中还包括：在所述压力检测器（15）检测到低压时，所述控制器（30）控制主泵（a）、维持泵（b）、前级泵（c）、预抽泵（d）、高真空阀（x）、预抽阀（y）、前级阀（z）、隔离阀（v）、电磁阀（u）、旁通阀（w）停止工作，并执行以下步骤：

（1）所述换向阀（29）连通所述主管道（16）和所述备用吸泵（17）的吸入口管道，启动所述备用吸泵（17），所述备用吸泵（17）继续抽真空；

（2）通过在所述密封罐（20）内比较所述备用吸泵（17）的排出口管道的压力和吸入口管道的压力，控制所述进气控制阀（19）打开和关闭：

ⅰ，所述备用吸泵（17）的排出口的管道压力大于吸入口的管道的压力时，所述进气控制阀（19）打开，向所述备用吸泵（17）内的吸入口管道内通入置换气体，

ⅱ，当所述备用吸泵（17）的排出口的管道压力小于吸入口的管道的压力时，所述进气控制阀（19）关闭，所述备用吸泵（17）继续抽真空。

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