CN112236387A - 臭氧发生装置 - Google Patents

Abstract

本发明的臭氧发生装置的特征在于，包括：供原料气体流入、并供臭氧化气体流出的主体容器(12)；将交流电源(16)的输出传输至所述主体容器的内部的供电线(14)；设置在所述主体容器的内部并具有贯通孔(5b)的接地金属电极(11)；一端开口、另一端封闭并设置于所述接地金属电极的贯通孔的电介质管(1)；形成在所述电介质管的内周面并具有开口侧端部(2a)的电压施加电极(2)；从所述电压施加电极的开口侧端部向供电线侧延伸、并由导电性粘接剂的固化物构成的固化物电极(9)；以及连接所述供电线与所述固化物电极的供电构件(8)，所述供电构件的前端(8x)通过所述固化物电极固定在所述电介质管的内周面，该供电构件的前端配置在与所述电压施加电极的开口侧端部隔开间隔(d)的地方。

Description

臭氧发生装置

技术领域

本申请涉及通过放电将含氧的气体臭氧化的臭氧发生装置，尤其涉及针对电压施加电极的供电构造。

背景技术

对臭氧发生装置的构造进行简单说明。在由玻璃构成的电介质管的内周面形成电压施加电极，并在电介质管的外周呈同心圆状地配置接地金属电极(例如，参照专利文献1～3)。高频高压产生电源的一端通过高压引线、供电构件、熔断器、供电构件和供电元件与电压施加电极进行电连接。高频高压产生电源的另一端与接地金属电极相连接。包含氧气和微量氮气的气体流过放电间隙。

若使高频高压产生电源工作，则放电间隙中产生无声放电。通过无声放电气体在放电间隙中被激发，其结果是产生臭氧化气体。若放电间隙的温度上升则臭氧生成效率下降，因此，利用在接地金属电极的周围流动的冷却水对放电所产生的热进行冷却。冷却水在冷却接地金属电极的同时也冷却了电介质管。若在电压施加电极与电介质管之间产生间隙，则在该间隙中产生放电。

放电所引起的发热会使玻璃管的温度上升，因此，构成为使得在电压施加电极与电介质管之间不产生间隙。此外，通过放电由硝酸化合物等构成的放电附着物附着在接地金属电极的表面与电介质管的外表面。臭氧发生装置在运行中产生的臭氧化气体、以及臭氧发生装置在停止中由放电附着物产生的硝酸气体的腐蚀性较强，因此，与腐蚀性气体相接触的部分由耐腐蚀性较强的材料来构成。

专利文献4所公开的臭氧发生装置中，作为供电元件，使用了金属刷。刷子部分使用了不锈钢制的细线(特别地，参照图1)。专利文献5所公开的臭氧发生装置中，通过对不锈钢进行溅射蒸镀，从而形成电压施加电极。供电元件由不锈钢的细线织品构成，或由碳类导电性粘接剂构成(特别地，参照图1)。

专利文献6所公开的臭氧发生装置中，通过焊料将供电构件直接电接合于电压施加电极，以取代使用供电元件。焊料的耐腐蚀性较低，因此，将间隙安装于电介质管的开口部，以防止腐蚀性气体进入电介质管(特别地，参照图7)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2008-50200号公报

专利文献2：日本专利特开2000-128508号公报

专利文献3：日本专利实开平5-69126号公报

专利文献4：日本专利特许第4875120号公报

专利文献5：日本专利特开2007-169134号公报

专利文献6：国际公开第2016/084181号

发明内容

发明所要解决的技术问题

专利文献4所涉及的臭氧发生装置中，金属刷是不锈钢制的，因此，在刷子的表面形成有氧化皮膜。金属刷与电压施加电极的接触部中，产生因氧化皮膜而引起的接触电阻，因此在接触部产生发热。为了抑制该接触部中的发热，需要使金属刷的细线的根数变多，并使接触部位增加。

专利文献5所涉及的臭氧发生装置中，电压施加电极和供电元件由不锈钢构成。由于氧化皮膜存在于双方，因此接触电阻变大。放电时电压施加电极的温度上升，导致臭氧的发生效率下降。此外，在对供电元件使用碳类导电性粘接剂的情况下，构成电压施加电极的不锈钢与碳的热膨胀率不同，因此电压施加电极将从电介质管剥离。此外，若碳发热，则在氧气中很容易起火。

专利文献6所涉及的臭氧发生装置中，通过焊料将供电材料与电压施加电极相接合。在通过焊料将供电材料与电压施加电极相接合时，电压施加电极的温度局部上升。因此，在供电材料与电压施加电极的焊料接合部分，电压施加电极容易从电介质管剥离。

本申请是为了解决上述那样的臭氧发生装置中的问题而完成的。即，其目的在于提供一种臭氧发生装置，通过防止电压施加电极从电介质管剥离的情况，从而具备可靠性较高的供电构造。

解决技术问题所采用的技术方案

本申请所涉及的臭氧发生装置的特征在于，包括：主体容器，该主体容器供原料气体流入，并供臭氧化气体流出；供电线，该供电线将交流电源的输出传输至所述主体容器的内部；接地金属电极，该接地金属电极设置在所述主体容器的内部，具有贯通孔；电介质管，该电介质管的一端开口，另一端封闭，并设置于所述接地金属电极的贯通孔；电压施加电极，该电压施加电极形成在所述电介质管的内周面，具有开口侧端部；固化物电极，该固化物电极由导电性粘接剂的固化物构成，从所述电压施加电极的开口侧端部向供电线侧延伸；以及供电构件，该供电构件连接所述供电线与所述固化物电极，所述供电构件的前端通过所述固化物电极固定在所述电介质管的内周面，该供电构件的前端配置在与所述电压施加电极的开口侧端部隔开间隔的地方。

发明效果

本申请所涉及的臭氧发生装置的特征在于，包括：主体容器，该主体容器供原料气体流入，并供臭氧化气体流出；供电线，该供电线将交流电源的输出传输至所述主体容器的内部；接地金属电极，该接地金属电极设置在所述主体容器的内部，具有贯通孔；电介质管，该电介质管的一端开口，另一端封闭，并设置于所述接地金属电极的贯通孔；电压施加电极，该电压施加电极形成在所述电介质管的内周面，具有开口侧端部；固化物电极，该固化物电极由导电性粘接剂的固化物构成，从所述电压施加电极的开口侧端部向供电线侧延伸；以及供电构件，该供电构件连接所述供电线与所述固化物电极，所述供电构件的前端通过所述固化物电极固定在所述电介质管的内周面，该供电构件的前端配置在与所述电压施加电极的开口侧端部隔开间隔的地方，根据该臭氧发生装置，能防止电压施加电极从电介质管剥离，因此能提供可靠性较高的臭氧发生装置。

附图说明

图1是示出实施方式所涉及的臭氧发生装置的内部构造的剖视图。

图2是示出实施方式所涉及的交流电源的结构的结构图。

图3是示出实施方式1所涉及的放电管的内部构造的剖视图。

图4是示出实施方式1所涉及的供电部的主要部分的放大剖视图。图4A是从横向观察供电构件而得到的剖视图，图4B是从下方观察供电构件而得到的剖视图。

图5是示出实施方式1所涉及的供电部的制作工序的剖视图。图5A是示出将导电性粘接剂涂布在电介质管的内周面的状态的剖视图，图5B是示出将供电构件设置于所涂布的导电性粘接剂的状态的图，图5C是示出所涂布的导电性粘接剂固化后的状态的剖视图。

图6是示出实施方式2所涉及的供电部的主要部分的放大剖视图。图6A是从横向观察供电构件而得到的剖视图，图6B是从下方观察供电构件而得到的剖视图。

图7是示出实施方式3所涉及的供电部的主要部分的放大剖视图。图7A是从横向观察供电构件而得到的剖视图，图7B是从下方观察供电构件而得到的剖视图，图7C是从供电线侧观察供电构件而得到的剖视图。

图8是用于说明实施方式3所涉及的供电构件的动作的图。图8A是表示短路电路流过的状态的图，图8B是表示中间构件下落了的状态的图。

图9是用于说明实施方式3所涉及的中间构件的作用的图。

图10是示出短路发生了的情况下的交流电源16的电源控制部22的动作的图。

图11是示出短路发生了的情况下的交流电源16的交流电压产生部21所产生的电压的波形的图。

图12是示出短路发生了的情况下的绝缘破坏后的电介质管中流过的电流的波形的图。

图13是示出短路发生了的情况下的正常的电介质管中流过的电流的波形的图。

具体实施方式

实施方式1.

下面，参照附图对实施方式所涉及的臭氧发生装置100进行说明。图1是用于说明实施方式所涉及的臭氧发生装置100的构造的整体图。由臭氧发生装置主体容器12(主体容器)和交流电源16构成臭氧发生装置100。高压容器即高压罐50具有将圆筒横向放置的外形。高压罐50的左上设有高压线导入口53，以将来自交流电源16的供电线14(高压线或供电引线)导入罐内。为了将交流电源16的输出传输到臭氧发生装置主体容器12(主体容器)的内部而设置供电线14。

对于高压线导入口53采用了如下对策：在接地的高压罐50与供电线14(高压线或供电引线)之间进行充分绝缘，并且使得气体不泄漏。高压罐50的左下设有原料气体入口17，右下设有臭氧化气体出口18。供电线14贯通臭氧发生装置主体容器12的部分利用套管15来绝缘。从原料气体入口17流入臭氧发生装置主体容器12的原料气体通过产生无声放电的放电空间。原料气体成为包含通过放电而生成的臭氧在内的臭氧化气体，并从臭氧发生装置主体容器12的臭氧化气体出口18流出。

臭氧发生装置100中，以氧气为主要成分的气体或空气成为原料气体。冷却水24通过高压罐50的下侧所设置的冷却水入口19被提供给臭氧发生装置主体容器12的内部，且从冷却水出口20被排出。臭氧发生装置主体容器12的内部，电介质管1与接地金属电极11成对地构成1根放电管。电介质管1与接地金属电极11隔开所需的间隔配置规定的数量。

电介质管1与接地金属电极11呈同心圆状地配置，气体通过接地金属电极11的内部。臭氧发生装置主体容器12可以密闭，接地金属电极11的外侧填充了冷却水24。臭氧发生装置100具备N根电介质管。大容量的臭氧发生装置100中，在一个臭氧发生装置主体容器12的内部设有数百根电介质管与接地金属电极。

图2表示交流电源16的结构。交流电源16在内部包括交流电压产生部21、电源控制部22和输出电压检测部23。电源控制部22进行装置的运行控制、装置的停止控制以及交流电源的监视控制等。本实施方式中，输出电压检测部23连接在供电线14与接地电位之间。输出电压检测部23将检测出的信号发送给电源控制部22。电源控制部22基于从输出电压检测部23接收到的信号来检测交流电压产生部21中的输出电压的下降。

交流电压产生部21的一端接地。交流电源16的交流电压产生部21产生交流电压。交流电压产生部21产生的交流电压具有仅在放电间隙中产生无声放电的电压和频率。无声放电经由电介质产生。交流电压产生部21例如产生电压3～7kV、频率0.5～5kHz这样的高频交流电压。

图3是示出本实施方式所涉及的放电管30的简要结构的剖视图。该图中，为了说明放电部的详细情况，示出1根放电管30。臭氧发生装置主体容器12的内部，电介质管1与接地金属电极11成对地构成1根放电管30。电介质管1例如由圆筒形状的玻璃管构成。圆筒形状的接地金属电极11由不锈钢所构成的管来构成，具有贯通孔5b。电介质管1与接地金属电极11隔着间隔件26配置成同心圆状。接地金属电极11的两端例如通过焊接与开孔的金属板(端板13)一体化。电压施加电极2具有开口侧端部2a。

放电间隙25形成在电介质管1与接地金属电极11之间的狭窄空间中。电介质管1的一端(右端；封闭侧)被封闭，另一端(左端：开口侧)成为开口形状。电压施加电极2配置为与电介质管1的内部紧密接触。电压施加电极2例如通过以蒸镀、镀膜等形成在电介质管1的内表面的金属膜来构成。具体而言，金属膜相当于不锈钢蒸镀膜、镀镍膜、镀银膜等。供电构件8将供电线14与固化物电极9相连接。

利用在内周面形成有电压施加电极2的电介质管1与圆筒形状的接地金属电极11来构成放电管30。电压施加电极2经由固化物电极9、供电构件8、供电线14，与交流电源16的输出端(交流电压产生部21)相连接。臭氧发生装置主体容器12接地，处于接地电位。由不锈钢构成的管状的接地金属电极11通过焊接等与两侧的端板13相接合。端板13通过焊接等与臭氧发生装置主体容器12相接合。

端板13将臭氧发生装置主体容器12分割成3个房间。左右的房间充满了气体。正当中的房间充满了冷却水24。构成为冷却水24从冷却水入口19流向冷却水出口20。含氧的原料气体从原料气体入口17被导入。原料气体在通过放电间隙25的期间通过放电而臭氧化。臭氧化后的原料气体从臭氧化气体出口18被排出，用于臭氧处理等。

图4A是示出从侧面观察电压施加电极2后得到的供电部的主要部分的剖视放大图。图4B是示出从下方观察电压施加电极2后得到的供电部的主要部分的剖视放大图。参照这些附图，对向电压施加电极2提供交流电的供电部的构造进行说明。供电构件8的前端通过固化物电极9固定在电介质管1的内周面。提供高压的供电构件8将交流电源16的输出供电给固化物电极9。供电构件8与电压施加电极2通过固化物电极9相连接。固化物电极9由导电性粘接剂的固化物构成。为了形成固化物电极9，需要将导电性粘接剂涂布在电介质管的内部，之后使其升温、固化。固化物电极9从电压施加电极2的开口侧端部2a向供电线侧延伸。

接着，参照附图，对固化物电极9的制作方法进行说明。图5A是示出涂布了导电性粘接剂后的供电部的主要部分的剖视放大图。图5B是示出将供电构件设置于导电性粘接剂的状态的图。图5C是示出升温后的供电部的主要部分的剖视放大图。导电性粘接剂9a从电压施加电极2的供电线侧端部的表面涂布到相邻的电介质管内部表面。供电构件8从涂布后的导电性粘接剂9a的上方进行固定，以使得与电压施加电极2不重叠。

即，供电构件8配置在电介质管侧的前端8x与电压施加电极2的开口侧部隔开间隔d(＞0)的地方。另外，供电构件8的供电线侧的前端8y与供电线14相连接。之后，进行提高电介质管1的温度、使导电性粘接剂9a凝固来提高电传导性的处理。这里，导电性粘接剂9a使用以银为成分的类型的材料。导电性粘接剂9a在涂布后升温到150℃左右时固化，导电率上升。

接着，对臭氧发生装置100的动作进行说明。若交流电源16的电源控制部22将运行指令发送至交流电源16的交流电压产生部21，则交流电压产生部21产生高频的交流电压。交流电压通过供电线14、供电构件8、固化物电极9施加于电压施加电极2。若对在电压施加电极2与接地金属电极11之间形成的狭窄的放电间隙25施加高频的交流电压，则在放电间隙25中产生经由电介质而产生的无声放电。放电间隙25设定为0.6mm以下的情况较多。

若从原料气体入口17将含氧的原料气体导入，则原料气体通过放电间隙25，在无声放电的作用下臭氧化。原料气体成为臭氧化气体，并从臭氧化气体出口18被导出到外部。原料气体需要至少含氧，原料气体使用干燥空气、或对氧气添加微量的氮气后得到的气体。电压施加电极2与接地金属电极11的温度因无声放电所产生的发热而上升，因此使冷却水24流过冷却水入口19、冷却水出口20来对臭氧发生装置100进行冷却。

从交流电压产生部21输出的交流电压通过供电线14、供电构件8、固化物电极9施加于电压施加电极2，放电间隙25中流过高频的电流。若这些结构部件的电阻值或结构部件间的接合电阻值较大，则因通电的发热而产生温度上升。温度上升将缩短部件寿命，因此需要将各自的电阻值保持得较低。导电性粘接剂9a使用以银为成分的材料。

当涂布导电性粘接剂9a后升温到150℃左右并固化时，固化物的导电率上升。通过使用以银为成分的导电性粘接剂9a，从而能降低结构部件间的接合电阻值。此外，导电性粘接剂9a使用高温固化的类型的材料，因此，即使固化物电极9的温度因通电而上升，特性的变化也较少。此外，固化物电极9因与氧气之间的反应而引起的劣化也较少，因此，作为电极的可靠性较高。

供电构件8由金属性薄板或金属性箔构成。从导电性粘接剂的上方对供电构件8进行固定以使得不与电压施加电极2重叠，之后进行使温度提高、使导电性粘接剂固化来提高电传导性的处理，这是为了防止电压施加电极2从电介质管1剥离。若在电压施加电极2上涂布导电性粘接剂9a，并在之上重叠地粘接供电构件8，则在为了使导电性粘接剂9a固化而使温度提高或下降时，因供电构件8、电压施加电极2以及电介质管1的热膨胀率差异，应力将作用于电压施加电极2。由于所产生的应力，电压施加电极2容易从电介质管1剥离。

另外，对电压施加电极2的剥离进一步详细地进行说明。电介质管1由玻璃构成因而热膨胀率较小，由金属构成的供电构件8的热膨胀率较大。在提高温度、导电性粘接剂9a固化了的状态下，电介质管1、电压施加电极2、固化物电极9和供电构件8一体化。此外，固化物电极9的截面成为沿着电介质管1的内周的形状。此后，若放电管30的温度返回室温，则热膨胀率较大的供电构件8与电介质管1相比尺寸相对变得更小。

因此，若在截面处观察，则供电构件8变形为从电介质管1的内周剥离并缩小成曲率较小的圆周。若电介质管1与电压施加电极2之间的紧贴力较小，则供电构件8缩小为曲率较小的圆周的力将使与供电构件8紧密接触的电压施加电极2从电介质管1的表面剥离。为了防止这样的剥离的产生，不使供电构件8与电压施加电极2重叠而将位置错开来进行设置是有效的。

另外，上述说明中，示出了供电构件8整体由金属性薄板或金属性箔构成的示例，但并不限于此。若供电构件8与固化物电极9相接的部分具有薄板状或箔状的形态，则能作为同样的构造物发挥作用，能实现同样的效果。例如，也可以使用如下构件：对供电构件8使用电线或导线，并通过对一端进行冲压等来设置箔状的部分。

若导电性粘接剂9a的涂布膜厚过厚，则因升温时的导电性粘接剂9a与电介质管1的热膨胀率差异，应力将从固化物电极9作用于电压施加电极2。其结果是，电压施加电极2从电介质管1剥离。若发生剥离，则在电压施加电极2与电介质管1之间产生微小间隙。在该微小间隙中产生无声放电，微小间隙的温度变高，因此，电压施加电极2容易发生劣化。

为了防止电压施加电极2的剥离，作为电压施加电极2，在使用膜厚2μm以下且膜厚0.5μm以上的不锈钢蒸镀膜的情况下，优选导电性粘接剂9a的涂布膜厚为300μm以下。此外，即使在使用膜厚0.4μm以下且膜厚0.1μm以上的镀镍膜、镀银膜等的情况下，也优选导电性粘接剂9a的涂布膜厚为300μm以下。

此外，在电压施加电极2与电介质管1之间的紧贴力较低的情况下，在涂布导电性粘接剂9a后，进行利用刮刀等从涂布面上方按压导电性粘接剂9a的操作即可。通过该按压导电性粘接剂9a的操作，导电性粘接剂9a的粘接剂成分通过微孔等部分地到达电介质管1的表面，因此，电压施加电极2与电介质管1的紧贴力提高。另外，微孔存在于电压施加电极2的内周部所形成的蒸镀膜或镀膜中。

若进行利用刮刀等按压导电性粘接剂9a的操作，则固化物电极9上，残留了对表面按压刮刀的痕迹。并且，通过用刮刀等按压导电性粘接剂9a，与刚涂布后相比，导电性粘接剂9a的膜厚变薄大约一半或一半以下。通过使导电性粘接剂9a的膜厚变薄，从固化物电极9作用于电压施加电极2的应力变弱。由此，紧贴力提升与应力减少的效果相结合，电压施加电极2与电介质管1的剥离更不容易发生，能构成可靠性较高的固化物电极9。此外，电压施加电极与供电构件的电阻较低，发热损耗较少，因此，能维持较高的臭氧发生效率。此外，导电性粘接剂的涂布量较少，因此能提供廉价的臭氧发生装置。

若使臭氧发生装置100长时间运行，则由于电介质管1与接地金属电极11之间产生的放电，金属的氮氧化物堆积在电介质管1与接地金属电极11的表面上。在氮氧化物堆积的地方，电介质管1与接地金属电极11相对。若停止臭氧发生装置100，则臭氧化气体从出口侧向原料气体入口17侧逆流。此外，由堆积在表面的氮氧化物产生的NOx气体向原料气体入口17侧逆流。逆流的臭氧化气体与NOx气体从电介质管1的开口部侵入，到达固化物电极9的附近。即使臭氧化气体和NOx气体与银所构成的固化物电极9发生反应，由于浓度较低，因此也仅在固化物电极9的表面发生反应。

另外，臭氧发生装置100的运用期间长达20年左右。若固化物电极9(或导电性粘接剂9a)的厚度为10μm以上，则因固化物电极9的表面发生反应而引起的电阻的增加量为10％左右，因此，在臭氧发生装置100中，臭氧的发生效率并不会降低。此外，也没有因导电性粘接剂部分的电阻增加和发热增加而引起的劣化，能将臭氧发生装置100的可靠性保持得较高。因此，优选固化物电极9(或导电性粘接剂9a)的厚度为10μm以上、且为300μm以下。

本实施方式所涉及的臭氧发生装置的特征在于，包括：主体容器，该主体容器供原料气体流入，并供臭氧化气体流出；供电线，该供电线将交流电源的输出传输至所述主体容器的内部；接地金属电极，该接地金属电极设置在所述主体容器的内部，具有贯通孔；电介质管，该电介质管的一端开口，另一端封闭，并设置于所述接地金属电极的贯通孔；电压施加电极，该电压施加电极形成在所述电介质管的内周面，具有开口侧端部；固化物电极，该固化物电极由导电性粘接剂的固化物构成，从所述电压施加电极的开口侧端部向供电线侧延伸；以及供电构件，该供电构件连接所述供电线与所述固化物电极，所述供电构件的前端通过所述固化物电极固定在所述电介质管的内周面，该供电构件的前端配置在与所述电压施加电极的开口侧端部隔开间隔的地方。

实施方式2.

图6A是示出从侧面观察电压施加电极2后得到的、实施方式2所涉及的供电部的主要部分的剖视放大图。图6B是示出从下方观察电压施加电极2后得到的、实施方式2所涉及的供电部的主要部分的剖视放大图。参照这些附图，对本实施方式所涉及的、向电压施加电极2提供交流电的供电部的构造进行说明。与实施方式1不同的点在于，将供电构件8分割为供电构件8a(第1供电构件)和供电构件8b(第2供电构件)，并在它们之间连接了熔断器导体6。因此，供电构件8具有熔断器导体6、供电构件8a和供电构件8b。熔断器导体6在电介质管1的内部进行保持，或者通过供电线14和供电构件8a来保持。

供电构件8b的电介质管侧的前端8x配置在与电压施加电极2的开口侧部隔开间隔d的地方。供电构件8a的供电线侧的前端8y与供电线14相连接。电压施加电极2经由固化物电极9、供电构件8、供电线14，与交流电源16的交流电压产生部21的输出端相连接。供电构件8b是对熔断器导体6与固化物电极9进行电连接的金属性构件，与实施方式1的供电构件8同样地，由金属性薄板或金属性箔构成。

若在臭氧发生装置100的运用中，电介质管1发生绝缘破坏，并在电压施加电极2与接地金属电极11之间发生短路，则短路大电流流过熔断器导体6。熔断器导体6切断的结果是，发生了绝缘破坏的电介质管1与电压施加电极2被电气分离。利用剩余的放电管30(或电介质管)持续运行，因此臭氧发生装置100并不停止。由于能持续运用臭氧发生装置100，因此有助于臭氧发生装置100的高可靠性。

熔断器导体6因运行时流过的电流而发热。熔断器导体6的温度上升，熔断器导体6发生热膨胀。在该热膨胀的影响下，左右方向的力作用于供电构件8b。由于用薄板或箔来构成供电构件8b，因此供电构件8b弯曲从而吸收热膨胀。力不作用于供电构件8b与固化物电极9之间的接合部，因此能抑制接合部的剥离。因此，能提供可靠性较高的固化物电极9。

因此，实施方式所涉及的臭氧发生装置的特征在于，所述供电构件具有第1供电构件、熔断器导体和第2供电构件，所述第1供电构件与供电线相连接，所述熔断器导体与所述第1供电构件和所述第2供电构件相连接，所述第2供电构件通过所述固化物电极固定在所述电介质管的内周面，并且电介质侧的前端配置在与所述电压施加电极的开口侧端部隔开间隔的地方。

实施方式3.

图7A是示出从侧面观察电压施加电极2后得到的、实施方式3所涉及的供电部的主要部分的剖视放大图。图7B是示出从下方观察电压施加电极2后得到的、实施方式3所涉及的供电部的主要部分的剖视放大图。图7C是示出从供电线14的方向观察电压施加电极2后得到的、实施方式3所涉及的供电部的主要部分的剖视放大图。参照这些附图，对本实施方式所涉及的、向电压施加电极2提供交流电的供电部的构造进行说明。电压施加电极2经由固化物电极9、供电构件8(供电构件8a、固定电极8c、熔断器导体8d、中间导体8e、熔断器导体8f、固定电极8g、固定材料8h)、供电线14，与交流电压产生部21相连接。

中间导体8e的两侧连接有熔断器导体8d(第1熔断器导体)和熔断器导体8f(第2熔断器导体)。由熔断器导体8d、中间导体8e和熔断器导体8f构成熔断部件10。固定电极8c(第1固定电极)连接至熔断器导体8d的供电线侧。此外，电压施加电极侧的固定电极8g(第2固定电极)连接至熔断器导体8f的电介质管侧。供电线侧的固定电极8c和电压施加电极侧的固定电极8g均为板状。板的厚度可以是如0.02mm那样极薄的箔那样的厚度。供电线侧的固定电极8c的板面通过固定材料8h固定在电介质管1的内表面。

电压施加电极侧的固定电极8g通过固化物电极9固定在电介质管1的内表面。固定材料8h由热传导性粘接剂、环氧类高热传导粘接剂、导电性粘接剂、无机类粘接剂等构成。电压施加电极侧的固定电极8g经由在电极长边方向上形成的固化物电极9直接连接至电压施加电极2。电压施加电极2的供电线侧端部配置为与电压施加电极侧的固定电极8g隔开距离，以使得不与电压施加电极侧的固定电极8g相重叠。本实施方式中，电介质管1设置在水平方向上，如图7C所示，供电构件8配置在电介质管1的内部的上侧。

由此，供电构件8包括供电构件8a、固定电极8c、熔断部件10和固定电极8g。固定电极8c和固定电极8g的板面通过固定材料或导电性粘接剂固定在电介质管1的内周面来构成。另外，熔断部件10通过在中间导体8e的两侧连接熔断器导体8d和熔断器导体8f而成。板状的固定电极8c连接在熔断器导体8d的与中间导体8e相连接的一侧的相反侧。

板状的固定电极8g连接在熔断器8f的与中间导体8e相连接的一侧的相反侧。另外，图7A、图7B以及图7C中的供电构件8a、固定电极8c、熔断器导体8d、中间导体8e、熔断器导体8f、固定电极8g、固定材料8h、固化物电极9的尺寸不同于针对各截面中的其它构件的实际尺寸比来进行图示。此外，放大尺寸以容易地理解各构件的配置，此外，对各构件进行强调来进行图示。

接着，对臭氧发生装置100的动作进行说明。图8A表示如下情况：电介质管1发生绝缘破坏，短路电流流过。图8B表示如下情况：过电流流过熔断部件10，熔断器导体8d和熔断器导体8f熔断。固定电极8g的电介质管侧的前端8x配置在与电压施加电极2的开口侧部隔开间隔d的地方。供电构件8a的供电线侧的前端8y与供电线14相连接。

若交流电源16的电源控制部22将运行指令发送给交流电压产生部21，则从交流电压产生部21输出的高频的交流电压通过供电线14、供电构件8a、固定电极8c、熔断部件10(熔断器导体8d、中间导体8e和熔断器导体8f)、固定电极8g、固化物电极9施加于电压施加电极2。在电介质管1绝缘破坏、电介质管1开了孔1a的情况下，电压施加电极2和接地金属电极11之间导通。其结果是，交流电源16的输出侧成为短路状态，短路大电流1b通过电介质管1的绝缘破坏部位(孔1a)瞬间流过。

短路大电流1b流过安装于绝缘破坏的电介质管1的熔断部件10。构成熔断部件10的熔断器导体8d和熔断器导体8f是截面积较小的构造物，电阻值较高。若如短路大电流1b那样的过电流瞬间流过熔断器导体8d和熔断器导体8f，则温度急剧上升，熔断器导体8d和熔断器导体8f熔融、蒸发。熔断器导体8d和熔断器导体8f熔融蒸发后，成为高温的等离子状态，产生电弧放电。其结果是，中间导体8e失去两侧的支持，因此下落到电介质管1的内部的底部。

图9示出固定电极8c、固定电极8g、下落的中间导体8e之间的位置关系。使用距离L1、距离L2、距离L3和距离L4如下述那样定义绝缘距离a、绝缘距离b和绝缘距离c。

绝缘距离a：固定电极8c与固定电极8g之间的绝缘距离(距离L1)

绝缘距离b：隔着下落的中间导体8e的、固定电极8c与固定电极8g之间的绝缘距离(距离L2+距离L3)

绝缘距离c：隔着下落的中间导体8e的、固定电极8c与电压施加电极2之间的绝缘距离(距离L2+距离L4)

另外，距离L1指固定电极8c与固定电极8g之间的间隔。距离L2指固定电极8c与下落的中间导体8e之间的间隔。距离L3指下落的中间导体8e与固定电极8g之间的间隔。距离L4指下落的中间导体8e与电压施加电极2之间的间隔。电介质管1均充分确保了绝缘距离a、绝缘距离b和绝缘距离c，因此，即使高频高压再次施加于供电线侧的固定电极8c，固定电极8c与固定电极8g之间也不会产生电弧放电。

在通常的臭氧发生装置中，施加电压的有效值在7.5kV以下的情况较多。此外，使臭氧发生装置主体容器12的内部的气体压力为0.07MPa以上来动作的情况较多。该情况下，通过将绝缘距离设为7mm以上，从而能防止在电压再施加时产生电弧放电。然而，若长期间使用则存在电介质管1的内表面产生污损、绝缘性能劣化的情况，因此尽可能优选绝缘距离为上述值的2倍以上即14mm以上。另外，通过在臭氧发生装置的运行电压较低、例如为4kV的情况下将绝缘距离设为4mm以上，从而能进一步减小熔断部件的尺寸。

接着，参照附图，对短路发生时的交流电源16的动作进行说明。图10示出交流电源16的电源控制部22的动作。若电源控制部22将运行指令发送至交流电压产生部21，则交流电压产生部21成为运行状态，交流电压产生部21输出高频的高电压。若电介质管1发生绝缘破坏则交流电源16的负载侧成为短路状态，因此，交流电源16的输出电压降低至零电压附近，与此同时短路大电流流过绝缘破坏的电介质管1和熔断部件。

放电间隙25中产生的放电停止，臭氧的产生停止。若交流电源16的输出电压降低至预先设定的阈值以下，则输出电压检测部23检测输出电压的降低，输出电压检测部23将该检测结果发送给电源控制部22。即使处于电源运行状态，电源控制部22也根据输出电压降低至预先设定的阈值以下的情况来判断为在电源输出侧产生短路(短路检测)，并将运行停止指令发送给交流电压产生部21。

在发出运行停止指令后，经过了规定时间(运行再开始时间)后，电源控制部22将运行重新开始指令发送给交流电压产生部21。若交流电压产生部21接收运行重新开始指令，则立即再次输出高频高电压。预先设定从运行停止指令到运行重新开始指令的时间。运行再开始时间设定为熔断器导体8d和熔断器导体8f所产生的电弧放电的持续时间以上的大小即可。例如，运行再开始时间为1～10秒左右。

图11示出交流电源16的交流电压产生部21产生的交流电压的波形。若交流电压产生部21从电源控制部22接收运行指令，则成为运行状态，并输出高频的高电压。若交流电压产生部21从电源控制部22接收运行停止指令，则停止输出，电源输出电压降低为零。其结果是，绝缘破坏的电介质管1中所流过的短路大电流降低为零。

在熔断器导体8d和熔断器导体8f的周边产生的电弧放电随着短路大电流的降低而消失。熔断器导体8d和熔断器导体8f因熔融而消失，其结果是，中间导体8e两侧的支承消失，因此下落到电介质管1的内部的底部。若交流电压产生部21从电源控制部22接收运行重新开始指令，则立即再次输出高频高电压。

图12示出绝缘破坏的电介质管1中流过的电流的波形。若电源控制部22将运行指令发送至交流电压产生部21，则交流电压产生部21成为运行状态，并输出高频的高电压。放电间隙25中产生放电，臭氧的产生开始。

若电介质管1发生绝缘破坏则交流电源16的负载侧成为短路状态，因此，交流电源16的输出电压降低至零电压附近，与此同时短路大电流流过电介质管1和熔断部件10。

绝缘破坏的电介质管1中，熔断器导体8d和熔断器导体8f因短路大电流而熔融、蒸发。中间导体8e下落到电介质管1的底部，因此，绝缘破坏的电介质管1与交流电源电气分离。即使从电源控制部22发出运行重新开始指令，高频高电压再次施加于放电管，电流也不流过绝缘破坏的电介质管。

图13示出正常的电介质管1中流过的电流的波形。若电源控制部22将运行指令发送至交流电压产生部21，则交流电压产生部21成为运行状态，并输出高频的高电压。放电间隙25中产生放电，臭氧的产生开始。若绝缘破坏的电介质管1中产生短路，则施加于电介质管的电压降低到零附近，因此，流过正常的电介质管1的电流降低到零附近。放电间隙25中产生的放电停止，臭氧的产生停止。

若从电源控制部22发出运行重新开始指令，则高频高电压再次施加于放电管，电流流过正常的电介质管1。放电间隙25中产生放电，正常的电介质管1再次开始臭氧的产生。臭氧发生装置主体容器12配置有N根电介质管，因此，若绝缘破坏的电介质管为1根，则臭氧发生量大致降低到[(N-1)/N]。在根数N例如为几百那样多的臭氧发生装置中，输出降低比例变少。

如以上所说明的那样，电源控制部22检测因电介质管1的绝缘破坏而引起的电压下降，停止交流电源16，使短路大电流下降为零。绝缘破坏的电介质管1因熔断部件10而电气分离，臭氧发生装置100能通过再次启动交流电源16来持续运行。由此，能在交流电源16的负载侧发生了短路情况下进行保护(短路保护)。

另外，上述说明中，作为检测电介质管的绝缘破坏、即放电管30的绝缘破坏的方法，说明了利用交流电源的内部所设置的输出电压检测部23对输出电压的下降进行测定来进行检测的情况。即使使用其它方法，例如检测输出电流的增加的方法、将多个放电管30分割为2个以将电源的输出分割为2个来进行提供并利用电流值的差分来进行检测的方法、测定从臭氧发生装置主体容器的内部电弧放电发出的光的方法等，来检测放电管30的绝缘破坏并控制交流电源16的输出，也能起到同样的效果。

接着，对本实施方式中的熔断部件10中的发热和冷却进行说明。在施加于臭氧发生装置的电压的大小为代表性的3～7kV的情况下，熔断部件10中流过的正常运行时的电流值(相当于1根电介质管的电流值)为0.2～1A。与此相对，即使电介质管1绝缘破坏时的过电流(短路电流)的大小因交流电源的阻抗而不同，也为正常运行时的电流值的大致10倍～1000倍。控制熔断部件10的端子间电阻值的是熔断器导体8d和熔断器导体8f的尺寸和材料。

若熔断器导体(熔断器导体8d和熔断器导体8f)具有截面积S、长度L、电阻率ρ，则熔断器导体的电阻值R为ρ×(L/S)。为了使熔断部件10动作，需要使温度上升到熔断器导体8d和熔断器导体8d因过电流流过而熔融的温度以上。短路电流瞬间流过，因此熔断器导体中产生的焦耳热几乎没有释放到周围而将熔断器导体加热。因此，熔断器导体8d和熔断器导体8f是否熔融由熔融温度、比重、比热、电阻率ρ、截面积S来决定。这些物理值依赖于熔断器导体的材料。

本实施方式中，作为熔断部件10的材料，使用不锈钢(SUS304、SUS316等)，熔断器导体8d和熔断器导体8f的截面尺寸设为厚度0.01～0.05mm、宽度0.05～0.30mm。熔断器导体8d和熔断器导体8f的长度L越短，则电阻值R越小，因正常运行时的电流而引起的发热越小。此外，熔断器导体8d和熔断器导体8f的长度L越短，则因熔断器导体8d和熔断器导体8f中所产生的运行时的电流而产生的发热越容易传递至供电线侧的固定电极8c和电压施加电极侧的固定电极8g，熔断器导体的温度下降。

本实施方式中，固定电极8c和固定电极8g分别隔着固定材料8h和固化物电极9固定在电介质管1的内表面。正常运行时熔断器导体所产生的热从固定电极8c和固化物电极9经由电介质管1进行散热，这成为本实施方式中的特征之一。固定电极8c和固定电极8g各自的板面隔着固定材料8h和固化物电极9固定在电介质管1的内周面。发热通过所固定的面整体的热传导从固定电极8c和固定电极8g向电介质管1散热。从固定材料8h和固化物电极9进行面散热，因此能使散热量变多。

并且，为了尽可能不妨碍从固定电极8c向电介质管1的散热，使用热传导性较好的粘接剂来作为固定材料8h。具体而言，可以使用环氧类高热传导粘接剂或导电性粘接剂。此外，即使是无机类粘接剂、通常粘接剂等，通过将厚度涂布得较薄，从而也能提高热传导。固定电极8g通过导电性粘接剂9a固定于电介质管1，因此散热较好。若熔断部件10中有正常运行时的电流流过，则由熔断器导体8d产生的热通过供电线侧的固定电极8c和固定材料8h迅速地传递至电介质管1。传递至电介质管1的热量扩散至电介质管1较宽的面积，利用热传递来将热量散热至周围的气体中。

在使用玻璃管来作为电介质管1的情况下，若玻璃管的厚度为1～3mm左右，则电介质内的热传导变快，热量向电介质管1较宽的面积迅速地传递。对于热传递，表面积越大传递热的能力越高，因此，通过设为该结构，从而能抑制熔断器导体8d的温度上升。其结果是，能够抑制因温度上升而导致的材料劣化，因此能够抑制因熔断器导体8d的劣化而导致的断线，能够提供可靠性较高的熔断部件10。

熔断器导体8f所产生的热量也同样地，能通过电压施加电极侧的固定电极8g和导电性粘接剂9a迅速地向电介质管1传递并散热。另外，作为固定材料8h来使用的粘接剂的厚度越薄则热量越容易向电介质管1传递。本实施方式中，在电极长边方向上涂布导电性粘接剂9a，并将电压施加电极2与电压施加电极侧的固定电极8g配置为不重叠，因此熔断器导体8f的发热不容易传递至电压施加电极2。其结果是，能防止电压施加电极2的温度上升而引起的劣化，因此电压施加电极2的可靠性得以提高。

此外，即使将导电性粘接剂9a向电压施加电极2的涂布厚度、以及导电性粘接剂9a向电压施加电极侧的固定电极8g的涂布厚度设为大致相同，也能使熔断器导体8f的发热迅速通过固定电极8g传递至电介质管1来进行散热。导电性粘接剂9a的优选涂布厚度如实施方式1中所说明的那样为300μm以下、10μm以上。由此，能使固化物电极9(导电性粘接剂9a)具备用于电连接电压施加电极2和固定电极8g的功能、以及固定电极8g向电介质管1的固定功能和热传导功能等所有功能。

因此，能削减电极制造部件，此外，导电性粘接剂的涂布时间较短，因此成本降低的效果较大。此外，作为固定材料8h，使用与固化物电极9相同的材料，涂布厚度也设为相同，从而能减少所使用的的粘接剂的种类，能简化涂布工序，因此成本降低的效果较大。此外，本实施方式中，示出了仅使用一个熔断部件10的情况，然而，若相对于一个供电构件使用2个以上的熔断部件，则能够提高供电部的可靠性。

另外，上述实施方式1～3中，为了提高臭氧化气体、NOx气体等的耐腐蚀性，对供电构件8使用不锈钢的情况较多。此外，基于同样的理由，对熔断部件10使用不锈钢的情况较多。不锈钢在表面生成有钝化皮膜，因此，与导电性粘接剂9a进行电气接合的接合部的电阻值较高，不稳定的情况较多。

为了解决这点，若对与导电性粘接剂9a相接的供电构件8(特别是供电构件8b和固定电极8g)的不锈钢的表面实施冲击镀镍，则接合电阻值变低，电阻值也较为稳定，因此电气可靠性飞跃性提高。冲击镀镍是为了提高对不锈钢材料的镀覆紧贴性而实施的镀覆。特别地，为了提高与以银为成分的导电性粘接剂之间的电气接合性，这是非常有效的方法。

此外，在使用不锈钢制的蒸镀膜来作为电压施加电极2的情况下，若对与导电性粘接剂9a之间的接触面实施冲击镀镍，则电压施加电极2与固化物电极9的电气接合部分的电阻值下降，变得稳定，因此可实现电极的高可靠性。冲击镀镍去除基底的钝化皮膜，具有活性化、提高镀覆的紧贴性的效果，与一般情况相比可用高电流在短时间内处理。

因此，在实施方式所涉及的臭氧发生装置中，其特征在于，所述供电构件具有第1固定电极、第1熔断器导体、中间导体、第2熔断器导体和第2固定电极，所述第1固定电极固定于所述电介质管的内周面，并且与所述第1熔断器导体相连接，所述中间导体由所述第1熔断器导体和所述第2熔断器导体进行保持，所述第2熔断器导体与所述第2固定电极相连接，所述第2固定电极通过所述固化物电极固定在所述电介质管的内周面，并且配置在与所述电压施加电极的开口侧端部隔开间隔的地方。

本申请所涉及的臭氧发生装置构成为包含多个放电管，该放电管在电压施加电极与接地金属电极之间隔着电介质具有放电间隙，含氧的气体流过所述放电间隙，并且来自交流电源的交流电压施加于所述电压施加电极与所述接地金属电极之间，由此所述含氧气体放电而臭氧化，在所述臭氧发生装置中，构成为对于从所述交流电源向多个所述放电管各自的所述电压施加电极供电的供电构件之间的电气通电单元，电压施加电极的供电部分从电压施加电极的供电线侧端部的表面到相邻的电介质管内部表面涂布导电性粘接剂，并从导电性粘接剂上方进行固定以使得提供高电压的供电构件不与电压施加电极重叠，之后进行提高温度使导电性粘接剂固化来提高电传导性的处理。

此外，本申请所涉及的臭氧发生装置的特征在于，将熔断器连接在电压施加电极与供电构件之间，并用薄板或箔来构成连接熔断器与电压施加电极的供电构件。

此外，本申请所涉及的臭氧发生装置构成为包含多个放电管，该放电管在电压施加电极与接地金属电极之间隔着电介质具有放电间隙，含氧的气体流过所述放电间隙，并且来自交流电源的交流电压施加于所述电压施加电极与所述接地金属电极之间，由此所述含氧气体放电而臭氧化，在所述臭氧发生装置中，构成为多个所述放电管在从所述交流电源向多个所述放电管各自的所述电压施加电极供电的途中，在中间导体的两侧，在分别连接有因过电流流过而熔融的熔断器导体的熔断部件的两侧分别连接有板状的固定电极，供电线侧的固定电极通过固定材料固定于电介质管内表面，电压施加电极侧的固定电极分别连接有通过导电性粘接剂固定于电介质管内表面的构造的电流切断元件，从电压施加电极的供电线侧端部的表面到相邻的电介质管内部表面涂布导电性粘接剂，并从导电性粘接剂上方固定电压施加电极侧的固定电极以使得所述电压施加电极侧的固定电极不与电压施加电极重叠，之后进行提高温度使导电性粘接剂固化来提高电传导性的处理。

此外，本申请所涉及的臭氧发生装置的特征在于，电压施加电极是在电介质管的内表面通过蒸镀或镀覆构成的金属膜，是不锈钢蒸镀膜、镀镍膜、镀银膜中的任一个。此外，本申请所涉及的臭氧发生装置的特征在于，导电性粘接剂以银为成分。此外，本申请所涉及的臭氧发生装置的特征在于，作为电压施加电极，使用膜厚2μm以下的不锈钢蒸镀膜、膜厚0.4μm以下的镀镍膜和膜厚0.4μm以下的镀银膜中的任一个，导电性粘接剂的涂布膜厚为300μm以下。

此外，本申请所涉及的臭氧发生装置的特征在于，导电性粘接剂的厚度为10μm以上。此外，本申请所涉及的臭氧发生装置的特征在于，在涂布导电性粘接剂后，进行如下操作：用刮刀从上方按压涂布在电压施加电极上的导电性粘接剂的表面。此外，本申请所涉及的臭氧发生装置的特征在于，在用不锈钢构成供电构件的情况下，对与导电性粘接剂相接的供电构件的表面实施冲击镀镍。

此外，本申请所涉及的臭氧发生装置的特征在于，在用不锈钢构成固定电极的情况下，对与导电性粘接剂相接的固定电极的表面实施冲击镀镍。此外，本申请所涉及的臭氧发生装置的特征在于，在使用不锈钢制的蒸镀膜来作为电压施加电极的情况下，对与导电性粘接剂之间的接触面实施冲击镀镍。

虽然本申请记载了各种示例性实施方式和实施例，但是在一个或多个实施方式中记载的各种特征、方式和功能不限于特定实施方式的应用，可以单独地或以各种组合来应用于实施方式。因此，在本申请所公开的技术范围内可以设想无数未举例示出的变形例。例如，假设包括对至少一个构成要素进行变形、添加或省略的情况，以及提取至少一个构成要素并与其他实施方式的构成要素进行组合的情况。

标号说明

1 电介质管

1a 孔

1b 短路大电流

2 电压施加电极

2a 开口侧端部

5b 贯通孔

6 熔断器导体

8 供电构件

8a 供电构件

8b 供电构件

8c 固定电极

8d 熔断器导体

8e 中间导体

8f 熔断器导体

8g 固定电极

8h 固定材料

8x 前端

9 固化物电极

10 熔断部件

11 接地金属电极

12 臭氧发生装置主体容器

13 端板

14 供电线

15 套管

16 交流电源

17 原料气体入口

18 臭氧化气体出口

19 冷却水入口

20 冷却水出口

21 交流电压产生部

22 电源控制部

23 输出电压检测部

24 冷却水

25 放电间隙

26 间隔件

30 放电管

50 高压罐

53 高压线导入口

100 臭氧发生装置。

Claims (11)

1.一种臭氧发生装置，其特征在于，包括：

主体容器，该主体容器供原料气体流入，并供臭氧化气体流出；

供电线，该供电线将交流电源的输出传输至所述主体容器的内部；

接地金属电极，该接地金属电极设置在所述主体容器的内部，具有贯通孔；

电介质管，该电介质管的一端开口，另一端封闭，并设置于所述接地金属电极的贯通孔；

电压施加电极，该电压施加电极形成在所述电介质管的内周面，具有开口侧端部；

固化物电极，该固化物电极由导电性粘接剂的固化物构成，从所述电压施加电极的开口侧端部向供电线侧延伸；以及

供电构件，该供电构件连接所述供电线与所述固化物电极，

所述供电构件的前端通过所述固化物电极固定在所述电介质管的内周面，

该供电构件的前端配置在与所述电压施加电极的开口侧端部隔开间隔的地方。

2.如权利要求1所述的臭氧发生装置，其特征在于，

所述供电构件具有熔断器导体。

3.如权利要求1所述的臭氧发生装置，其特征在于，

所述供电构件具有第1固定电极、第1熔断器导体、中间导体、第2熔断器导体和第2固定电极，

所述第1固定电极固定于所述电介质管的内周面，并且与所述第1熔断器导体相连接，

所述中间导体由所述第1熔断器导体和所述第2熔断器导体进行保持，

所述第2熔断器导体与所述第2固定电极相连接，

所述第2固定电极通过所述固化物电极固定在所述电介质管的内周面，并且配置在与所述电压施加电极的开口侧端部隔开间隔的地方。

4.如权利要求1所述的臭氧发生装置，其特征在于，

所述供电构件由板或箔构成。

5.如权利要求1所述的臭氧发生装置，其特征在于，

所述电压施加电极由不锈钢蒸镀膜、镀镍膜、镀银膜中的任一个构成。

6.如权利要求1所述的臭氧发生装置，其特征在于，

所述固化物电极包含了银。

7.如权利要求1所述的臭氧发生装置，其特征在于，

所述固化物电极的膜厚在300μm以下、10μm以上。

8.如权利要求1所述的臭氧发生装置，其特征在于，

所述固化物电极残留了对表面按压刮刀的痕迹。

9.如权利要求1所述的臭氧发生装置，其特征在于，

所述电压施加电极由实施了冲击镀镍的不锈钢构成。

10.如权利要求1所述的臭氧发生装置，其特征在于，

所述供电构件由实施了冲击镀镍的不锈钢构成。

11.如权利要求3所述的臭氧发生装置，其特征在于，

所述第1固定电极或所述第2固定电极由实施了冲击镀镍的不锈钢构成。

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