CN112305867B - 浸液回收防扰动装置、浸没头气液循环系统及光刻设备 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供了一种浸液回收防扰动装置、浸没头气液循环系统及光刻设备，浸液回收防扰动装置包括壳体，形成有气液混合腔，所述气液混合腔的侧壁设置有进液口和出液口；多个气液缓冲体，固定于所述气液混合腔中，用于缓冲气液混合产生的扰动。本发明实施例能够缓冲管道中气液混合产生的扰动，降低管道和浸没头的震动，进而提高曝光精度。

Description

浸液回收防扰动装置、浸没头气液循环系统及光刻设备

技术领域

本发明涉及半导体制造设备技术领域，尤其涉及一种浸液回收防扰动装置、浸没头气液循环系统及光刻设备。

背景技术

现代半导体集成电路制造以光学光刻设备为基础，利用光学系统把掩模版上的集成电路图形精确地投影到基底的目标区域上。光刻设备一般包括光源系统、光学系统物镜、掩模台系统、对准系统、工件台系统等，对于浸没式光刻设备还包括浸没系统。

目前，浸没式光刻设备一般使用193nm光源，能够实现45nm节点及以下的的集成电路的制造。浸没式光刻系统通过浸没头在物镜镜头最后一片物镜与基底之间的缝隙中填充浸没液，通过特殊设计的气流，保证浸没液不从侧面泄漏出去，以此来增大透镜的数值孔径，提高分辨率和焦深，以便获得更小的特征尺寸。

为避免光刻产生的污染物污染浸没液，需要将浸没液随气体一起抽走，并及时填充新的浸没液。在浸没液随气体抽走的过程中，气液混合容易在管道中产生紊流，使管路和浸没头产生震动，从而使物镜与基底之间浸没液产生震动，导致刻蚀曝光精度降低，甚至产生废片。

发明内容

本发明实施例提供了一种浸液回收防扰动装置、浸没头气液循环系统及光刻设备，能够缓冲管道中气液混合产生的扰动，降低管道和浸没头的震动，进而提高曝光精度。

第一方面，本发明实施例提供了一种浸液回收防扰动装置，包括壳体，形成有气液混合腔，所述气液混合腔的侧壁设置有进液口和出液口；

多个气液缓冲体，固定于所述气液混合腔中，用于缓冲气液混合产生的扰动。

可选的，所述气液缓冲体包括柱状的柔性体，所述柔性体的两端均固定于所述气液混合腔中，且所述柔性体的长度方向与所述进液口的进液方向相垂直。

可选的，所述壳体还形成有排气腔，所述排气腔上设置有排气口，所述排气腔和所述气液混合腔通过隔板隔开；

所述柔性体包括由气液分离膜形成的气液分离管，所述气液分离管的一端固定在所述气液混合腔的底部，另一端固定在所述隔板上并与所述排气腔连通。

可选的，所述柔性体还包括顶部安装硬管、底部安装硬管和柔性引导棒；

所述气液分离管的一端通过所述底部安装硬管固定在所述气液混合腔的底部；

所述气液分离管的另一端通过所述顶部安装硬管固定在所述隔板上；

所述柔性引导棒设置于所述气液分离管中，所述柔性引导棒的一端固定在所述气液混合腔的底部，另一端固定在所述隔板上。

可选的，所述气液分离管的长度大于所述柔性引导棒的长度。

可选的，所述气液分离管的长度为所述柔性引导棒的长度的1.15-1.35倍。

可选的，所述柔性引导棒的直径小于或等于所述气液分离管的半径。

可选的，所述气液分离管的直径为1.5mm～5mm。

可选的，所述柔性引导棒的侧壁开设有多个周向排布，且沿所述柔性引导棒的长度方向延伸的导气槽。

可选的，所述多个柔性体分为多组柔性体组，所述多组柔性体组沿第一方向排布，每组所述柔性体组包括多个沿第二方向排列的所述柔性体，任意相邻两组所述柔性体组中的所述柔性体交错排布，其中，所述第一方向与所述进液口的进液方向相平行，所述第二方向与所述第一方向相垂直。

可选的，在所述第一方向上，任意相邻两组所述柔性体组中的相邻两个所述柔性体的间距为3mm～10mm。

第二方面，本发明实施例提供了一种浸没头气液循环系统，包括本发明第一方面所述的浸液回收防扰动装置，还包括：

浸没头，所述浸没头包括气体进口、浸液进口、气液抽排口；

气体净化装置，所述气体净化装置的气体出口与所述浸没头的气体进口连接；

浸液循环处理装置，所述浸液循环处理装置的浸液出口与所述浸没头的浸液进口连接；

所述浸液回收防扰动装置的进液口与所述浸没头的气液抽排口连接，所述浸液回收防扰动装置的出液口与所述浸液循环处理装置的回水口连接。

可选的，浸没头气液循环系统还包括排气隔膜泵，所述排气隔膜泵与所述浸液回收防扰动装置的排气口连接。

可选的，所述浸液回收防扰动装置的进液口到所述浸没头的气液抽排口的距离小于或等于1000mm。

第三方面，本发明实施例提供了一种光刻设备，包括如本发明第二方面所述的浸没头气液循环系统。

本发明实施例提供的浸液回收防扰动装置，通过在气液混合腔中设置多个气液缓冲体，自浸没头抽离的气液混合流体进入气液混合腔后，与多个气液缓冲体发生多次碰撞，起到缓冲效果，气液混合流体经气液缓冲体缓冲后，内部紊流减少，紊流强度减弱，进而减缓紊流对管道和浸没头产生的震动，提高浸没头和浸没液的稳定性，进而提高了曝光精度。

附图说明

下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

图1为本发明实施例提供的一种浸液回收防扰动装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的另一种浸液回收防扰动装置的结构示意图；

图3为本发明实施例中柔性体的结构示意图；

图4为本发明实施例中柔性引导棒的横截面图；

图5为本发明实施例提供的一种多个柔性体的空间分布的立体示意图；

图6为图5中多个柔性体的空间分布的俯视图；

图7为本发明实施例提供的一种浸没头气液循环系统；

图8为本发明实施例提供的另一种浸没头气液循环系统。

具体实施方式

为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本发明实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

实施例一

本发明实施例一提供的了一种浸液回收防扰动装置，图1为本发明实施例提供的一种浸液回收防扰动装置的结构示意图，如图1所示，该浸液回收防扰动装置包括壳体100，壳体100形成有气液混合腔101，气液混合腔101的侧壁设置有进液口102和出液口103，以及多个气液缓冲体110，固定于气液混合腔101中。

其中，进液口102用于接收自浸没头抽离的浸没液和气体混合的气液混合流体，出液口103用于排出浸没液，多个气液缓冲体110用于缓冲气液混合产生的扰动。

气液混合时产生的漩涡，是导致流体处于紊流状态的原因，是振动的来源。当处于紊流状态的混合流体经过多个柔性体时，与柔性体碰撞，柔性体会对扰动产生缓冲，吸收扰动力，从而避免了管路振动。具体的，气液混合流体进入气液混合腔101后，与多个气液缓冲体110发生多次碰撞，起到缓冲效果，气液混合流体经气液缓冲体110缓冲后，内部紊流减少，紊流强度减弱，进而减缓紊流对管道和浸没头产生的震动，提高浸没头和浸没液的稳定性，进而提高了曝光精度。

本发明实施例提供的浸液回收防扰动装置，通过在气液混合腔中设置多个气液缓冲体，自浸没头抽离的气液混合流体进入气液混合腔后，与多个气液缓冲体发生多次碰撞，起到缓冲效果，气液混合流体经气液缓冲体缓冲后，内部紊流减少，紊流强度减弱，进而减缓紊流对管道和浸没头产生的震动，提高浸没头和浸没液的稳定性，进而提高了曝光精度。

在本发明其中一实施例中，如图1所示，气液缓冲体110包括柱状的柔性体，柔性体的两端均固定于气液混合腔101中，且柔性体的长度方向与进液口的进液方向相垂直。示例性的，柔性体的一端固定在气液混合腔101的顶部，另一端固定在气液混合腔101的底部。气液缓冲体110采用柔性的柱状结构，且长度方向与进液口的进液方向相垂直，能够进一步缓冲气液混合产生的紊流，增强缓冲效果，进一步减缓紊流对管道和浸没头产生的震动，提高浸没头和浸没液的稳定性，进而进一步提高了曝光精度。

图2为本发明实施例提供的另一种浸液回收防扰动装置的结构示意图，如图2所示，在本发明的一个实施例中，壳体100还形成有排气腔104，示例性的，排气腔104位于气液混合腔101的上方，排气腔104和气液混合腔101通过隔板105隔开，排气腔104的顶部设置有排气口106。

图3为本发明实施例中柔性体的结构示意图，如图3所示，柔性体包括由气液分离膜形成的气液分离管111，气液分离管111的一端固定在气液混合腔101的底部，另一端固定在隔板105上并与排气腔105连通。其中，气液分离膜具备半渗透特性，仅能支持气体分子通过，而液体分子无法通过，从而实现气液分离的功能。

示例性的，在本发明的一个实施例中，柔性体还包括顶部安装硬管112、底部安装硬管113和柔性引导棒114。其中，气液分离管111的一端通过底部安装硬管113固定在气液混合腔101的底部。气液分离管111的另一端通过顶部安装硬管112固定在隔板105上。柔性引导棒114设置于气液分离管111中，柔性引导棒114的一端固定在气液混合腔101的底部，另一端固定在隔板105上，柔性引导棒114可以是柔性橡胶棒。

具体的，气液混合流体从进液口102进入气液混合腔101，气液混合流体与多个柔性引导棒114发生多次碰撞，柔性引导棒114发生弹性形变，对气液混合流体起到缓冲效果，气液混合流体经气液缓冲体缓冲后，内部紊流减少，紊流强度减弱，进而减缓紊流对管道和浸没头产生的震动。同时，气液分离管111的管壁会吸附气液混合流体中的气体，使其从浸液中析出，透过气液分离管111的管壁，进入气液分离管111内部，并通过气液分离管111内部管道进入排气腔104，并经排气腔104顶部的排气口106排出，气液混合流体中的浸液自出液口103排出，并被回收净化处理后，可重新进入浸没头。气液分离管111由气液分离膜形成，气液分离膜自身不具备伸缩弹性，缺少一定的柔性和刚度，无法对紊流起到缓冲作用，通过内置柔性引导棒114，气液混合流体与多个柔性引导棒114发生多次碰撞，起到缓冲效果，同时，在安装气液分离管111时，柔性引导棒114也可以对气液分离管111起到引导安装的作用。

顶部安装硬管112和底部安装硬管113可分别与隔板105和气液混合腔101的底部可拆卸连接，在具体生产中，可根据流入气液混合腔101的气液混合流体的洁净度，不定期进行维护或跟换柔性体。

示例性的，气液混合流体与柔性引导棒114发生碰撞时，柔性引导棒114会发生形变，其外部的气液分离管111也会随之发生形变，由于气液分离膜自身不具备伸缩弹性，缺少一定的柔性和刚度，为了避免柔性引导棒114发生形变时，导致气液分离管111发生撕裂、破损或断裂，气液分离管111的长度C应大于柔性引导棒114的长度C1。但是，气液分离管111的长度C也不能无限大于柔性引导棒114的长度C1，要求气液分离管111的长度C为柔性引导棒114的长度的1.15-1.35倍，以防止气液分离管111弯曲堆叠，阻塞中空管道。

在其中一个实施例中，在保证柔性引导棒114的拉伸强度的前提下，柔性引导棒114的直径D1小于或等于气液分离管111的半径，以在气液分离管111内部留出足够的空间，保证分离后的气体能够沿气液分离管111的管道进入排气腔104。气液分离管111的直径D与气液混合流体流量的大小和气液混合比例相关，具体的，气液混合流体的流量越大，气液分离管111的直径D越大，气液混合比例越大，气液分离管111的直径D越大。在一具体实施例中，浸没头为28nm浸没头，选择气液分离管111的直径为2mm。

图4为本发明实施例中柔性引导棒的横截面图，如图4所示，在本发明其中一实施例中，柔性引导棒114的侧壁开设有多个周向排布，且沿柔性引导棒114的长度方向延伸的导气槽，保证气液分离管111的管壁与柔性引导棒114贴合时还有气体流动的空间，防止气液分离管111堵塞。在具体实施例中，柔性引导棒114的横截面为梅花形。

柔性体垂直于气液混合流体流向的布置，为了保证气液混合流体均匀横掠管束，需要大于柔性体的分布和密集程度进行具体设置。为了实现降低扰动的作用，需要按照一定规律固定柔性体，保证沿着气液混合流体的流动方向，所有气液混合流体均可以横掠柔性体，保证气液混合流体充分与柔性体碰撞，最大程度缓冲扰动。图5为本发明实施例提供的一种多个柔性体的空间分布的立体示意图，图6为图5中多个柔性体的空间分布的俯视图，如图5和图6所示，在本发明其中一实施例中，多个柔性体分为多组柔性体组A，多组柔性体组A沿第一方向排布，每组柔性体组A包括多个沿第二方向排列的柔性体，任意相邻两组柔性体组A中的柔性体交错排布，其中，第一方向与进液口102的进液方向相平行，第二方向与第一方向相垂直。在一具体实施例中，柔性体沿着流体方向呈菱形布置，任意相邻两组柔性体组A中的相邻两个柔性体的间距为3mm～10mm，即菱形的边长为3mm～10mm。成一定规律密集固定的柔性体对流体流动有一定的引导作用，可以保证经过其柔性体之间的流道后成相对流动平缓的层流流出。

需要说明的是，相邻两个柔性体的间距选择与气液分离管111的直径D和气液混合流体的流量大小、气液混合比例相关，具体的，气液分离管111的直径D越大，相邻两个柔性体的间距越小，气液混合流体的流量越大，相邻两个柔性体的间距越小，气液混合比例越大，相邻两个柔性体的间距越小。在一具体实施例中，浸没头为28nm浸没头，相邻两个柔性体的间距为5mm。

需要说明的是，上述实施例中，以柔性体沿着流体方向呈菱形布置为例进行说明，本发明不仅限于图示的菱形，在其他实施例中也可是密集的方形或矩形布置同样可行，本发明在此不做限定。

实施例二

本发明实施例二提供了一种浸没头气液循环系统，图7为本发明实施例提供的一种浸没头气液循环系统，如图7所示，该浸没头气液循环系统包括本发明图1所示的浸液回收防扰动装置10，还包括浸没头20、气体净化装置30和浸液循环处理装置40。该浸液回收防扰动装置10包括壳体100，壳体100形成有气液混合腔101，气液混合腔101的侧壁设置有进液口102和出液口103，以及多个气液缓冲体110，固定于气液混合腔101中。

其中，浸没头20设置于物镜镜头50最后一片物镜与基底60之间，并围绕物镜镜头50，浸没头20的下表面与基底60设置有一定的间隙，浸没头20包括气体进口21、浸液进口22、气液抽排口23和位于下表面的供气口24。气体净化装置30的气体出口与浸没头20的气体进口21连接。浸液循环处理装置40的浸液出口与浸没头20的浸液进口22连接。浸液回收防扰动装置10的进液口102与浸没头20的气液抽排口23连接，浸液回收防扰动装置10的出液口103与浸液循环处理装置40的回水口连接。

具体的，浸液循环处理装置40中的浸液自浸液进口22进入浸没头20，填充浸没头20与基底60之间的间隙。气体净化装置30将净化的气体经气体进口21进入浸没头，并通过供气口24喷出，形成气帘，防止浸液向侧面泄露。气液抽排口23将浸液和气体的混合物抽离浸没头20，气液混合流体自浸液回收防扰动装置10的进液口102进入浸液回收防扰动装置10，经浸液回收防扰动装置10缓冲扰动后，自出液口103排出，并回流至浸液循环处理装置40，浸液循环处理装置40对浸液进行净化处理。具体的，浸液回收防扰动装置10的缓冲扰动原理在本发明实施例一中已有详细记载，在此不再赘述。

本发明实施例提供的浸没头气液循环系统，通过在浸没头的气液抽排口设置浸液回收防扰动装置，气液混合腔中设置多个气液缓冲体，自浸没头抽离的气液混合流体进入气液混合腔后，与多个气液缓冲体发生多次碰撞，起到缓冲效果，气液混合流体经气液缓冲体缓冲后，内部紊流减少，紊流强度减弱，进而减缓紊流对管道和浸没头产生的震动，提高浸没头和浸没液的稳定性，进而提高了曝光精度。

为了快速降低气液混合产生的扰动，浸液回收防扰动装置10越靠近浸没头20的气液抽排口23，消除扰动越及时，越能避免震动的产生，提高曝光精度。根据曝光精度需求的不同，浸液回收防扰动装置10的进液口102距离浸没头气液抽排口23的间距应≤1000mm，才能发挥该装置减震作用。在一具体实施例中，浸没头为28nm浸没头，对振动要求极高，浸液回收防扰动装置10的进液口102距离浸没头气液抽排口23的间距应小于≤500mm，具体可以为350mm。

图8为本发明实施例提供的另一种浸没头气液循环系统，如图8所示，该浸没头气液循环系统包括本发明图2所示的浸液回收防扰动装置11，还包括浸没头20、气体净化装置30和浸液循环处理装置40。该浸液回收防扰动装置11包括壳体100，壳体100形成有气液混合腔101，气液混合腔101的侧壁设置有进液口102和出液口103，以及多个气液缓冲体110，固定于气液混合腔101中。气液缓冲体110包括柱状的柔性体，柔性体的两端均固定于气液混合腔101中，且柔性体的长度方向与进液口的进液方向相垂直。壳体100还形成有排气腔104，示例性的，排气腔104位于气液混合腔101的上方，排气腔104和气液混合腔101通过隔板105隔开，排气腔104的顶部设置有排气口106。柔性体包括由气液分离膜形成的气液分离管111，气液分离管111的一端固定在气液混合腔101的底部，另一端固定在隔板105上并与排气腔105连通。柔性体的具体结构如图3所示，柔性体的布置如图5、6所示，在此不再赘述。

具体的，浸液循环处理装置40中的浸液自浸液进口22进入浸没头20，填充浸没头20与基底60之间的间隙。气体净化装置30将净化的气体经气体进口21进入浸没头，并通过供气口24喷出，形成气帘，防止浸液向侧面泄露。气液抽排口23将浸液和气体的混合物抽离浸没头20，气液混合流体自浸液回收防扰动装置11的进液口102进入浸液回收防扰动装置10，经柔性体缓冲后，减缓管道和浸没头20的震动，同时，气液混合流体中的气体透过气液分离管111的管壁，进入气液分离管111内部，并通过气液分离管111内部管道进入排气腔104，并经排气腔104顶部的排气口106排出，气液混合流体中的浸液自出液口103排出，并回流至浸液循环处理装置40，浸液循环处理装置40对浸液进行净化处理。并被回收净化处理后，可重新进入浸没头。

气液混合流体如果一起进入浸液循环处理装置40，将对浸液循环处理装置40的泵机产生气锤效应，影响泵机寿命；同时，进入浸没头20的浸液中包含气体，将导致浸液流量不稳定，进而影响曝光精度。在该实施例中，自浸没头20抽离的气液混合流体，经气液分离管111分离，避免气体回流至浸液循环处理装置40中，从而延长浸液循环处理装置40的使用寿命，提高曝光精度。

示例性的，浸没头气液循环系统还包括排气隔膜泵70，排气隔膜泵70与浸液回收防扰动装置11的排气口106连接。在排气腔104内部气压达到预设压强值时，排气隔膜泵70打开，将气体排出。排气隔膜泵70在工作时震动小，减少其工作时产生的震动对管道和浸没头20的影响。

需要说明的是，在本发明另一实施例中，浸液回收防扰动装置11的排气口106也可以连接一压力阀，在排气腔104内部气压达到预设压强值时，压力阀自动打开，在本发明另一实施例中，浸液回收防扰动装置11的排气口106也可以处于常开状态，只要能够实现排气即可，本发明在此不做限定。

本发明实施例还提供了一种光刻设备，包括如本发明上述实施例所述的浸没头气液循环系统，还包括照明系统、掩模台、物镜系统、对准调焦系统和工件台。

于本文的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”，仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一实施例”、“示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

以上结合具体实施例描述了本发明的技术原理。这些描述只是为了解释本发明的原理，而不能以任何方式解释为对本发明保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本发明的其它具体实施方式，这些方式都将落入本发明的保护范围之内。

Claims (14)

1.一种浸液回收防扰动装置，其特征在于，包括壳体，形成有气液混合腔，所述气液混合腔的侧壁设置有进液口和出液口；

多个气液缓冲体，固定于所述气液混合腔中，用于缓冲气液混合产生的扰动；

所述气液缓冲体包括柱状的柔性体，所述柔性体的两端均固定于所述气液混合腔中，且所述柔性体的长度方向与所述进液口的进液方向相垂直。

2.根据权利要求1所述的浸液回收防扰动装置，其特征在于，所述壳体还形成有排气腔，所述排气腔上设置有排气口，所述排气腔和所述气液混合腔通过隔板隔开；

所述柔性体包括由气液分离膜形成的气液分离管，所述气液分离管的一端固定在所述气液混合腔的底部，另一端固定在所述隔板上并与所述排气腔连通。

3.根据权利要求2所述的浸液回收防扰动装置，其特征在于，所述柔性体还包括顶部安装硬管、底部安装硬管和柔性引导棒；

所述气液分离管的一端通过所述底部安装硬管固定在所述气液混合腔的底部；

所述气液分离管的另一端通过所述顶部安装硬管固定在所述隔板上；

所述柔性引导棒设置于所述气液分离管中，所述柔性引导棒的一端固定在所述气液混合腔的底部，另一端固定在所述隔板上。

4.根据权利要求3所述的浸液回收防扰动装置，其特征在于，所述气液分离管的长度大于所述柔性引导棒的长度。

5.根据权利要求4所述的浸液回收防扰动装置，其特征在于，所述气液分离管的长度为所述柔性引导棒的长度的1.15-1.35倍。

6.根据权利要求3所述的浸液回收防扰动装置，其特征在于，所述柔性引导棒的直径小于或等于所述气液分离管的半径。

7.根据权利要求6所述的浸液回收防扰动装置，其特征在于，所述气液分离管的直径为1.5mm～5mm。

8.根据权利要求3所述的浸液回收防扰动装置，其特征在于，所述柔性引导棒的侧壁开设有多个周向排布，且沿所述柔性引导棒的长度方向延伸的导气槽。

9.根据权利要求1所述的浸液回收防扰动装置，其特征在于，所述多个柔性体分为多组柔性体组，所述多组柔性体组沿第一方向排布，每组所述柔性体组包括多个沿第二方向排列的所述柔性体，任意相邻两组所述柔性体组中的所述柔性体交错排布，其中，所述第一方向与所述进液口的进液方向相平行，所述第二方向与所述第一方向相垂直。

10.根据权利要求9所述的浸液回收防扰动装置，其特征在于，在所述第一方向上，任意相邻两组所述柔性体组中的相邻两个所述柔性体的间距为3mm～10mm。

11.一种浸没头气液循环系统，其特征在于，包括如权利要求1-10任一所述的浸液回收防扰动装置，还包括：

浸没头，所述浸没头包括气体进口、浸液进口、气液抽排口；

气体净化装置，所述气体净化装置的气体出口与所述浸没头的气体进口连接；

浸液循环处理装置，所述浸液循环处理装置的浸液出口与所述浸没头的浸液进口连接；

所述浸液回收防扰动装置的进液口与所述浸没头的气液抽排口连接，所述浸液回收防扰动装置的出液口与所述浸液循环处理装置的回水口连接。

12.根据权利要求11所述的浸没头气液循环系统，其特征在于，还包括排气隔膜泵，所述排气隔膜泵与所述浸液回收防扰动装置的排气口连接。

13.根据权利要求11所述的浸没头气液循环系统，其特征在于，所述浸液回收防扰动装置的进液口到所述浸没头的气液抽排口的距离小于或等于1000mm。

14.一种光刻设备，其特征在于，包括如权利要求11-13任一所述的浸没头气液循环系统。

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