CN112261562A - Mems扬声器 - Google Patents

Mems扬声器 Download PDF

Info

Publication number
CN112261562A
CN112261562A CN202011048370.4A CN202011048370A CN112261562A CN 112261562 A CN112261562 A CN 112261562A CN 202011048370 A CN202011048370 A CN 202011048370A CN 112261562 A CN112261562 A CN 112261562A
Authority
CN
China
Prior art keywords
driver
substrate
cavity
mems
diaphragm
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202011048370.4A
Other languages
English (en)
Inventor
程诗阳
朱国
但强
李杨
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AAC Technologies Holdings Nanjing Co Ltd
Ruisheng Technology Nanjing Co Ltd
Original Assignee
Ruisheng Technology Nanjing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ruisheng Technology Nanjing Co Ltd filed Critical Ruisheng Technology Nanjing Co Ltd
Priority to CN202011048370.4A priority Critical patent/CN112261562A/zh
Priority to PCT/CN2020/127833 priority patent/WO2022067975A1/zh
Publication of CN112261562A publication Critical patent/CN112261562A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R19/00—Electrostatic transducers
    • H04R19/02—Loudspeakers
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R1/00—Details of transducers, loudspeakers or microphones
    • H04R1/20—Arrangements for obtaining desired frequency or directional characteristics
    • H04R1/22—Arrangements for obtaining desired frequency or directional characteristics for obtaining desired frequency characteristic only 
    • H04R1/28—Transducer mountings or enclosures modified by provision of mechanical or acoustic impedances, e.g. resonator, damping means
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
    • H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
    • H04R7/04—Plane diaphragms
    • H04R7/06—Plane diaphragms comprising a plurality of sections or layers
    • H04R7/08—Plane diaphragms comprising a plurality of sections or layers comprising superposed layers separated by air or other fluid

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Otolaryngology (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)

Abstract

本发明提供了一种MEMS扬声器，包括MEMS发声单体，其包括：衬底，其包括相对的顶面和底面；振动发声组件，包括振动膜和驱动器，振动膜包括分别固定于顶面且相互间隔平行设置的第一振动膜与第二振动膜，第一振动膜、第二振动膜及衬底共同围成封闭的衬底空腔；驱动器包括贴合固定于第一振动膜以驱动第一振动膜振动发声的第一驱动器以及贴合固定于第二振动膜以驱动第二振动膜振动发声的第二驱动器；声孔，贯穿衬底，并将衬底空腔与外界连通；第一驱动器驱动第一振动膜产生的声波和第二驱动器驱动第二振动膜产生的声波在衬底空腔内叠加后经声孔传出。与相关技术相比，本发明的MEMS扬声器结构稳定、可靠性高且声学性能好。

Description

MEMS扬声器
【技术领域】
本发明涉及电声转换领域，尤其涉及一种运用于便携式电子产品的MEMS扬声器。
【背景技术】
扬声器作为手机等移动终端的主要元器件之一，其主要用于将电信号传换成声音信号。
MEMS扬声器(Micro-Electro-Mechanical System)，即微机电系统扬声器，其相对于传统的音圈式扬声器具有一致性好、功耗低、尺寸小、价格低等优势，主要包括平面式和立体式结构。平面式架构中驱动器与振动发声组件耦合在一起，而立体式架构则通过质量块、质量框架、连杆等传动件将驱动器与振动发声组件去耦合。
然而，相关技术的MEMS扬声器中，平面式架构中振动组件会制约驱动器的变形，使其整体位移振幅降低从而影响音频输出，声学性能受限。而立体式架构虽然将驱动器和振动组件去耦合，但由于其包含传动件，使其整体稳定性降低，易引入失稳模态影响音效，且易发生跌落失效，结构稳定性弱，可靠性差。
因此，有必要提供一种新的MEMS扬声器解决上述技术问题。
【发明内容】
本发明的目的在于提供一种结构稳定、可靠性高且声学性能好的MEMS扬声器。
为了达到上述目的，本发明提供了一种MEMS扬声器，其包括MEMS发声单体，所述MEMS发声单体包括：
衬底，所述衬底呈环状结构，其包括相对的顶面和底面；
振动发声组件，所述振动发声组件包括振动膜和驱动器，所述振动膜包括固定于所述顶面的第一振动膜和固定于所述底面并与所述第一振动膜间隔平行设置的第二振动膜，所述第一振动膜、所述第二振动膜及所述衬底共同围成封闭的衬底空腔；所述驱动器包括固定于所述第一振动膜以驱动所述第一振动膜振动发声的第一驱动器以及固定于所述第二振动膜以驱动所述第二振动膜振动发声的第二驱动器；以及，
声孔，所述声孔贯穿所述衬底并将所述衬底空腔与外界连通；所述第一驱动器驱动所述第一振动膜产生的在所述衬底空腔内的声波和所述第二驱动器驱动所述第二振动膜产生的在所述衬底空腔内的声波叠加后经所述声孔传出。
优选的，所述第一驱动器贴合于所述第一振动膜远离所述衬底空腔的一侧，所述第二驱动器贴合于所述第二振动膜远离所述衬底空腔的一侧。
优选的，所述MEMS发声单体还包括沿所述振动方向同时贯穿所述第一驱动器与所述第一振膜，和/或同时贯穿所述第二驱动器与所述第二振膜的狭缝。
优选的，所述振动膜和所述驱动器均呈矩形，所述第一驱动器与所述第一振膜上开设有至少两条所述狭缝，两条所述狭缝分别沿所述第一驱动器的两条对角线延伸并交叉，和/或所述第二驱动器与所述第二振膜上开设有至少两条所述狭缝，两条所述狭缝分别沿对应的所述第一驱动器和对应的所述第二驱动器的两条对角线延伸并相互交叉。
优选的，至少两个所述驱动器的固有频率相异。
优选的，所述第一驱动器包括至少两个且相互间隔设置，所述第二驱动器包括一个，且所述第一驱动器的平面尺寸小于所述第二驱动器的平面尺寸。
优选的，所述衬底包括具有所述顶面的上衬底和具有所述底面的下衬底，所述上衬底远离所述顶面的一端抵接于所述下衬底远离所述底面的一端，所述衬底还包括由所述上衬底的内侧朝向所述衬底空腔延伸形成的延伸壁，所述延伸壁设有沿所述振动方向贯穿其上的至少两个通孔，每一所述第一驱动器分别正对一所述通孔设置。
优选的，所述通孔包括四个且呈矩阵排布，所述第一驱动器包括四个且与四个所述通孔一一对应设置。
优选的，所述声孔同时贯穿所述上衬底和所述下衬底。
优选的，所述MEMS扬声器还包括具有收容空间的壳体，所述壳体包括呈环状的侧壁、连接于所述侧壁相对两端并与所述侧壁共同围成收容空间的上盖和下盖、位于所述收容空间内并连接所述侧壁相对两侧的支撑壁；所述支撑壁将所述收容空间分隔成第一腔和第二腔，且所述支撑壁的上端和下端分别与所述上盖及所述下盖间隔围成上通道和下通道；所述MEMS发声单体收容于所述第一腔内，所述MEMS发声单体的侧面分别固定于所侧壁和所述支撑壁，并将所述第一腔分隔成第一上腔和第一下腔，所述第一上腔通过所述上通道与所述第二腔连通，所述第一下腔通过所述下通道与所述第二腔连通；所述支撑壁还设有贯穿其上的中通道，所述中通道将所述声孔与所述第二腔连通；所述侧壁还设有贯穿其上的出音孔，所述出音孔将所述第二腔与外界连通。
优选的，所述驱动器为压电换能器，其包括压电膜和分别贴合于所述压电膜相对两侧的电极板，其中一所述电极板贴合于所述振动膜。
与相关技术相比，本发明的MEMS扬声器通过在衬底的顶面和底面分别设置第一振动膜和第二振动膜且共同围成衬底空腔，并设置分别贴合于第一振动膜的第一驱动器与第二振动膜的第二驱动器，第一驱动器和第二驱动器均为平面膜结构，且分别直接驱动第一振动膜和第二振动膜振动发声，从而使得整体结构稳定性好，有效避免了跌落失效的问题，提高了可靠性；上述结构形成了双振动膜双驱动结构，第一驱动器驱动第一振动膜产生的声波和第二驱动器驱动第二振动膜产生的声波在衬底空腔内叠加后经所述声孔传出，从而有效的改善了驱动器对振动膜的振幅和音频输出的制约，进而使得声学性能更优。
【附图说明】
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：
图1为本发明MEMS扬声器实施例一的立体结构示意图；
图2为图1的部分立体结构分解示意图；
图3为图1中沿A-A线的剖示图；
图4为本发明MEMS扬声器封装的结构示意图；
图5为本发明MEMS扬声器封装的结构中声波方向示意图；
图6为本发明MEMS扬声器实施例二的立体构示意图；
图7为本发明MEMS扬声器实施例二的剖示图；
图8为本发明MEMS扬声器实施例三的结构示意图；
图9为本发明MEMS扬声器实施例三的剖示图。
【具体实施方式】
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
实施方式一
请同时参阅图1-4，本实施例提供了一种MEMS扬声器100，其包括MEMS发声单体10，所述MEMS发声单体10包括：衬底1、振动发声组件2以及声孔3。
所述衬底1呈环状结构，其包括相对的顶面11和底面12。本实施方式中，所述衬底1的横截面呈圆形或三角形或多边形均可。
所述振动发声组件2包括振动膜21和驱动的振动膜21振动发声的驱动器22。
所述振动膜21包括固定于所述顶面11的第一振动膜211和固定于所述底面12并与所述第一振动膜211间隔平行设置的第二振动膜212。所述第一振动膜211、所述第二振动膜212及所述衬底1共同围成封闭的衬底空腔101。
本实施方式中，所述驱动器22为平面薄膜结构，比如所述驱动器为压电换能器，其包括压电膜和分别贴合于所述压电膜相对两侧的电极板，其中一所述电极板贴合于所述振动膜21。当然，所述驱动器22也不限于此，还可以是静电换能器或电磁换能器，这都是可行的，其原理一样。
所述驱动器22的形状不限，可为圆形或三角形或多边形，其与衬底1形状匹配为佳。
本实施方式中，所述驱动器22包括固定于所述第一振动膜211以驱动所述第一振动膜211振动发声的第一驱动器221以及固定于所述第二振动膜212以驱动所述第二振动膜212振动发声的第二驱动器222。
更优的，所述第一驱动器221贴合于所述第一振动膜211远离所述衬底空腔101的一侧，所述第二驱动器222贴合于所述第二振动膜212远离所述衬底空腔101的一侧，避免驱动器22占用衬底空腔101的体积，使得衬底空腔101的体积更大，声学性能更优。
所述声孔3贯穿所述衬底1，并将所述衬底空腔101与外界连通。本实施方式中，所述声孔3沿垂直于所述振动膜21的振动方向贯穿所述衬底1设置。
所述第一驱动器221驱动所述第一振动膜211产生的声波和所述第二驱动器222驱动所述第二振动膜212产生的声波在所述衬底空腔101内叠加后经所述声孔3传出。
上述结构中，第一驱动器221和第二驱动器222分别直接驱动第一振动膜211和第二振动膜212振动发声，从而使得整体结构稳定性好，有效避免了跌落失效的问题，提高了可靠性；上述结构形成了双振动膜双驱动结构，第一驱动器221驱动第一振动膜211产生的声波和第二驱动器222驱动第二振动膜212产生的声波在衬底空腔101内叠加后经所述声孔3传出，使得最终输出的音频信号加强，从而有效的改善了驱动器22对振动膜21的振幅和音频输出的制约，进而使得声学性能更优。
请一并结合图5所示，本实施方式中，所述MEMS扬声器单体10可单独使用，也可封装后使用，其封后如图4-5所示，MEMS扬声器100还包括具有收容空间的壳体20，所述壳体20包括呈环状的侧壁201、连接于所述侧壁201相对两端并与所述侧壁201共同围成收容空间的上盖202和下盖203、位于所述收容空间内并连接所述侧壁201相对两侧的支撑壁204。
所述支撑壁204将所述收容空间分隔成第一腔102和第二腔103，且所述支撑壁204的上端和下端分别与所述上盖202及所述下盖203间隔，所述支撑壁204的上端与所述上盖202共同围成上通道104，所述支撑壁204的下端与所述下盖203共同围成下通道105。
所述MEMS发声单体10收容于所述第一腔102内，所述MEMS发声单体10的侧面分别固定于所侧壁201和所述支撑壁204，并将所述第一腔102分隔成第一上腔1021和第一下腔1022。第一上腔1021通过所述上通道104与所述第二腔103连通，所述第一下腔1022通过所述下通道105与所述第二腔103连通。所述支撑壁204还设有贯穿其上的中通道2041，所述中通道2041将所述声孔3与所述第二腔103连通。所述侧壁201还设有贯穿其上的出音孔2011，所述出音孔2011将所述第二腔103与外界连通。
上述结构将MEMS发声单体10通过壳体20封装后，驱动器22驱动振动膜21振动产生的声波则分两部分，如图5所示：
第一部分声波分朝向衬底空腔101内，即第一驱动器221驱动第一振动膜211产生的向内的声波和第二驱动器222驱动第二振动膜212产生的向内的声波在衬底空腔101内叠加后依次经所述声孔3和所述中通道2041传至第二腔103内。
第二部分声波分朝向衬底空腔101外，即第一驱动器221驱动第一振动膜211产生的向外的声波依次经第一上腔1021和上通道104后传至第二腔103内；第二驱动器222驱动第二振动膜212产生的向外的声波依次经第一下腔1022和下通道105后传至第二腔103内。
上述两部分声波在第二腔103内叠加后经所述出音孔2011传出，有效的改善了声学性能。
通过合理设计第一部分声波和第二部分声波的路程差，使其叠加时相位相同，则可有效的利用MEMS扬声器100内外两侧的声压，进一步提升音频输出性能。即，由于振膜内外两侧传输的声波信号为180°反相，故优选的，MEMS扬声器100应合理设置其内外两侧通道长度的路程差，如，使两侧通道长度的差值等于所传输声波信号半波长的奇数倍，这样可使得两路声信号抵达出音孔2011时相位相同，让原本反相的声波信号合并时再反相之后变成同相，即可产生叠加效应，提升系统的声压输出。需要理解的是，MEMS扬声器100在工作时，第一振动膜211的振动方向与第二振动膜212的振动方向相反，此时第一振动膜211在衬底空腔101外的声波信号的相位与第二振动膜212在衬底空腔101外的声波信号的相位相同，而第一振动膜211在衬底空腔101内外两侧的声波信号为180°反相，第二振动膜212也是如此；以第一振动膜211为例，第一振动膜211产生的衬底空腔101外的声波抵达出音孔2011的通道长度与衬底空腔101内的声波经声孔3和中通道2041抵达出音孔2011的通道长度为声波信号半波长的奇数倍。
实施方式二
本实施方式与上述实施方式一的MEMS扬声器结构基本相同，不同的是：
请结合图6-7所示，所述MEMS发声单体510还包括沿所述振动方向同时贯穿所述第一驱动器5221与所述第一振膜5211，和/或同时贯穿所述第二驱动器5222与所述第二振膜5212的狭缝54。即狭缝54与衬底空腔5101连通。
比如，所述振动膜521和所述驱动器522均呈矩形，所述第一驱动器5221与所述第一振膜5211上开设有至少两条所述狭缝54，两条所述狭缝54分别沿所述第一驱动器5221的两条对角线延伸并交叉，和/或所述第二驱动器5222与所述第二振膜5212上开设有至少两条所述狭缝54，两条所述狭缝54分别沿对应的所述第一驱动器5221或对应的所述第二驱动器5222的两条对角线延伸并相互交叉。
本实施方式中，狭缝54的设置极大程度的消除了驱动器522与振动膜521振动自由度的限制，增加了所述振动发声组件52的顺性并提升了振动的振幅，从而进一步提升了MEMS扬声器的声压输出。
除上述区别外，本实施方式的MEMS扬声器的其它结构与实施方式一相同，在此不再赘述。
实施方式三
本实施方式与上述实施方式一的MEMS扬声器结构基本相同，不同的是：
请结合图8-9所示，本实施方式中，所述MEMS发声单体710的至少两个所述驱动器722的固有频率相异，即至少有两个驱动器722具有不同的固有频率。使得各驱动器722驱动振动膜721产生不同的振动频率，从而叠加后使全可听频段的声交得到全面的调和，声学性能更能。
比如，本实施方式中，所述第一驱动器7221包括至少两个且相互间隔设置，所述第二驱动器7222包括一个，且所述第一驱动器7221的平面尺寸小于所述第二驱动器7222的平面尺寸。采用不同尺寸的驱动器722进行组合，可先对输入的音频信号进行分频，将高频信号施加给平面尺寸较小的高频驱动器组，即第一驱动器7221，将低频信号施加给平面尺寸较大的低频驱动器组，即第二驱动器7222，使其分别对应不同频段信号振动发声，并将产生的声波叠加后输出。不仅可以提升MEMS扬声器的声压输出，还可以针对不同频段的声信号采用不同固有频率(f0)的驱动器进行发声，使全可听频段的声效得到全面的调和。比如，不同固有频率的驱动器722分别对应可听频域的高频、低频，甚至高频、中频、低频，使所述MEMS扬声器在整个可听频域的输出具有相对均匀的高品质输出。
本实施方式中，具体的，所述衬底71包括具有所述顶面711的上衬底701和具有所述底面712的下衬底702，所述上衬底701远离所述顶面711的一端抵接于所述下衬底702远离所述底面712的一端。所述衬底71还包括由所述上衬底701的内侧朝向所述衬底空腔7101延伸形成的延伸壁703，所述延伸壁703设有沿所述振动方向贯穿其上的至少两个通孔704，每一所述第一驱动器7221分别正对一所述通孔704设置。
本实施方式中，所述通孔704包括四个且呈矩阵排布，所述第一驱动器7221包括四个且与四个所述通孔704一一对应设置。矩阵排布的设置有利于振动平衡，提高发声的稳定性。
更优的，所述声孔73同时贯穿所述上衬底701和所述下衬底702。居中位置，使得第一振动膜7211与第二振动膜7212产生的声波汇合叠加时相位相同，进一步提升MEMS扬声器的音频输出性能。
除上述区别外，本实施方式的MEMS扬声器的其它结构与实施方式一相同，在此不再赘述。
与相关技术相比，本发明的MEMS扬声器通过在衬底的顶面和底面分别设置第一振动膜和第二振动膜且共同围成衬底空腔，并设置分别贴合于第一振动膜的第一驱动器与第二振动膜的第二驱动器，第一驱动器和第二驱动器均为平面膜结构，且分别直接驱动第一振动膜和第二振动膜振动发声，从而使得整体结构稳定性好，有效避免了跌落失效的问题，提高了可靠性；上述结构形成了双振动膜双驱动结构，第一驱动器驱动第一振动膜产生的声波和第二驱动器驱动第二振动膜产生的声波在衬底空腔内叠加后经所述声孔传出，从而有效的改善了驱动器对振动膜的振幅和音频输出的制约，进而使得声学性能更优；通过不同频率的驱动器设置，有效实现调和全可听波段的音频输出，声效优化效果更好。
以上所述的仅是本发明的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本发明的保护范围。

Claims (11)

1.一种MEMS扬声器，其特征在于，所述MEMS扬声器包括MEMS发声单体，所述MEMS发声单体包括：
衬底，所述衬底呈环状结构，其包括相对的顶面和底面；
振动发声组件，所述振动发声组件包括振动膜和驱动器，所述振动膜包括固定于所述顶面的第一振动膜和固定于所述底面并与所述第一振动膜间隔平行设置的第二振动膜，所述第一振动膜、所述第二振动膜及所述衬底共同围成封闭的衬底空腔；所述驱动器包括固定于所述第一振动膜以驱动所述第一振动膜振动发声的第一驱动器以及固定于所述第二振动膜以驱动所述第二振动膜振动发声的第二驱动器；以及，
声孔，所述声孔贯穿所述衬底并将所述衬底空腔与外界连通；所述第一驱动器驱动所述第一振动膜产生的在所述衬底空腔内的声波和所述第二驱动器驱动所述第二振动膜产生的在所述衬底空腔内的声波叠加后经所述声孔传出。
2.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述第一驱动器贴合于所述第一振动膜远离所述衬底空腔的一侧，所述第二驱动器贴合于所述第二振动膜远离所述衬底空腔的一侧。
3.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述MEMS发声单体还包括沿所述振动方向同时贯穿所述第一驱动器与所述第一振膜，和/或同时贯穿所述第二驱动器与所述第二振膜的狭缝。
4.根据权利要求3所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述振动膜和所述驱动器均呈矩形，所述第一驱动器与所述第一振膜上开设有至少两条所述狭缝，两条所述狭缝分别沿所述第一驱动器的两条对角线延伸并交叉，和/或所述第二驱动器与所述第二振膜上开设有至少两条所述狭缝，两条所述狭缝分别沿对应的所述第一驱动器或对应的所述第二驱动器的两条对角线延伸并相互交叉。
5.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，至少两个所述驱动器的固有频率相异。
6.根据权利要求5所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述第一驱动器包括至少两个且相互间隔设置，所述第二驱动器包括一个，且所述第一驱动器的平面尺寸小于所述第二驱动器的平面尺寸。
7.根据权利要求6所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述衬底包括具有所述顶面的上衬底和具有所述底面的下衬底，所述上衬底远离所述顶面的一端抵接于所述下衬底远离所述底面的一端，所述衬底还包括由所述上衬底的内侧朝向所述衬底空腔延伸形成的延伸壁，所述延伸壁设有沿所述振动方向贯穿其上的至少两个通孔，每一所述第一驱动器分别正对一所述通孔设置。
8.根据权利要求7所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述通孔包括四个且呈矩阵排布，所述第一驱动器包括四个且与四个所述通孔一一对应设置。
9.根据权利要求7所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述声孔同时贯穿所述上衬底和所述下衬底。
10.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述MEMS扬声器还包括具有收容空间的壳体，所述壳体包括呈环状的侧壁、连接于所述侧壁相对两端并与所述侧壁共同围成收容空间的上盖和下盖、位于所述收容空间内并连接所述侧壁相对两侧的支撑壁；所述支撑壁将所述收容空间分隔成第一腔和第二腔，且所述支撑壁的上端和下端分别与所述上盖及所述下盖间隔围成上通道和下通道；所述MEMS发声单体收容于所述第一腔内，所述MEMS发声单体的侧面分别固定于所侧壁和所述支撑壁，并将所述第一腔分隔成第一上腔和第一下腔，所述第一上腔通过所述上通道与所述第二腔连通，所述第一下腔通过所述下通道与所述第二腔连通；所述支撑壁还设有贯穿其上的中通道，所述中通道将所述声孔与所述第二腔连通；所述侧壁还设有贯穿其上的出音孔，所述出音孔将所述第二腔与外界连通。
11.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述驱动器为压电换能器，其包括压电膜和分别贴合于所述压电膜相对两侧的电极板，其中一所述电极板贴合于所述振动膜。
CN202011048370.4A 2020-09-29 2020-09-29 Mems扬声器 Pending CN112261562A (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011048370.4A CN112261562A (zh) 2020-09-29 2020-09-29 Mems扬声器
PCT/CN2020/127833 WO2022067975A1 (zh) 2020-09-29 2020-11-10 Mems扬声器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011048370.4A CN112261562A (zh) 2020-09-29 2020-09-29 Mems扬声器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN112261562A true CN112261562A (zh) 2021-01-22

Family

ID=74233265

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202011048370.4A Pending CN112261562A (zh) 2020-09-29 2020-09-29 Mems扬声器

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN112261562A (zh)
WO (1) WO2022067975A1 (zh)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1257399A (zh) * 1998-11-05 2000-06-21 松下电器产业株式会社 压电扬声器
JP2011228966A (ja) * 2010-04-21 2011-11-10 Nec Corp 電気音響変換器及びそれを用いた電子機器
CN202799030U (zh) * 2012-08-25 2013-03-13 歌尔声学股份有限公司 扬声器模组
CN202799034U (zh) * 2012-08-25 2013-03-13 歌尔声学股份有限公司 扬声器模组
WO2017069701A1 (en) * 2015-10-21 2017-04-27 Agency For Science, Technology And Research Ultrasound transducer and method of forming the same
CN106797509A (zh) * 2014-09-04 2017-05-31 悠声股份有限公司 扬声器装置
CN111294715A (zh) * 2020-03-02 2020-06-16 瑞声声学科技(深圳)有限公司 压电mems麦克风
CN111314829A (zh) * 2019-11-22 2020-06-19 武汉大学 一种具有声管的mems压电超声换能器

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016201872A1 (de) * 2016-02-08 2017-08-10 Robert Bosch Gmbh MEMS-Lautsprechervorrichtung sowie entsprechendes Herstellungsverfahren
CN106454660A (zh) * 2016-10-31 2017-02-22 歌尔股份有限公司 一种驻极体发声装置及电子设备

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1257399A (zh) * 1998-11-05 2000-06-21 松下电器产业株式会社 压电扬声器
JP2011228966A (ja) * 2010-04-21 2011-11-10 Nec Corp 電気音響変換器及びそれを用いた電子機器
CN202799030U (zh) * 2012-08-25 2013-03-13 歌尔声学股份有限公司 扬声器模组
CN202799034U (zh) * 2012-08-25 2013-03-13 歌尔声学股份有限公司 扬声器模组
CN106797509A (zh) * 2014-09-04 2017-05-31 悠声股份有限公司 扬声器装置
WO2017069701A1 (en) * 2015-10-21 2017-04-27 Agency For Science, Technology And Research Ultrasound transducer and method of forming the same
CN111314829A (zh) * 2019-11-22 2020-06-19 武汉大学 一种具有声管的mems压电超声换能器
CN111294715A (zh) * 2020-03-02 2020-06-16 瑞声声学科技(深圳)有限公司 压电mems麦克风

Also Published As

Publication number Publication date
WO2022067975A1 (zh) 2022-04-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101587069B1 (ko) 전기 음향 변환 장치 및 전자 기기
CN104219607B (zh) 扬声器模组
WO2020186971A1 (zh) 振动发声装置和电子设备
US5184332A (en) Multiport underwater sound transducer
EP3637797B1 (en) Sound producing device
WO1996021342A1 (en) Multiple chamber loudspeaker system
JPH09168194A (ja) スピーカ
WO2003081801A1 (en) Parametric ring emitter
KR20020079767A (ko) 압전 박막 음파 방사 장치
CN115914975A (zh) 一种像素发声单元及其制造方法、数字发声芯片
US10924866B2 (en) Piezoelectric speaker
CN112261562A (zh) Mems扬声器
US11595752B2 (en) Electroacoustic transducer
US11399230B2 (en) Electroacoustic transducer
WO2013100862A2 (en) Mirror vibration speaker
CN214544778U (zh) 一种mems发声单体和mems扬声器
CN110475185B (zh) 声学辐射组件以及发声设备
JPH02309799A (ja) 送受波器
CN111918187B (zh) Mems扬声器
CN210381285U (zh) 声学装置及电子设备
WO1989004581A1 (en) Electro-acoustic transducers
CN217591062U (zh) 一种针对pmut扬声器的声学功放板系统
KR20170005604A (ko) 음향 트랜스듀서
CN205726406U (zh) 动圈压电复合扬声器
CN118317237A (zh) 一种mems压电换能器及电子设备

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20210122