CN112157353A - 一种uv激光切割fpc覆盖膜工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及FPC覆盖膜加工技术领域,尤其指一种UV激光切割FPC覆盖膜工艺,采用真空吸附台对FPC覆盖膜进行吸附固定,通过全固态紫外激光器产生激光脉冲,然后通过光束变换系统对所述激光脉冲进行形态、能量密度的变换调整,并通过振镜扫描系统使诉讼激光脉冲高速扫描所述FPC覆盖膜,完成FPC覆盖膜的加工,本发明采用全固态紫外激光器产生激光脉冲,然后通过光束变换系统对所述激光脉冲进行形态、能量密度的变换调整,并通过振镜扫描系统使激光脉冲在代加工FPC覆盖膜上进行扫描切割,通过优化的能量密度参数和扫描速度参数,极大的减少了FPC覆盖膜切割边缘的碳化现象,提高良品率。
Description
技术领域
本发明涉及FPC覆盖膜加工技术领域,尤其指一种UV激光切割FPC覆盖膜工艺。
背景技术
柔性线路板的覆盖膜,主要成分为聚酰亚胺,通常工业所使用的薄膜借助于粘合剂附着于纸质基底,呈卷状储藏,工业界也称之为PI覆盖膜,聚酰亚胺是分子主链上含有酰亚胺环状结构的耐高温聚合物,具有优异的综合性能,而耐热和耐辐射性能在目前工业化生产的高分子材料中极为突出。高温下具有突出的介电性能、机械性能、耐辐射性能和耐磨性能,广泛用于航空、兵器、电子、电器等精密机械方面。然而,难以加工和较高的制造成本却严重限制了它的应用。随着激光技术的不断发展,采用UV激光器切割FPC覆盖膜逐渐成为主流,生产规模也逐年扩大。尽管如此,采用激光加工FPC覆盖膜时,切割工艺参数选择不恰当,极易导致切割边缘发生碳化,由于碳具有导电性,会使后续所制作的电子元器件发生微短路,产品良率不高。
发明内容
针对上述现有技术存在的技术问题,本发明提供一种减少边缘碳化、良品率高的UV激光切割FPC覆盖膜工艺。
为了达成上述技术目的,本发明采用如下技术方案:
一种UV激光切割FPC覆盖膜工艺,采用真空吸附台对FPC覆盖膜进行吸附固定,通过全固态紫外激光器产生激光脉冲,然后通过光束变换系统对所述激光脉冲进行形态、能量密度的变换调整,并通过振镜扫描系统使诉讼激光脉冲高速扫描所述FPC覆盖膜,完成FPC覆盖膜的加工;
所述工艺还包括聚焦透镜对所述激光脉冲的聚焦,所述聚焦透镜设置于所述振镜扫描系统下方。
优选的,所述工艺包括以下步骤:
1)FPC覆盖膜的固定,将待切割的FPC覆盖膜通过真空吸附台进行真空吸附固定,并通过真空吸附台的定位系统进行精确定位,得到待加工FPC覆盖膜;
2)激光脉冲能量密度调整,通过全固态紫外激光器产生激光脉冲,并通过光束变换系统对激光脉冲进行变换调整,进而实现激光脉冲的能量密度调整,得到加工激光脉冲;
3)激光脉冲扫描,根据加工的尺寸,设定扫描路径信息,通过振镜扫描系统使所述步骤2得到的加工激光脉冲根据预先设定的扫描路径,在所述步骤1)得到的待加工FPC覆盖膜上进行扫描切割,得到初步FPC覆盖膜切割工件;
4)碳化检测,采用金相光学显微镜对步骤3)得到的初步FPC覆盖膜切割工件进行切割边缘碳化检测,得到切割边缘碳化检测结果;
5)能量激光脉冲能量密度优化,根据步骤4)得到的切割边缘碳化检测结果,优化激光脉冲能量密度,得到优化能量激光脉冲能量密度参数;
6)激光脉冲扫描速度优化,根据步骤4)得到的切割边缘碳化检测结果,优化激光脉冲扫描速度,得到优化激光脉冲扫描速度参数;
7)根据步骤5)得到的优化能量激光脉冲能量密度参数和步骤6)得到的优化激光脉冲扫描速度参数,重新调整光束变换系统和振镜扫描系统的参数,使调整过的激光脉冲在步骤1)得到的待加工FPC覆盖膜进行扫描切割,完成UV激光切割FPC覆盖膜。
进一步地,所述步骤2)中全固态紫外激光器包括355nm全固态紫外激光器。
进一步地,所述步骤3)中变换调整的方式包括形态调整和尺寸调整。
进一步地,所述步骤5)中优化能量激光脉冲能量密度参数优选为10-12w。
进一步地,所述步骤6)中优化激光脉冲扫描速度参数优选为300-500mm/s。
与现有技术相比,本发明的有益效果:
本发明采用全固态紫外激光器产生激光脉冲,然后通过光束变换系统对所述激光脉冲进行形态、能量密度的变换调整,并通过振镜扫描系统使激光脉冲在代加工FPC覆盖膜上进行扫描切割,通过优化的能量密度参数和扫描速度参数,极大的减少了FPC覆盖膜切割边缘的碳化现象,提高良品率。
附图说明
图1是本发明实施例中不同扫描速度下边缘碳化对比图片。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的实施例进行详细说明,但是本发明可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
实施例1
1.1 FPC覆盖膜的固定
将待切割的FPC覆盖膜通过真空吸附台进行真空吸附固定,并通过真空吸附台的定位系统进行精确定位,得到待加工FPC覆盖膜.
1.2 激光脉冲能量密度调整
通过全固态紫外激光器产生激光脉冲,并通过光束变换系统对激光脉冲进行变换调整,进而实现激光脉冲的能量密度调整,得到加工激光脉冲。
1.3激光脉冲扫描
根据加工的尺寸,设定扫描路径信息,通过振镜扫描系统使所述步骤2得到的加工激光脉冲根据预先设定的扫描路径,在所述步骤1.1得到的待加工FPC覆盖膜上进行扫描切割,得到初步FPC覆盖膜切割工件。
1.4碳化检测
采用金相光学显微镜对1.3得到的初步FPC覆盖膜切割工件进行切割边缘碳化检测,得到切割边缘碳化检测结果。
1.5能量激光脉冲能量密度优化
根据步骤1.4得到的切割边缘碳化检测检测结果,优化激光功率为12w。
1.6激光脉冲扫描速度优化
根据步骤1.4得到的切割边缘碳化检测结果,优化激光脉冲扫描速度为500mm/s;
1.7根据步骤1.5得到的优化能量激光脉冲能量密度参数和步骤6)得到的优化激光脉冲扫描速度参数,重新调整光束变换系统和振镜扫描系统的参数,使调整过的激光脉冲在步骤1.1得到的待加工FPC覆盖膜进行扫描切割,完成UV激光切割FPC覆盖膜。
实施例2
1.3 FPC覆盖膜的固定
将待切割的FPC覆盖膜通过真空吸附台进行真空吸附固定,并通过真空吸附台的定位系统进行精确定位,得到待加工FPC覆盖膜.
1.4 激光脉冲能量密度调整
通过全固态紫外激光器产生激光脉冲,并通过光束变换系统对激光脉冲进行变换调整,进而实现激光脉冲的能量密度调整,得到加工激光脉冲。
1.3激光脉冲扫描
根据加工的尺寸,设定扫描路径信息,通过振镜扫描系统使所述步骤2得到的加工激光脉冲根据预先设定的扫描路径,在所述步骤1.1得到的待加工FPC覆盖膜上进行扫描切割,得到初步FPC覆盖膜切割工件。
1.4碳化检测
采用金相光学显微镜对1.3得到的初步FPC覆盖膜切割工件进行切割边缘碳化检测,得到切割边缘碳化检测结果。
1.5能量激光脉冲能量密度优化
根据步骤1.4得到的切割边缘碳化检测检测结果,优化激光功率为12w。
1.6激光脉冲扫描速度优化
根据步骤1.5得到的优化能量激光脉冲能量密度参数,设定激光脉冲扫描速度为100mm/s、200mm/s、300mm/s、400mm/s、500mm/s、750mm/s、1000mm/s,使调整过的激光脉冲在步骤1.1得到的待加工FPC覆盖膜进行扫描切割,完成UV激光切割FPC覆盖膜,再采用金相光学显微镜对FPC覆盖膜切割工件进行切割边缘碳化检测,得到切割边缘碳化检测结果如图1。
从图1可以看出,功率一定时,扫描速度越快碳化程度越小。
从以上实施例可以看出,本发明工艺简单、成本低,能够有效减少切割边缘的碳化程度,提高良品率。
以上所述仅为本发明的优选实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书内容所作的简单修改或变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (6)
1.一种UV激光切割FPC覆盖膜工艺,其特征在于,采用真空吸附台对FPC覆盖膜进行吸附固定,通过全固态紫外激光器产生激光脉冲,然后通过光束变换系统对所述激光脉冲进行形态、能量密度的变换调整,并通过振镜扫描系统使诉讼激光脉冲高速扫描所述FPC覆盖膜,完成FPC覆盖膜的加工;
所述工艺还包括聚焦透镜对所述激光脉冲的聚焦,所述聚焦透镜设置于所述振镜扫描系统下方。
2.根据权利要求1所述的UV激光切割FPC覆盖膜工艺,其特征在于,包括以下步骤:
1)FPC覆盖膜的固定,将待切割的FPC覆盖膜通过真空吸附台进行真空吸附固定,并通过真空吸附台的定位系统进行精确定位,得到待加工FPC覆盖膜;
2)激光脉冲能量密度调整,通过全固态紫外激光器产生激光脉冲,并通过光束变换系统对激光脉冲进行变换调整,进而实现激光脉冲的能量密度调整,得到加工激光脉冲;
3)激光脉冲扫描,根据加工的尺寸,设定扫描路径信息,通过振镜扫描系统使所述步骤2得到的加工激光脉冲根据预先设定的扫描路径,在所述步骤1)得到的待加工FPC覆盖膜上进行扫描切割,得到初步FPC覆盖膜切割工件;
4)碳化检测,采用金相光学显微镜对步骤3)得到的初步FPC覆盖膜切割工件进行切割边缘碳化检测,得到切割边缘碳化检测结果;
5)能量激光脉冲能量密度优化,根据步骤4)得到的切割边缘碳化检测结果,优化激光脉冲能量密度,得到优化能量激光脉冲能量密度参数;
6)激光脉冲扫描速度优化,根据步骤4)得到的切割边缘碳化检测结果,优化激光脉冲扫描速度,得到优化激光脉冲扫描速度参数;
7)根据步骤5)得到的优化能量激光脉冲能量密度参数和步骤6)得到的优化激光脉冲扫描速度参数,重新调整光束变换系统和振镜扫描系统的参数,使调整过的激光脉冲在步骤1)得到的待加工FPC覆盖膜进行扫描切割,完成UV激光切割FPC覆盖膜。
3.根据权力2所述的根据权利要求1所述的UV激光切割FPC覆盖膜工艺,其特征在于,所述步骤2)中全固态紫外激光器包括355nm全固态紫外激光器。
4.根据权力2所述的根据权利要求1所述的UV激光切割FPC覆盖膜工艺,其特征在于,所述步骤3)中变换调整的方式包括形态调整和尺寸调整。
5.根据权力2所述的根据权利要求1所述的UV激光切割FPC覆盖膜工艺,其特征在于,所述步骤5)中优化能量激光脉冲能量密度参数优选为10-12w。
6.根据权力2所述的根据权利要求1所述的UV激光切割FPC覆盖膜工艺,其特征在于,所述步骤6)中优化激光脉冲扫描速度参数优选为300-500mm/s。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112809204A (zh) * | 2021-02-04 | 2021-05-18 | 厦门大学 | 一种聚酰亚胺覆盖膜激光切割除碳装置及除碳方法 |
CN114071885A (zh) * | 2021-12-02 | 2022-02-18 | 广州源康精密电子股份有限公司 | 新能源汽车电池用柔性线路板的加工方法 |
CN114152614A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-03-08 | 深圳技师学院(深圳高级技工学校) | 一种覆盖膜激光切割碳化程度的测量方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11333579A (ja) * | 1998-05-25 | 1999-12-07 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザによるプリント配線基板の切断装置及び切断方法 |
CN102179632A (zh) * | 2011-03-15 | 2011-09-14 | 武汉新瑞达激光工程有限责任公司 | 一种紫外激光切割柔性电路板金手指方法 |
CN105234562A (zh) * | 2015-10-13 | 2016-01-13 | 深圳英诺激光科技有限公司 | Pi覆盖膜自动激光切割除碳系统及方法 |
CN105234561A (zh) * | 2015-10-13 | 2016-01-13 | 深圳英诺激光科技有限公司 | Pi覆盖膜自动激光切割静电除碳系统及方法 |
CN108067752A (zh) * | 2017-12-18 | 2018-05-25 | 深圳光韵达激光应用技术有限公司 | 一种卷对卷覆盖膜激光切割系统及切割方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11333579A (ja) * | 1998-05-25 | 1999-12-07 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザによるプリント配線基板の切断装置及び切断方法 |
CN102179632A (zh) * | 2011-03-15 | 2011-09-14 | 武汉新瑞达激光工程有限责任公司 | 一种紫外激光切割柔性电路板金手指方法 |
CN105234562A (zh) * | 2015-10-13 | 2016-01-13 | 深圳英诺激光科技有限公司 | Pi覆盖膜自动激光切割除碳系统及方法 |
CN105234561A (zh) * | 2015-10-13 | 2016-01-13 | 深圳英诺激光科技有限公司 | Pi覆盖膜自动激光切割静电除碳系统及方法 |
CN108067752A (zh) * | 2017-12-18 | 2018-05-25 | 深圳光韵达激光应用技术有限公司 | 一种卷对卷覆盖膜激光切割系统及切割方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
宋刘洋等: "挠性电路板紫外激光切割技术研究与突破", 《印制电路信息》 * |
朱桂兵: "《电子制造设备原理与维护》", 31 December 2011, 国防工业出版社 * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112809204A (zh) * | 2021-02-04 | 2021-05-18 | 厦门大学 | 一种聚酰亚胺覆盖膜激光切割除碳装置及除碳方法 |
CN112809204B (zh) * | 2021-02-04 | 2022-04-19 | 厦门大学 | 一种聚酰亚胺覆盖膜激光切割除碳装置及除碳方法 |
CN114071885A (zh) * | 2021-12-02 | 2022-02-18 | 广州源康精密电子股份有限公司 | 新能源汽车电池用柔性线路板的加工方法 |
CN114152614A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-03-08 | 深圳技师学院(深圳高级技工学校) | 一种覆盖膜激光切割碳化程度的测量方法 |
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