CN112277175A - 一种金刚线切割多晶硅片制绒工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了金刚线切割技术领域的一种金刚线切割多晶硅片制绒工艺,所述主辊控制装置包括外轴,所述外轴右侧内部设置装配部,所述装配部右侧设置外轴盖,所述外轴盖右侧设置导向柱,所述导向柱右侧设置伸缩弹簧,所述伸缩弹簧右侧设置外盖,所述外盖中间内部穿过切割主辊,所述外盖右侧上下端设置锁紧螺母,所述切割主辊右侧与第一机架连接,所述切割主辊和第一机架之间设置固定块,所述固定块内部设置弹簧,所述弹簧右侧设置连接板,所述连接板右侧设置连接杆,通过该装置可有效防止切割主辊在运转时造成卡死,提高整体装置的工作效率。
Description
技术领域
本发明涉及金刚线切割技术领域,具体为一种金刚线切割多晶硅片制绒工艺。
背景技术
随着全球经济的发展,能源的消耗急剧增长,绝大多数能源是化石燃料,不仅资源日渐减少,而且大量二氧化碳等气体排放,使环境问题日益严重,冶金法提纯多晶硅的工艺因具有提纯技术产能大、生产工艺简单、提纯工艺不涉及化学过程、与环境友好等优点,被广泛使用,现有技术中的多晶硅片多数采用砂浆切割的方式将硅棒切割成硅片,此过程中形成的切割面不平整,给切割成型的硅片质量带来一定影响,现有切割机中的轴辊固定结构不合理,一般采用直接固定法将轴辊固定在机架上,这种固定方式使得轴辊在具体使用过程中容易卡死,造成切割机的切割工作无法正常运行。
发明内容
本发明的目的在于提供一种金刚线切割多晶硅片制绒工艺,以解决上述背景技术中提出的现有切割机中的轴辊固定结构不合理,一般采用直接固定法将轴辊固定在机架上,这种固定方式使得轴辊在具体使用过程中容易卡死,造成切割机的切割工作无法正常运行的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种金刚线切割多晶硅片制绒工艺,所述金刚线切割制绒工艺包括支撑板,所述支撑板上部设置切割液压缸,所述支撑板前表面设置第一机架,所述第一机架内部中间设置切割主辊,所述第一机架前表面设置主辊控制装置,所述主辊控制装置包括外轴,所述外轴右侧内部设置装配部,所述装配部右侧设置外轴盖,所述外轴盖右侧设置导向柱,所述导向柱右侧设置伸缩弹簧,所述伸缩弹簧右侧设置外盖,所述外盖中间内部穿过切割主辊,所述外盖右侧上下端设置锁紧螺母,所述切割主辊右侧与第一机架连接,所述切割主辊和第一机架之间设置固定块,所述固定块内部设置弹簧,所述弹簧右侧设置连接板,所述连接板右侧设置连接杆,所述第一机架右侧设置第二机架,所述第二机架内部中间设置放线轮,所述放线轮右侧设置收线轮,所述第二机架上部设置板式换热器。
优选的,所述第一机架前表面底部设置散热孔,所述第一机架左侧前表面底部同样设置散热孔,所述第二机架前表面底部设置散热孔。
优选的,所述主辊控制装置包括外轴盖,所述导向柱与外轴盖为一体式结构,所述导向柱与外轴盖同轴,所述伸缩弹簧套设在导向柱上,所述外盖上开设有容纳伸缩弹簧的导向腔,所述导向腔与外盖同轴。
优选的,所述支撑板上部设置切割液压缸,所述支撑板和切割液压缸之间设置调节装置,所述调节装置包括伸缩杆,所述伸缩杆上部设置连接杆,所述连接杆上部设置安装板,所述安装板上部设置固定环,所述安装板、连接杆和伸缩杆上设置挤压弹簧,所述固定环底部左右两侧设置固定轴,所述固定轴底部设置连接块,所述连接块底部设置活动铰接座,所述连接块和活动铰接座之间设置转杆。
优选的,所述调节装置包括连接块,所述连接块内部设置转轴,所述转杆与连接块内部转轴相连,所述活动铰接座底部与支撑板上部固定连接。
优选的,所述放线轮上安装金刚线,所述金刚线依次经过放线轮、切割主辊和收线轮,所述金刚线交替缠绕在切割主辊之间形成螺旋状的线网。
与现有技术相比,本发明的有益效果:
采用金刚线对多晶硅片进行切割,有效保证多晶硅片的规整性,同样的主辊控制装置在外轴盖与外盖之间设有伸缩压簧,装配时,外轴盖与外轴固定在一起,而外轴与切割主辊装配连接,外盖与第一机架固定连接,运行过程中,由于伸缩弹簧产生形变,外轴盖的轴向位置可以产生一定的位移,因此,切割主辊在运行过程中不会被卡死,使用方便;外盖通过顶杆固定在第一机架上,而顶杆上设有外螺纹,机架与顶杆螺纹连接,可以通过调节顶杆与机架的旋合长度,来调整外盖的位置,装配方便。
附图说明
图1为本发明金刚线切割机结构示意图;
图2为本发明主辊控制装置结构示意图;
图3为本发明调节装置结构示意图。
图中:1切割液压缸、2支撑板、21活动铰接座、22转杆、23连接块、24固定环、25安装板、26固定轴、27连接杆、28伸缩杆、29挤压弹簧、3第一机架、4切割主辊、5主辊控制装置、51外轴、52装配部、53外轴盖、54导向柱、55伸缩弹簧、56外盖、57锁紧螺母、58弹簧、59固定块、510连接板、511连接杆、6放线轮、7收线轮、8第二机架、9板式换热器。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-3,本发明提供一种技术方案:一种金刚线切割多晶硅片制绒工艺,所述金刚线切割制绒工艺包括支撑板2,支撑板2上部设置切割液压缸1,支撑板2前表面设置第一机架3,第一机架3内部中间设置切割主辊4,第一机架3前表面设置主辊控制装置5,主辊控制装置5包括外轴51,外轴51右侧内部设置装配部52,装配部52右侧设置外轴盖53,外轴盖53右侧设置导向柱54,导向柱54右侧设置伸缩弹簧55,伸缩弹簧55右侧设置外盖56,外盖56中间内部穿过切割主辊4,外盖56右侧上下端设置锁紧螺母57,切割主辊4右侧与第一机架3连接,切割主辊4和第一机架3之间设置固定块59,固定块59内部设置弹簧58,弹簧58右侧设置连接板510,连接板510右侧设置连接杆511,外轴盖53与外轴51固定在一起,而外轴51与切割主辊4装配连接,外盖56与第一机架3固定连接,运行过程中,由于伸缩弹簧58产生形变,外轴盖53的轴向位置可以产生一定的位移,因此,切割主辊4在运行过程中不会被卡死,使用方便,第一机架3右侧设置第二机架8,第二机架8内部中间设置放线轮6,放线轮6右侧设置收线轮7,第二机架8上部设置板式换热器9。
其中,第一机架3前表面底部设置散热孔,第一机架3左侧前表面底部同样设置散热孔,第二机架8前表面底部设置散热孔,通过设置散热孔可使得切割装置在工作时对外部进行散热;
主辊控制装置5包括外轴盖53,导向柱54与外轴盖53为一体式结构,导向柱54与外轴盖53同轴,伸缩弹簧55套设在导向柱54上,导向柱54可以对伸缩弹簧55进行导向,外盖56上开设有容纳伸缩弹簧55的导向腔,导向腔与外盖56同轴,通过导向腔可有效延长伸缩弹簧55的使用寿命;
支撑板2上部设置切割液压缸1,支撑板2和切割液压缸1之间设置调节装置,调节装置包括伸缩杆28,伸缩杆28上部设置连接杆27,连接杆27上部设置安装板25,安装板25上部设置固定环24,安装板25、连接杆27和伸缩杆28上设置挤压弹簧29,固定环24底部左右两侧设置固定轴26,固定轴26底部设置连接块23,连接块23底部设置活动铰接座21,连接块23和活动铰接座21之间设置转杆22,活动铰接座21通过转杆22与连接块23连接,进行上下运动,带动伸缩杆28一起,通过调节装置可有效调节液压缸在支撑板2上的高度;
调节装置包括连接块23,连接块23内部设置转轴,转杆22与连接块23内部转轴相连,转轴通过转杆22与活动铰接座21连接,以此实现固定环24顺着调节装置上下调节位置,活动铰接座21底部与支撑板2上部固定连接;
放线轮6上安装金刚线,金刚线依次经过放线轮6、切割主辊4和收线轮7,金刚线交替缠绕在切割主辊4之间形成螺旋状的线网,通过金刚线进行切割多晶硅片可保证其规整性。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种金刚线切割多晶硅片制绒工艺,其特征在于:所述金刚线切割制绒工艺包括支撑板(2),所述支撑板(2)上部设置切割液压缸(1),所述支撑板(2)前表面设置第一机架(3),所述第一机架(3)内部中间设置切割主辊(4),所述第一机架(3)前表面设置主辊控制装置(5),所述主辊控制装置(5)包括外轴(51),所述外轴(51)右侧内部设置装配部(52),所述装配部(52)右侧设置外轴盖(53),所述外轴盖(53)右侧设置导向柱(54),所述导向柱(54)右侧设置伸缩弹簧(55),所述伸缩弹簧(55)右侧设置外盖(56),所述外盖(56)中间内部穿过切割主辊(4),所述外盖(56)右侧上下端设置锁紧螺母(57),所述切割主辊(4)右侧与第一机架(3)连接,所述切割主辊(4)和第一机架(3)之间设置固定块(59),所述固定块(59)内部设置弹簧(58),所述弹簧(58)右侧设置连接板(510),所述连接板(510)右侧设置连接杆(511),所述第一机架(3)右侧设置第二机架(8),所述第二机架(8)内部中间设置放线轮(6),所述放线轮(6)右侧设置收线轮(7),所述第二机架(8)上部设置板式换热器(9)。
2.根据权利要求1所述的一种金刚线切割多晶硅片制绒工艺,其特征在于:所述第一机架(3)前表面底部设置散热孔,所述第一机架(3)左侧前表面底部同样设置散热孔,所述第二机架(8)前表面底部设置散热孔。
3.根据权利要求1所述的一种金刚线切割多晶硅片制绒工艺,其特征在于:所述主辊控制装置(5)包括外轴盖(53),所述导向柱(54)与外轴盖(53)为一体式结构,所述导向柱(54)与外轴盖(53)同轴,所述伸缩弹簧(55)套设在导向柱(54)上,所述外盖(56)上开设有容纳伸缩弹簧(55)的导向腔,所述导向腔与外盖(56)同轴。
4.根据权利要求1所述的一种金刚线切割多晶硅片制绒工艺,其特征在于:所述支撑板(2)上部设置切割液压缸(1),所述支撑板(2)和切割液压缸(1)之间设置调节装置,所述调节装置包括伸缩杆(28),所述伸缩杆(28)上部设置连接杆(27),所述连接杆(27)上部设置安装板(25),所述安装板(25)上部设置固定环(24),所述安装板(25)、连接杆(27)和伸缩杆(28)上设置挤压弹簧(29),所述固定环(24)底部左右两侧设置固定轴(26),所述固定轴(26)底部设置连接块(23),所述连接块(23)底部设置活动铰接座(21),所述连接块(23)和活动铰接座(21)之间设置转杆(22)。
5.根据权利要求4所述的一种金刚线切割多晶硅片制绒工艺,其特征在于:所述调节装置包括连接块(23),所述连接块(23)内部设置转轴,所述转杆(22)与连接块(23)内部转轴相连,所述活动铰接座(21)底部与支撑板(2)上部固定连接。
6.根据权利要求4所述的一种金刚线切割多晶硅片制绒工艺,其特征在于:所述放线轮(6)上安装金刚线,所述金刚线依次经过放线轮(6)、切割主辊(4)和收线轮(7),所述金刚线交替缠绕在切割主辊(4)之间形成螺旋状的线网。
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CN114603731A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-06-10 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | 一种多线切割机线轮 |
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2019
- 2019-07-27 CN CN201910685186.1A patent/CN112277175A/zh active Pending
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CN114603731A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-06-10 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | 一种多线切割机线轮 |
CN114603731B (zh) * | 2022-03-30 | 2024-01-26 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | 一种多线切割机线轮 |
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PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20210129 |
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WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |