CN112128428A - 一种配气阀岛及废气处理设备的配气方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供一种配气阀岛及废气处理设备的配气方法，该配气阀岛包括：储气室，储气室连通配气口；气路切换单元，气路切换单元包括多个，气路切换单元分别连通进气口、排气口及储气室，用于控制进气口、排气口对应与储气室的连通状态的切换；本发明实现了配气结构的集成化和简约化，便于进行清洗、分体拆卸及故障点查询，在用于废气处理设备的配气时，可大幅度提升对废气的输入效率，确保了配气的稳定性，还可基于配气阀岛的排气设置，便于在废气处理设备停机时对未处理完的废气进行有效处理。

Description

一种配气阀岛及废气处理设备的配气方法

技术领域

本发明涉及气体分配阀技术领域，尤其涉及一种配气阀岛及废气处理设备的配气方法。

背景技术

在半导体制程中，会产生具有强烈腐蚀性的半导体废气，其中，半导体废气包括氯气、氯化氢、氟化氢、氟气、氨气等。由于半导体废气具有有毒、有害及易燃易爆的特性，从而采用燃烧式废气处理设备对半导体废气进行统一的燃烧处理。

当前，在进行半导体废气的燃烧处理时，通常将各个半导体产线产出的废气通过输气主管向废气处理设备输送，在输气主管的末端由多根支气管一一连通废气处理设备上的各个废气入口，在输气的过程中，通过控制各个支气管上配气阀的开度与输气压力，以确保半导体废气燃烧处理的稳定性与可靠性。

然而，在实际应用中发现，基于各个配气阀的配气结构复杂，在进行设备维护时，对各个配气阀的清洗操作存在费时、费力的问题，并且不便于进行故障查找。在配气领域，尽管还广泛采用由多个配气阀组装而成的配气阀岛，但是，现有配气阀岛只具有集中配气的功能，配气并不稳定，在废气处理设备因临时故障及其它原因而停机时，废气处理设备内还存在大量的未处理完的废气，配气阀岛难以对这些未处理完的废气进行有效处理，如果不对废气进行及时处理，将存在较大的安全隐患，而直接将废气排向大气环境，又存在严重的环境污染。

发明内容

本发明实施例提供一种配气阀岛及废气处理设备的配气方法，用以解决现有的配气阀岛只用于集中配气，配气不稳定，难以对废气处理设备未处理完的废气进行有效处理的问题。

本发明实施例提供一种配气阀岛，包括：储气室，所述储气室连通配气口；气路切换单元，所述气路切换单元包括多个，所述气路切换单元分别连通进气口、排气口及所述储气室，用于控制所述进气口、所述排气口对应与所述储气室的连通状态的切换。

根据本发明一个实施例的配气阀岛，所述气路切换单元包括换向阀，所述换向阀上的三个端口对应连通所述进气口、所述排气口及所述储气室。

根据本发明一个实施例的配气阀岛，所述气路切换单元包括换向阀与开关阀，所述排气口形成于所述进气口的侧壁上，所述换向阀上的三个端口对应连通所述进气口、所述排气口及所述开关阀的一端，所述开关阀的另一端连通所述储气室。

根据本发明一个实施例的配气阀岛，还包括：配气室，所述储气室连通所述配气室，所述配气室的室壁上形成有多个所述配气口。

根据本发明一个实施例的配气阀岛，所述储气室通过多个转接气道连通所述配气室。

根据本发明一个实施例的配气阀岛，所述气路切换单元与所述转接气道一一对应，所述气路切换单元靠近所述储气室的一端通过泄压通道连通所述转接气道，所述泄压通道上装有安全阀。

根据本发明一个实施例的配气阀岛，所述储气室内装有压力检测装置与气体成分分析装置。

根据本发明一个实施例的配气阀岛，所述储气室的外室壁上连接有固定座。

本发明实施例还提供一种如上所述的配气阀岛的废气处理设备的配气方法，包括：在废气处理设备启动燃烧作业时，控制气路切换单元处于第一切换状态，使得进气口与储气室相连通，由配气口对废气处理设备配气；在废气处理设备停机时，控制气路切换单元处于第二切换状态，使得排气口与储气室相连通，将发生停机的废气处理设备内未处理的废气通过排气口排放至其它正常作业的废气处理设备内。

根据本发明一个实施例的废气处理设备的配气方法，在对废气处理设备配气时，若通过气路切换单元的气体压力超过预设值，开启泄压通道；在废气处理设备停机时，若检测到其中一个气路切换单元出现故障，将正常工作的至少一个气路切换单元切换至第二切换状态，由相应的排气口进行废气排放。

本发明实施例提供的一种配气阀岛及废气处理设备的配气方法，通过设置分别连通进气口、排气口及储气室的气路切换单元，并将储气室连通配气口，则在用于对废气处理设备的配气时，可通过与各个气路切换单元相应进气口进行多路进气，在控制气路切换单元处于第一切换状态时，可使得进气口与储气室相连通，基于储气室对废气的均压与混合作用，可确保通过配气口对废气处理设备进行稳定地配气；而在废气处理设备因临时故障及其它原因停机时，可控制气路切换单元处于第二切换状态，使得排气口与储气室相连通，发生停机的废气处理设备内未处理的废气可自动通过配气口返回至储气室，再通过多路排气口排放至其它正常作业的废气处理设备内，如此既可消除未处理的废气所存在的安全隐患，又可对其进行二次燃烧处理，以达到清洁排放的目的。

由此可见，本发明实现了多路气路切换单元与储气室的集成化设计，并在此基础上集中配置进气口、排气口及配气口，相对于传统的基于各个配气阀的配气结构而言，实现了整体结构的集成化和简约化，便于进行清洗、分体拆卸及故障点查询，并在用于废气处理设备的配气时，可大幅度提升对废气的输入效率，确保了配气的稳定性，还可基于配气阀岛的排气设置，便于在废气处理设备停机时对未处理完的废气进行有效处理。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的一种配气阀岛的结构示意图。

图中，1、进气口；2、排气口；3、气路切换单元；31、换向阀；32、开关阀；4、储气室；5、配气室；6、配气口；7、泄压通道；8、安全阀；9、固定座；10、压力检测装置；11、气体成分分析装置；12、转接气道。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域的普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

参见图1，本实施例提供了一种配气阀岛，包括：储气室4，储气室4连通配气口6；气路切换单元3，气路切换单元3包括多个，气路切换单元3分别连通进气口1、排气口2及储气室4，用于控制进气口1、排气口2对应与储气室4的连通状态的切换。

本实施例所示的配气阀岛，通过设置分别连通进气口1、排气口2及储气室4的气路切换单元3，并将储气室4连通配气口6，则在用于对废气处理设备的配气时，可通过与各个气路切换单元3相应的进气口1进行多路进气，在控制气路切换单元3处于第一切换状态时，可使得进气口1与储气室4相连通，基于储气室4对废气的均压与混合作用，可确保通过配气口6对废气处理设备稳定地进行配气；而在废气处理设备因临时故障及其它原因停机时，可控制气路切换单元3处于第二切换状态，使得排气口2与储气室4相连通，将发生停机的废气处理设备内未处理的废气通过排气口2排放至其它正常作业的废气处理设备内。由于现有的废气处理设备在对废气进行燃烧时，通常会进行抽负压处理，从而在将故障设备相应配气阀岛的排气口2与其它正常作业的废气处理设备相连通时，未处理的废气可在气压差的作用下，自动通过配气口6返回至储气室4，再通过多路排气口2排放至其它正常作业的废气处理设备，如此既可消除未处理的废气所存在的安全隐患，又可对其进行二次燃烧处理，以达到清洁排放的目的。

在此应指出的是，本实施例所示的多个气路切换单元3在储气室4的上侧可以阵列排布，也可以呈环形排布，在此不作具体限定。其中，本实施例在图1中具体示意了六个气路切换单元3，六个气路切换单元3依次沿直线排布呈单列。本实施例所示的废气通常为有毒、有害及易燃易爆的气体，如半导体废气，从而通常基于废气处理设备对这类废气进行燃烧处理。

与此同时，本实施例所示气路切换单元3可采用本领域所公知的换向阀，该换向阀具体优选为气动换向阀，可将换向阀上的三个端口对应连通进气口1、排气口2及储气室4。由此，在换向阀处于第一切换状态时，进气口1与储气室4相连通，此时，废气可通过进气口1输入至储气室4内，而在换向阀处于第二切换状态时，排气口2与储气室4相连通，从而在废气处理设备停机时，废气处理设备内未处理完的废气可在气压差的作用下，自动通过配气口6返回至储气室4内，再通过排气口2向其它正常作业的废气处理设备进行废气排放，以便对废气进行二次燃烧处理。

如图1所示，为了确保气路切换单元3工作的可靠性，避免频繁地启动上述实施例所示的换向阀而对其造成损坏，本实施例所示的气路切换单元3由换向阀31与开关阀32组成，排气口2形成于进气口1的侧壁上，换向阀31上的三个端口对应连通进气口1、排气口2及开关阀32的一端，开关阀32的另一端连通储气室4。在此，基于废气处理设备的实际运行工况考虑，换向阀31在常态下处于第一切换状态，以使得通过进气口1的废气直接在开关阀32的控制下通向储气室4，此时排气口2处于闭合状态。相应地，只有在废气处理设备停机时，本实施例所示的换向阀31才切换至第二切换状态，以打开排气口2，使得废气处理设备内未处理完的废气依次通过配气口6、储气室4及开关阀32，再从排气口2向其它正常作业的废气处理设备排放，以进行二次燃烧处理。

优选地，如图1所示，由于通过各个进气口1向储气室4内充入废气时，储气室4内的气压还是存在一定的压力波动，为了确保向废气处理设备配气的稳定性，本实施例还设置有配气室5，从而可将储气室4连通配气室5，在配气室5的室壁上设置多个配气口6，以便同时对多台废气处理设备进行稳定地配气。

在进一步的优选实施例中，可将储气室4通过多个转接气道12连通配气室5，以提升废气从储气室4向配气室5输送的效率，防止废气在储气室4内因气压过高而发生爆炸。

在进一步的优选实施例中，本实施例所示的气路切换单元3与转接气道12一一对应，气路切换单元3靠近储气室4的一端通过泄压通道7连通转接气道12，泄压通道7上装有安全阀8。如此，在通入气路切换单元3的废气压力过大，并超出安全阀8的预设气压值时，安全阀8将自动打开，使得经过气路切换单元3的通气主线路上的一部分废气直接从泄压通道7排放至转接气道12，并进入至配气室5内，从而可大幅度减小过高的气压对气路切换单元3的相应器件造成损坏。

优选地，如图1所示，本实施例中储气室4内装有压力检测装置10与气体成分分析装置11，其中，压力检测装置10可选用本领域所公知的气体压力传感器或气压表，以检测储气室4内废气的压力；气体成分分析装置11可采用本领域所公知的气体传感器或气体成分分析仪，以检测储气室4内废气的种类及相应种类的气体含量。在此，为了确保检测的准确性，也可同时在配气室5内安装压力检测装置10与气体成分分析装置11。

优选地，如图1所示，为了便于实现对本实施例所示的配气阀岛的安装使用，可在储气室4的外室壁上连接固定座9，并且，可将储气室4与固定座9设计为一体式结构。

优选地，本实施例还提供一种如上所述的配气阀岛的废气处理设备的配气方法，包括：在废气处理设备启动燃烧作业时，控制气路切换单元处于第一切换状态，使得进气口与储气室相连通，从而废气在从进气口通入后，依次通过气路切换单元、储气室及配气室，并由配气室上的配气口对废气处理设备稳定地进行配气；在废气处理设备停机时，控制气路切换单元处于第二切换状态，使得排气口与储气室相连通，可将发生停机的废气处理设备内未处理的废气通过排气口排放至其它正常作业的废气处理设备内。由于正常进行燃烧作业的废气处理设备的燃烧腔内处于负压状态，从而未处理的废气会在负压的作用下，自动通过配气口进入至配气室内，再依次通过储气室、气路切换单元及排气口，向正常作业的废气处理设备内排放，以进行二次燃烧处理。

优选地，本实施例在对废气处理设备配气时，若通过气路切换单元的气体压力超过预设值，开启泄压通道，可使得经过气路切换单元的通气主线路上的一部分废气直接从泄压通道排放至转接气道，再进入至配气室内，从而可大幅度减小过高的气压对气路切换单元的相应器件造成损坏。

与此同时，在废气处理设备停机时，若检测到其中一个气路切换单元出现故障，将正常工作的至少一个气路切换单元切换至第二切换状态，由相应的排气口进行废气排放，从而基于多个气路切换单元之间的配合使用，可确保未处理完的废气顺利排放至其它正常作业的废气处理设备内，以进行二次燃烧处理，进而确保了气体的清洁排放。

综上所述，本发明实现了多路气路切换单元与储气室的集成化设计，并在此基础上集中配置进气口、排气口及配气口，相对于传统的基于各个配气阀的配气结构而言，实现了整体结构的集成化和简约化，便于进行清洗、分体拆卸及故障点查询，并在用于废气处理设备的配气时，可大幅度提升对废气的输入效率，确保了配气的稳定性，还可基于配气阀岛的排气设置，便于在废气处理设备停机时，对未处理完的废气进行有效处理，确保了气体的清洁排放。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种配气阀岛，其特征在于，包括：

储气室，所述储气室连通配气口；

气路切换单元，所述气路切换单元包括多个，所述气路切换单元分别连通进气口、排气口及所述储气室，用于控制所述进气口、所述排气口对应与所述储气室的连通状态的切换。

2.根据权利要求1所述的配气阀岛，其特征在于，所述气路切换单元包括换向阀，所述换向阀上的三个端口对应连通所述进气口、所述排气口及所述储气室。

3.根据权利要求1所述的配气阀岛，其特征在于，所述气路切换单元包括换向阀与开关阀，所述排气口形成于所述进气口的侧壁上，所述换向阀上的三个端口对应连通所述进气口、所述排气口及所述开关阀的一端，所述开关阀的另一端连通所述储气室。

4.根据权利要求1至3任一所述的配气阀岛，其特征在于，还包括：配气室，所述储气室连通所述配气室，所述配气室的室壁上形成有多个所述配气口。

5.根据权利要求4所述的配气阀岛，其特征在于，所述储气室通过多个转接气道连通所述配气室。

6.根据权利要求5所述的配气阀岛，其特征在于，所述气路切换单元与所述转接气道一一对应，所述气路切换单元靠近所述储气室的一端通过泄压通道连通所述转接气道，所述泄压通道上装有安全阀。

7.根据权利要求1至3任一所述的配气阀岛，其特征在于，所述储气室内装有压力检测装置与气体成分分析装置。

8.根据权利要求1至3任一所述的配气阀岛，其特征在于，所述储气室的外室壁上连接有固定座。

9.一种如权利要求1至8任一所述的配气阀岛的废气处理设备的配气方法，其特征在于，包括：

在废气处理设备启动燃烧作业时，控制气路切换单元处于第一切换状态，使得进气口与储气室相连通，由配气口对废气处理设备配气；

在废气处理设备停机时，控制气路切换单元处于第二切换状态，使得排气口与储气室相连通，将发生停机的废气处理设备内未处理的废气通过排气口排放至其它正常作业的废气处理设备内。

10.根据权利要求9所述的废气处理设备的配气方法，其特征在于，在对废气处理设备配气时，若通过气路切换单元的气体压力超过预设值，开启泄压通道；

在废气处理设备停机时，若检测到其中一个气路切换单元出现故障，将正常工作的至少一个气路切换单元切换至第二切换状态，由相应的排气口进行废气排放。

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