CN112286012A - 一种浸液回收系统及采用该系统的浸液回收方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种浸液回收系统及采用该系统的浸液回收方法，包括回收腔、密封抽排口、回收流路、气液分离器和孔板；密封抽排口和回收腔设于末端物镜并位于衬底上方浸液供给回收装置中；密封抽排口位于浸液供给回收装置中且朝向衬底，密封抽排口从浸液供给回收装置与衬底之间间隙抽取浸没液体，且从所述间隙中抽取浸没液体径向外侧气体；回收腔位于浸液供给回收装置内且与密封抽排口连通；回收腔与气液分离器的容腔连通；孔板设置于回收流路中，所述的孔板具有沿流体流动方向的通孔，且通孔的直径尺寸小于孔板所在回收流路的回收管道内径尺寸。有效消耗流体绕流以消耗压力脉动能量，减弱气液冲击、避免回收流路中压力脉动被共振放大。
Description
技术领域
本发明涉及一种浸液回收系统，尤其是涉及一种使用于浸没式光刻机中的浸液回收系统及采用该系统的浸液回收方法。
背景技术
光刻机是制造超大规模集成电路的核心装备之一，它利用光学系统把掩膜版上的电路图案精确地投影在涂覆光刻胶的衬底上并使光刻胶曝光改性，从而在衬底上留下电路图案信息。它包括激光光源、投影物镜系统、包含电路图案的投影掩膜版和涂有光敏光刻胶的衬底。
相对于中间介质为气体的干式光刻机，浸没式光刻(Immersion Lithography)设备通过在最后一片投影物镜与衬底之间填充某种高折射率的液体，通过提高该缝隙液体介质的折射率(n)来提高投影物镜的数值孔径(NA)，从而提高光刻设备的分辨率和焦深。在现有的主流光刻技术中，浸没式光刻相对早期的干式光刻具有良好的继承性，所以受到广泛应用。而对于浸没液体的填充，目前广泛采用的方案是局部浸没法，即使用浸液供给回收装置将液体限制在最后一片投影物镜的下表面和衬底上表面之间的局部区域内。而保持浸没液体在曝光区域内的光学一致性和透明度，也是保障浸没式光刻曝光质量的关键。为此，现有技术方案往往通过注液和回收实现浸没流场的实时更新，将光化学污染物、局部热量、微纳气泡等及时带离核心曝光区域，以确保浸没液体的高度纯净均一。
如图1和图2所示，浸没式光刻机中投影物镜系统具有距离衬底2最近的末端物镜1，末端物镜1和衬底2之间形成第一间隙11；环绕末端物镜1设置浸液供给回收装置3，浸液供给回收装置3向第一间隙11内提供浸没液体LQ，浸液供给回收装置3具有中心通孔31以供来自末端物镜1的曝光激光束穿过；当携带电路图案信息的曝光激光束穿过末端物镜1后，进入浸没液体LQ，穿过浸没液体LQ后投射在衬底2上；对于浸没式光刻机中常用的波长为193nm的曝光激光束，浸没液体LQ可以采用超纯水，超纯水对于193nm激光的折射率大于空气，因此相对于干式光刻机，浸没式光刻机的曝光激光束穿过末端物镜1和浸没液体LQ后可以汇聚为更小尺度的曝光靶区，从而在衬底上形成更小尺度的电路图案，从而提高光刻机的曝光分辨率。为了避免浸液供给回收装置3将振动和热扰动传递到末端物镜1以干扰其光学性质，设置浸液供给回收装置3不与末端物镜1相接触，于是在末端物镜1和浸液供给回收装置3之间形成第二间隙12。现有的浸没式光刻机在曝光过程中按照扫描步进原理相对于末端物镜1来移动衬底3，使得曝光激光束扫描式地将单幅电路图案投射到衬底2的单个靶区中，并步进式地将相同的电路图案投射到衬底2的多个靶区中；由于衬底2会发生相对于末端物镜1的运动，而浸液供给回收装置3相对于末端物镜1静止，因此衬底2会发生相对于浸液供给回收装置3的运动，衬底2与浸液供给回收装置3存在第三间隙13。
由于曝光过程中激光束会加热浸没液体LQ，衬底2上的光刻胶发生光化学反应可能产生污染物释放到浸没液体LQ中，浸没液体LQ的温度和洁净度的改变将导致其光学性质改变，因此设置浸液供给回收装置3驱动浸没液体LQ持续地流动更新以维持其温度和洁净度，具体来说，浸液供给回收装置3中设置朝向第二间隙12的主注液口4，使用浸液供给系统LS经主注液口4向第二间隙12提供浸没液体LQ；浸液供给回收装置3中设置朝向第二间隙12并且位于主注液口4对侧的主抽排口5，使用浸液回收系统VC经主抽排口5抽排浸没液体LQ；大部分浸没液体LQ自主注液口4流入第二间隙12，随后流入第一间隙11，然后第一间隙11和第二间隙12中的浸没液体被主抽排口5抽排；还有一部分浸没液体LQ会流入第三间隙13中，为了避免大量浸没液体LQ遗留在衬底2表面上导致衬底2形成光刻缺陷，以及避免浸没液体LQ浸湿其他部件造成损坏，浸液供给回收装置3在朝向衬底2的表面设置密封抽排口6，密封抽排口6可以是一圈均匀排布的小孔或者环形的缝隙，使用浸液回收系统VC经密封抽排口6将第三间隙13中的浸没液体LQ抽走排出。衬底2在扫描和步进运动过程中会牵拉浸没液体LQ，为了避免衬底2高速运动时过度牵拉浸没液体LQ导致其脱离密封抽排口6的约束，在浸液供给回收装置3中密封抽排口6的径向外侧设置气密封口7，使用气体供给系统AS经气密封口7向第三间隙13供给气体流，在气体流的提高压强和吹扫作用下，密封抽排口6对于浸没液体LQ的约束能力增强。主抽排口5和密封抽排口6将浸没液体LQ完全抽排，浸没液体LQ和外围气体之间形成了弯液面20，弯液面20所包围的浸没液体空间即为浸没流场。
在现有技术方案中，经密封抽排口6抽排的浸没液体LQ和气体首先进入浸液供给回收装置3中的回收腔61，再继续沿与回收腔61连通的密封抽排流路62被抽排出浸没液体供给回收装置3；在常规设置中，回收腔61是一个与中心通孔31同心的圆环形腔体，可以设置多条密封抽排流路62从不同的方向与回收腔61连通以及时抽排浸没液体LQ。
对浸没液体LQ的抽排会在浸没液体LQ内部产生压力脉动，第一间隙11内浸没液体LQ的压力脉动会改变其光学传播均匀性，导致曝光精度降低；浸没液体LQ内部的压力脉动还会引起末端物镜1、衬底2和浸液供给回收装置3的振动，导致这些部件的位置偏移甚至损坏。浸液回收系统VC的动力源提供的负压本身具有压力脉动，这种压力脉动会传递到浸没液体LQ中，而密封抽排流路中的同时抽排浸没液体LQ和气体形成的气液两相流会产生影响更大的压力脉动；气液两相流中的气体和液体在流动中具有不同的惯性和流速，气体流和液体流相互扰动、冲击，还伴随着气液界面的破碎等过程，会产生特征复杂的压力脉动。因此有必要对浸没液体LQ抽排过程进行良好控制以抑制在浸没液体LQ中产生的压力脉动。
发明内容
本发明为解决现有浸没式光刻机存在着因浸液回收系统的压力脉动传递到浸没液体中，气液两相流会产生影响更大的压力脉动，导致气体流和液体流会产生特征复杂的压力脉动，甚至被共振放大，导致部件的位置偏移甚至损坏等现状而提供的一种可有效消耗流体绕流以消耗压力脉动能量，建立稳定气液通道以减弱气液冲击、调整流路对压力脉动波的传递阻抗以避免回收流路中的压力脉动被共振放大的浸液回收系统及采用该系统的浸液回收方法。
本发明为解决上述技术问题所采用的具体技术方案为：一种浸液回收系统，包括浸液供给回收装置，其特征在于：还包括密封抽排口、回收腔、回收流路、气液分离器和孔板；密封抽排口和回收腔环绕设置于末端物镜并位于衬底上方的浸液供给回收装置中；密封抽排口位于浸液供给回收装置中且朝向衬底的一面，密封抽排口从浸液供给回收装置与衬底之间的间隙抽取浸没液体，同时从所述间隙中抽取浸没液体径向外侧的气体；回收腔位于浸液供给回收装置内部，并且与密封抽排口连通；回收腔通过回收流路与设于浸液供给回收装置外部的气液分离器的容腔连通；孔板设置于回收流路中，所述的孔板具有沿流体流动方向的通孔，且通孔的直径尺寸小于孔板所在回收流路的回收管道内径尺寸。在浸液回收系统中，于回收腔和气液分离器之间的回收流路中设置孔板，实现对回收流体中的压力脉动的抑制；可以根据实际情况调整孔板的设置方式，以获得对流体绕流以消耗压力脉动能量、建立稳定气液通道以减弱气液冲击；可有效消耗流体绕流以消耗压力脉动能量，建立稳定气液通道以减弱气液冲击、调整流路对压力脉动波的传递阻抗以避免回收流路中的压力脉动被共振放大。
作为优选，所述的孔板沿流体流动方向的长度与所述通孔的直径之比小于2。提高通孔对气液冲击的冲击缓冲减弱作用，更有效防止回收流路中的压力脉
动被共振放大。
作为优选，所述的孔板沿流体流动方向的长度与所述通孔的直径之比为2～20。提高通孔对气液冲击的冲击缓冲减弱作用，更有效防止回收流路中的压力脉动被共振放大。
作为优选，所述的气液分离器上设有彼此独立的抽气泵和抽液泵，抽气泵与气液分离器的容腔连通并用于从气液分离器中抽取气体，抽液泵与气液分离器的容腔连通并用于从气液分离器中抽取浸没液体。对气液两相流进行气液分离后再继续分别独立执行抽排气体和抽排液体动作，可以提高抽排动力的控制精度；单独抽取气体或者液体的抽排泵可获得比允许抽排气液两相流的抽排泵具有更高的压力控制精度。
作为优选，所述的孔板的轴向端面与气液分离器的容腔之间的横向距离不超过孔板沿流体流动方向的长度的3倍。提高通孔对气液冲击的冲击缓冲减弱作用，更有效防止回收流路中的压力脉动被共振放大。
作为优选，所述的通孔的直径与所述回收流路的内径之比为0.4～0.6。提高通孔对气液冲击的冲击缓冲减弱作用，更有效防止回收流路中的压力脉动被共振放大。
作为优选，所述的孔板的轴向端面与回收腔之间的距离不超过孔板沿流体流动方向的长度的3倍。提高通孔对气液冲击的冲击缓冲减弱作用，更有效防止回收流路中的压力脉动被共振放大。
作为优选，所述的孔板设有多个所述通孔。提高通孔对气液冲击的冲击缓冲减弱作用，更有效防止回收流路中的压力脉动被共振放大。
作为优选，所述的浸液供给回收装置中设有转接头，且转接头设于回收流路与浸液供给回收装置相连接的连接处，浸液供给回收装置与朝向气液分离器所在一侧的回收流路上具有连通的回收管，转接头连接设置在浸液供给回收装置与回收管的连接端处；转接头将所述孔板压紧于浸液供给回收装置的径向外端面，回收管的一端与转接头固定连接；转接头内部具有贯通通道，并且贯通通道与回收管内部空间和回收腔连通。提高浸液供给回收装置与气液分离器之间的连接回收可靠有效性，提高浸液供给回收装置与回收管之间的回收转接可靠有效性，更有效建立稳定气液通道以减弱气液冲击。
作为优选，所述的回收腔具有与气液分离器相连通的多条回收流路。更有效建立稳定气液通道以减弱气液冲击
本发明申请的另一个发明目的在于一种浸液回收方法，其特征在于：包括如下步骤
A1.经浸液供给回收装置朝向衬底一侧的密封抽排开口抽取浸没液体和浸没液体外围的气体；
A2.浸没液体和气体形成气液两相流，随后流入上述技术方案之一所述的回收腔；
A3.回收腔内的气液两相流经抽排流路被抽取至上述技术方案之一所述的气液分离器，气液两相流在抽排流路中穿过上述技术方案之一所述的孔板，所述的孔板具有直径小于抽排流路直径的通孔供气液两相流穿过；
A4.气液两相流进入气液分离器，被分离为气体和液体，随后分别被上述技术方案之一所述的抽气泵和抽液泵继续抽排，其中抽气泵从气液分离器中抽取气体，抽液泵从气液分离器中抽取浸没液体。
有效提高实现对回收流体中的压力脉动的抑制；可以根据实际情况调整孔板的设置方式，以获得对流体绕流以消耗压力脉动能量、建立稳定气液通道以减弱气液冲击；可有效消耗流体绕流以消耗压力脉动能量，建立稳定气液通道以减弱气液冲击、调整流路对压力脉动波的传递阻抗以避免回收流路中的压力脉动被共振放大。可以提高气体和液体的单独抽排动力的控制精度。
本发明的有益效果是：在浸液回收系统中，于回收腔和气液分离器之间的回收流路中设置孔板，实现对回收流体中的压力脉动的抑制；可以根据实际情况调整孔板的设置方式，以获得对流体绕流以消耗压力脉动能量、建立稳定气液通道以减弱气液冲击、调整流路对压力脉动波的传递阻抗以避免回收流路中的压力脉动被共振放大等有益效果。可有效消耗流体绕流以消耗压力脉动能量，建立稳定气液通道以减弱气液冲击、调整流路对压力脉动波的传递阻抗以避免回收流路中的压力脉动被共振放大。
附图说明：
下面结合附图和具体实施方式对本发明做进一步的详细说明。
图1是现有技术中浸液回收系统的结构示意图。
图2是现有技术中浸液回收系统的仰视结构示意图。
图3是本发明一种浸液回收系统的实施例一结构示意图。
图4是本发明一种浸液回收系统中涉及孔板的结构示意图。
图5是本发明一种浸液回收系统的实施例二结构示意图。
图6是本发明一种浸液回收系统的实施例三结构示意图。
图7是是本发明一种浸液回收系统实施例四涉及的工作原理示意图。
图8是本发明一种浸液回收系统的实施例五结构示意图。
图9是是本发明一种浸液回收系统实施例五的孔板装配结构示意图。
具体实施方式
实施例1：
图3、图4、图5、图6、图7、图8、图9所示的实施例1中，一种浸液回收系统，包括浸液供给回收装置3，还包括密封抽排口6、回收腔61、回收流路63、气液分离器64和孔板67；密封抽排口6和回收腔61安装环绕设置于末端物镜1并位于衬底2上方的浸液供给回收装置3中；密封抽排口6位于浸液供给回收装置3中且朝向衬底2的一面，密封抽排口6朝向朝向于衬底2，密封抽排口6从浸液供给回收装置3与衬底2之间的间隙抽取浸没液体，同时从所述间隙中抽取浸没液体径向外侧的气体GS；回收腔61位于浸液供给回收装置3内部，并且与密封抽排口61连通；回收腔61通过回收流路63与设于浸液供给回收装置3外部的气液分离器64的容腔连通；孔板67设置于回收流路63中，所述的孔板67具有沿流体流动方向的通孔671，且通孔671的直径尺寸小于孔板67所在回收流路63的回收管道内径尺寸。孔板沿流体流动方向的长度与所述通孔的直径之比小于2，或者是采用孔板沿流体流动方向的长度与所述通孔的直径之比为2～20。进一步的孔板采用沿流体流动方向的长度与所述通孔的直径之比为8～15。所述的气液分离器64上安装连接有彼此独立的抽气泵和抽液泵，也即抽气泵和抽液泵是各自独立完全其对应抽取工作的，抽气泵与气液分离器64的容腔连通并用于从气液分离器64中抽取气体GS，抽液泵66与气液分离器64的容腔连通并用于从气液分离器64中抽取浸没液体LQ。孔板的轴向端面与气液分离器的容腔之间的横向距离不超过孔板沿流体流动方向的长度的3倍。通孔的直径与所述回收流路的内径之比为0.4～0.6。孔板的轴向端面与回收腔之间的距离不超过孔板沿流体流动方向的长度的3倍。孔板67上开有多个平行分布的所述通孔671。浸液供给回收装置中设有转接头32，且转接头32设于回收流路与浸液供给回收装置相连接的连接处，浸液供给回收装置与朝向气液分离器64所在一侧的回收流路上具有连通的回收管69，转接头32连接设置在浸液供给回收装置与回收管69的连接端处；转接头将所述孔板压紧于浸液供给回收装置的径向外端面，回收管的一端与转接头固定连接；转接头内部具有贯通通道，并且贯通通道与回收管内部空间和回收腔61连通。回收腔61具有与气液分离器相连通的多条回收流路63。
实施例2：
图3、图4、图5、图6、图7、图8、图9所示的实施例中，一种浸液回收方法，包括如下步骤：
A1.经浸液供给回收装置朝向衬底一侧的密封抽排开口抽取浸没液体和浸没液体外围的气体；
A2.浸没液体和气体形成气液两相流，随后流入实施例1所述的回收腔；
A3.回收腔内的气液两相流经抽排流路被抽取至实施例1所述的气液分离器，气液两相流在抽排流路中穿过实施例1所述的孔板，所述的孔板具有直径小于抽排流路直径的通孔供气液两相流穿过；
A4.气液两相流进入气液分离器，被分离为气体和液体，随后分别被实施例1所述的抽气泵和抽液泵继续抽排，其中抽气泵从气液分离器64中抽取气体GS，抽液泵从气液分离器64中抽取浸没液体LQ。
本发明上述实施例1更具体的实施描述如下：
实施例一
如图3所示，一种浸液回收系统，包括密封抽排口6、回收腔61、回收流路63、气液分离器64；密封抽排口6位于浸液供给回收装置3朝向衬底2的一面，密封抽排口6从第三间隙13抽取浸没液体LQ，同时从第三间隙13抽取浸没液体LQ径向外侧的环境气体或者是来自气密封口7排放的密封气体；回收腔61位于浸液供给回收装置3的内部，并且与密封抽排口6连通；回收腔61通过回收流路63与浸液供给回收装置3外部的气液分离器64的容腔连通；设置抽气泵65与气液分离器64的容腔连通并从气液分离器64中抽取气体GS，设置抽液泵66与气液分离器64的容腔连通并从气液分离器64中抽取浸没液体LQ；密封抽排口6抽取浸没液体LQ和气体后形成气液两相流GL，气液两相流GL经回收腔61和回收流路63流动至气液分离器64，在气液分离器64内分离为气体GS和浸没液体LG；气液两相流GL的压力是不稳定的，难以对其进行控制，将气液两相流GL分离为气相和液相后，可以采取例如监测气相压力进行反馈控制的方法控制浸液回收系统提供的抽排动力稳定，保证对第三间隙13中浸没液体LQ的有效抽排；并且，单独抽取气体或者液体的抽排泵往往比允许抽排气液两相流的抽排泵具有更高的压力控制精度，因此对气液两相流GL进行气液分离后再继续分别抽排气体和液体可以提高抽排动力的控制精度；浸液回收系统还包括设置于回收流路63中的孔板67，用于抑制浸液回收系统中的压力脉动。
如图4所示，孔板67置于回收流路63中，孔板67上具有通孔671；通孔671的直径d小于回收流路63的内径D；流体流经孔板67将产生扰动流，扰动流会消耗流体中压力脉动携带的能量，从而起到抑制压力脉动的作用；同时，压力脉动是以波的形式在介质中传播的，由于通孔671的直径与回收流路63的直径不相同，通孔671内流体介质对于压力脉动波的阻抗不同于回收流路63内的流体介质，回收流路63中的压力脉动波传递至通孔671处将发生向波源方向的部分反射，于是传递至下游的压力脉动减弱；因此，在回收流路63中设置孔板67能够抑制浸液回收系统中的压力脉动。
通孔671可以设置为长径比(长度L与孔径d的比值L/d)小于2的短孔形式，也可以设置为长径比在2至20的细长孔形式；细长孔形式的通孔671可以使压力脉动的能量在孔内因为流体的粘性作用而被更显著地消耗，但同时也增大了流动的阻力，需要动力源提供更大的抽排动力。孔板67可以如图4(a)所示在中心设置一个通孔671，也可以如图4(b)所示设置多个通孔671。
2)实施例二
如图5所示，设置孔板67于回收流路63与气液分离器64的连接处。由于回收流路63的横截面积不同于回收腔61或者气液分离器64，三者中的流体介质对于压力脉动波的传递阻抗也不相等；在回收流路63内，来自回收腔61的压力脉动波传播至与回收腔61或者与气液分离器64的连接处将发生反射现象，被反射的压力脉动波与入射的压力脉动波叠加，形成驻波现象，并且可能产生共振现象，导致压力脉动在回收流路63内被放大，而且放大后的压力脉动会传递至回收腔61和气液分离器64。根据压力脉动波的传递模型，在大容积的气液分离器64与回收流路63的连接处设置孔板67；
根据公式：
设置孔板67的开孔率，能够消除气液分离器64与回收流路63的连接处的压力脉动波反射条件，使回收流路63内的驻波变为行波向下游传递，从而防止压力脉动在回收流路63内被增强；在该公式中，C是回收流路63内流体介质的声速，在本方案中由于气体的体积流量往往明显大于液体的体积流量，因此C可以取气体的声速；d是孔板67上通孔的直径，对于多孔形式的孔板67，d是每个通孔的直径；D是回收流路的直径；u是回收流路63内流体介质的平均流速，在本方案中可以取气体的平均流速。结合经验，回收流路63内气体的平均流速通常在20～30m/s范围内，孔板67的尺寸按d/D＝0.4～0.6取值能够较好地抑制回收流路63内的压力脉动共振现象。
优选地，孔板67的轴向端面与气液分离器64的容腔之间的距离不超过3倍孔板67的长度L。
其余实施方式与实施例一相同。
3)实施例三
如图6所示，设置孔板67于回收流路63与回收腔61的连接处，类似实施例二地，孔板67能够消除回收流路63靠近回收腔61一端的压力脉动反射条件，使来自气液分离器64的压力脉动波不会在回收流路63内形成驻波，从而抑制回收流路63内的压力脉动共振现象。
优选地，孔板67的轴向端面与气液分离器64的容腔之间的距离不超过3倍孔板67的长度L。
其余实施方式与实施例一相同。
4)实施例四
设置孔板67于回收流路63与回收腔61的连接处，并且孔板67采用多孔板形式。
设置孔板67于回收流路63与回收腔61的连接处的有益效果与实施例三相同。孔板67设置为多孔形式的优点参考图7阐释；由于回收腔61与回收流路63在流动方向上的横截面积不相等，浸没液体LQ和气体GS从回收腔61向回收流路63流动时会发生流速的改变，流速的改变会造成截面过渡区域的流动体系紊乱；如图7(a)所示，流动体系的紊乱可能造成有时浸没液体LQ完全覆盖回收流路63的端口，而气体GS向回收流路63内流动会冲破浸没液体LQ的阻挡，产生浸没液体LQ的“飞溅”现象，气体冲击液体、气液界面破裂以及液体飞溅的行为都会加剧压力脉动；如图7(b)所示，在回收腔61与回收流路63之间设置多孔形式的孔板67，由于孔板67上通孔附近尖锐边缘672对于气液界面673具有因“接触线钉扎”行为产生的阻挡作用，因此，当气体GS占据径向内侧的通孔671建立气体通道后，贴附于固体壁面的浸没液体LQ不能轻易占据气体通道，而是倾向于占据径向外侧的通孔671建立液体通道，于是，孔板67辅助气体和液体建立了更稳定的流动通道，减少了气液相互冲击的现象，抑制了流体内的压力脉动。优选地，孔板67的轴向端面与回收腔61之间的距离不超过3倍孔板67的长度L。其余实施方式与实施例一相同。
5)实施例五
如图8和图9所示，孔板67设置于回收流路63与浸液供给回收装置3径向外端面的交叉处。转接头32以螺栓等方式连接于浸液供给回收装置3的端面，转接头32内部有贯通的通道与回收腔61连通，转接头32具有宝塔头33，回收管69插接并压紧于宝塔头33上形成固定连接，回收管69、转接头32的内部空间连通并与回收腔61连通形成回收流路63；转接头32将孔板67压紧于浸液供给回收装置3的端面上，并且位于回收流路63上；孔板67的外围设置密封圈68以阻止流体沿装配缝隙泄漏至回收流路63外。由于浸液供给回收装置3内部空间通常较小，本实施例示出的方式是一种更加方便装拆孔板67的设置方式；并且，由于回收腔61通常距离转接头32较近，而回收管69的长度较长，因此本实施例中孔板67的设置位置靠近回收腔，与实施例三或实施例四的孔板67设置方式有相似性，能够取得一定程度的类似于实施例三或实施例四的抑制压力脉动共振和截面过渡区域气液相互冲击的有益效果。
其余实施方式与实施例一相同。
按照实施例五实施的一个浸液回收系统实例中，在直径8mm的回收流路中设置厚度0.5mm的孔板，孔板上均布60个直径0.3mm的通孔，在第一间隙中取典型采样点测量浸没液体中的压力，实验测得压力脉动的峰峰值小于120Pa，而去除孔板后压力脉动的峰峰值会超过120Pa并达到200Pa左右。
实施本发明时，既可以按照实施例一至实施例五中任一实施方式实施；也可以根据浸液回收系统内的压力脉动情况组合实施例一至实施例五中多种实施方式实施。例如，如果在某一浸液回收系统实例中，回收腔内产生的压力脉动强于回收流路和气液分离器产生的压力脉动，可以采用实施例二的实施方式以减小压力脉动波向回收腔的反射传递，也可以采用实施例四的方式减轻回收腔与回收流路连接处的气液冲击行为产生的压力脉动，还可以组合实施例二和实施例四的方式以同时获得减少压力脉动反射和气液冲击行为的有益效果；如果在某一浸液回收系统实例中，气液分离器内产生的压力脉动强于回收流路和回收腔内产生的压力脉动，可以采用实施例三的方式抑制回收流路中的压力脉动波的共振放大现象。
在本发明位置关系描述中，出现诸如术语“内”、“外”、“上”、“下”、“左”、“右”等指示方位或者位置关系的为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了方便描述实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
以上内容和结构描述了本发明产品的基本原理、主要特征和本发明的优点，本行业技术人员应该了解。上述实例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都属于要求保护的本发明范围之内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (10)
1.一种浸液回收系统，包括浸液供给回收装置和回收腔，其特征在于：还包括密封抽排口、回收流路、气液分离器和孔板；密封抽排口和回收腔环绕设置于末端物镜并位于衬底上方的浸液供给回收装置中；密封抽排口位于浸液供给回收装置中且朝向衬底的一面，密封抽排口从浸液供给回收装置与衬底之间的间隙抽取浸没液体，同时从所述间隙中抽取浸没液体径向外侧的气体；回收腔位于浸液供给回收装置内部，并且与密封抽排口连通；回收腔通过回收流路与设于浸液供给回收装置外部的气液分离器的容腔连通；孔板设置于回收流路中，所述的孔板具有沿流体流动方向的通孔，且通孔的直径尺寸小于孔板所在回收流路的回收管道内径尺寸。
2.按照权利要求1所述的浸液回收系统，其特征在于：所述的孔板沿流体流动方向的长度与所述通孔的直径之比小于2。
3.按照权利要求1所述的浸液回收系统，其特征在于：所述的孔板沿流体流动方向的长度与所述通孔的直径之比为2～20。
4.按照权利要求1所述的浸液回收系统，其特征在于：所述的孔板的轴向端面与气液分离器的容腔之间的横向距离不超过孔板沿流体流动方向的长度的3倍。
5.按照权利要求1所述的浸液回收系统，其特征在于：所述的通孔的直径与所述回收流路的内径之比为0.4～0.6。
6.按照权利要求1所述的浸液回收系统，其特征在于：所述的孔板的轴向端面与回收腔之间的距离不超过孔板沿流体流动方向的长度的3倍。
7.按照权利要求1或2或4或6所述的浸液回收系统，其特征在于：所述的孔板设有多个所述通孔。
8.按照权利要求1所述的浸液回收系统，其特征在于：所述的浸液供给回收装置中设有转接头，且转接头设于回收流路与浸液供给回收装置相连接的连接处，浸液供给回收装置与朝向气液分离器所在一侧的回收流路上具有连通的回收管，转接头连接设置在浸液供给回收装置与回收管的连接端处；转接头将所述孔板压紧于浸液供给回收装置的径向外端面，回收管的一端与转接头固定连接；转接头内部具有贯通通道，并且贯通通道与回收管内部空间和回收腔连通。
9.按照权利要求1所述的浸液回收系统，其特征在于：所述的回收腔具有与气液分离器相连通的多条回收流路。
10.一种浸液回收方法，其特征在于：包括如下步骤
A1.经浸液供给回收装置朝向衬底一侧的密封抽排开口抽取浸没液体和浸没液体外围的气体；
A2.浸没液体和气体形成气液两相流，随后流入权利要求1～9之一所述的回收腔；
A3.回收腔内的气液两相流经抽排流路被抽取至权利要求1～9之一所述的气液分离器，气液两相流在抽排流路中穿过权利要求1～9之一所述的孔板，所述的孔板具有直径小于抽排流路直径的通孔供气液两相流穿过；
A4.气液两相流进入气液分离器，被分离为气体和液体，随后分别被权利要求1～9之一所述的抽气泵和抽液泵继续抽排，其中抽气泵从气液分离器中抽取气体，抽液泵从气液分离器中抽取浸没液体。
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