CN112185832A - 用于制造显示装置的设备和方法 - Google Patents

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CN112185832A CN202010612539.8A CN202010612539A CN112185832A CN 112185832 A CN112185832 A CN 112185832A CN 202010612539 A CN202010612539 A CN 202010612539A CN 112185832 A CN112185832 A CN 112185832A
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Abstract

提供了用于制造显示装置的设备和方法。用于制造显示装置的设备包括第一辊、第二辊、平坦度保持器和感测单元，其中，膜构件从第一辊卷出，膜构件围绕第二辊卷绕，平坦度保持器排列在第一辊与第二辊之间并且使膜构件的上表面和下表面中的至少一个保持平坦，并且感测单元排列为面对膜构件的上表面和膜构件的下表面中的至少一个并且检测从头单元滴落到膜构件上的液滴。

Description

用于制造显示装置的设备和方法
相关申请的交叉引用
本申请要求于2019年7月1日提交的第10-2019-0078952号韩国专利申请的优先权，以及从其获得的所有权益，该韩国专利申请的内容通过引用以其整体地并入本文。
技术领域
一个或多个示例性实施方式涉及设备和方法，并且特别地，涉及用于制造显示装置的设备和方法。
背景技术
移动电子装置已被广泛使用。作为移动电子装置的实例，除了诸如移动电话的紧凑型装置以外，平板个人计算机(“PC”)最近已被广泛使用。
上述的移动电子装置包括向用户提供诸如图像或图片的视觉信息以支持各种功能的显示装置。近来，随着用于驱动显示装置的其它部件变得紧凑，显示装置在电子装置中的使用逐渐增加，并且还已经开发出从平坦状态以一定角度弯曲的显示装置。
发明内容
一个或多个实施方式包括用于制造显示装置的设备和方法。
附加的示例性实施方式将在下面的描述中部分地阐述，并且部分地将通过本描述而显而易见，或者可通过本发明提出的实施方式的实践而习得。
用于制造显示装置的方法的示例性实施方式包括：通过使卷出膜构件的第一辊和第二辊中的一个旋转来移动膜构件，膜构件围绕第二辊卷绕；通过停止第一辊和第二辊中的至少一个来停止膜构件；通过夹持膜构件的边侧来张紧膜构件；将液滴排放到膜构件上；以及检测膜构件上的液滴。
在示例性实施方式中，该方法还可包括：基于检测膜构件上的液滴的结果来控制从头单元排放的液滴。
在示例性实施方式中，可对液滴的大小、体积、位置和形状中的至少一种进行检测。
在示例性实施方式中，在与膜构件的传输方向垂直的方向上，可在膜构件的至少一个侧部处，向膜构件的边侧施加力。
在示例性实施方式中，该方法还可包括：在膜构件的下表面处支承膜构件。
在示例性实施方式中，膜构件的下表面可通过使用支承卡盘来支承。
在示例性实施方式中，支承卡盘可包括真空卡盘和多孔卡盘中的至少一个。
在示例性实施方式中，支承卡盘的排列为面对膜构件的下表面的部分可为透明的。
在示例性实施方式中，该方法还可包括：通过感测单元捕获液滴的图像以检测液滴。
在示例性实施方式中，感测单元可排列为面对膜构件的上表面和膜构件的下表面中的至少一个。
用于制造显示装置的方法的示例性实施方式包括：通过使卷出膜构件的第一辊和第二辊中的一个旋转来移动膜构件，膜构件围绕第二辊卷绕；通过停止第一辊和第二辊中的至少一个来停止膜构件；通过将惰性气体喷射到膜构件的上表面上来使膜构件保持平坦；将液滴排放到膜构件上；以及检测膜构件上的液滴。
在示例性实施方式中，该方法还可包括：基于检测膜构件上的液滴的结果来控制从头单元排放的液滴。
在示例性实施方式中，可对液滴的大小、体积、位置和形状中的至少一种进行检测。
在示例性实施方式中，该方法还可包括：在膜构件的下表面处支承膜构件。
在示例性实施方式中，可通过使用支承卡盘来支承膜构件的下表面。
在示例性实施方式中，支承卡盘可包括真空卡盘和多孔卡盘中的至少一个。
在示例性实施方式中，支承卡盘的排列为面对膜构件的下表面的部分可为透明的。
在示例性实施方式中，该方法还可包括：通过感测单元捕获液滴的图像以检测液滴。
在示例性实施方式中，感测单元可排列为面对膜构件的上表面和膜构件的下表面中的至少一个。
用于制造显示装置的设备的实施方式包括头单元、第一辊、第二辊、平坦度保持器和感测单元，其中，膜构件从第一辊卷出，膜构件围绕第二辊卷绕，平坦度保持器排列在第一辊与第二辊之间并且使膜构件的上表面和下表面中的至少一个保持平坦，并且感测单元排列为面对膜构件的上表面和膜构件的下表面中的至少一个并且检测从头单元滴落到膜构件上的液滴。
在示例性实施方式中，平坦度保持器可包括向膜构件的边侧施加力的夹持单元。
在示例性实施方式中，在与膜构件的传输方向垂直的方向上，夹持单元可向膜构件施加力。
在示例性实施方式中，该设备还包括多个夹持单元，并且在膜构件的传输方向上，多个夹持单元可排列为彼此间隔开。
在示例性实施方式中，平坦度保持器可包括气体喷射单元，其中，气体喷射单元排列在膜构件的上表面上并且将惰性气体喷射到膜构件的上表面上。
在示例性实施方式中，平坦度保持器可包括支承卡盘，其中，支承卡盘排列为面对膜构件的下表面上并且与膜构件的下表面接触以支承膜构件的下表面。
在示例性实施方式中，感测单元的位置可为可变的。
除了上述细节之外，将从以下附图、权利要求书和详细描述中阐明其它示例性实施方式、特征和优点。
这些一般和特定示例性实施方式可通过系统、方法、计算机程序或系统、方法和计算机程序的组合来实现。
附图说明
通过结合附图的以下描述中，本发明的上述和其它示例性实施方式、特征和优点将更加显而易见，其中：
图1是用于制造显示装置的设备的示例性实施方式的透视图；
图2和图3是示出图1中所示的用于制造显示装置的设备的操作的侧视图；
图4是用于制造显示装置的设备的示例性实施方式的透视图；
图5和图6是示出图4中所示的用于制造显示装置的设备的操作的侧视图；
图7是用于制造显示装置的设备的示例性实施方式的透视图；
图8和图9是示出图7中所示的用于制造显示装置的设备的操作的侧视图；
图10是用于制造显示装置的设备的夹持单元的示例性实施方式的透视图；
图11至图14是示出用于制造显示装置的设备的操作的另一示例性实施方式的侧视图；
图15至图18是示出用于制造显示装置的设备的操作的另一示例性实施方式的侧视图；
图19至图22是示出用于制造显示装置的设备的操作的另一示例性实施方式的侧视图；
图23是示出由用于制造显示装置的设备制造的显示装置的示例性实施方式的平面图；以及
图24是沿图23的线A-A'截取的显示装置的剖面图。
具体实施方式
当前将详细地参照实施方式，实施方式的实例示出在附图中，而在附图中相似的附图标记始终指示相似的要素。在这一点而言，示例性实施方式可具有不同的形式，并且不应解释为限于本文中所阐述的描述。相应地，下面仅通过参照附图对所示的示例性实施方式进行描述以解释本说明书的示例性实施方式。如本文中所使用的，术语“和/或者”包括相关所列项目中的一个或者多个的任何和所有组合。诸如“至少一个”的表述，当在一列要素之后时，修饰整列要素，而不是修饰该列中的个别要素。
由于本公开可具有各种修改和若干实施方式，因此实施方式在附图中示出并且将进行详细描述。将参照下面详细描述的示例性实施方式以及附图对效果、特征和实现它们的方法进行描述。然而，示例性实施方式可具有不同的形式，并且本发明不应解释为限于本文中所阐述的描述。
下面将参照附图对示例性实施方式进行更加详细的描述。相同或对应的那些部件被赋予相同的附图标记，而与图号无关，并且将省略其重复描述。
将理解，虽然“第一”、“第二”、“第三”等的术语可在本文中用于描述各种部件，但是这些部件不应受这些术语的限制。这些术语仅用于将一个部件与另一部件区分开。
除非在上下文中具有明显不同的含义，否则以单数使用的表述包含复数的表述。
在说明书中，将理解，诸如“包括(including)”或“具有(having)”的术语旨在指示说明书中所公开的特征或部件的存在，而不旨在排除一个或多个其它特征或部件可被添加的可能性。
将理解，当层、区或部件被称为“布置在”另一层、区或部件“上”时，其可直接或间接地布置在另一层、区或部件上。也就是说，例如，可存在中间层、区或部件。
为了解释的便利，附图中的部件的大小可被放大。换言之，由于附图中的部件的大小和厚度为了解释的便利而被任意地示出，所以本发明不限于此。
在下面的示例性实施方式中，X轴、Y轴和Z轴不限于直角坐标系上的三个轴，但是可解释为包括这些轴。例如，X轴、Y轴和Z轴可成直角，或者也可指示不是直角的彼此不同的方向。
当特定示例性实施方式可以不同方式实现时，具体工艺顺序可以与所描述的顺序不同地执行。例如，两个连续描述的工艺可基本上同时进行或者以与描述的顺序相反的顺序进行。如本文中所使用的，术语“和/或者”包括相关所列项目中的一个或者多个的任何和所有组合。诸如“至少一个”的表述，当在一列要素之后时，修饰整列要素，而不是修饰该列中的个别要素。
图1是用于制造显示装置的设备100的示例性实施方式的透视图。图2和图3是示出图1中所示的用于制造显示装置的设备100的操作的侧视图。
参照图1至图3，用于制造显示装置的设备100可包括第一辊131、第二辊132、第三辊133、第四辊134、平坦度保持器(未示出)和感测单元180。
第一辊131和第二辊132中的一个可卷绕膜构件TF，且然后将卷出膜构件TF。此外，第一辊131和第二辊132中的另一个可卷绕卷出的膜构件TF。在这种情况下，膜构件TF可为透明材料。在示例性实施方式中，例如，膜构件TF可包括合成树脂。
上述第一辊131和第二辊132中的至少一个可包括辊驱动器(未示出)，该辊驱动器对第一辊131和第二辊132中的至少一个进行驱动。辊驱动器可包括与第一辊131和第二辊132中的至少一个连接的减速器和与减速器连接的电机。在另一示例性实施方式中，辊驱动器也可包括与第一辊131和第二辊132中的至少一个连接的电机。
第三辊133和第四辊134可弯曲膜构件TF。此处，第三辊133和第四辊134可防止膜构件TF的张力的减小。在示例性实施方式中，例如，第三辊133可排列在第一辊131上方以弯曲从第一辊131卷出的膜构件TF。另外，第四辊134可排列在第二辊132上方以弯曲围绕第二辊132卷绕的膜构件TF。在这种情况下，第三辊133的旋转中心和第四辊134的旋转中心可排列在直线上，并且第三辊133与膜构件TF接触的部分和第四辊134与膜构件TF接触的部分可排列在相同的平面上。
平坦度保持器可使排列在第一辊131与第二辊132之间的膜构件TF平坦化。平坦度保持器可以各种形式提供。在示例性实施方式中，例如，平坦度保持器可包括拉膜构件TF的边侧的夹持单元140。平坦度保持器可包括排列在膜构件TF下方并且吸附或支承膜构件TF的支承卡盘160。
如上所述的夹持单元140可在与膜构件TF的移动方向(例如，图1中的X方向)垂直的方向(例如，图1中的Y方向)上向膜构件TF施加力。在这种情况下，夹持单元140可通过拉膜构件TF的边侧来保持膜构件TF的上表面平坦。夹持单元140可包括分别与膜构件TF的上表面和下表面接触的多个握持部。多个握持部可排列成彼此面对以调节握持部之间的距离。
夹持单元140可连接到夹持驱动器150。夹持驱动器150可改变夹持单元140的位置。在示例性实施方式中，例如，夹持驱动器150可包括与夹持单元140连接的缸。在另一示例性实施方式中，夹持驱动器150可包括与夹持单元140连接的线性电机。在另一示例性实施方式中，夹持驱动器150可包括与夹持单元140连接的滚珠丝杠和与滚珠丝杠连接的电机。夹持驱动器150不限于上述，并且可包括与夹持单元140连接并且在与膜构件TF的传输方向垂直的方向上移动夹持单元140的任何装置和结构。
支承卡盘160可排列在膜构件TF下方并移动。支承卡盘160可上下移动以与膜构件TF选择性地接触。支承卡盘160可连接到支承卡盘驱动器170。支承卡盘驱动器170与上述的夹持驱动器150相似，并因此将省略其详细描述。
支承卡盘160可与膜构件TF的下表面简单地接触以支承膜构件TF，或者可完全附着膜构件TF的下表面以固定膜构件TF的下表面。在示例性实施方式中，支承卡盘160可具有板形状，而该板形状具有平坦的上表面。在另一示例性实施方式中，支承卡盘160可包括真空形式，在该真空形式中，其外表面上限定有抽吸孔(未示出)并且其中排列有与抽吸孔连通的流动通道(未示出)，并且流动通道连接到外部抽吸泵(未示出)或类似物以将流动通道内的气体排放到外部以通过抽吸孔吸附膜构件TF。在另一示例性实施方式中，支承卡盘160也可包括多孔卡盘，该多孔卡盘的外表面上限定有多个凹槽或孔。在下文中，为了描述的便利，将对真空卡盘形式的支承卡盘160进行详细描述。
感测单元180可对排列在膜构件TF上的液滴进行检测。此处，感测单元180可排列为面对膜构件TF的上表面或膜构件TF的下表面。在这种情况下，感测单元180可包括相机，相机捕获膜构件TF上的液滴的图像。在下文中，为了描述的便利，将对感测单元180排列为面对膜构件TF的上表面的示例性实施方式进行详细描述。
关于操作用于制造显示装置的设备100的方法，如上所述，头单元120可连接到第一线性驱动器111和第二线性驱动器112。第二线性驱动器112可连接到第一线性驱动器111并且在第一方向(例如，图1中的X方向)上线性地移动，并且第二线性驱动器112可使头单元120在与第一方向不同的第二方向(例如，图1中的Y方向)上移动。在这种情况下，第一线性驱动器111和第二线性驱动器112可各自包括线性电机。
如上所述的第一线性驱动器111和第二线性驱动器112可使头单元120移动到处理区和测试区。处理区可指示用于制造如下所述的显示装置(未示出)的区，并且测试区可指示排列有膜构件TF的区。
首先，当头单元120进入测试区时，辊驱动器(未示出)可进行操作以驱动第一辊131和第二辊132中的至少一个。在这种情况下，围绕第一辊131卷绕的膜构件TF可卷出以移动到第二辊132。接着，可停止辊驱动器的操作，并且膜构件TF可排列在第一辊131与第二辊132之间。
当膜构件TF如上所述地停止时，夹持驱动器150进行操作以使夹持单元140移动到膜构件TF的边侧，并且夹持单元140可握持膜构件TF的边侧。
在夹持单元140如上所述地已握持膜构件TF的边侧之后，夹持驱动器150进行操作以使夹持单元140远离膜构件TF的中心。在这种情况下，排列成彼此面对的一对夹持单元140之间的距离可逐渐增加。
当夹持单元140如上所述地移动时，膜构件TF可被平坦化。详细地，当仅包括第一辊131和第二辊132时，膜构件TF可在其移动期间因外部环境或组装公差而褶皱。在这种情况下，当液滴从头单元120滴落到膜构件TF上时，由于膜构件TF具有不平坦的表面，因此可能难以准确地测试图案。然而，通过由夹持单元140拉膜构件TF的边侧，膜构件TF的上表面可被保持平坦。
在由夹持单元140拉膜构件TF的边侧之前、期间或之后，支承卡盘160可被升高以支承膜构件TF的下表面。在这种情况下，支承卡盘驱动器170可进行操作以将支承卡盘160升高到与膜构件TF的下表面接触。此外，如上所述，膜构件TF可经由限定在支承卡盘160的外表面中的抽吸孔而被完全附着，并且此外，膜构件TF可被固定并且也保持一定程度的平坦。在这种情况下，在由夹持单元140拉动膜构件TF之后，可执行经由抽吸孔对膜构件TF的固定。
当膜构件TF如上所述地被平坦化时，头单元120可移动以将液滴排放到膜构件TF上。此处，用于形成液滴的材料可为诸如有机材料或无机材料的各种材料。
在液滴已滴落在膜构件TF上之后，感测单元180可检测膜构件TF上的液滴。此处，在处于固定状态期间，感测单元180可检测液滴。在替代性示例性实施方式中，在改变感测单元180的位置以将感测单元180排列为面对膜构件TF上的液滴之后，感测单元180可检测膜构件TF上的液滴。
感测单元180可捕获液滴的图像，并且特别地，检测液滴的大小、形状、体积和位置中的至少一种。此处，附加的控制器(未示出)可基于通过使用感测单元180而捕获的液滴的图像来计算或确定液滴的大小、形状、体积和位置中的至少一种。
基于由感测单元180感测的结果，通过将液滴的大小、形状、体积和位置中的一个检测项与液滴的大小、形状、体积和位置中的一个预设项进行比较，控制器可控制从头单元120排放的液滴的大小、形状、体积或位置。
在如上所述地控制液滴之后，可改变头单元120的位置或者可再次移动膜构件TF，且然后头单元120可将液滴排放到膜构件TF上并且可重复上述操作。此处，当膜构件TF移动时，夹持单元140可不握持膜构件TF。
当在上述操作中从头单元120排放并布置(例如，安装)在膜构件TF上的液滴被确定为与预设液滴一致或在误差范围内时，头单元120可移动到处理区以执行处理。
因此，根据用于制造显示装置的设备100和用于制造显示装置的方法，可精确地测量头单元120的液滴以对头单元120进行控制。另外，根据用于制造显示装置的设备100和用于制造显示装置的方法，由于膜构件TF的上表面保持平坦，因此可防止由于膜构件TF的形状而导致的液滴的大小、形状、体积和位置中的至少一种的变形。
图4是用于制造显示装置的设备100的示例性实施方式的透视图。图5和图6是示出图4中所示的用于制造显示装置的设备100的操作的侧视图。
参照图4至图6，用于制造显示装置的设备100可包括第一辊131、第二辊132、第三辊133、第四辊134、平坦度保持器(未示出)和感测单元180。此处，第一辊131、第二辊132、第三辊133和第四辊134分别与参照图1至图3描述的一致，并因此将省略其详细描述。
平坦度保持器可包括夹持单元140和支承卡盘160。夹持单元140与参照图1至图3描述的一致，并因此将省略其详细描述。
支承卡盘160可包括与支承卡盘驱动器170连接的支承架162和与支承架162连接的透射部161。支承架162的一部分可被开口。透射部161可排列在支承架162的开口部中以联接到支承架162。透射部161可包括透明材料。在示例性实施方式中，例如，透射部161可包括诸如丙烯酸或玻璃等的透明合成树脂。
感测单元180可排列在支承卡盘160内部。感测单元180可固定在支承架162中或在一个方向上线性地移动。感测单元180可经由透射部161检测排列在膜构件TF上的液滴。在这种情况下，感测单元180可以与上面参照图1至图3描述的一致或相似的形式设置。
如上所述，用于制造显示装置的设备100的操作可与上面参照图1至图3描述的相似。详细地，辊驱动器(未示出)可进行操作以使第一辊131和第二辊132中的至少一个旋转，并且膜构件TF可相应地移动。
接着，可停止辊驱动器的操作，并且夹持单元140可根据夹持驱动器150的操作来握持膜构件TF的边侧以拉膜构件TF。此外，支承卡盘驱动器170可进行操作以使支承卡盘160与膜构件TF的下表面接触。在这种情况下，如上所述，支承卡盘160可与膜构件TF接触以支承膜构件TF，或者不仅可与膜构件TF接触，而且也可经由真空或类似形式固定膜构件TF。
接着，头单元120可将液滴排放到膜构件TF，并且感测单元180可检测膜构件TF上的液滴。控制器(未示出)可基于检测的结果确定液滴的大小、体积、位置和形状中的至少一种，且然后控制从头单元120排放的液滴的大小、形状、体积或位置。
当确定从头单元120排放的液滴与预设液滴一致或相似时，控制器可将头单元120排列在处理区中以执行处理。第一线性驱动器111和第二线性驱动器112可根据工艺将头单元120排列在各种位置处。
在处理区中，可通过使用头单元120来设置各种层。在示例性实施方式中，例如，有机层或无机层可在处理区中通过头单元120布置在衬底(未示出)上。
因此，根据用于制造显示装置的设备100和用于制造显示装置的方法，可精确地测量头单元120的液滴以对头单元120进行控制。另外，根据用于制造显示装置的设备100和用于制造显示装置的方法，由于膜构件TF的上表面保持平坦，因此可防止由于膜构件TF的形状而导致的液滴的大小、形状、体积和位置中的至少一种的变形。
图7是用于制造显示装置的设备100的示例性实施方式的透视图。图8和图9是示出图7中所示的用于制造显示装置的设备100的操作的侧视图。
参照图7至图9，用于制造显示装置的设备100可包括第一辊131、第二辊132、第三辊133、第四辊134、平坦度保持器(未示出)和感测单元180。此处，第一辊131、第二辊132、第三辊133和第四辊134分别与参照图1至图3描述的一致，并因此将省略其详细描述。
平坦度保持器可包括夹持单元140和支承卡盘160。夹持单元140和支承卡盘160与参照图4至图6描述的一致或相似，并因此将省略其详细描述。
感测单元180可包括排列为面对膜构件TF的上表面的第一感测部181和排列为面对膜构件TF的下表面的第二感测部182。第一感测部181可排列为与膜构件TF的上表面分开，并且第二感测部182可排列为与膜构件TF的下表面分开。在这种情况下，第一感测部181可与上面参照图1至图3描述的感测单元180一致或相似，并且第二感测部182可与参照图4至图6描述的感测单元180一致或相似。
关于用于制造显示装置的设备100的操作，如上所述，膜构件TF的液滴将排放到其上的部分可通过辊驱动器(未显示)而排列在第一辊131与第二辊132之间。接着，停止辊驱动器的操作，并且夹持驱动器150进行操作以通过夹持单元140握持膜构件TF的边侧，并且拉膜构件TF的边侧以远离膜构件TF的中心。
支承卡盘驱动器170可进行操作以使支承卡盘160与膜构件TF的下表面接触。此处，支承卡盘160可在与膜构件TF接触的同时支承膜构件TF或固定膜构件TF。
第一线性驱动器111和第二线性驱动器112中的至少一个可进行操作以将头单元120排列在膜构件TF上方，并且可通过头单元120将液滴排放到膜构件TF。接着，膜构件TF上的液滴可通过第一感测部181和第二感测部182来检测。膜构件TF上的液滴的位置、形状、大小和体积中的至少一种可通过第一感测部181和第二感测部182基于检测到的液滴的位置、形状、大小和体积中的至少一种的平均值来计算。
接着，控制器(未示出)可控制从头单元120排放的液滴。在示例性实施方式中，例如，控制器(未示出)可控制从头单元120排放的液滴的排放速率、排放量或排放体积等。
上述操作可被执行，直到从头单元120排放的液滴的形状、大小、位置和体积中的至少一种等于预设液滴的形状、大小、位置和体积中的至少一种，或者对应于设定范围。
当头单元120的控制被完成时，头单元120可移动到处理区以在衬底(未示出)上形成各种层中的至少一个。
因此，根据用于制造显示装置的设备100和用于制造显示装置的方法，可精确地测量头单元120的液滴以对头单元120进行控制。另外，根据用于制造显示装置的设备100和用于制造显示装置的方法，由于膜构件TF的上表面保持平坦，因此可防止由于膜构件TF的形状而导致的液滴的大小、形状、体积和位置中的至少一种的变形。
图10是用于制造显示装置的设备100的夹持单元140的示例性实施方式的透视图。
参照图10，用于制造显示装置的设备100可与上面参照图1、图4或图7描述的一致或相似。此处，多个夹持单元140可被包括。
在示例性实施方式中，例如，N个夹持单元140(N是自然数)可被包括。多个夹持单元140可包括第一夹持单元141、第二夹持单元142、第三夹持单元143、...和第N夹持单元149(例如，当N为九时)。在这种情况下，第一夹持单元141至第N夹持单元149可在膜构件(未示出)的传输方向上排列为彼此间隔开。此外，多个夹持单元140之中的一对夹持单元140可分别设置在膜构件的两个边侧处。
排列在膜构件的边侧处的多个夹持单元140可连接到一个夹持驱动器(未示出)以同步地线性地移动。在另一示例性实施方式中，多个夹持单元140可分别连接到多个夹持驱动器(未示出)以彼此同步并且相应地同时地线性地移动。
图11至图14是示出用于制造显示装置的设备100-1的操作的另一示例性实施方式的侧视图。
参照图11至图14，用于制造显示装置的设备100-1可包括第一辊131-1、第二辊132-1、第三辊133-1、第四辊134-1、平坦度保持器(未示出)和感测单元180-1。此处，第一辊131-1、第二辊132-1、第三辊133-1、第四辊134-1和感测单元180-1分别与参照图1至图3描述的一致，并因此将省略其详细描述。
平坦度保持器可包括气体喷射单元191-1和支承卡盘160-1。此处，支承卡盘160-1可与上面参照图1至图3描述的一致或相似。
气体喷射单元191-1可排列为面对膜构件TF的上表面。气体喷射单元191-1可排列在第一辊131-1与第二辊132-1之间以将惰性气体喷射到膜构件TF。
在气体喷射单元191-1中可排列有连接到惰性气体的流动通道以及喷射孔(未示出)，该喷射孔连接到流动通道并且惰性气体通过该喷射孔喷射到外部。在这种情况下，气体喷射单元191-1可连接到供给外部惰性气体的惰性气体供给器。在上述情况下，从惰性气体供给器供给的惰性气体可通过喷射孔从气体喷射单元191-1喷射到膜构件TF。
如上所述的气体喷射单元191-1可连接到第三线性驱动器192-1和第四线性驱动器193-1。第三线性驱动器192-1可使气体喷射单元191-1上下移动。第三线性驱动器192-1连接到第四线性驱动器193-1，并且第四线性驱动器193-1可使第三线性驱动器192-1线性地移动。
感测单元180-1可包括感测驱动器194-1。感测驱动器194-1可使感测单元180-1线性地移动。在示例性实施方式中，感测驱动器194-1可设置为各种形式，诸如线性电机或滚珠丝杠以及电机等。
关于如上所述的用于制造显示装置的设备100-1的操作，辊驱动器(未示出)可进行操作以使第一辊131-1和第二辊132-1中的至少一个旋转。接着，当辊驱动器的操作停止时，膜构件TF的一部分可排列在第一辊131-1与第二辊132-1之间。
接着，第三线性驱动器192-1和第四线性驱动器193-1可将气体喷射单元191-1排列在膜构件TF的上表面上。气体喷射单元191-1可将惰性气体喷射到排列在第一辊131-1与第二辊132-1之间的膜构件TF的上表面上。当气体喷射单元191-1喷射惰性气体并且膜构件TF的上表面褶皱时，褶皱可被平坦化。气体喷射单元191-1可从膜构件TF的中心朝向膜构件TF的一侧喷射惰性气体。
在膜构件TF被平坦化之后，支承卡盘驱动器170-1可进行操作以使支承卡盘160-1与膜构件TF的下表面接触。在这种情况下，气体喷射单元191-1可不再进行操作。此外，第三线性驱动器192-1和第四线性驱动器193-1可使气体喷射单元191-1从膜构件TF的上表面移动到另一位置。
当支承卡盘160-1与膜构件TF的下表面接触时，支承卡盘160-1可设置为真空卡盘或多孔卡盘的形式以固定膜构件TF的下表面。
在膜构件TF的下表面固定到支承卡盘160-1之后，第一线性驱动器111-1和第二线性驱动器112-1可进行操作以将头单元120-1排列在测试区中。此处，气体喷射单元191-1、第一线性驱动器111-1和第二线性驱动器112-1可彼此不干涉。
在头单元120-1已将液滴排放到膜构件TF上之后，当液滴排列在膜构件TF的上表面上时，感测单元180-1可检测膜构件TF上的液滴的形状、位置、大小和体积中的至少一种。感测单元180-1可经由感测驱动器194-1线性地移动到排列在膜构件TF上的液滴定位的部分。
如上所述，从头单元120-1排放的液滴可基于检测的结果来控制。接着，当头单元120-1排放与预设的液滴一致或相似的液滴时，第一线性驱动器111-1和第二线性驱动器112-1可将头单元120-1从测试区移动到处理区。头单元120-1可将液滴排放到衬底(未示出)上以在处理区中在衬底(未示出)上形成各种层中的至少一个。
因此，根据用于制造显示装置的设备100-1和用于制造显示装置的方法，可精确地测量头单元120-1的液滴以对头单元120-1进行控制。另外，根据用于制造显示装置的设备100-1和用于制造显示装置的方法，由于膜构件TF的上表面保持平坦，因此可防止由于膜构件TF的形状而导致的液滴的大小、形状、体积和位置中的至少一种的变形。
图15至图18是示出用于制造显示装置的设备100-1的操作的另一示例性实施方式的侧视图。
参照图15至图18，用于制造显示装置的设备100-1可包括第一辊131-1、第二辊132-1、第三辊133-1、第四辊134-1、平坦度保持器(未示出)、感测单元180-1、第三线性驱动器192-1和第四线性驱动器193-1。第一辊131-1、第二辊132-1、第三辊133-1、第四辊134-1、第三线性驱动器192-1和第四线性驱动器193-1分别与上面参照图11至图14描述的一致，并因此将省略其详细描述。
平坦度保持器可包括气体喷射单元191-1和支承卡盘160-1。此处，气体喷射单元191-1可与上面参照图11至图14描述的一致或相似。支承卡盘160-1可包括支承架162-1和透射部161-1。支承架162-1和透射部161-1可分别与上面参照图4描述的一致或相似。
感测单元180-1可排列在支承架162-1内部。感测驱动器194-1可排列在支承架162-1中以线性地移动感测单元180-1。虽未在图中示出，但是感测驱动器194-1和感测单元180-1也可排列在支承架162-1外部。在这种情况下，感测驱动器194-1可排列为不与支承架162-1的移动范围重叠。
关于用于制造显示装置的设备100-1的操作，当辊驱动器(未示出)进行操作时，第一辊131-1和第二辊132-1进行操作以将膜构件TF的供液滴排列在其上的部分排列在第一辊131-1与第二辊132-1之间。
接着，第三线性驱动器192-1和第四线性驱动器193-1可进行操作以将气体喷射单元191-1排列在膜构件TF的上表面上。气体喷射单元191-1可通过将惰性气体喷射到膜构件TF的上表面上来防止膜构件TF褶皱，并且可使膜构件TF的褶皱部分平坦化。气体喷射单元191-1可在膜构件TF移动时向膜构件TF喷射惰性气体，或者在膜构件TF固定之后向膜构件TF喷射惰性气体。
接着，第三线性驱动器192-1和第四线性驱动器193-1可进行操作以从膜构件TF的上表面移除气体喷射单元191-1。另外，支承卡盘驱动器170-1可进行操作以使支承卡盘160-1与膜构件TF接触，且然后将膜构件TF固定到支承卡盘160-1。支承卡盘160-1可设置为真空卡盘或多孔卡盘的形式以固定膜构件TF。
在第一线性驱动器111-1和第二线性驱动器112-1进行操作以将头单元120-1排列在测试区中之后，头单元120-1可将液滴排放到膜构件TF上。接着，感测驱动器194-1可进行操作以调节感测单元180-1的位置，且然后膜构件TF上的液滴可使用感测单元180-1来感测。另外，从头单元120-1排放的液滴的量、形状、大小或类似物可基于感测单元180-1的检测的结果来控制。
因此，根据用于制造显示装置的设备100-1和用于制造显示装置的方法，可精确地测量头单元120-1的液滴以对头单元120-1进行控制。另外，根据用于制造显示装置的设备100-1和用于制造显示装置的方法，由于膜构件TF的上表面保持平坦，因此可防止由于膜构件TF的形状而导致的液滴的大小、形状、体积和位置中的至少一种的变形。
图19至图22是示出用于制造显示装置的设备100-1的操作的另一示例性实施方式的侧视图。
参照图19至图22，用于制造显示装置的设备100-1可包括第一辊131-1、第二辊132-1、第三辊133-1、第四辊134-1、平坦度保持器(未示出)、感测单元180-1、第三线性驱动器192-1和第四线性驱动器193-1。第一辊131-1、第二辊132-1、第三辊133-1、第四辊134-1、第三线性驱动器192-1和第四线性驱动器193-1分别与上面参照图11至图14描述的一致。并因此将省略其详细描述。
平坦度保持器可包括气体喷射单元191-1和支承卡盘160-1。气体喷射单元191-1可与上面参照图11至图14描述的一致或相似，并且支承卡盘160-1可与上面参照图15至图18描述的一致或相似。
感测单元180-1可包括排列为面对膜构件TF的上表面上的第一感测部181-1和排列为面对膜构件TF的下表面上的第二感测部182-1。第一感测部181-1可连接到第一感测驱动器194-1a以线性地移动，并且第二感测部182-1可连接到第二感测驱动器194-1b以线性地移动。在这种情况下，第二感测部182-1和第二感测驱动器194-1b可排列在支承卡盘160-1中。
关于用于制造显示装置的设备100-1的操作，如上所述，第一辊131-1和第二辊132-1中的至少一个可经由辊驱动器(未示出)进行操作以将膜构件TF的供液滴滴落在其上的部分排列在第一辊131-1与第二辊132-1之间。
接着，第三线性驱动器192-1和第四线性驱动器193-1可进行操作以将气体喷射单元191-1排列在膜构件TF的上表面上并且将惰性气体喷射到膜构件TF上，从而使膜构件TF的上表面平坦化。
第三线性驱动器192-1和第四线性驱动器193-1可从膜构件TF的上表面去除气体喷射单元191-1，并且支承卡盘驱动器170-1可使支承卡盘160-1升高以支承膜构件TF的下表面。支承卡盘160-1可吸附膜构件TF的下表面以固定膜构件TF。
第一线性驱动器111-1和第二线性驱动器112-1可将头单元120-1位于膜构件TF的上表面上，且然后头单元120-1可将液滴滴落到膜构件TF上。
接着，第一感测部181-1和第二感测部182-1可检测膜构件TF的液滴。头单元120-1可基于检测的结果来调节滴落的液滴的体积、大小或形状等。
当上述调节完成时，第一线性驱动器111-1和第二线性驱动器112-1可使头单元120-1移动到处理区。接着，头单元120-1可在衬底(未示出)上形成各种层中的至少一个。
因此，根据用于制造显示装置的设备100-1和用于制造显示装置的方法，可精确地测量头单元120-1的液滴以对头单元120-1进行控制。另外，根据用于制造显示装置的设备100-1和用于制造显示装置的方法，由于膜构件TF的上表面保持平坦，因此可防止由于膜构件TF的形状而导致的液滴的大小、形状、体积和位置中的至少一种的变形。
虽未在图中示出，但是如上所述，用于制造显示装置的设备100或用于制造显示装置的设备100-1也可同时包括夹持单元140和气体喷射单元191-1这两者。
图23是示出由用于制造显示装置的设备制造的显示装置20的示例性实施方式的平面图。图24是沿图23的线A-A'截取的显示装置20的剖面图。
参照图23和图24，在显示装置20中，衬底21上可限定有显示区域DA和位于显示区域DA外部的非显示区域NDA。发光单元可排列在显示区域DA中，并且电源线(未示出)可排列在非显示区域NDA中。而且，非显示区域NDA中可排列有焊盘单元C。
显示装置20可包括显示衬底D和薄膜封装层E。显示衬底D可包括衬底21、薄膜晶体管TFT、钝化层27和像素电极28-1。在另一示例性实施方式中，显示衬底D可包括衬底21、薄膜晶体管TFT、钝化层27、像素电极28-1和中间层28-2中的一些。在另一示例性实施方式中，显示衬底D可包括衬底21、薄膜晶体管TFT、钝化层27、像素电极28-1和中间层28-2。在下文中，为了描述的便利，将对包括衬底21、薄膜晶体管TFT、钝化层27和像素电极28-1的显示衬底D进行详细描述。
在示例性实施方式中，衬底21可包括塑料或诸如不锈钢(“SUS”)或钛(Ti)的金属。此外，衬底21可包括聚酰亚胺(“PI”)。在下文中，为了描述的便利，将对包括PI的衬底21进行详细描述。
薄膜晶体管TFT可布置在衬底21上，并且钝化层27可设置为覆盖薄膜晶体管TFT，并且有机发光器件(“OLED”)28可布置在钝化层27上。
在示例性实施方式中，例如，包括有机化合物和/或无机化合物的缓冲层22还布置在衬底21的上表面上，并且包括SiOx(x≥1)或SiNx(x≥1)。
在以图案排列的有源层23设置在缓冲层22上之后，有源层23由栅极绝缘层24掩埋。有源层23包括源区23-1和漏区23-3以及位于它们之间的沟道区23-2。
有源层23可包括各种材料。在示例性实施方式中，例如，有源层23可包括诸如非晶硅或晶体硅的无机半导体材料。作为另一实例，有源层23可包括氧化物半导体。作为另一实例，有源层23可包括有机半导体材料。在下文中，为了描述的便利，将对包括非晶硅的有源层23进行详细描述。
通过在缓冲层22上形成非晶硅层并且使非晶硅层结晶化为多晶硅层并且对多晶硅层进行图案化，可设置有源层23。有源层23的源区23-1和漏区23-3根据诸如驱动TFT(未示出)或开关TFT(未示出)等的TFT类型而掺杂有杂质。
与有源层23对应的栅电极25和掩埋栅电极25的层间绝缘层26可布置在栅极绝缘层24的上表面上。
此外，在层间绝缘层26和栅极绝缘层24中限定接触孔H1之后，源电极27-1和漏电极27-2在层间绝缘层26上布置成分别与源区23-1和漏区23-3接触。
钝化层27布置在如上所述设置的薄膜晶体管TFT上，并且OLED 28的像素电极28-1布置在钝化层27上。像素电极28-1经由限定在钝化层27中的孔H2与薄膜晶体管TFT的漏电极27-2接触。钝化层27可包括无机材料和/或有机材料，并且可为单层或者两层或更多层。钝化层27可包括平坦化层，以使得钝化层的上表面为平坦的，而与下面的层的不平坦无关，或者可根据下面的层的不平坦而为不平坦的。此外，钝化层27可包括透明绝缘体以实现共振效果。
在像素电极28-1布置在钝化层27上之后，像素限定层29包括有机材料和/或无机材料以覆盖像素电极28-1和钝化层27并部分地暴露像素电极28-1。
此外，中间层28-2和相对电极28-3至少布置在像素电极28-1上。在另一示例性实施方式中，相对电极28-3可布置在显示衬底D的整个表面上。在这种情况下，相对电极28-3可布置在中间层28-2和像素限定层29上。在下文中，为了描述的便利，将对布置在中间层28-2和像素限定层29上的相对电极28-3进行详细描述。
像素电极28-1用作阳极，并且相对电极28-3用作阴极。像素电极28-1和相对电极28-3的极性也可被交换。
像素电极28-1和相对电极28-3经由中间层28-2彼此绝缘，并且不同极性的电压可施加到中间层28-2以从有机发射层发射光。
中间层28-2可包括有机发射层。在另一示例性实施方式中，中间层28-2可包括有机发射层，并且还可包括空穴注入层、空穴传输层、电子传输层和电子注入层中的至少一种。然而，本发明不限于此，并且中间层28-2可包括有机发射层和其它各种功能层(未示出)。
多个中间层28-2可被包括，并且多个中间层28-2可形成显示区域DA。特别地，多个中间层28-2可形成具有除矩形或正方形的形状以外的形状的显示区域DA。多个中间层28-2可在显示区域DA中排列为彼此间隔开。
一个单位像素包括多个子像素，并且多个子像素可发射各种颜色的光。在示例性实施方式中，例如，多个子像素可包括分别发射红色光、绿色光和蓝色光的子像素以及发射红色光、绿色光、蓝色光和白色光的子像素(未示出)。
虽未在图中示出，但是覆盖层(未示出)可排列在相对电极28-3上方。覆盖层可具有比相对电极28-3的折射率低的折射率，并且可降低从包括有机发射层的中间层28-2发射的光被全内反射而不发射到外部的比率，从而增加光效率。
在示例性实施方式中，例如，覆盖层可包括有机材料，诸如聚(3,4-乙撑二氧噻吩)(“PEDOT”)、4,4'-双[N-(3-甲基苯基)-N-苯基氨基]联苯(“TPD”)、4,4',4”-三[[(3-甲基苯基)苯基氨基]三苯胺(“m-MTDATA”)、1,3,5-三[N,N-双(2-甲基苯基)-氨基]-苯(“o-MTDAB”)、1,3,5-三[N,N-双(3-甲基苯基)-氨基]-苯(“m-MTDAT”)、1,3,5-三[N,N-双(4-甲基苯基)-氨基]-苯(“p-MTDAB”)、4,4'-双[N,N-双(3-甲基苯基)-氨基]-二苯甲烷(“BPPM”)、4,4'-二咔唑-1,1'-联苯(“CBP”)、4,4',4”-三(N-咔唑)三苯胺(“TCTA”)、2,2',2'-(1,3,5-苯甲苯基)三-[1-苯基-1H-苯并咪唑](“TPBI”)以及3-(4-联苯基)-4-苯基-5-叔丁基苯基-1,2,4-三唑(“TAZ”)。
在替代性示例性实施方式中，例如，覆盖层可包括无机材料，诸如氧化锌、氧化钛、氧化锆、氮化硅、氧化铌、氧化钽、氧化锡、氧化镍、氮化铟和氮化镓。用于形成覆盖层的材料不限于此，并且其它各种材料可用于形成覆盖层。
盖层(未示出)可排列在覆盖层上方。盖层保护OLED 28免受在通过使用等离子体或类似方式而执行的后续工艺中可能发生的损坏。在示例性实施方式中，例如，盖层可包括氟化锂(LiF)。
薄膜封装层E可包括多个无机层或者无机层和有机层。
薄膜封装层E的有机层可包括聚合物，并且可为包括聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚碳酸酯、环氧树脂、聚乙烯和聚丙烯酸酯中的任一种的单层或叠层。有机层可包括聚丙烯酸酯，并且具体地，可包括聚合的单体组合物，而聚合的单体组合物包括二丙烯酸酯基单体和三丙烯酸酯基单体。单体组合物还可包括单丙烯酸酯基单体。此外，单体组合物还可包括公知的光引发剂，如热塑性烯烃(“TPO”)，但不限于此。
薄膜封装层E的无机层可为包括金属氧化物或金属氮化物的单层或堆叠层。在示例性实施方式中，例如，无机层可包括SiNx、Al2O3、SiO2和TiO2中的任一种。
包括在薄膜封装层E中并且暴露于外部的最上层可包括无机层以防止湿气渗透到OLED 28中。
薄膜封装层E可包括至少一个有机层位于至少两个无机层之间的至少一个夹层结构。作为另一实例，薄膜封装层E可包括至少一个无机层位于至少两个有机层之间的至少一个夹层结构。作为另一实例，薄膜封装层E可包括至少一个有机层位于至少两个无机层之间的夹层结构以及至少一个无机层位于至少两个有机层之间的夹层结构。
薄膜封装层E可从OLED 28的上部起顺序地包括第一无机层、第一有机层和第二无机层。
作为另一示例性实施方式，薄膜封装层E可从OLED 28的上部起顺序地包括第一无机层、第一有机层、第二无机层、第二有机层和第三无机层。
作为另一示例性实施方式，薄膜封装层E可从OLED 28的上部起顺序地包括第一无机层、第一有机层、第二无机层、第二有机层、第三无机层、第三有机层和第四无机层。
第一有机层可具有比第二无机层的面积小的面积，并且第二有机层也可具有比第三无机层的面积小的面积。
虽未在图中示出，但是显示装置20还可包括排列在衬底21上的密封构件和附接到密封构件的封装衬底(未示出)来代替薄膜封装层E。衬底21与封装衬底之间可排列有多个中间层和薄膜晶体管。
如上所述，显示装置20的至少一层可通过使用用于显示装置的设备(未示出)来设置。在示例性实施方式中，显示装置20的有机层和无机层中的一个可通过使用用于显示装置的设备来设置。
因此，例如，可通过使用显示装置20来实现精确图像。
根据用于显示装置的设备和用于制造显示装置的方法，在示例性实施方式中，精确图案的液滴可滴落到显示装置上。另外，根据用于显示装置的设备和用于制造显示装置的方法，在示例性实施方式中，可实现精确图案。
应理解，本文中描述的实施方式应仅被视为描述性意义，而不是出于限制的目的。在每个实施方式内的特征或示例性实施方式的描述通常应被视为可用于其它相似特征或其它示例性实施方式。虽然已参照附图对一个或多个示例性实施方式进行了描述，但是本领域普通技术人员将理解，在不背离如下面的权利要求书所限定的范围和精神的情况下可在形式和细节上进行各种改变。

Claims (26)

1.一种用于制造显示装置的方法，所述方法包括：
通过使卷出膜构件的第一辊和第二辊中的一个旋转来移动所述膜构件，所述膜构件围绕所述第二辊卷绕；
通过停止所述第一辊和所述第二辊中的至少一个来停止所述膜构件；
通过夹持所述膜构件的边侧来张紧所述膜构件；
将液滴排放到所述膜构件上；以及
检测所述膜构件上的所述液滴。
2.如权利要求1所述的方法，还包括：
基于所述检测所述膜构件上的所述液滴的结果来控制从头单元排放的液滴。
3.如权利要求1所述的方法，其中，对所述液滴的大小、体积、位置和形状中的至少一种进行检测。
4.如权利要求1所述的方法，其中，在与所述膜构件的传输方向垂直的方向上，在所述膜构件的至少一个侧部处，向所述膜构件的所述边侧施加力。
5.如权利要求1所述的方法，还包括：
在所述膜构件的下表面处支承所述膜构件。
6.如权利要求5所述的方法，其中，通过使用支承卡盘来支承所述膜构件的所述下表面。
7.如权利要求6所述的方法，其中，所述支承卡盘包括真空卡盘和多孔卡盘中的至少一个。
8.如权利要求6所述的方法，其中，所述支承卡盘的排列为面对所述膜构件的所述下表面的部分为透明的。
9.如权利要求1所述的方法，还包括：
通过感测单元捕获所述液滴的图像以检测所述液滴。
10.如权利要求9所述的方法，其中，所述感测单元排列为面对所述膜构件的上表面和所述膜构件的下表面中的至少一个。
11.一种用于制造显示装置的方法，所述方法包括：
通过使卷出膜构件的第一辊和第二辊中的一个旋转来移动所述膜构件，所述膜构件围绕所述第二辊卷绕；
通过停止所述第一辊和所述第二辊中的至少一个来停止所述膜构件；
通过将惰性气体喷射到所述膜构件的上表面上来使所述膜构件保持平坦；
将液滴排放到所述膜构件上；以及
检测所述膜构件上的所述液滴。
12.如权利要求11所述的方法，还包括：
基于所述检测所述膜构件上的所述液滴的结果来控制从头单元排放的液滴。
13.如权利要求11所述的方法，其中，对所述液滴的大小、体积、位置和形状中的至少一种进行检测。
14.如权利要求11所述的方法，还包括：
在所述膜构件的下表面处支承所述膜构件。
15.如权利要求14所述的方法，其中，通过使用支承卡盘来支承所述膜构件的所述下表面。
16.如权利要求15所述的方法，其中，所述支承卡盘包括真空卡盘和多孔卡盘中的至少一个。
17.如权利要求15所述的方法，其中，所述支承卡盘的排列为面对所述膜构件的所述下表面的部分为透明的。
18.如权利要求11所述的方法，还包括：
通过感测单元捕获所述液滴的图像以检测所述液滴。
19.如权利要求18所述的方法，其中，所述感测单元排列为面对所述膜构件的所述上表面和所述膜构件的下表面中的至少一个。
20.一种用于制造显示装置的设备，所述设备包括：
头单元；
第一辊，膜构件从所述第一辊卷出；
第二辊，所述膜构件围绕所述第二辊卷绕；
平坦度保持器，所述平坦度保持器排列在所述第一辊与所述第二辊之间并且使所述膜构件的上表面和下表面中的至少一个保持平坦；以及
感测单元，所述感测单元排列为面对所述膜构件的所述上表面和所述膜构件的所述下表面中的至少一个，并且检测从所述头单元滴落到所述膜构件上的液滴。
21.如权利要求20所述的设备，其中，所述平坦度保持器包括：
夹持单元，所述夹持单元向所述膜构件的边侧施加力。
22.如权利要求21所述的设备，其中，在与所述膜构件的传输方向垂直的方向上，所述夹持单元向所述膜构件施加力。
23.如权利要求21所述的设备，还包括：
多个所述夹持单元，
其中，在所述膜构件的传输方向上，多个所述夹持单元排列为彼此间隔开。
24.如权利要求20所述的设备，其中，所述平坦度保持器包括：
气体喷射单元，所述气体喷射单元排列在所述膜构件的所述上表面上并且将惰性气体喷射到所述膜构件的所述上表面上。
25.如权利要求20所述的设备，其中，所述平坦度保持器包括：
支承卡盘，所述支承卡盘排列为面对所述膜构件的所述下表面并且与所述膜构件的所述下表面接触以支承所述膜构件的所述下表面。
26.如权利要求20所述的设备，其中，所述感测单元的位置为可变的。
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