CN112289587B - 一种金属化薄膜电容器的加工方法及金属化薄膜电容器 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种金属化薄膜电容器的加工方法及金属化薄膜电容器，包括：将金属化薄膜进行卷制以形成元件；对元件进行静压，并进行热定型；对经静压和热定型的元件的端面喷涂金属材料形成喷金层；对形成喷金层的元件赋能及进行电气参数测量以选出合格元件，其中，电气参数至少包括耐压和容量；将多个合格元件的端面通过连接排并联并焊接，成为芯子，将金属电极端子连接到芯子上；对芯子设置绝缘隔离件，并将芯子和绝缘隔离件装入注胶模具内，然后进行真空注胶以及固化处理以制成电容器。本发明通过加工工艺和绝缘材料的选配使电容器获得优异的机械强度、耐压强度、高低温性能和绝缘性能，并具有轻量化的优势。

Description

一种金属化薄膜电容器的加工方法及金属化薄膜电容器

技术领域

本发明涉及电容器技术领域，具体涉及一种金属化薄膜电容器的加工方法及金属化薄膜电容器。

背景技术

金属化薄膜电容器广泛应用于工业及民用各领域中，对使用寿命和安全性的要求较高。目前，薄膜电容器在承受高压时容易击穿起火，造成安全隐患，需要研发设计一种耐压防爆、防火的电容器，提升产品的安全性。

一般金属化薄膜电容器所采用的封装材料为环氧树脂加PBT（Polybutyleneterephthalate聚对苯二甲酸丁二醇酯）塑壳， PBT塑壳防潮性不好，水气会进入薄膜，造成镀层腐蚀、喷金层脱离，进而降低产品容量以及缩短产品寿命。

发明内容

为解决现有技术的问题，本发明提出了一种金属化薄膜电容器的加工方法及电容器。

本发明第一方面提供一种金属化薄膜电容器的加工方法，其包括：

将金属化薄膜进行卷制以形成元件；

对所述元件进行静压，并进行热定型；

对经静压和热定型的元件的端面喷涂金属材料形成喷金层；

对形成喷金层的元件赋能及进行电气参数测量以选出合格元件，其中，所述电气参数至少包括耐压和容量；

将多个所述合格元件的所述端面通过连接排并联并焊接，成为芯子，将金属电极端子连接到所述芯子上；

对所述芯子设置绝缘隔离件，并将所述芯子和所述绝缘隔离件装入注胶模具内，然后进行真空注胶以及固化处理以制成电容器。

进一步地，所述对所述元件进行静压，并进行热定型包括：将所述元件按设定间距放置在分隔板上，将多层所述分隔板叠放入静压工装，并压实所述静压工装；其中，每层所述分隔板上沿分隔板厚度方向仅放置一层所述元件；将所述静压工装放入烘箱内，按预设的工艺温度曲线进行加热，完成所述热定型。

进一步地，所述对所述芯子设置绝缘隔离件包括：当多个所述芯子排列构成芯子组时，在多个所述芯子之间设置第一绝缘隔离件；在所述芯子或所述芯子组外侧设置第二绝缘隔离件，所述第二绝缘隔离件用于在所述芯子或所述芯子组装入所述注胶模具时起定位作用，所述第二绝缘隔离件的厚度等于所述芯子或所述芯子组的所述固化处理后的外壳厚度。

进一步地，所述将所述芯子和所述绝缘隔离件装入注胶模具内包括：将已设置所述绝缘隔离件的所述芯子倒装入所述注胶模具中；所述注胶模具包括由五块板构成的五面封闭的浇注箱，所述浇注箱底部敞口用于注胶。

进一步地，在所述真空注胶前，还包括：在设定温度和设定时间下对主剂和固化剂进行预热；在设定真空度下将包括所述主剂和所述固化剂的注胶材料进行混合；其中，所述主剂包括环氧树脂，所述固化剂包括甲基六氢邻苯二甲酸酐。

进一步地，所述主剂还包括填料和阻燃剂；其中，所述填料包括微米级三氧化二铝。

进一步地，在所述真空注胶之后和所述固化处理之间，还包括对所述注胶模具进行真空保压，所述真空保压是在设定时间内保持设定真空度。

进一步地，所述固化处理包括在所述真空注胶后对注胶材料、所述芯子和所述注胶模具按设定的工艺温度曲线完成热固化；在所述固化处理后，还包括对所述注胶模具进行拆模以及对所述电容器进行后固化；所述后固化包括在所述拆模后按设定温度和设定时间对所述电容器完成热固化。

进一步地，所述固化处理的所述设定的工艺温度曲线的参数顺序为62℃-68℃/1.5h-2.5h、72℃-78℃/3.5h-4.5h、82℃-88℃/3.5h-4.5h、92℃-98℃/7.5h-8.5h；所述后固化的所述设定温度和设定时间为102℃-108℃/3.5h-4.5h。

本发明第二方面提供一种金属化薄膜电容器，所述金属化薄膜电容器根据本发明第一方面提供的一种金属化薄膜电容器的加工方法来制备。

本发明提供的金属化薄膜电容器的加工方法使得电容器具备较好的机械强度、耐压强度、高温性能和绝缘性能，并且具有轻量化的优势，通过酸酐固化环氧树脂体系并添加填料和阻燃剂，进一步提升了电容器的机械与绝缘特性，同时提升了电容器的耐低温性能以及阻燃特性。

附图说明

图1为根据本发明实施例的一种金属化薄膜电容器的加工方法的基本流程图；

图2为根据本发明实施例的一种金属化薄膜电容器的加工方法的工艺流程图；

图3为根据本发明实施例的电容器芯子及配件的三维结构图；

图4为根据本发明实施例的电容器芯子及配件的剖面图；

图5为根据本发明实施例的第一绝缘隔离件与芯子组的位置示意图。

附图标记说明：

2-芯子组；21-电容元件；22-连接排；23-连接块；24-焊点；25-电极连接板；26-电极端子；28-捆扎带；3-第一绝缘隔离件；4-中隔板；5-第二绝缘隔离件；6-安装螺母。

具体实施方式

下面将参照附图详细描述根据本发明的实施例，描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同附图标记表示相同或相似的要素。要说明的是，以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表本发明的所有实施方式。它们仅是与如权利要求书中所详述的、本发明公开的一些方面相一致的例子，本发明的范围并不局限于此。在不矛盾的前提下，本发明各个实施例中的特征可以相互组合。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本文的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。本文提供的坐标系XYZ中，X轴正向代表的右方，X轴的反向代表左方，Y轴的正向代表前方，Y轴的反向代表后方，Z轴的正向代表上方，Z轴的反向代表下方。

本发明实施例提供一种金属化薄膜电容器的加工方法的实施例，图1所示为根据本发明实施例的一种金属化薄膜电容器的加工方法的基本流程图，图2所示为根据本发明实施例的一种金属化薄膜电容器的加工方法的工艺流程图，下文结合图1和图2对本发明实施例进行描述。如图1所示，本发明实施例的金属化薄膜电容器的加工方法包括步骤S1至S6：

步骤S1，元件卷制，即，将金属化薄膜进行卷制以形成元件。在本发明实施例中，在卷制之前，首先将聚丙烯薄膜表面镀上纯铝或者锌铝合金，然后对金属化薄膜进行卷制。其中，薄膜厚度一般为2.8μm-10μm。卷制工序对温湿度及环境的洁净度要求较高，温度为15℃-30℃，湿度为30%-70%，洁净度不低于动态10万级。

步骤S2，静压及热定型，即，对所述元件进行静压，并进行热定型。在本发明实施例中，元件静压所需设备包括静压工装、静压工作台、千斤顶、平整铝板多块。将元件整齐排列放置在铝板上，根据元件长度及铝板长宽尺寸确定放置元件数量，每块铝板高度方向仅放置一个元件，然后将多层铝板沿高度方向叠放成一摞，放入静压工装，静压工装再放置在静压工作台上通过千斤顶压实，并保持一定工艺时间，即为静压过程。然后将所述元件连带所述静压工装放入烘箱内，按设定好的工艺温度曲线完成所述热定型。

步骤S3，喷金，即，对经静压和热定型的元件的端面喷涂金属材料形成喷金层。在本发明实施例中，将热熔锌丝通过喷枪喷涂在元件端面，形成便于后续锡焊的喷金层，如图2中S32步骤。所述端面为所述元件两侧的平面，所述端面垂直于所述薄膜的表面。由于喷金过程中部分锌粉会粘附在元件最外层，在喷金前可做喷金防护，如图2中S31步骤，采用泡棉双面胶对元件不需要喷金的部位进行有效保护，按照尺寸定位进行粘贴；然后用铝箔胶带粘在泡棉双面胶的表面，减少因喷金造成的温度过高而对泡棉胶进行侵蚀从而导致喷金防护失效；最后用绝缘电缆纸对侧面部位进行防护，芯子喷金面中间留存需要喷金的尺寸。喷金后拆除元件最外面的防护层，拆除工序如图2中S33步骤所示。

步骤S4，赋能，即，对形成喷金层的元件赋能及进行电气参数测量以选出合格元件，其中，所述电气参数至少包括耐压和容量。在本发明实施例中，通过赋能机、直流电源、交流电源对单个元件进行赋能及耐压测试，每个元件都要承受650V/850V/1050VDC直流电压（正、反耐压各一次）以及承受200VAC交流电压冲击合格后才流入下道工序。然后，对耐压测试通过的元件通过LCR表进行容量、损耗测量，选出合格品。

步骤S5，芯子焊接及装配，即，将多个所述合格元件的所述端面通过连接排并联并焊接，成为芯子，将金属电极端子连接到所述芯子上。在本发明实施例中，锡焊工序如图2中S51步骤，所需设备及材料包括恒温烙铁、焊锡丝、连接排。将一组元件端面朝上且排放整齐，将连接排置于这组元件端面的中心位置。焊锡丝受热后融化成液态，均匀包覆在连接排表面，并与元件端面喷金层紧密结合，从而实现将多个元件通过连接排串并联在一起的目的。一侧端面焊接完毕，再翻转焊接另一侧端面。单个焊点形状为圆形，直径在15mm左右。多个元件锡焊连接后称为芯子。接着，进行芯子组装工序，如图2中S52步骤。芯子引出电极是通过定位工装确定好电极的间距，同时保证电极整体位置居中放置，随后通过锡焊方式将引出电极端子与电极连接板连接起来，电极连接板与连接排相接。电极端子包括导电螺母和铜柱，螺母与电极连接板锡焊连接。可选地，芯子可用捆扎带捆绑加固，芯子和芯子之间可添加中隔板。芯子及配件结构图参见图3和图4，芯子及配件结构图包括电容元件21、连接排22、电极连接板25、电极端子26、连接块23、捆扎带28、第一绝缘隔离件3、中隔板4、第二绝缘隔离件5、安装螺母6。

步骤S6，浇注及固化，即，对所述芯子设置绝缘隔离件，并将所述芯子和所述绝缘隔离件装入注胶模具内，然后进行真空注胶以及固化处理以制成电容器。在本发明实施例中，首先对焊接完成的芯子进行绝缘防护，在多个芯子之间粘贴环氧条，在芯子或芯子组外侧粘贴锥角垫块，该绝缘防护设置操作也是芯子组装工序的一部分。然后将芯子或芯子组及其绝缘隔离件装入到不锈钢模具内，进行真空注胶，如图2中S62步骤；注胶完成后送入烘箱进行高温预固化，芯子预固化完成后拆掉模具，再进行后固化，如图2中S63步骤。

随后，对电容器进行电气性能试验以选出合格品，如图2中S7步骤；接着，进行表面处理，对棱边进行打磨倒角，防止转运使用过程中出现割伤划伤，粘贴铭牌，如图2中S8步骤；最后，进行总装，包括装配和装箱，如图2中S9步骤。打磨和上述后固化的操作顺序可以交换。

本发明的金属化电容器具有良好的自愈性，当其介质的电弱处被击穿后，由于短路产生的高能量使击穿附近的金属镀层迅速逸散形成空白区，重新恢复绝缘，通过耐压赋能工序改善了电容器局部放电特性。本发明的电容器电极端子的导电螺母和铜柱的配合设计也提升了载流耐压性能。本发明选取的注胶材料组分和注胶后的固化工艺对电容器的机械性能以及耐压、绝缘性能、防潮防火性能都有较大的提升。

进一步地，所述对所述元件进行静压，并进行热定型包括：将所述元件按设定间距放置在分隔板上，将多层所述分隔板叠放入静压工装，并压实所述静压工装；其中，每层所述分隔板上沿分隔板厚度方向仅放置一层所述元件；将所述静压工装放入烘箱内，按预设的工艺温度曲线进行加热，完成所述热定型。在本发明实施例中，静压所需设备及工装包括600*450*800mm静压定型工装、360*440*3mm铝板、720*440*0.08mm电缆纸、990*700*1900mm加压装置。静压前，先确认工装干净整洁，确认铝板平整无毛刺，确认电缆纸无破损。然后，将元件摆放在包裹上电缆纸的铝板上，元件之间间隔一定距离，根据元件长度及铝板长宽尺寸确定放置元件数量，每块铝板沿厚度方向仅放置一个元件。然后将多层铝板沿厚度方向叠放成一摞，确认摆放的铝板平衡稳定，上下四边齐平。多层堆叠后，高度不超过600mm。元件摆放完成后，盖上工装盖板，在静压定型工装上方正中心位置上放上千斤顶，压力表显示达到45MPa-55MPa停止加压，加压完成后，手动拧紧静压定型工装四周螺母。随后将静压工装叉入烘箱内进行热定型。在本发明的实施例中，热定型的温度曲线为：70℃/2h、90℃/2h、110℃/1h、120℃/8h。热定型后要检查元件是否均匀收缩且无端面倒膜、端面开裂等问题。本发明通过在铝板上包裹电缆纸可以较好的保护薄膜不受损。通过热定型，聚丙烯薄膜在温度作用下会均匀收缩，元件整体变硬，便于后续的端面喷金工序。

进一步地，所述对所述芯子设置绝缘隔离件包括：当多个所述芯子排列构成芯子组时，在多个所述芯子之间设置第一绝缘隔离件；在所述芯子或所述芯子组外侧设置第二绝缘隔离件，所述第二绝缘隔离件用于在所述芯子或所述芯子组装入所述注胶模具时起定位作用，所述第二绝缘隔离件的厚度等于所述芯子或所述芯子组的所述固化处理后的外壳厚度。在本发明实施例中，如图5所示，两组芯子间放置的第一绝缘隔离件为5根环氧条（图5中第一绝缘隔离件3），整体呈2根（芯子底部）-1根（芯子中心）-2根（芯子顶部）分布，通过错开分布，保证注胶环氧料快速注满模具，同时能稳定隔开两组芯子，保证环氧树脂固化后的绝缘效果。

如图4所示，芯子组外侧设置的第二绝缘隔离件为环氧锥角（图4中第二绝缘隔离件5），粘贴在接近芯子底部的连接排上（例如，芯子底部倒数第三个元件的连接排中心），每组芯子每个端面底部各一个，两组芯子左右侧面各1个，共6个。芯子组顶部（电极所在面）和底部不设置环氧锥角。环氧锥角为圆锥状，圆锥底部圆直径10mm，圆锥高度6mm-10mm。本发明通过第二绝缘件的环氧锥角可固定芯子位置，保证芯子和装载芯子的注胶模具间间距一致。该间距实际上是环氧树脂外壳的厚度，保证间距一致，能保证树脂外壳厚度均匀，机械强度高，同时耐高低温冲击不开裂。

可选地，所述将所述芯子和所述绝缘隔离件装入注胶模具内包括：将已设置所述绝缘隔离件的所述芯子倒装入所述注胶模具中；所述注胶模具包括由五块板构成的五面封闭的浇注箱，所述浇注箱底部敞口用于注胶。在本发明实施例中，将焊接完成后的芯子通过打包带捆绑（图3中捆扎带28），然后对芯子设置绝缘隔离件，然后倒装放入注胶模具中，即电极端子的导电螺母朝下与注胶模具箱板接触，芯子底部朝向注胶模具箱敞口。本发明采用芯子倒装方式，使得注胶后注胶材料与电极螺母平齐，电容器顶面平整度好，且电极螺母内孔不会被注胶材料填堵，因此在注胶过程中无需采用额外工装来避开电极螺母孔被填。另外，完成环氧树脂浇注后，不需要额外对灌注口进行封口处理，因为环氧树脂液体已经完全覆盖了芯子底部（环氧树脂液面高出芯子底部约20mm），完全能阻挡空气进入芯子。在本发明实施例中，注胶工装模具采用五个面封闭的不锈钢板，五个面通过螺钉紧固密封，环氧树脂在模具底部敞口处进行浇注。注胶前先组装模具，如图2中S61步骤。本发明采用组装板构造注胶模具，无需专门定制注胶模具，节省了成本。

可选地，在所述真空注胶前，还包括：在设定温度和设定时间下对主剂和固化剂进行预热；在设定真空度下将包括所述主剂和所述固化剂的注胶材料进行混合；其中，所述主剂包括环氧树脂，所述固化剂包括甲基六氢邻苯二甲酸酐。在本发明实施例中，主剂和固化剂预热条件为温度60℃、真空度2-4mbar，预热约3小时；芯子预热温度为70℃，预热2小时。预热后，将主剂和固化剂搅拌均匀，抽真空后注入到工装模具中。环氧树脂填充包裹芯子，一方面充当了电容器外壳，提供了良好的机械性能，预留出了安装所需的机械接口与电气连接接口，相比不锈钢外壳电容器，能较好的减轻重量，电容器整体具有轻量化的优势；另一方面，固化物能提供绝佳的绝缘性能，环氧树脂外壳的厚度在5mm以上，可以承受1万伏以上的交流电压，电气性能优良；此外，环氧树脂外壳通过模具浇注成型，成型后样品收缩率很低，具有尺寸精确，安装公差小，除底面外五个面平整度高的特点。

可选地，所述主剂还包括填料和阻燃剂；其中，填料包括微米级三氧化二铝。在本发明实施例中，环氧树脂固化体系的主剂还包括微米级氧化铝粉末，同时添加了一定量阻燃剂。酸酐固化环氧树脂体系整体固化温度最高到105℃左右，固化物具有优异的机械物理性能及高温稳定性，填料的加入能再次提升固化物的机械与绝缘特性，同时改善了固化物的耐低温性能，经试验，-45℃-+75℃条件下高低温冲击试验3000h不开裂。而阻燃剂的加入，可以提升固化物的阻燃特性，可满足欧盟EN45545防火标准HL-2级阻燃要求。

可选地，在所述真空注胶之后和所述固化处理之间，还包括对所述注胶模具进行真空保压，所述真空保压是在设定时间内保持设定真空度。在本发明实施例中，环氧树脂浇注过程包括主剂与固化剂预热、混料、抽真空、注胶、真空保压、高温预固化、高温后固化等步骤。其中，抽真空30分钟；注胶30分钟；真空保压30分钟；真空度均保持在8-10mbar。整个环氧树脂混料机浇注过程完全在真空条件下进行，并通过真空保压进一步去除了注胶材料中的气泡、气孔和缝隙，保证了机械与电气性能。

可选地，所述固化处理包括在所述真空注胶后对注胶材料、所述芯子和所述注胶模具按设定的工艺温度曲线完成热固化；在所述固化处理后，还包括对所述注胶模具进行拆模以及对所述电容器进行后固化；所述后固化包括在所述拆模后按设定温度和设定时间对所述电容器完成热固化。在本发明实施例中，如图2中步骤S631，环氧树脂通过加温一定时间后完全固化为固态，便于后续拆模。高温预固化后，将紧固模具的螺钉松开，完成电容器整体脱模，如图2中步骤S632。注胶模具拆除后，再次进行热固化（后固化）以增强电容器性能，如图2中步骤S633。分两次固化是考虑到注胶材料和注胶模具板在高温下的膨胀系数不同而形成间隙，所以拆模前的固化温度不会升到顶峰，而在拆模后进一步加温到温度顶峰。

可选地，所述固化处理的所述设定的工艺温度曲线的参数顺序为62℃-68℃/1.5h-2.5h、72℃-78℃/3.5h-4.5h、82℃-88℃/3.5h-4.5h、92℃-98℃/7.5h-8.5h；所述后固化的所述设定温度和设定时间为102℃-108℃/3.5h-4.5h。在本发明实施例中，经过多次试验，预固化工艺参数和后固化工艺参数设定在此范围中可获得较好的固化效果。

电容器在出厂试验阶段要进行外观检测，进行电气性能测试，进行筛选试验等。常规试验通过后将电容器置于75℃、910VDC电压条件下24小时，通过短时老化检测电容器是否存在短路时效、容量异常等故障现象。完成以上检测并通过，才算是合格的产品。

本发明另一实施例提供一种金属化薄膜电容器，所述金属化薄膜电容器根据上述金属化薄膜电容器的加工方法来制备。

本发明提供的金属化薄膜电容器的加工方法使得电容器具备较好的机械强度、耐压强度、高温性能和绝缘性能，并且具有轻量化的优势，通过酸酐固化环氧树脂体系并添加填料和阻燃剂，进一步提升了电容器的机械与绝缘特性，同时提升了电容器的耐低温性能以及阻燃特性。

虽然本公开披露如上，但本公开的保护范围并非仅限于此。本领域技术人员在不脱离本公开的精神和范围的前提下，可进行各种变更与修改，这些变更与修改均将落入本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种金属化薄膜电容器的加工方法，其特征在于，包括：

将金属化薄膜进行卷制以形成元件；

对所述元件进行静压，并进行热定型；

对经静压和热定型的元件的端面喷涂金属材料形成喷金层；

对形成喷金层的元件赋能及进行电气参数测量以选出合格元件，其中，所述电气参数至少包括耐压和容量；

将多个所述合格元件的所述端面通过连接排并联并焊接，成为芯子，将金属电极端子的导电螺母连接到所述芯子上；

对所述芯子设置绝缘隔离件，包括：当多个所述芯子排列构成芯子组时，在多个所述芯子之间设置第一绝缘隔离件；在所述芯子或所述芯子组外侧设置第二绝缘隔离件；

将已设置所述绝缘隔离件的所述芯子或所述芯子组倒装入注胶模具中，然后进行真空注胶以及固化处理以制成电容器；所述固化处理包括在所述真空注胶后对注胶材料、所述芯子或芯子组和所述注胶模具按设定的工艺温度曲线完成热固化；

在固化处理后，对所述注胶模具进行拆模以及对所述电容器进行后固化；所述后固化包括在所述拆模后按设定温度和设定时间对所述电容器完成热固化；

所述第二绝缘隔离件用于在所述芯子或所述芯子组倒装入所述注胶模具内时起定位作用，所述第二绝缘隔离件的厚度等于所述芯子或所述芯子组的所述固化处理后的外壳厚度。

2.根据权利要求1所述的金属化薄膜电容器的加工方法，其特征在于，所述对所述元件进行静压，并进行热定型包括：

将所述元件按设定间距放置在分隔板上，将多层所述分隔板叠放入静压工装，并压实所述静压工装；其中，每层所述分隔板上沿分隔板厚度方向仅放置一层所述元件；

将所述静压工装放入烘箱内，按预设的工艺温度曲线进行加热，完成所述热定型。

3.根据权利要求1所述的金属化薄膜电容器的加工方法，其特征在于，所述注胶模具包括由五块板构成的五面封闭的浇注箱，所述浇注箱底部敞口用于注胶。

4.根据权利要求1所述的金属化薄膜电容器的加工方法，其特征在于，在所述真空注胶前，还包括：

在设定温度和设定时间下对主剂和固化剂进行预热；

在设定真空度下将包括所述主剂和所述固化剂的注胶材料进行混合；其中，所述主剂包括环氧树脂，所述固化剂包括甲基六氢邻苯二甲酸酐。

5.根据权利要求4所述的金属化薄膜电容器的加工方法，其特征在于，所述主剂还包括填料和阻燃剂；其中，所述填料包括微米级三氧化二铝。

6.根据权利要求1所述的金属化薄膜电容器的加工方法，其特征在于，在所述真空注胶之后和所述固化处理之间，还包括对所述注胶模具进行真空保压，所述真空保压是在设定时间内保持设定真空度。

7.根据权利要求1所述的金属化薄膜电容器的加工方法，其特征在于，

所述固化处理的所述设定的工艺温度曲线的参数顺序为62℃-68℃/1.5h-2.5h、72℃-78℃/3.5h-4.5h、82℃-88℃/3.5h-4.5h、92℃-98℃/7.5h-8.5h；

所述后固化的所述设定温度和设定时间为102℃-108℃/3.5h-4.5h。

8.一种金属化薄膜电容器，其特征在于，所述金属化薄膜电容器根据权利要求1-7中任一项所述的金属化薄膜电容器的加工方法来制备。

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