CN112179530A - 基于双面微结构电极和纸张的柔性压力传感器及制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了基于双面微结构电极和纸张的柔性压力传感器，属于传感器技术领域，具体涉及柔性压力传感器领域，以解决上述现有的柔性压力传感器灵敏度低、重复稳定性差、制备工艺复杂、成本高等的问题，包括导电纸张层，所述导电纸张层的上部和下部分别设置有微结构电极层，所述导电纸张层和所述微结构电极层的外周设置有封装层，所述微结构电极层上分别引出测试导线，每条所述测试导线延伸至所述封装层的外侧，所述微结构电极层包括织物及附着在所述织物上的第一导电材料；通过在单层电纸张层的上下表面贴合微结构电极层，形成双面的接触界面，从而极大地增加了接触界面的该变量，提升了柔性压力传感器的压敏响应。

Description

基于双面微结构电极和纸张的柔性压力传感器及制备方法
技术领域
基于双面微结构电极和纸张的柔性压力传感器及制备方法，本发明属于传感器技术领域，具体涉及柔性压力传感器领域。
背景技术
近年来随着柔性电子技术的快速发展，柔性压力传感器在人工智能、人机交互、健康监测和软机器人等领域展现出广阔的应用前景，柔性压力传感器已成为国内外的研究热点，然而目前报道的柔性压力传感器通常在传感性能和制备工艺上难以兼顾。发展结构简单、制备工艺简便、成本低、灵敏度高、压敏范围广、循环稳定性好、易于大尺寸和大批量生产的柔性压力传感器具有重要意义。
为了获得高性能柔性压力传感器，主要的策略是：(1)对压敏层表面进行微结构设计，利用压敏层之间的接触面积产生压敏响应；(2)构建导电弹性体，利用导电弹性体形变产生压敏响应。目前，为了获得快速响应和高灵敏度的柔性压力传感器，通常采取对压敏层表面进行微结构设计，然而压敏层的微结构设计通常需要复杂的工艺和昂贵的设备。例如，对于专利CN 108515694A公开了一种基于3D打印技术的柔性压力传感器芯片及其制作方法，通过3D打印技术在柔性基板上构建微型金字塔阵列，从而获得高的灵敏度；然而其制备过程涉及复杂的制备技术和成本高的3D打印设备。专利CN 111060238A公开了一种电阻式柔性压力传感器及其制备方法，在制备柔性微结构柔性衬底过程中，需要复杂、昂贵的激光刻蚀工艺。
利用纸张表面天然的微结构，可以直接用于制备柔性压力传感器。例如，HanZhiyuan等人报道了一种用炭黑导电纸作为压敏层和铜胶带作为电极的柔性压力传感器，结果表明基于单层导电纸张的柔性压力传感器几乎对压力没有响应，而基于多层纸张表面微结构效应的柔性压力传感器存在制备工艺繁琐和不稳定的问题，此外金属铜胶带电极还存在柔性特性差的问题(Han，Z.；Li，H.；Xiao，J.；Song，H.；Li，B.；Cai，S.；Chen，Y.；Ma，Y.；Feng，X.Ultralow-Cost，Highly Sensitive，and Flexible Pressure Sensors Based onCarbon Black and Airlaid Paper for Wearable Electronics.ACSAppl.Mater.Interfaces 2019，11(36)，33370-33379)。类似地，Tao Luqi等人报道的用石墨烯导电纸作为压敏层和银浆作为电极的柔性压力传感器也存在以上问题，在300次重复性测试中，传感器的响应就发生了极大衰减(Tao，L.Q.；Zhang，K.N.；Tian，H.；Liu，Y.；Wang，D.Y.；Chen，Y.Q.；Yang，Y.；Ren，T.L.Graphene-Paper Pressure Sensor forDetecting Human Motiohs.ACS Nano 2017，11(9)，8790-8795)。需要注意的是，包括以上提到的柔性纸基压力传感器在内的其它柔性压力传感器，均是利用压敏层表面微结构的压敏特性，并采用铜、银和金等刚性电极材料作为电极，而没有关注电极的柔性和微结构特性。
发明内容
本发明的目的在于：基于双面微结构电极和纸张的柔性压力传感器及制备方法，以解决上述现有的柔性压力传感器灵敏度低、重复稳定性差、制备工艺复杂、成本高等问题。
本发明采用的技术方案如下：
基于双面微结构电极和纸张的柔性压力传感器，包括导电纸张层，所述导电纸张层的上部和下部分别设置有微结构电极层，所述导电纸张层和所述微结构电极层的外周设置有封装层，所述微结构电极层上分别引出测试导线，每条所述测试导线延伸至所述封装层的外侧，所述微结构电极层包括织物及附着在所述织物上的第一导电材料。
本申请的技术方案中，微结构织物电极层表面具有规整的微观结构和导电性，而导电纸张层具有不规则的、粗糙的表面微结构及良好的导电性，导电纸张层与微结构电极层贴合在一起后，由于微结构的作用，它们之间会形成不紧密的接触界面，接触电阻较大，当受到外界压力刺激后，微结构电极层与导电纸张层之间的接触面积会增大，从而降低压力传感器的电阻和产生压敏响应；本申请通过在单层电纸张层的上下表面贴合微结构电极层，形成双面的接触界面，从而极大地增加了接触界面的该变量，提升了柔性压力传感器的压敏响应和灵敏度。在现有报道的基于多层纸张接触界面特性的压力传感器中，由于使用同质材料的纸张作为压敏层，在连续重复性测试中，纸张之间的界面会形成粘连，导致传感器的响应衰减，而本申请的技术方案中，织物电极与纸张属于异种材料，且具有不同的微结构，两者之间形成的异质接触界面在连续测试中，也不会粘连现象，可以保持良好的重复稳定性；此外，织物电极相较于现有报道的金属电极具有更优异的机械柔性，在重复性测试中，不会发生不可逆的机械形变，从而也促进了传感器的重复稳定性。
优选的，所述织物包括聚酯纤维、聚酰胺纤维、聚丙烯纤维或棉中的一种或多种。
优选的，所述的第一导电材料包括铜、银、铁、镍铬合金、碳素墨水、石墨烯、碳纳米管、碳黑、聚吡咯或聚苯胺中的一种或多种。
优选的，所述导电纸张层包括纸张及附着在所述纸张表面的第二导电材料。
优选的，所述纸张包括打印纸、滤纸、包装纸或卡纸中的任一种。
优选的，所述第二导电材料包括碳素墨水、石墨烯、碳纳米管、碳黑、聚吡咯或聚苯胺中的一种或多种。
基于双面微结构电极和纸张的柔性压力传感器的制备方法，包括如下步骤：
步骤1、将纸张与第二导电材料复合，得到导电纸张层；
步骤2、将织物与第一导电材料复合，得到微结构电极层；
步骤3、将导电纸张层的上下表面分别与微结构电极层结合，并从微结构电极层引出测试导线；
步骤4、用绝缘胶带进行封装制备封装层，即得柔性压力传感器。
优选的，步骤(1)中纸张与第二导电材料复合的方法为浸渍干燥、打印、磁控溅射或喷涂中的任一种。
优选的，步骤(2)中织物与第一导电材料复合的方法为电镀、蒸镀、浸渍干燥、打印、或磁控溅射中的任一种。
综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：
1、本发明中，镍铬合金聚酯纤维织物表面具有规整的微观结构和优异的导电性，而导电纸张具有不规则的、粗糙的表面微结构和导电性，导电纸张与镍铬合金聚酯纤维织物贴合在一起后，由于微结构的作用，它们之间会形成不紧密的接触界面，接触电阻较大，当受到外界压力刺激后，镍铬合金聚酯纤维织物电极和导电纸张之间的接触面积会增大，从而降低压力传感器的电阻和产生压敏响应；
2、得益于聚酯纤维织物和纸张的可裁剪性，该柔性压力传感器制备尺寸灵活，可以针对不同应用场合的需要制备不同尺寸的柔性压力传感器；
3、得益于聚酯纤维织物和纸张的固有微结构，省去了微结构加工的过程，具有简单的制备工艺；
4、将微结构电极应用在了柔性压力传感器，对其它柔性压力传感器的设计提供了借鉴；
5、通过巧妙的结构设计，赋予了单层纸张的压敏响应，并且充分利用了单层纸张的上下表面，使得所制备柔性压力传感器具有灵敏度高、检测量程宽、响应恢复速度快和良好的重复稳定性；
6、得益于优异的压敏性能和柔性特性，该柔性压力传感器具有多种应用前景，既可以用于脉搏等微弱压力的检测，也可以用于腹部呼吸等大压力检测；
7、该柔性压力传感器所涉及的原材料来源广泛、成本低，有利于传感器的扩大生产和市场应用。
附图说明
图1为本发明柔性压力传感器的剖面结构示意图；
图2为本发明镍铬合金聚酯纤维织物电极的扫描电子显微镜图；
图3为本发明纸张、复合碳素墨水纸张和高倍复合碳素墨水纸张的扫描电子显微镜图；
图4为本发明柔性压力传感器在不同压强下的I/V特性曲线；
图5为本发明柔性压力传感器在不同压强下的响应拟合曲线；
图6为本发明柔性压力传感器在2kPa压强下5000次重复性响应曲线；
图7为本发明柔性压力传感器用于脉搏监测、腹式呼吸频率和手指弯曲角度检测响应图。
图中标记：1-导电纸张层，2-微结构电极层，3-测试导线，4-封装层。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
实施例1
如图1，基于双面微结构电极和纸张的柔性压力传感器，包括导电纸张层1，所述导电纸张层1的上部和下部分别设置有微结构电极层2，所述导电纸张层1和所述微结构电极层2的外周设置有封装层4，所述微结构电极层2上分别引出测试导线3，每条所述测试导线3延伸至所述封装层4的外侧，所述微结构电极层2包括织物及附着在所述织物上的第一导电材料。导电纸张层1包括纸张及附着在所述纸张表面的第二导电材料，纸张为打印纸，导电材料为碳素墨水，传感器尺寸为0.5cm*0.5cm。
实施例2
在实施例1的基础上，纸张为滤纸，其他均与实施例1相同。
实施例3
在实施例1的基础上，导电材料为石墨烯，其他均与实施例1相同。
实施例4
在实施例1的基础上，导电材料为碳纳米管，其他均与实施例1相同。
实施例1-4中，纸张还可以是包装纸或卡纸中任一种。
实施例1-4中，导电材料还可以是碳黑、聚吡咯或聚苯胺中的任一种。
实施例1-4中，纸张与导电材料复合方法为浸渍干燥、打印、磁控溅射或喷涂中的任一种。
实施例1-4中，聚酯纤维织物与镍铬合金导电材料复合方法为电镀、蒸镀或磁控溅射中的任一种。
实施例5
基于双面微结构电极和纸张的柔性压力传感器的制备方法，包括如下步骤：
步骤1、将纸张与碳素墨水通过浸渍干燥方式复合，得到导电纸张；
步骤2、将聚酯纤维织物与镍铬合金导电材料通过电镀方式复合，得到镍铬合金聚酯纤维织物电极；
步骤3、将导电纸张和镍铬合金聚酯纤维织物电极裁剪为变成为1厘米的正方形；
步骤4、将具有规则微结构表面的镍铬合金聚酯纤维织物电极与导电纸张的上下表面结合，并引出测试导线3；
步骤5、用绝缘胶带进行封装，即完成了该柔性压力传感器的制备。
实验例
根据实施例1和5制备的一种基于双面微结构电极和纸张的柔性压力传感器，性能测试按照本领域已公开的方法进行，具体方法为：(a)用吉时利Keithley 4200-SCS对上述制备的柔性压力传感器的电流信号进行测试，不同的测试压强由标准的压力测试设备产生；
(b)为了证实柔性压力传感器的应用，将柔性压力传感器贴在手腕进行脉搏监测，贴在腹部进行呼吸频率监测，贴在手指关节进行手指弯曲状态监测，通过采集柔性压力传感器的输出电流，可获得人体不同的生理状态。
由图2镍铬合金聚酯纤维织物电极的扫描电子显微镜图知，镍铬合金聚酯纤维织物电极表面具有规整排列的微结构。
由图3(a)纸张、(b)复合碳素墨水纸张和(c)高倍复合碳素墨水纸张的扫描电子显微镜图知，纸张表面天然具有不规整的微结构；在复合碳素墨水后，导电纸张表面仍保留着不规整的微结构；高倍扫描电子显微镜图显示碳素墨水中的碳颗粒附着在纸张纤维表明，形成导电通道。
由图4柔性压力传感器在不同压强下的I/V特性曲线知，镍铬合金聚酯纤维织物电极和纸张展示出典型的欧姆接触，同时压力传感器对不同压强具有不同的输出响应。
由图5柔性压力传感器在不同压强下的响应拟合曲线知，该柔性压力传感器具有宽的压力检测范围(0-60kPa)、高的灵敏度、低的检测极限(100Pa)。
由图6柔性压力传感器在2kPa压强下5000次重复性响应曲线知，该柔性压力传感器具有良好的重复稳定性，测试电压是1V。
由图7柔性压力传感器用于脉搏监测、腹式呼吸频率和手指弯曲角度检测响应图知，该柔性压力传感器在可穿戴电子领域具有广阔的应用前景。
实施例6
如图1所示，基于实施例1，织物可以是聚酰胺纤维、聚丙烯纤维或棉，也可以是聚酯纤维、聚酰胺纤维、聚丙烯纤维或棉中的多种；第一导电材料还可以是铜、银、铁、碳素墨水、石墨烯、碳纳米管、碳黑、聚吡咯或聚苯胺，或者铜、银、铁、镍铬合金、碳素墨水、石墨烯、碳纳米管、碳黑、聚吡咯或聚苯胺中的多种。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.基于双面微结构电极和纸张的柔性压力传感器，其特征在于，包括导电纸张层(1)，所述导电纸张层(1)的上部和下部分别设置有微结构电极层(2)，所述导电纸张层(1)和所述微结构电极层(2)的外周设置有封装层(4)，所述微结构电极层(2)上分别引出测试导线(3)，每条所述测试导线(3)延伸至所述封装层(4)的外侧，所述微结构电极层(2)包括织物及附着在所述织物上的第一导电材料。
2.根据权利要求1所述的基于双面微结构电极和纸张的柔性压力传感器，其特征在于，所述织物包括聚酯纤维、聚酰胺纤维、聚丙烯纤维或棉中的一种或多种。
3.根据权利要求1所述的基于双面微结构电极和纸张的柔性压力传感器，其特征在于，所述的第一导电材料包括铜、银、铁、镍铬合金、碳素墨水、石墨烯、碳纳米管、碳黑、聚吡咯或聚苯胺中的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的基于双面微结构电极和纸张的柔性压力传感器，其特征在于，所述导电纸张层(1)包括纸张及附着在所述纸张表面的第二导电材料。
5.根据权利要求4所述的基于双面微结构电极和纸张的柔性压力传感器，其特征在于，所述纸张包括打印纸、滤纸、包装纸或卡纸中的任一种。
6.根据权利要求4所述的基于双面微结构电极和纸张的柔性压力传感器，其特征在于，所述第二导电材料包括碳素墨水、石墨烯、碳纳米管、碳黑、聚吡咯或聚苯胺中的一种或多种。
7.如权利要求1-6任一项所述的基于双面微结构电极和纸张的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1、将纸张与第二导电材料复合，得到导电纸张层(1)；
步骤2、将织物与第一导电材料复合，得到微结构电极层(2)；
步骤3、将导电纸张层(1)的上下表面分别与微结构电极层(2)结合，并从微结构电极层(2)引出测试导线(3)；
步骤4、用绝缘胶带进行封装制备封装层(4)，即得柔性压力传感器。
8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于：步骤1中纸张与第二导电材料复合的方法为浸渍干燥、打印、磁控溅射或喷涂中的任一种。
9.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于：步骤2中织物与第一导电材料复合的方法为电镀、蒸镀、浸渍干燥、打印、或磁控溅射中的任一种。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112857636A (zh) * 2021-02-04 2021-05-28 西畔(北京)信息技术有限责任公司 压力传感器
CN113176019A (zh) * 2021-04-27 2021-07-27 云南电网有限责任公司电力科学研究院 一种基于石墨烯的纸基柔性压力传感器及其制备方法
CN114280108A (zh) * 2021-12-03 2022-04-05 电子科技大学长三角研究院(湖州) 一种铝基多孔氧化铝薄膜湿敏传感器及其制备方法

Citations (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106183316A (zh) * 2016-07-08 2016-12-07 东华大学 一种柔性导电复合织物及其制备和应用
CN107144379A (zh) * 2017-04-28 2017-09-08 东华大学 一种电阻式压力分布织物传感器
CN108318059A (zh) * 2018-02-12 2018-07-24 清华大学 纸基传感器及其制备方法
CN108731856A (zh) * 2017-04-20 2018-11-02 新加坡国立大学 柔性触觉传感器
CN108871629A (zh) * 2018-07-20 2018-11-23 浙江大学 一种柔性电阻式压力传感器阵列及其制备方法
CN108896217A (zh) * 2018-06-29 2018-11-27 大连理工大学 一种银纳米线/石墨烯/织物碳复合型柔性应力传感器的制备方法及其应用
US20180356303A1 (en) * 2017-06-08 2018-12-13 New Degree Technology, LLC Transparent force sensing materials and devices
US20190011288A1 (en) * 2016-01-14 2019-01-10 King Abdullah University Of Science And Technology Paper based electronics platform
US20190101462A1 (en) * 2015-07-23 2019-04-04 Jae Bong Kim Pressure-sensitive sheet
CN109724723A (zh) * 2018-12-27 2019-05-07 武汉飞帛丝科技有限公司 纺织材料基可穿戴压力传感器及其制备方法
CN110207866A (zh) * 2019-07-10 2019-09-06 合肥工业大学 一种基于改性纸基的高灵敏度柔性压力传感器及其制备方法
CN110285898A (zh) * 2019-08-06 2019-09-27 清华大学 基于碳黑无尘纸的柔性压力传感装置及其制造方法
US20190324588A1 (en) * 2016-07-12 2019-10-24 New Degree Technology, LLC Nanocomposite force sensing material
KR20190125094A (ko) * 2018-04-27 2019-11-06 경희대학교 산학협력단 나노섬유웹 압정전용량 센서 및 이의 제조방법
CN111141426A (zh) * 2019-08-10 2020-05-12 东北师范大学 一种制备全纸基全有机可折叠的聚吡咯压力传感器的方法
CN111504527A (zh) * 2020-04-14 2020-08-07 电子科技大学 一种海胆状氧化物基复合膜仿生压力传感器及其制备方法
CN111609954A (zh) * 2020-05-18 2020-09-01 苏州大学 一种柔性压力传感器及其制备方法

Patent Citations (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20190101462A1 (en) * 2015-07-23 2019-04-04 Jae Bong Kim Pressure-sensitive sheet
US20190011288A1 (en) * 2016-01-14 2019-01-10 King Abdullah University Of Science And Technology Paper based electronics platform
CN106183316A (zh) * 2016-07-08 2016-12-07 东华大学 一种柔性导电复合织物及其制备和应用
US20190324588A1 (en) * 2016-07-12 2019-10-24 New Degree Technology, LLC Nanocomposite force sensing material
CN108731856A (zh) * 2017-04-20 2018-11-02 新加坡国立大学 柔性触觉传感器
CN107144379A (zh) * 2017-04-28 2017-09-08 东华大学 一种电阻式压力分布织物传感器
US20180356303A1 (en) * 2017-06-08 2018-12-13 New Degree Technology, LLC Transparent force sensing materials and devices
CN108318059A (zh) * 2018-02-12 2018-07-24 清华大学 纸基传感器及其制备方法
KR20190125094A (ko) * 2018-04-27 2019-11-06 경희대학교 산학협력단 나노섬유웹 압정전용량 센서 및 이의 제조방법
CN108896217A (zh) * 2018-06-29 2018-11-27 大连理工大学 一种银纳米线/石墨烯/织物碳复合型柔性应力传感器的制备方法及其应用
CN108871629A (zh) * 2018-07-20 2018-11-23 浙江大学 一种柔性电阻式压力传感器阵列及其制备方法
CN109724723A (zh) * 2018-12-27 2019-05-07 武汉飞帛丝科技有限公司 纺织材料基可穿戴压力传感器及其制备方法
CN110207866A (zh) * 2019-07-10 2019-09-06 合肥工业大学 一种基于改性纸基的高灵敏度柔性压力传感器及其制备方法
CN110285898A (zh) * 2019-08-06 2019-09-27 清华大学 基于碳黑无尘纸的柔性压力传感装置及其制造方法
CN111256883A (zh) * 2019-08-06 2020-06-09 清华大学 基于碳黑无尘纸的柔性压力传感装置及其制造方法
CN111141426A (zh) * 2019-08-10 2020-05-12 东北师范大学 一种制备全纸基全有机可折叠的聚吡咯压力传感器的方法
CN111504527A (zh) * 2020-04-14 2020-08-07 电子科技大学 一种海胆状氧化物基复合膜仿生压力传感器及其制备方法
CN111609954A (zh) * 2020-05-18 2020-09-01 苏州大学 一种柔性压力传感器及其制备方法

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
BANERJEE H , LI T K , PONRAJ G , ET AL.: "Origami-Layer-Jamming Deployable Retractor with Variable Stiffness and Tactile Sensing", 《JOURNAL OF MECHANISMS AND ROBOTICS》 *
TAI H , DUAN Z , WANG Y , ET AL.: "Paper-Based Sensors for Gas, Humidity and Strain Detections: A Review", 《ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES》 *
李克伟等: "织物/纸基柔性印刷电子薄膜导电性能研究", 《哈尔滨工业大学学报》 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112857636A (zh) * 2021-02-04 2021-05-28 西畔(北京)信息技术有限责任公司 压力传感器
CN113176019A (zh) * 2021-04-27 2021-07-27 云南电网有限责任公司电力科学研究院 一种基于石墨烯的纸基柔性压力传感器及其制备方法
CN114280108A (zh) * 2021-12-03 2022-04-05 电子科技大学长三角研究院(湖州) 一种铝基多孔氧化铝薄膜湿敏传感器及其制备方法

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