CN112299090A - 玻璃基材的输送装置、层叠玻璃的制造装置以及制造方法 - Google Patents

玻璃基材的输送装置、层叠玻璃的制造装置以及制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN112299090A
CN112299090A CN202010742469.8A CN202010742469A CN112299090A CN 112299090 A CN112299090 A CN 112299090A CN 202010742469 A CN202010742469 A CN 202010742469A CN 112299090 A CN112299090 A CN 112299090A
Authority
CN
China
Prior art keywords
roller
glass substrate
glass
driving roller
transparent conductive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202010742469.8A
Other languages
English (en)
Inventor
西森才将
村上尚史
梨木智刚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nitto Denko Corp
Original Assignee
Nitto Denko Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nitto Denko Corp filed Critical Nitto Denko Corp
Publication of CN112299090A publication Critical patent/CN112299090A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H20/00—Advancing webs
    • B65H20/02—Advancing webs by friction roller
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/06—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the heating method
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/08—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the cooling method
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/10—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the pressing technique, e.g. using action of vacuum or fluid pressure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/10—Removing layers, or parts of layers, mechanically or chemically
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H23/00—Registering, tensioning, smoothing or guiding webs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H27/00—Special constructions, e.g. surface features, of feed or guide rollers for webs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H37/00—Article or web delivery apparatus incorporating devices for performing specified auxiliary operations
    • B65H37/04—Article or web delivery apparatus incorporating devices for performing specified auxiliary operations for securing together articles or webs, e.g. by adhesive, stitching or stapling
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B35/00—Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms
    • C03B35/14—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
    • C03C17/002—General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23—Oxides
    • C03C17/245—Oxides by deposition from the vapour phase
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23—Oxides
    • C03C17/245—Oxides by deposition from the vapour phase
    • C03C17/2453—Coating containing SnO2
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/14—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers
    • B32B37/24—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers with at least one layer not being coherent before laminating, e.g. made up from granular material sprinkled onto a substrate
    • B32B2037/243—Coating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/20—Properties of the layers or laminate having particular electrical or magnetic properties, e.g. piezoelectric
    • B32B2307/202—Conductive
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/10—Deposition methods
    • C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
    • C03C2218/154—Deposition methods from the vapour phase by sputtering

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Registering, Tensioning, Guiding Webs, And Rollers Therefor (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Advancing Webs (AREA)

Abstract

本发明提供玻璃基材的输送装置、层叠玻璃的制造装置以及制造方法。玻璃基材(1)的输送装置(11)具有：送出辊(21)，该送出辊构成为，送出具有挠性的玻璃基材(1)；卷取辊(41)，该卷取辊构成为，卷取玻璃基材(1)；以及第1驱动辊(22)，该第1驱动辊配置于玻璃基材的输送方向上的送出辊(21)与卷取辊(41)之间，构成为被赋予用于输送玻璃基材的动力。第1驱动辊(22)构成为，在玻璃基材(1)与第1驱动辊(22)相接触的状态下，在玻璃基材中相对于与第1驱动辊(22)的表面相接触的接触面(51)而言相反的一侧的非接触面(52)不与其他输送构件(夹压辊(44))相接触。第1驱动辊(22)的表面具有0.8μm以下的最大高度粗糙度Rz。

Description

玻璃基材的输送装置、层叠玻璃的制造装置以及制造方法
技术领域
本发明涉及玻璃基材的输送装置、层叠玻璃的制造装置以及制造方法，详细而言，涉及玻璃基材的输送装置、具有该玻璃基材的输送装置的层叠玻璃的制造装置以及使用该层叠玻璃的制造装置的层叠玻璃的制造方法。
背景技术
以往众所周知一种一边以卷对卷方式输送基材一边在该基材之上形成各种功能层的装置。
例如提出了一种针对基材使用夹压机构来输送树脂基材的装置(例如参照下述专利文献1)。专利文献1的夹压机构具有由金属辊构成的驱动辊和由橡胶辊构成的夹压辊(按压辊)。在专利文献1的夹压机构中，利用驱动辊和夹压辊夹持基材，驱动辊旋转，夹压辊将基材相对于驱动辊按压，从而在驱动辊不会空转的前提下输送基材。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2014-49624号公报
发明内容
发明要解决的问题
近年来，作为耐热性优异的基材，研究使用薄玻璃基材来替代树脂基材。
但是，与树脂基材相比，薄玻璃基材较脆弱。因此，当薄玻璃基材从厚度方向两侧与驱动辊和夹压辊相接触时，会发生破损这样的不良状况。当薄玻璃基材破损时，无法以卷对卷方式输送薄玻璃基材。
此外，在本说明书中，“破损”意思为薄玻璃基材在其厚度方向上的整个范围内撕裂，有别于后述的“擦伤”。
本发明提供能够抑制玻璃基材的破损并且能够可靠地输送玻璃基材的玻璃基材的输送装置、层叠玻璃的制造装置以及制造方法。
用于解决问题的方案
本发明(1)包括一种玻璃基材的输送装置，该玻璃基材的输送装置具有：送出辊，该送出辊构成为，送出具有挠性的玻璃基材；卷取辊，该卷取辊构成为，卷取所述玻璃基材；以及驱动辊，该驱动辊配置于所述玻璃基材的输送方向上的所述送出辊与所述卷取辊之间，构成为被赋予用于输送所述玻璃基材的动力，所述驱动辊构成为，在所述玻璃基材与所述驱动辊相接触的状态下，在所述玻璃基材中相对于与所述驱动辊的表面相接触的接触面而言相反的一侧的非接触面不与其他输送构件相接触，所述驱动辊的所述表面具有0.8μm以下的最大高度粗糙度Rz。
在该玻璃基材的输送装置中，关于驱动辊，在玻璃基材与驱动辊相接触的状态下，在玻璃基材中相对于与驱动辊的表面相接触的接触面而言相反的一侧的非接触面不与其他输送构件相接触。因此，能够抑制与驱动辊相接触的玻璃基材的破损。因而，能够可靠地在送出辊与卷取辊之间输送玻璃基材。
并且，由于驱动辊的表面具有0.8μm以下这样较小的最大高度粗糙度Rz，因此，驱动辊的表面能够紧贴于玻璃基材，能够抑制相对于玻璃基材滑动(驱动辊的空转)。因此，能够控制对玻璃基材施加的张力，能够可靠地将驱动辊的旋转转换为玻璃基材的输送，能够更可靠地输送玻璃基材。
本发明(2)包括一种层叠玻璃的制造装置，该层叠玻璃的制造装置具有：(1)所述的输送装置；以及成膜装置，该成膜装置配置于所述输送方向上的所述送出辊与所述卷取辊之间，构成为将功能层在真空下设于所述玻璃基材。
该层叠玻璃基材的制造装置由于具有上述的输送装置和成膜装置，因此能够抑制玻璃基材的破损，并且能够在玻璃基材设置功能层。因此，能够可靠地制造层叠玻璃。
本发明(3)包括一种层叠玻璃的制造方法，该方法使用(2)所述的层叠玻璃的制造装置来制造层叠玻璃，该层叠玻璃的制造方法具有如下工序：将所述玻璃基材从所述送出辊送出的工序；利用所述驱动辊输送所述玻璃基材的工序；利用所述成膜装置将所述功能层在真空下设于所述玻璃基材的工序；以及利用所述卷取辊卷取具有所述玻璃基材和所述功能层的层叠玻璃的工序。
该层叠玻璃的制造方法由于使用上述的层叠玻璃的输送装置，因此能够抑制玻璃基材的破损，并且能够在玻璃基材设置功能层，能够可靠地制造层叠玻璃。
发明的效果
本发明的玻璃基材的输送装置能够抑制玻璃基材的破损，并且能够可靠地输送玻璃基材。
根据本发明的层叠玻璃的制造装置和制造方法，能够抑制玻璃基材的破损，并且能够在玻璃基材设置功能层。
附图说明
图1表示本发明的制造装置的一实施方式的输送成膜装置。
图2A～图2D是利用图1的输送成膜装置输送的输送物的剖视图，图2A表示从送出辊送出的第1保护材料和玻璃基材，图2B表示向第1驱动辊输送的玻璃基材，图2C表示向冷却装置输送的玻璃基材和透明导电层，图2D表示由卷取辊卷取的第2保护材料、透明导电层以及玻璃基材。
图3表示本发明的输送装置的变形例。
图4表示在玻璃基材的弯曲试验中使用的两个治具。
附图标记说明
1、玻璃基材；2、透明导电层；3、透明导电性玻璃；10、输送成膜装置；11、输送装置；12、溅射装置；21、送出辊；22、第1驱动辊；41、卷取辊；51、厚度方向一面(玻璃基材)(接触面的一个例子)；52、厚度方向另一面(玻璃基材)(非接触面的一个例子)。
具体实施方式
1.输送成膜装置
参照图1说明本发明的制造装置的一实施方式的输送成膜装置。
图1所示的输送成膜装置10一边输送玻璃基材1，一边在其厚度方向一面51设置透明导电层(功能层的一个例子)2(参照图2C)，制造透明导电性玻璃(层叠玻璃的一个例子)3。具体而言，输送成膜装置10从辊状的输送基材4(后述)剥离第1保护材料5，输送玻璃基材1单体，接着，在玻璃基材1设置透明导电层2来制造透明导电性玻璃3，接着，在透明导电性玻璃3层叠第2保护材料6并卷绕为辊状。
输送成膜装置10具有输送装置11、溅射装置(成膜装置的一个例子)12以及冷却装置13。并且，输送装置11具有送出部14、除电部15以及卷取部16。此外，除电部15具有第1除电部17和第2除电部18。输送成膜装置10从输送方向上游侧(以下省略为“上游侧”)向输送方向下游侧(以下省略为“下游侧”)依次具有送出部14、第1除电部17、溅射装置12、冷却装置13、第2除电部18以及卷取部16。下面对它们进行详细说明。
送出部14在输送装置11中配置于最上游侧。送出部14送出长条的输送基材4。送出部14具有送出辊21、第1驱动辊(驱动辊的一个例子)22、保护材料卷取辊23以及送出壳体24。
在送出辊21，放置有辊状的输送基材4。即，在送出辊21的表面(周面)卷绕有在输送方向上呈长条的输送基材4。送出辊21是具有在输送方向上旋转的旋转轴并在宽度方向上延伸的圆柱构件。此外，在本实施方式中，后述的各种辊(送出辊21、第1驱动辊22、第2驱动辊40、保护材料卷取辊23、第1引导辊26、第2引导辊28、第3引导辊31、第4引导辊38、保护材料引导辊43、第1冷却辊34、第2冷却辊35、卷取辊41、保护材料送出辊42、夹压辊44)均为具有在输送方向上旋转的旋转轴并在宽度方向(与输送方向和厚度方向正交的方向)上延伸的圆柱构件。
送出辊21构成为，利用外部动力等进行驱动，能够向图1所示的箭头方向旋转。
第1驱动辊22配置于送出辊21的下游侧。第1驱动辊22构成为，被从外部赋予用于输送玻璃基材1的动力。由此，第1驱动辊22基于上述的外部的动力向图1所示的箭头方向旋转。具体而言，在第1驱动辊22的旋转轴的端部设有齿轮(未图示)，在齿轮连接有用于使第1驱动辊22向箭头方向旋转的马达(未图示)。第1驱动辊22利用马达的驱动力进行旋转。
由此，第1驱动辊22将放置于送出辊21的输送基材4的玻璃基材1向第1除电部17输送。
另外，该第1驱动辊22不同于与夹压辊44相邻地配置的第2驱动辊40(后述)，该第1驱动辊22构成为，在与玻璃基材1的厚度方向一面(接触面)51(参照图2B)相接触的状态下，玻璃基材1的厚度方向另一面(非接触面)52(参照图2B)不与其他输送构件(夹压辊44等)相接触。
作为第1驱动辊22的材料，没有特别限定，能够举出例如金属、树脂、陶瓷等，优选地举出金属。
第1驱动辊22的表面平坦，具体而言，具有0.8μm以下的最大高度粗糙度Rz。
此外，第1驱动辊22的表面的最大高度粗糙度Rz基于JIS B 0601(2009)来测量。
若第1驱动辊22的表面的最大高度粗糙度Rz超过0.8μm，则无法抑制第1驱动辊22的表面相对于玻璃基材1滑动，也就是说，第1驱动辊22相对于玻璃基材1空转。因此，无法控制对玻璃基材1施加的张力，无法可靠地将第1驱动辊22的材料的旋转转换为玻璃基材1的输送，无法输送玻璃基材1。
另外，第1驱动辊22的表面优选地具有0.5μm以下的最大高度粗糙度Rz，更优选地具有0.3μm以下的最大高度粗糙度Rz。另外，第1驱动辊22的表面例如优选地具有0.001μm以上的最大高度粗糙度Rz。
若第1驱动辊22的表面的最大高度粗糙度Rz为上述的上限以下，则能够抑制第1驱动辊22的表面相对于玻璃基材1滑动，能够控制对玻璃基材1施加的张力，能够抑制第1驱动辊22相对于玻璃基材1空转。因此，能够可靠地将第1驱动辊22的材料的旋转转换为玻璃基材1的输送，能够更可靠地输送玻璃基材1。
若第1驱动辊22的表面的最大高度粗糙度Rz为上述的下限以上，则能够可靠地输送玻璃基材1。
为了将第1驱动辊22的表面设定为上述的最大高度粗糙度Rz，例如对驱动辊22的表面进行平坦化处理。作为平坦化处理，没有特别限定，能够举出例如电解镀、化学镀、研磨等。或者也能够预先准备具有上述的最大高度粗糙度Rz的表面的第1驱动辊22。
保护材料卷取辊23配置于送出辊21的附近。保护材料卷取辊23在使第1保护材料5从输送基材4剥离(离开)的同时，卷取第1保护材料5。保护材料卷取辊23构成为，由外部动力等驱动，向图1所示的箭头方向旋转。
送出壳体24在其内部收纳送出辊21、第1驱动辊22以及保护材料卷取辊23。送出壳体24构成为，能够将其内部调节为真空状态。具体而言，在送出壳体24连接有能够将其内部的空气向外部排出的真空泵(未图示)。此外，在本说明书中，真空状态是指，例如气压为0.1Pa以下的状态，优选为1×10-3Pa以下的状态。
第1除电部17配置为，在送出部14的下游侧与送出部14相邻。第1除电部17对玻璃基材1进行除电。第1除电部17具有第1除电机25、第1引导辊26以及第1除电壳体27。
第1除电机25能够减少玻璃基材1所带的电。第1除电机25配置于第1驱动辊22的下游侧且是第1引导辊26的上游侧。作为第1除电机25，能够举出例如电晕放电式除电机、电离辐射式除电机等。
第1引导辊26将从第1驱动辊22经过第1除电机25输送来的玻璃基材1向溅射装置12的第2引导辊28引导(日文：ガイド)。第1引导辊26配置于第1除电机25的下游侧且是第2引导辊28的上游侧。
作为第1引导辊26的材料，没有特别限定，能够举出例如金属、树脂、陶瓷等，优选地举出金属。
第1引导辊26的表面例如具有1.0μm以上的最大高度粗糙度Rz，优选地具有2μm以上的最大高度粗糙度Rz，更优选地具有5μm以上的最大高度粗糙度Rz，进一步优选地具有10μm以上的最大高度粗糙度Rz，另外，例如优选地具有100μm以下的最大高度粗糙度Rz，更优选地具有50μm以下的最大高度粗糙度Rz，进一步优选地具有30μm以下的最大高度粗糙度Rz。
若第1引导辊26的表面的最大高度粗糙度为上述的下限以上，则能够有效地抑制玻璃基材1粘连在第1引导辊26的表面。因此，不必对输送中的玻璃基材1施加较大的张力，因此，第1引导辊26能够可靠地引导玻璃基材1。
另一方面，若第1引导辊26的表面的最大高度粗糙度为上述的上限以下，则能够抑制玻璃基材1的表面(厚度方向一面和另一面)擦伤。
为了设定第1引导辊26的表面的最大高度粗糙度Rz，例如准备表面平坦的第1引导辊26，然后，对第1引导辊26的表面进行粗糙化处理(粗糙面化)。作为粗糙化处理，没有特别限定。作为粗糙化处理的具体例子，能够举出例如喷镀(例如日本特开2017-0665189号公报等记载的喷镀皮膜的形成)、化学镀(例如日本特开2016-103138号公报等记载的喷镀皮膜的形成)、喷砂、蚀刻等。或者也能够准备预先具有上述的最大高度粗糙度Rz的表面的第1引导辊26。
第1除电壳体27在其内部收纳第1除电机25和第1引导辊26。第1除电壳体27构成为，能够将其内部调节为真空状态。
溅射装置12配置为，在第1除电部17的下游侧与第1除电部17相邻。溅射装置12在成膜区域33对玻璃基材1实施溅射，形成透明导电层2(参照图2C)。
溅射装置12具有第2引导辊28、溅射靶29、加热机30、第3引导辊31以及溅射壳体32。
第2引导辊28将从第1引导辊26输送来的玻璃基材1向成膜区域33引导(日文：ガイド)。第2引导辊28配置于第1引导辊26的下游侧且是溅射靶29的上游侧。第2引导辊28的结构与第1引导辊26的结构相同。
溅射靶29为透明导电层2的原材料。溅射靶29在第2引导辊28的下游侧且是第3引导辊31的上游侧与玻璃基材1隔有间隔地相对配置。溅射靶29面向玻璃基材1的厚度方向一面51。
作为溅射靶29的材料，能够举出金属氧化物，该金属氧化物包括从由例如In、Sn、Zn、Ga、Sb、Nb、Ti、Si、Zr、Mg、Al、Au、Ag、Cu、Pd、W构成的群中选择的至少1种金属。具体而言，能够举出例如铟锡复合氧化物(ITO)等含铟氧化物、例如锑锡复合氧化物(ATO)等含锑氧化物等，优选地举出含铟氧化物，更优选地举出ITO。
加热机30对玻璃基材1和由该玻璃基材1制得的透明导电性玻璃3进行加热。加热机30与玻璃基材1隔有间隔地配置在第2引导辊28的下游侧且是第3引导辊31的上游侧。另外，加热机30以玻璃基材1为基准，与溅射靶29相对地配置在溅射靶29的相反侧。加热机30面向玻璃基材1的厚度方向另一面52。
成膜区域33被划分在第2引导辊28与第3引导辊31之间的输送方向中途。在成膜区域33配置有溅射靶29和加热机30。
第3引导辊31将已成膜的玻璃基材1(具体而言，是在厚度方向上具有玻璃基材1和透明导电层2的透明导电性玻璃3)(参照图2C)向冷却装置13的第1冷却辊34引导(日文：ガイド)。第3引导辊31配置于溅射靶29的下游侧且是第1冷却辊34(后述)的上游侧。第3引导辊31的结构与第1引导辊26的结构相同。
溅射壳体32收纳第2引导辊28、溅射靶29、加热机30以及第3引导辊31。溅射壳体32构成了包括成膜区域33的成膜室。溅射壳体32构成为，能够将其内部调节为真空状态。此外，溅射装置12具有用于实施溅射的其他元件(阳极、阴极、Ar气体导入部件等)，对此未图示。作为溅射装置12，具体而言，能够举出例如双极型溅射装置、电子回旋共振型溅射装置、磁控管型溅射装置、离子束型溅射装置等。
冷却装置13配置为，在溅射装置12的下游侧与溅射装置12相邻。冷却装置13对在溅射装置12中被加热的透明导电性玻璃3进行冷却。冷却装置13具有第1冷却辊34、第2冷却辊35以及冷却壳体36。
第1冷却辊34在冷却装置13中配置于上游侧。第2冷却辊35配置于第1冷却辊34的下游侧。第1冷却辊34和第2冷却辊35分别构成为，利用外部动力等进行驱动，向图1所示的箭头方向旋转。
第1冷却辊34和第2冷却辊35的表面温度例如维持在280℃以下，优选为150℃以下，另外，例如维持在40℃以上，优选为100℃以上。
冷却壳体36在其内部收纳第1冷却辊34和第2冷却辊35。冷却壳体36构成为，能够将其内部调节为真空状态。
第2除电部18配置为，在冷却装置13的下游侧与冷却装置13相邻。第2除电部18对透明导电性玻璃3进行除电。第2除电部18具有第2除电机37、第4引导辊38以及第2除电壳体39。
第2除电机37能够减少玻璃基材1所带的电。第2除电机37配置于第2冷却辊35的下游侧且是第4引导辊38的上游侧。第2除电机37的结构与第1除电机25的结构相同。
第4引导辊38将从第2冷却辊35经过第2除电机37输送来的透明导电性玻璃3向卷取部16的第2驱动辊40引导(日文：ガイド)。第4引导辊38配置于第2除电机37的下游侧且是第2驱动辊40的上游侧。第4引导辊38的结构与第1引导辊26的结构相同。
第2除电壳体39在其内部收纳第2除电机37和第4引导辊38。第2除电壳体39构成为，能够将其内部调节为真空状态。
卷取部16在输送装置11中配置于最下游侧，并配置为，在第2除电机37的下游侧与第2除电机37相邻。卷取部16将透明导电性玻璃3与第2保护材料6(参照图2D)一起卷取。卷取部16具有第2驱动辊40、卷取辊41、保护材料送出辊42、保护材料引导辊43、夹压辊44以及卷取壳体45。
第2驱动辊40配置于第4引导辊38的下游侧且是卷取辊41的上游侧。第2驱动辊40构成为，被从外部赋予用于输送包括玻璃基材1的透明导电性玻璃3的动力。由此，第2驱动辊40基于上述的外部的动力向图1所示的箭头方向旋转。由此，第2驱动辊40将透明导电性玻璃3向卷取辊41输送。
不过，第2驱动辊40构成为，在该第2驱动辊40与透明导电性玻璃3的厚度方向一面53相接触的状态下，第2保护材料6的厚度方向另一面54与夹压辊44相接触。也就是说，第2驱动辊40和夹压辊44构成夹压机构。
第2驱动辊40的表面的最大高度粗糙度Rz并没有特别限定。第2驱动辊40的表面的最大高度粗糙度Rz例如比第1驱动辊22的表面的最大高度粗糙度Rz大，具体而言，超过0.8μm。
卷取辊41将从第2驱动辊40与夹压辊44之间输送来的透明导电性玻璃3和第2保护材料6的层叠体7(后述)卷取。卷取辊41构成为，利用外部动力等进行驱动，向图1所示的箭头方向旋转。
保护材料送出辊42配置于卷取辊41的附近。在保护材料送出辊42，放置有辊状的第2保护材料6。即，在保护材料送出辊42的表面卷绕有在输送方向上呈长条的第2保护材料6。保护材料送出辊42构成为，利用外部动力等进行驱动，向图1所示的箭头方向旋转。保护材料送出辊42将第2保护材料6向保护材料引导辊43送出。
保护材料引导辊43将从保护材料送出辊42送出的第2保护材料6向夹压辊44引导。保护材料引导辊43配置于保护材料送出辊42与夹压辊44之间的输送方向中途。
夹压辊44与第2驱动辊40一起将第2保护材料6层叠于透明导电性玻璃3。夹压辊44与第2驱动辊40相对地配置。夹压辊44构成为，能够一边利用其表面与第2驱动辊40的表面夹持透明导电性玻璃3和第2保护材料6，一边将该透明导电性玻璃3和第2保护材料6层压。夹压辊44的材料能够举出例如橡胶等弹性体。
卷取壳体45在其内部收纳第2驱动辊40、卷取辊41、保护材料送出辊42、保护材料引导辊43以及夹压辊44。卷取壳体45构成为，能够将其内部调节为真空状态。
2.透明导电性玻璃的制造方法
参照图1和图2A～图2D，说明使用输送成膜装置10来制造透明导电性玻璃3的方法。透明导电性玻璃3的制造方法具有准备输送基材4的准备工序、从玻璃基材1剥离第1保护材料5的剥离工序、利用第1驱动辊22和第2驱动辊40输送玻璃基材1的输送工序、利用第1引导辊26、第2引导辊28、第3引导辊31及第4引导辊38引导玻璃基材1的引导工序、在真空下将透明导电层2设于玻璃基材1的成膜工序、对透明导电性玻璃3进行冷却的冷却工序以及由卷取辊41卷取透明导电性玻璃3的卷取工序。以下详述各工序。
首先，在送出辊21准备输送基材4(准备工序)。具体而言，准备输送基材4，并将其放置于送出辊21。
输送基材4为带有保护材料的玻璃基材，具体而言，输送基材4向厚度方向另一侧依次具有玻璃基材1和第1保护材料5(参照图2A)。输送基材4在输送方向上呈长条，被卷绕为辊状。这样的辊状的输送基材4能够使用公知或市售的输送基材。
玻璃基材1具有膜形状(包含片形状)，由透明的玻璃形成。作为玻璃，能够举出例如无碱玻璃、苏打玻璃、硼硅酸盐玻璃、铝硅酸盐玻璃等。
玻璃基材1具有挠性。
另一方面，玻璃基材1的机械强度通常较低(脆弱)，在下述测量的弯曲试验中的断裂时的两端部间距离L例如是15mm以下，或者是20mm以下。
如图4所示，具体而言，将玻璃基材1切断加工成120mm的长度，将其长度方向两端部钩挂于隔有间隔地相对配置的两个治具81各自的钩挂部82。接着，使两个治具81彼此逐渐靠近，得到玻璃基材1断裂时的两个钩挂部82之间的长度L作为断裂时的两端部间距离L。
玻璃基材1的厚度方向另一面52较平坦。具体而言，玻璃基材1的厚度方向另一面52的最大高度粗糙度Rz例如是1μm以下，进而是0.1μm以下，再进一步是0.01μm以下，另外，例如是0.0001μm以上。玻璃基材1的厚度方向一面51与上述的另一面52同样地都较平坦，具有上述的最大高度粗糙度Rz。
玻璃基材1的厚度例如是250μm以下，优选为200μm以下，更优选为150μm以下，进一步优选为100μm以下，另外，例如是10μm以上，优选为40μm以上。
这样的玻璃基材1能够使用市售品，能够使用例如G-leaf系列(日本电气硝子公司制)等。
第1保护材料5能够防止在送出辊状的玻璃基材1时玻璃基材1彼此的接触导致的破损。第1保护材料5具有膜形状，配置于玻璃基材1的厚度方向另一面52。
作为第1保护材料5，能够举出例如带粘合剂的膜、衬纸等。
带粘合剂的膜在厚度方向上具有高分子膜和粘合剂层。
作为高分子膜，能够举出例如聚酯类膜(聚对苯二甲酸乙二醇酯膜、聚对苯二甲酸丁二醇酯膜、聚萘二甲酸乙二醇酯膜等)、聚碳酸酯类膜、烯烃类膜(聚乙烯膜、聚丙烯膜、环烯烃膜等)、丙烯酸类膜、聚醚砜类膜、聚芳酯类膜、三聚氰胺类膜、聚酰胺类膜、聚酰亚胺类膜、纤维素类膜、聚苯乙烯类膜。
粘合剂层为压敏粘接剂层，能够举出例如丙烯酸类粘合剂层、橡胶类粘合剂层、有机硅类粘合剂层、聚酯类粘合剂层、聚氨酯类粘合剂层、聚酰胺类粘合剂层、环氧类粘合剂层、乙烯基烷基醚类粘合剂层、氟类粘合剂层等。
作为衬纸，能够举出例如高级纸、和纸、牛皮纸、格拉辛纸、合成纸、涂料纸(日文：トップコート紙)等。
第1保护材料5的厚度例如为10μm以上，优选为30μm以上，另外，例如为1000μm以下，优选为500μm以下。
接着，使输送成膜装置10工作。具体而言，将所有壳体(送出壳体24、第1除电壳体27、溅射壳体32、冷却壳体36、第2除电壳体39以及卷取壳体45)设为真空，并且驱动所有驱动辊(送出辊21、第1驱动辊22、第2驱动辊40、保护材料卷取辊23、第1冷却辊34、第2冷却辊35、卷取辊41以及保护材料送出辊42)进行旋转。另外，也使除电部15(第1除电机25和第2除电机37)、冷却装置13、溅射装置12等工作。由此，输送基材4被向下游侧输送(输送工序)，并且被依次实施剥离工序、成膜工序、冷却工序以及卷取工序。另外，通过所有引导辊(第1引导辊26、第2引导辊28、第3引导辊31以及第4引导辊38)、保护材料卷取辊23、保护材料送出辊42、保护材料引导辊43以及夹压辊44的旋转来实施引导工序。
具体而言，在送出部14中，输送基材4被从送出辊21送出。这时，第1保护材料5被从玻璃基材1剥离(剥离工序)。第1保护材料5被保护材料卷取辊23卷取。另一方面，玻璃基材1单独由第1驱动辊22向第1除电部17输送(参照图2B)(输送工序)。在玻璃基材1的厚度方向一面51与第1驱动辊22相接触的状态下，玻璃基材1的厚度方向另一面52(非接触面52)不与其他构件相接触。玻璃基材1即使与第1驱动辊22相接触而带电，也能够通过第1除电部17的第1除电机25的工作被除电。
接着，玻璃基材1被第1引导辊26向溅射装置12引导(引导工序)。
接着，在溅射装置12中，玻璃基材1被第2引导辊28向成膜区域33引导(引导工序)。在成膜区域33中，对玻璃基材1实施溅射。作为溅射，具体而言，能够举出双极溅射法、电子回旋共振溅射法、磁控管溅射法、离子束溅射法等。溅射时的气压(即成膜区域33的气压)为真空，优选为小于1.0Pa，更优选为0.5Pa以下。
由此，在成膜区域33中，在玻璃基材1的厚度方向一面51形成透明导电层2，制造出向厚度方向一侧依次具有玻璃基材1和透明导电层2的透明导电性玻璃3(参照图2C)(成膜工序)。
另外，在溅射的同时，透明导电性玻璃3被加热机30加热。
被加热机30加热的透明导电性玻璃3的表面温度例如是200℃以上，优选为300℃以上，更优选为400℃以上，另外，例如是800℃以下，优选为600℃以下。由此，例如在透明导电层2的材料为ITO的情况下，能够在透明导电层2的成膜的同时使透明导电层2在高温下结晶化，能够提高透明导电层2的导电性。
然后，透明导电性玻璃3被第3引导辊31向冷却装置13引导(引导工序)。
在冷却装置13中，透明导电性玻璃3依次与第1冷却辊34和第2冷却辊35相接触而被冷却(冷却工序)。
各冷却辊(34、35)的表面温度例如是280℃以下，优选为150℃以下，另外，例如是40℃以上。
这时，从透明导电性玻璃3与冷却辊34、35的接触面积的扩大(进而是冷却效率的提高)的观点来看，以横穿连接第1冷却辊34的旋转轴和第2冷却辊35的旋转轴的线段的方式，输送透明导电性玻璃3。
这时，透明导电性玻璃3的玻璃基材1的厚度方向另一面52与第2冷却辊35直接接触。另一方面，透明导电性玻璃3的透明导电层2的厚度方向一面53与第1冷却辊34直接接触。然后，透明导电性玻璃3被从冷却装置13向第2除电部18输送。
这时，在透明导电性玻璃3的厚度方向另一面52(玻璃基材1的厚度方向另一面52)，即使因与第2冷却辊35摩擦而发生带电，也能够通过第2除电部18的第2除电机37的工作而被除电。此外，在透明导电性玻璃3的厚度方向一面53(透明导电层2的厚度方向一面53)，由于透明导电层2为导电性，因此，即使与第1冷却辊34摩擦，通常也不会带电。
然后，透明导电性玻璃3被第4引导辊38向卷取部16引导(引导工序)。
在卷取部16中，第2保护材料6被从保护材料送出辊42送出，被向保护材料引导辊43引导并向夹压辊44输送。
另一方面，透明导电性玻璃3与第2保护材料6一起经过第2驱动辊40与夹压辊44之间，从而第2保护材料6层压于透明导电性玻璃3的厚度方向另一面52。
在层叠体7的透明导电性玻璃3的厚度方向一面53与第2驱动辊40相接触的状态下，层叠体7中的第2保护材料6的厚度方向另一面54(接触面54)与夹压辊44相接触(被按压)。
然后，透明导电性玻璃3与第2保护材料6一起由卷取辊41卷取(卷取工序)。具体而言，具有透明导电性玻璃3和配置于该透明导电性玻璃3的厚度方向另一面52(与透明导电层2相反的一侧的表面52)的第2保护材料6的层叠体7(参照图2D)被卷绕为辊状。层叠体7向厚度方向一侧依次具有第2保护材料6、玻璃基材1以及透明导电层2。
3.透明导电性玻璃的用途
透明导电性玻璃3在例如图像显示装置等光学装置中使用。在将透明导电性玻璃3设于图像显示装置(具体而言，具有LCD模块、有机EL模块等图像显示元件的图像显示装置)的情况下，透明导电性玻璃3被用作例如触摸面板用基材、防反射基材等，优选地被用作触摸面板用基材。作为触摸面板的形式，能够举出光学方式、超声波方式、静电容方式、电阻膜方式等各种方式，尤其适合用于静电容方式的触摸面板。
4.一实施方式的作用效果
并且，在该输送装置11中，关于第1驱动辊22，在玻璃基材1与第1驱动辊22相接触的状态下，在玻璃基材1中相对于与第1驱动辊22的表面相接触的接触面51而言相反的一侧的非接触面52不与其他输送构件(夹压辊44等)相接触。也就是说，第1驱动辊22不构成夹压机构。因此，能够抑制与第1驱动辊22相接触的玻璃基材1的破损。因而，能够可靠地在送出辊21与卷取辊41之间输送玻璃基材1。
并且，由于第1驱动辊22的表面具有0.8μm以下这样较小的最大高度粗糙度Rz，因此，第1驱动辊22的表面能够紧贴于玻璃基材1，能够抑制相对于玻璃基材1滑动，具体而言，能够抑制第1驱动辊22的空转。因此，能够控制对玻璃基材1施加的张力，能够可靠地将第1驱动辊22的旋转转换为玻璃基材1的输送，能够更可靠地输送玻璃基材1。
由于该输送成膜装置10具有上述的输送装置11和溅射装置12，因此，能够抑制溅射装置12的破损，并且能够在溅射装置12设置透明导电层2。因此，能够可靠地制造透明导电性玻璃3。
由于该透明导电性玻璃3的制造方法使用输送成膜装置10，因此，能够抑制玻璃基材1的破损，并且能够在玻璃基材1设置透明导电层2，能够可靠地制造透明导电性玻璃3。
4.变形例
在以下的各变形例中，对于与上述的一实施方式相同的构件和工序，标注相同的参照附图标记，并省略其详细的说明。另外，各变形例除了特殊说明的内容之外，能够起到与一实施方式相同的作用效果。并且，能够适当组合一实施方式及其变形例。
在一实施方式中，第1驱动辊22与玻璃基材1的厚度方向一面51相接触，但例如也能够与玻璃基材1的厚度方向另一面52相接触，对此未图示。此外，在该情况下，玻璃基材1的厚度方向一面51不与其他输送构件(夹压辊44等)相接触。
另外，第1驱动辊22的数量也可以是多个。
另外，如图3所示，作为本发明的输送装置的一个例子，也能够例示如下的输送装置8，该输送装置8不具有溅射装置12、第1引导辊26、第2引导辊28、第3引导辊31、第4引导辊38(参照图1)，而是具有送出辊21、卷取辊41以及配置于该送出辊21与卷取辊41之间的第1驱动辊22。
另外，在图1和图2所示的实施方式中，作为功能层，例示了透明导电层2，但是，例如作为功能层，也能够设为例如硬敷层、光学调整层、金属层(例如铜层等非透明导电层)等，对此未图示。另外，功能层既可以是1层，也可以是2层以上。
在图1所示的实施方式中，作为成膜装置，例示了溅射装置12，但能够举出例如真空蒸镀装置、化学蒸镀装置等真空成膜装置等，对此未图示。
【实施例】
以下示出实施例和比较例来进一步具体地说明本发明。此外，本发明并不限定于任何实施例和比较例。另外，在以下的记载中使用的配合比例(比例)、物理性质值、参数等具体的数值能够替代成在上述的“具体实施方式”中记载的、与它们相对应的配合比例(比例)、物理性质值、参数等相应记载的上限(定义为“以下”、“小于”的数值)或下限(定义为“以上”、“超过”的数值)。
实施例1
准备了在一实施方式中说明的输送成膜装置10。
基于JIS B 0601(2009)测量了第1驱动辊22的最大高度粗糙度Rz，结果为0.2μm。
接着，作为玻璃基材1，在送出辊21放置了输送基材4，该输送基材4具有厚度50μm、厚度方向另一面52的最大高度粗糙度Rz为0.001μm的G-leaf(日本电气硝子公司制)和配置于该厚度方向另一面52的第1保护材料5(准备工序)。
接着，依次实施了剥离工序、成膜工序、冷却工序以及卷取工序。另外，利用第1驱动辊22实施了输送工序，利用第1引导辊26、第2引导辊28、第3引导辊31、第4引导辊38实施了引导工序。
在成膜工序中，使材料为ITO且厚度130nm的透明导电层2形成于玻璃基材1的厚度方向一面51。
实施例2
按照表1变更了第1驱动辊22的表面的最大高度粗糙度Rz，除此之外，与实施例1同样地进行了处理。
比较例1～比较例3
按照表1变更了第1驱动辊22的表面的最大高度粗糙度Rz，除此之外，与实施例1同样地进行了处理，尝试了玻璃基材1的输送。
但是，玻璃基材1未紧贴于第1驱动辊22，第1驱动辊22空转，无法控制对玻璃基材1施加的张力，因此无法输送玻璃基材1。结果，无法形成透明导电层2，进而也无法制得层叠体7，并且也无法利用卷取辊41卷取层叠体7。
比较例4
在第1驱动辊22的附近配置夹压辊，由该第1驱动辊22和夹压辊构成夹压机构，除此之外，与实施例1同样地进行了处理。在该夹压机构中，第1驱动辊22和夹压辊从厚度方向两侧夹持玻璃基材1。
但是，玻璃基材1因上述的夹持而破损。
[评价]
<玻璃基材的输送>
按照以下的基准评价了实施例1～比较例3各自的玻璃基材的输送。
○：能够抑制第1驱动辊22相对于玻璃基材1滑动，能够在控制对玻璃基材1施加的张力的状态下，输送该玻璃基材1。
×：第1驱动辊22相对于玻璃基材1滑动。无法控制对玻璃基材1施加的张力，无法准确地输送玻璃基材1。
<玻璃基材的破损>
按照以下的基准评价了实施例1～比较例4各自的玻璃基材1的破损。
○：玻璃基材1没有破损。
×：玻璃基材1破损。
【表1】
Figure BDA0002607212840000181
*滑动(第1驱动辊的空转)
此外，上述发明是作为本发明的例示的实施方式而提供的，但这仅仅是例示，而并非进行限定性的解释。对于本领域技术人员而言明显的本发明的变形例包含在后述权利要求书中。

Claims (3)

1.一种玻璃基材的输送装置，其特征在于，
该玻璃基材的输送装置具有：
送出辊，该送出辊构成为，送出具有挠性的玻璃基材；
卷取辊，该卷取辊构成为，卷取所述玻璃基材；以及
驱动辊，该驱动辊配置于所述玻璃基材的输送方向上的所述送出辊与所述卷取辊之间，构成为被赋予用于输送所述玻璃基材的动力，
所述驱动辊构成为，在所述玻璃基材与所述驱动辊相接触的状态下，在所述玻璃基材中相对于与所述驱动辊的表面相接触的接触面而言相反的一侧的非接触面不与其他输送构件相接触，
所述驱动辊的所述表面具有0.8μm以下的最大高度粗糙度Rz。
2.一种层叠玻璃的制造装置，其特征在于，
该层叠玻璃的制造装置具有：
权利要求1所述的输送装置；以及
成膜装置，该成膜装置配置于所述输送方向上的所述送出辊与所述卷取辊之间，构成为将功能层在真空下设于所述玻璃基材。
3.一种层叠玻璃的制造方法，该方法使用权利要求2所述的层叠玻璃的制造装置来制造层叠玻璃，
该层叠玻璃的制造方法的特征在于，具有如下工序：
将所述玻璃基材从所述送出辊送出的工序；
利用所述驱动辊输送所述玻璃基材的工序；
利用所述成膜装置将所述功能层在真空下设于所述玻璃基材的工序；以及
利用所述卷取辊卷取具有所述玻璃基材和所述功能层的层叠玻璃的工序。
CN202010742469.8A 2019-07-29 2020-07-29 玻璃基材的输送装置、层叠玻璃的制造装置以及制造方法 Pending CN112299090A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019138891A JP7381238B2 (ja) 2019-07-29 2019-07-29 ガラス基材の搬送装置、積層ガラスの製造装置および製造方法
JP2019-138891 2019-07-29

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN112299090A true CN112299090A (zh) 2021-02-02

Family

ID=74484035

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010742469.8A Pending CN112299090A (zh) 2019-07-29 2020-07-29 玻璃基材的输送装置、层叠玻璃的制造装置以及制造方法

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP7381238B2 (zh)
KR (1) KR20210014073A (zh)
CN (1) CN112299090A (zh)
TW (1) TW202110759A (zh)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010271619A (ja) * 2009-05-25 2010-12-02 Konica Minolta Opto Inc ロール状偏光板保護フィルム、偏光板およびロール状偏光板保護フィルムの製造方法
JP2012026024A (ja) * 2010-07-28 2012-02-09 Gunze Ltd 成膜装置及び成膜方法
CN103650641A (zh) * 2011-08-12 2014-03-19 日东电工株式会社 有机el元件的制造方法和制造装置
CN104583102A (zh) * 2012-08-27 2015-04-29 株式会社神户制钢所 玻璃膜输送装置
CN104854256A (zh) * 2012-12-21 2015-08-19 株式会社神户制钢所 基材输送辊
JP2016041840A (ja) * 2014-08-18 2016-03-31 住友金属鉱山株式会社 成膜方法及びそれを用いた金属膜付樹脂フィルムの製造方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6142485B2 (ja) 2012-08-31 2017-06-07 三菱化学株式会社 有機薄膜太陽電池素子の製造方法
JP2017101270A (ja) * 2015-11-30 2017-06-08 東レエンジニアリング株式会社 薄膜形成装置および薄膜形成方法
KR20180062103A (ko) * 2016-11-30 2018-06-08 엘지디스플레이 주식회사 롤투롤 기판증착장치
JP6507223B1 (ja) * 2017-12-27 2019-04-24 株式会社金陽社 フィルム用金属表面ゴムロール

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010271619A (ja) * 2009-05-25 2010-12-02 Konica Minolta Opto Inc ロール状偏光板保護フィルム、偏光板およびロール状偏光板保護フィルムの製造方法
JP2012026024A (ja) * 2010-07-28 2012-02-09 Gunze Ltd 成膜装置及び成膜方法
CN103650641A (zh) * 2011-08-12 2014-03-19 日东电工株式会社 有机el元件的制造方法和制造装置
CN104583102A (zh) * 2012-08-27 2015-04-29 株式会社神户制钢所 玻璃膜输送装置
CN104854256A (zh) * 2012-12-21 2015-08-19 株式会社神户制钢所 基材输送辊
JP2016041840A (ja) * 2014-08-18 2016-03-31 住友金属鉱山株式会社 成膜方法及びそれを用いた金属膜付樹脂フィルムの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210014073A (ko) 2021-02-08
JP7381238B2 (ja) 2023-11-15
TW202110759A (zh) 2021-03-16
JP2021020785A (ja) 2021-02-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI480898B (zh) Production method of conductive laminated film
TWI527917B (zh) 真空成膜方法，及經由該方法所得之層積體
EP2551371B1 (en) Method for double-side vacuum film formation
CN109641419B (zh) 层叠体、电子设备的制造方法、层叠体的制造方法
JP5831759B2 (ja) 真空成膜方法、及び該方法によって得られる積層体
JP2012052170A (ja) 機能性フィルムの製造方法
CN102779952A (zh) 有机el元件的制造方法及其制造装置、有机el元件
TW201350929A (zh) 光學薄膜之製造方法及吸收型多層膜ｎｄ濾光器
KR20120127285A (ko) 유기 ｅｌ 소자의 제조 방법, 그의 제조 장치 및 유기 ｅｌ 소자
CN112301319A (zh) 层叠玻璃的制造装置和制造方法
CN111747642B (zh) 玻璃基材的输送装置、层叠玻璃的制造装置及制造方法
CN112299090A (zh) 玻璃基材的输送装置、层叠玻璃的制造装置以及制造方法
JP6233167B2 (ja) 成膜方法、成膜装置およびそれを用いた金属薄膜付樹脂フィルムの製造方法
JP7427383B2 (ja) ガラス基材の搬送装置、積層ガラスの製造装置および製造方法
US9059369B2 (en) Method for manufacturing transparent conductive film
TW201946778A (zh) 透明導電性玻璃
KR100855068B1 (ko) 수직형 다층막 형성 장치
KR20120122965A (ko) 진공성막 방법 및 이 방법에 따라 얻을 수 있는 적층체
CN112011780A (zh) 真空成膜装置和真空成膜方法
CN114127865A (zh) 透明导电性薄膜
CN114127864A (zh) 透明导电性薄膜
JP2011195867A (ja) 機能性フィルムの製造方法
JP2013072112A (ja) 透明薄膜積層体の製造装置及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination