CN112196775A - 一种带有伸缩腔的复合阻流体混合式压电泵 - Google Patents
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Abstract
一种带有伸缩腔的复合阻流体混合式压电泵、由泵盖、密封圈、泵体、单晶片压电振子、导流管、阻流体、螺栓、底座、多圆体阻流体、矩形压电振子组成。泵盖有两个通孔,通过螺栓用以连接泵体;其次所述泵盖开设上密封槽和泵体的下密封槽进行配合;所述泵体泵腔内部开设阻流体;单晶片压电振子粘在泵体上,在压电振子朝向泵腔的表面与泵腔之间形成一个密封层,实现泵腔的密封,并且同时将单晶片压电振子粘在导流管内壁;导流管开设进液口和出液口,通过进液口和导流管开设的通孔通过螺栓进行配合;底座用于放置阻流体;多圆体阻流体被放置导流管的进液口和出液口,矩形压电振子放置进液口和出液口,通过密封圈与底座固定相连,达到装配整个泵的目的。
Description
技术领域
本发明涉及一种带有伸缩腔的复合阻流体混合式压电泵,属于流体机械领域。
背景技术
现阶段,压电泵根据是否有阀,可将其分为有阀压电泵和无阀压电泵。有阀压电泵可理解为泵在工作过程中,泵腔内流体与腔外流体间断性或周期性连通,通过主动阀或从动阀控制流体的单向流动。压电泵由于结构尺寸较小,所需的阀体也多为微小型,从而给有阀压电泵的生产、装配带来很大困难,同时也会增大压电泵的结构尺寸,不利于发挥压电泵的优点;无阀压电泵是通过利用流道双向流动的阻力不同来产生净流量。并且将单晶片压电振子的逆压电效应运用到无阀压电泵上,可以实现液体的循环输出,由于无阀压电泵具有体积小、不受电磁干扰等优点,近年来备受人们关注。
发明内容
本发明针对目前无阀压电泵存在的问题,提出一种能够缓解回流、输出流量高的带有伸缩腔的复合阻流体混合式压电泵
本发明采用的技术方案是由泵盖(1)密封圈(2)泵体(3)、单晶片压电振子(4)、导流管(5),阻流体(6),螺栓(7),底座(8)多圆体阻流体(9)矩形压电振子(10)组成;
泵盖(1)首先有两个泵盖通孔(4-9),通过螺栓(7)用以连接泵体(3);其次所述泵盖(1)开设的上密封槽(2-3)和泵体(3)的下密封槽(1-3)进行配合,在上密封槽(2-3)和下密封槽(1-3)之间装配密封圈(2)进行密封;所述泵体(3)泵腔内部开设阻流体(6),阻流体(6)靠近进液口(1-1)处开设平缓状结构,所述泵体(3)内部开设有圆形泵腔;单晶片压电振子粘在泵盖(1)和泵体(3)之间,采用硅胶将压电振子(4)胶粘于圆形泵腔的凸起实体处,在压电振子朝向泵腔的表面与泵腔之间形成一个密封层,实现泵腔的密封,并且同时将单晶片压电振子(4)粘在导流管(5)的内壁用以减轻圆形泵腔的压电振子的负载,同时更好的改变导流管的容积,从而改变压力;导流管(5)开设进液口(1-1)和出液口(1-2),通过进液口(1-1)和导流管(5)开设的导流通孔(3-9)通过螺栓(7)进行配合;底座(8)有两个底座通孔(1-9)且用于放置阻流体(6);多圆体阻流体(9)被放置导流管(5)的进液口(1-1)和出液口(1-2)里,多圆体阻流体(9)靠近进液口(1-1)处开设平缓状结构;在出液口(1-2)粘上多圆体阻流体(9)并在出液口(1-2)处开设尖状结构,目的是增大流阻差异,用以增大流量,同时便于流体单向流动;矩形压电振子(10)是用来控制流体流进泵体(3)的速度的,其与单晶片压电振子(4)相互作用,能够跟有效的控制流体流进泵体内部,通过将螺栓(7)连接泵盖(1)的泵盖通孔(4-9)和泵体(3)开设的泵体通孔(2-9)进行连接配合;矩形压电振子(10)被放置进液口(1-1)和出液口(1-2),通过与密封圈(2)与底座(8)固定相连,用于控制流量,达到装配整个泵的目的。
作为上述技术方案的进一步改进,:所述泵腔内部开设的单晶片压电振子(4),主要是在其吸程过程中,泵腔的单晶片压电振子(4),向上扩张,管内体积变大,关内压力变小,此时,矩形压电振子(10)开始工作,入口处矩形压电振子(10)向上弯曲,出口处矩形压电振子(10)保持不变,流体从入液口(1-1)流入,此时,液体流进,面对多圆体阻流体(9)的平缓状结构,阻力系数较小,,在排出过程中,在其排出过程中,泵腔的压电振子(1),向下扩张,管内体积变大,关内压力变小,此时,矩形压电振子(10)开始工作,入口处矩形压电振子(10)恢复形变,出口处矩形压电振子(10)向上弯曲变形,流体从出液口(1-2)流出,此时,液体流进,面对多圆体阻流体(9)的平缓状结构,阻力系数较小,而且,若从出液口回流,则会受到阻流体阻流体(6)的尖状,流动阻力系数很大,有效的阻止了回流。此发明可以提高流量差异,提高整体工作效率。
本发明的有益效果是:
此发阻流体、和导流管中的阻流体的使用能够有效的缓解液体的回流,能够有效的提高输出流量;
此发明导流管的压电振子使用也可以有效的增大无阀压电泵的流量,减轻泵腔内的压电振子的负载,使输出流量得到提升。而且矩形压电振子的使用,可以减少阀片的滞后性
附图说明
图1所示为本发明的剖视图。
图2所示为本发明导流管的示意图
图3所示为本发明底座的示意图。
图4所示为阻流体的示意图。
图5所示为多圆体阻流体的示意图。
图6所示为单晶片压电振子的示意图。
图7所示为泵盖的示意图。
图8所示为泵体的示意图。
图9所示为爆炸示意图。
图10所示为泵盖的平面示意图。
图11所示为矩形压电振子的示意图。
具体实施方式
为了使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案,下面结合附图对本发明进行详细描述,本部分的描述仅是示范性和解释性,不应对本发明的保护范围有任何的限制作用。
请参阅图1~7,本发明实施例中,具体结构包括:
一种带有伸缩腔的复合阻流体混合式压电泵,由泵盖(1)、密封圈(2)、泵体(3)、单晶片压电振子(4)、导流管(5)、阻流体(6)、螺栓(7)、底座(8)、多圆体阻流体(9)矩形压电振子(10)组成。泵盖(1)首先有两个泵盖通孔(4-9),通过螺栓(7)用以连接泵体(3);其次所述泵盖(1)开设的上密封槽(2-3)和泵体(3)的下密封槽(1-3)进行配合,在上密封槽(2-3)和下密封槽(1-3)之间装配环形密封圈(2)进行密封;所述泵体(3)泵腔内部开设阻流体(6),阻流体(6)靠近进液口(1-1)处开设平缓状结构,所述泵体(3)内部开设有圆形泵腔;单晶片压电振子粘在泵盖(1)和泵体(3)之间,采用硅胶将压电振子(4)胶粘于圆形泵腔的凸起实体处,在压电振子朝向泵腔的表面与泵腔之间形成一个密封层,实现泵腔的密封,并且同时将单晶片压电振子(4)粘在导流管(5)的内壁用以减轻圆形泵腔的压电振子的负载,同时更好的改变导流管的容积,从而改变压力;导流管(5)开设进液口(1-1)和出液口(1-2),通过进液口(1-1)和导流管(5)开设的导流通孔(3-9)通过螺栓(7)进行配合;底座(8)有两个底座通孔(1-9)且用于放置阻流体(6);多圆体阻流体(9)被放置导流管(5)的进液口(1-1)和出液口(1-2)里,多圆体阻流体(9)靠近进液口(1-1)处开设平缓状结构;在出液口(1-2)粘上多圆体阻流体(9)并在出液口(1-2)处开设尖状结构,目的是增大流阻差异,用以增大流量,同时便于流体单向流动;矩形压电振子(10)是用来控制流体流进泵体(3)的速度的,其与单晶片压电振子(4)相互作用,能够跟有效的控制流体流进泵体内部,通过将螺栓(7)连接泵盖(1)的泵盖通孔(4-9)和泵体(3)开设的泵体通孔(2-9)进行连接配合;矩形压电振子(10)被放置进液口(1-1)和出液口(1-2),用于控制流量,达到装配整个泵的目的。
本发明的工作过程分为第一工作过程和第二工作过程:
第一工作过程:泵腔内部单晶片压电振子(4)向下变形,此时流体流进泵体(3)。,从进液管(1-1)流进,流体经过多圆体阻流体(9)的平缓状,此时流体阻力系数较小,并且导流管(5)内部的单晶片压电振子(4)向后弯曲变形,导流管(5)的容积变大,压力变小,此时,矩形压电振子(10)开始工作,入口处矩形压电振子(10)向上弯曲变形,出口处矩形压电振子(10)不变,并且泵腔内部压电振子向上变形,流体通过内流道流入泵腔遇到阻流体(6)的平缓状结构,阻流体(6)开始工作,流动阻力系数较小。此时流进流体较多。
第二工作过程:泵腔内部压电振子向下变形,流体开始流动,当流体经过阻流体(6),阻流体(6)开始工作,流体遇到了阻流体(6)的平缓状,流动阻力系数较小,经过内流道(1-4),从出液管(1-2)流出,此时流体阻力系数较小,并且导流管(5)内部的单晶片压电振子(4)向前弯曲变形,导流管(5)的容积变大,压力变小,此时,矩形压电振子(10)开始工作,入口处矩形压电振子(10)恢复形变,出口处矩形压电振子(10)向上弯曲,流体流出,流体通过导流管(1-5)流出遇到多圆体阻流体(9)的平缓状,流出装置。
本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述,以上说明只适用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,由于文字表达的有限性,而客观上存在无限的具体结构,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进、润饰或变化,也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合;这些改进润饰、变化或组合,或未经改进将发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的,均应视为本发明的保护范围。
此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (5)
1.一种带有伸缩腔的复合阻流体混合式压电泵,由泵盖(1)、密封圈(2)、泵体(3)、单晶片压电振子(4)、导流管(5)、阻流体(6)、螺栓(7)、底座(8)、多圆体阻流体(9)、矩形压电振子(10)组成;泵盖(1)首先有两个泵盖通孔(4-9),通过螺栓(7)用以连接泵体(3);其次所述泵盖(1)开设的上密封槽(2-3)和泵体(3)的下密封槽(1-3)进行配合,在上密封槽(2-3)和下密封槽(1-3)之间装配环形密封圈(2)进行密封;所述泵体(3)泵腔内部开设阻流体(6),阻流体(6)靠近进液口(1-1)处开设平缓状结构,所述泵体(3)内部开设有圆形泵腔;单晶片压电振子粘在泵盖(1)和泵体(3)之间,采用硅胶将压电振子(4)胶粘于圆形泵腔的凸起实体处,在压电振子朝向泵腔的表面与泵腔之间形成一个密封层,实现泵腔的密封,并且同时将单晶片压电振子(4)粘在导流管(5)的内壁用以减轻圆形泵腔的压电振子的负载,同时更好的改变导流管的容积,从而改变压力;导流管(5)开设进液口(1-1)和出液口(1-2),通过进液口(1-1)和导流管(5)开设的导流通孔(3-9)通过螺栓(7)进行配合;底座(8)有两个底座通孔(1-9)且用于放置阻流体(6);多圆体阻流体(9)被放置导流管(5)的进液口(1-1)和出液口(1-2)里,多圆体阻流体(9)靠近进液口(1-1)处开设平缓状结构;在出液口(1-2)粘上多圆体阻流体(9)并在出液口(1-2)处开设尖状结构,目的是增大流阻差异,用以增大流量,同时便于流体单向流动;矩形压电振子(10)是用来控制流体流进泵体(3)的速度的,其与单晶片压电振子(4)相互作用,能够跟有效的控制流体流进泵体内部,通过将螺栓(7)连接泵盖(1)通孔(4-9)和泵体(3)开设的泵体通孔(2-9)进行连接配合;矩形压电振子(10)被放置进液口(1-1)和出液口(1-2),通过与密封圈(2)与底座(8)固定相连,用于控制流量,达到装配整个泵的目的。
2.根据权利要求1所述的一种带有伸缩腔的复合阻流体混合式压电泵,其特征在于:所述泵腔阻流体(6)接近出液口(1-2)处为逐渐尖锐状,阻流体(6)接近进液口(1-1)处为逐渐平缓状。在吸程过程时,流体经过阻流体(6)的平缓状,流阻较小,其作用是增大水在进液口的流量,进液口(1-1)的阻流体(6)开始工作,在排出部分流体经过阻流体尖状流阻较大,进液口(1-1)阻流体(6)开始工作,流阻较大,所以流量差异较大。这样设置是为了让水从宏观上看是从进水口进入,从出水口流出的单向流动的。
3.根据权利要求1所述的一种带有伸缩腔的复合阻流体混合式压电泵,其特征在于:单晶片压电振子(4)装在导流管(5)的内壁上,主要的作用是,减轻泵体的单晶片压电振子(4)的负担,同时用以改变导流管(5)的内部容积,起到改变导流管(5)内部压力大小的作用,在吸水时压电振子(1)向后弯曲变形,导流管(5)的容积变大,压力变小,流体从外界流进,与此同时与进口相连的矩形压电振子(10)向上弯曲,流体流进,在排水过程中,当与出液口(1-2)相连的矩形压电振子(10)向上弯曲时,流体从泵体(3)内部流出,此时单晶片压电振子(4)向前弯曲变形,导流管(5)的容积变小,压力变大,流体跟容易从导流管(5)向外界排出。
4.根据权利要求1所述的一种带有伸缩腔的复合阻流体混合式压电泵,其特征在于;泵腔内的单晶片压电振子(4)与导流管(5)内的压电振子相配合;采用硅胶将压电振子(4)胶粘于圆形泵腔内,并用螺栓(7)穿过泵盖(1)通孔(4-9)将泵体(3)与泵盖(1)固定住,在压电振子朝向泵腔的表面与泵腔之间形成一个密封层,实现泵腔的密封,并且同时将单晶片压电振子(4)通过硅胶固定在导流管(5)的内壁上。在工作时,导流管(5)的单晶片压电振子主要时辅助泵体(3)的单晶片压电振子(4)。
5.根据权利要求1所述的一种带有伸缩腔的复合阻流体混合式压电泵,其特征在于;在控制流量方面,采用矩形压电振子(10),可以解决阀的滞后性,主要是通过施加交变电压,来控制矩形压电振子(10)的弯曲变形。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN204493143U (zh) * | 2015-03-20 | 2015-07-22 | 青岛农业大学 | 阻流体无阀压电泵 |
CN105587621A (zh) * | 2015-05-08 | 2016-05-18 | 长春工业大学 | 强力输出夹心式主动型喷水推进装置及其驱动方法 |
CN107747535A (zh) * | 2017-11-03 | 2018-03-02 | 长春工业大学 | 一种行星型压电推进泵及其驱动方法 |
CN108050049A (zh) * | 2017-11-03 | 2018-05-18 | 长春工业大学 | 多种阻流体复合无阀压电泵 |
CN208057373U (zh) * | 2018-01-10 | 2018-11-06 | 浙江师范大学 | 一种非共振式自适应可换向微型压电泵装置 |
CN209083523U (zh) * | 2018-09-20 | 2019-07-09 | 长春工业大学 | 一种新型圆板式浮动阀压电泵 |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN204493143U (zh) * | 2015-03-20 | 2015-07-22 | 青岛农业大学 | 阻流体无阀压电泵 |
CN105587621A (zh) * | 2015-05-08 | 2016-05-18 | 长春工业大学 | 强力输出夹心式主动型喷水推进装置及其驱动方法 |
CN107747535A (zh) * | 2017-11-03 | 2018-03-02 | 长春工业大学 | 一种行星型压电推进泵及其驱动方法 |
CN108050049A (zh) * | 2017-11-03 | 2018-05-18 | 长春工业大学 | 多种阻流体复合无阀压电泵 |
CN208057373U (zh) * | 2018-01-10 | 2018-11-06 | 浙江师范大学 | 一种非共振式自适应可换向微型压电泵装置 |
CN209083523U (zh) * | 2018-09-20 | 2019-07-09 | 长春工业大学 | 一种新型圆板式浮动阀压电泵 |
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Legal Events
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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