CN112119341A

CN112119341A - 用于显微镜的照明设备

Info

Publication number: CN112119341A
Application number: CN201980026694.7A
Authority: CN
Inventors: 马约·杜朗德热维涅; 热罗姆·波尔凯
Original assignee: Unity Semiconductor SAS
Current assignee: Unity Semiconductor SAS
Priority date: 2018-03-20
Filing date: 2019-03-13
Publication date: 2020-12-22
Also published as: US20210116694A1; EP3769137A1; WO2019179841A1; FR3079313B1; FR3079313A1

Abstract

本发明涉及一种照明设备(1、100)，其用于具有成像物镜(2)的成像系统，所述照明设备包括：套筒(10)，其被配置为围绕所述成像物镜(2)定位；至少一根光纤(14)，所述至少一根光纤与所述套筒(10)刚性连接，并且被布置为引导来自至少一个光源的光；以及引导装置(17、17')，其被配置为定向由所述至少一根光纤(14)发射的光束，以便沿照明轴线照射所述成像系统的视场，所述照明轴线相对于所述物镜(2)的光轴形成大于成像系统的数值孔径的角度。本发明还涉及一种使用该装置的成像系统。

Description

用于显微镜的照明设备

技术领域

本发明涉及一种用于显微镜物镜的照明设备。本发明还涉及一种实施这种设备的照明系统。

本发明的领域更具体地但非限制性地是物体的光学检测领域。

背景技术

对例如用于电子、光学或光电应用的半导体或透明衬底的检测通常需要不同的步骤，该半导体或透明衬底在其表面上或在其体积中包含源自制造过程的结构或缺陷。这些步骤尤其能够包括通过光学显微镜进行的观测(明场、暗场或轮廓测定法等)。

对于反射暗场显微镜，需要从显微镜的物镜所在的同一侧照射待观测或检测的物体。为此，暗场照明源能够被布置为围绕显微镜物镜，或者与物镜本身集成。这些光源必须特别被布置为相对于物镜的轴线成一定角度，以提供对待检测物体的照明，使得可以收集由被照射的物体的结构散射的光，而不会收集入射光或物体上的镜面反射。

特别地，已知文件US 2014126049 A1和US 4,186,993，其描述了集成在显微镜物镜中的暗场照明设备。

然而，已知的暗场照明设备体积庞大，并且需要专门适配的显微镜结构。特别地，它们不能与现有的标准显微镜物镜一起使用，和/或不能集成在不用于它们的显微镜系统中。此外，在不显著修改照明配置的情况下，已知的设备不能提供足够的灵活性，以获得在多个方位角或来自不同方向的照明。

发明内容

本发明的目的是提出一种用于具有物镜的成像系统的照明设备，使得可以克服这些缺点。

本发明的目的是提出一种暗场照明设备，使得可以在视场和角度方面都均匀地照射待检测物体，并提供了宽的入射角。照明必须适于待检测的结构或缺陷的特征。

本发明的另一目的是提出一种照明设备，使得可以涉及方向角或不同方向，而不需要修改物镜或待检测物体附近的照明配置。

本发明的另一目的是提出一种照明设备，其适于不同类型的现有显微镜物镜。

本发明的另一目的是提出一种照明设备，其在显微镜物镜周围是不笨重且重量轻的。

这些目的至少部分是由用于具有成像物镜的成像系统的照明设备实现的，该照明设备包括：

-套筒，其被配置为围绕所述成像物镜定位，

-至少一根光纤，所述至少一个根光纤与所述套筒集成，并且被布置为引导源自至少一个光源的光，以及

-引导装置，其被配置为定向由所述至少一根光纤发射的光束，以便以相对于所述物镜(2)的光轴大于所述成像系统的数值孔径的角度来照射所述成像系统的视场。

根据本发明的照明设备尤其能够与显微镜物镜形式的成像物镜一起使用以产生暗场照明。

根据本发明的照明设备能够包括具有基本上或本质上为圆柱形形状的套筒，其内径大约对应于成像或显微镜物镜的外径，以便能够以滑动或夹持的方式围绕物镜定位。因此，能够通过夹持或任何其他装置，例如螺钉，将套筒固定或附接至物镜。

根据本发明的照明设备还能够包括固定装置，该固定装置可以将套筒固定至除了物镜之外的机械元件。

通常，根据本发明的套筒能够包括能够被围绕物镜定位的任何延伸部分或任何机械组件。

有利地，该设备的套筒能够适于被固定在一个或更多个现有显微镜物镜上，或围绕一个或更多个现有显微镜物镜定位。现有显微镜形式的成像系统能够因此被容易地修改，以形成暗场检测系统。更准确地说，同一套筒能够适于一些不同直径、放大倍数和工作距离的物镜。

此外，根据本发明的照明设备还能够与干涉物镜一起使用，例如Mirau物镜。

套筒能够包括壁或者具有开口或引导件(“V形沟槽”)的部分，使得可以将一根或更多根光纤与所述套管的壁一体地定位。

在套筒的水平处，能够将一根或更多根光纤布置在平行或基本平行于所述套筒的延伸方向的方向上，该延伸方向旨在平行或基本平行于成像物镜的光轴，套筒围绕成像物镜的光轴定位。

更一般地，在套筒的水平处，能够将一根或更多根光纤能够分别布置在位于与所述套筒的延伸方向相同的平面中的一个或更多个方向上。

优选地，引导装置也与套筒集成，以便构成对于一根或更多根光纤机械稳定的组件。

光纤在套筒的壁中或与套筒的壁集成地布置，使得可以最小化设备的体积和重量。壁的厚度既适于光纤的尺寸，又适于套筒的机械稳定的需要。因此，物镜上使用该设备的该物镜本身的重量和体积不会发生显著变化。

因此，例如，对于直径约为30至35mm的物镜，套筒的壁具有大约2至4mm的厚度。

光源以及其他光学部件也被放置在与物镜相距一定距离处，以避免妨碍物镜周围的区域。当该设备与彼此靠近放置的几个物镜一起使用时，这是特别重要的。因此，还可以防止其上固定有该设备的物镜的环境升温，这种加热实际上能够引起空气折射率的变化，从而能够导致成像光学系统或显微镜的分辨率降低。

有利地，其上固定有该设备的物镜也能够被用于明场显微镜测量(通过物镜照射视野)，而不需要修改或撤销暗场照明。

根据一个实施例，该设备能够包括例如被布置为均匀地围绕套筒的周边的多根光纤。

根据另一实施例，光纤能够分组为光纤的多个组，该组能够例如被布置为均匀地围绕套筒的周边。

套筒中的光纤的不同布置使得既可以控制照明的均匀性，又可以选择成像系统或显微镜的视场中的方位角或照明方向。

要注意的是，照明的方位角对应于视场的平面中的照明光束的方向或定向。

根据一个实施例，引导装置包括例如用于每根光纤的镜子。然后，镜子被放置在光纤的输出处，以便在期望的方向上引导光纤发射的光束。

根据另一实施例，引导装置包括被布置为使至少一根光纤的末端弯曲的引导元件，以便在期望的方向上或沿期望的照明轴线引导光纤发射的光束。这种引导元件尤其能够包括与套筒的壁集成或形成套筒的壁的一部分的机械引导部分。

根据另一实施例，通过对光纤的末端进行例如抛光或劈开的处理来产生引导装置，以便以一个角度来引导光纤发射的光束，该角度是由输出面相对于光纤的纵轴线的角度所确定的。

根据实施例，根据本发明的设备能够包括透镜，所述透镜被布置为面向至少一根光纤的输出或处于至少一根光纤的输出处。该透镜可以控制由光纤发射的光束的开口角度，并且因此可以修改照射在待检测物体上的区域的尺寸。

例如，该透镜能够被配置为准直或聚焦由光纤发射的光束。

根据实施例，该透镜能够通过抛光光纤本身的输出端来产生。

优选地，在根据本发明的设备中，至少一根光纤是多模光纤。与单模光纤相比，多模光纤具有能够以更高的均匀度传输光束的优点。此外，它具有更宽的接收角度，这使得其可以更有效地与更多种类型的光源进行耦合。

根据一个实施例，根据本发明的照明设备还能够包括平移装置，该平移装置被配置为相对于成像物镜，在平行于所述物镜的光轴的方向上移动套筒(套筒围绕该成像物镜定位)。

这些平移装置能够包括用于使套筒沿物镜滑动的装置，和/或与除物镜之外的元件集成的平移系统。

根据一个实施例，照明设备还能够包括附接装置，所述附接装置能够将套筒固定在成像物镜上。这些附接装置能够将套筒沿旋转轴线或物镜的光轴固定在一个或更多个位置。附接装置能够例如包括锁紧螺钉。

套管相对于物镜的移动使得尤其可以修改视场中的照射区域的宽度，以修改该区域上光束的入射角，并且更一般地使照明适于物镜的工作距离。

根据实施例，根据本发明的设备还能够包括配置为发射至少一个光束的至少一个光源，以及用于将所述至少一个光束注入所述至少一根光纤的注入控制装置。

根据实施例，注入控制装置能够包括至少一个光纤耦合器，所述至少一个光纤耦合器用于将由光源发射的光束注入至少两根光纤。

根据其他实施例，注入控制装置能够包括至少一个开关，所述至少一个开关被配置为将光束顺序地注入至少两个不同的光纤。

开关的使用尤其使得可以在不同的方位角处和/或从不同方向顺序地照射待检测物体。因此，能够提高物体上的缺陷或结构的检测精度。

有利地，根据本发明的系统还能够包括用于修改由所述至少一根光纤发射的光的数值孔径的装置。

这种用于修改数值孔径的装置能够被布置在至少一个光源与至少一根光纤的输入(或与朝向视场的末端相反的末端)之间。

光纤发射的光的数值孔径的修改尤其使得可以改变待检测物体上的照射区域的宽度和亮度，而无需改变套筒和/或物镜相对于视场或待检测物体的位置。

根据一个实施例，用于修改数值孔径的装置能够包括透镜系统(透镜系统能够包括一个或更多个透镜)。

用于修改数值孔径的装置还能够包括光纤部件，该光纤部件的横截面直径逐渐变化，沿传播轴线引导光。这种部件能够包括单根拉伸光纤或拉制光纤(称为“光纤锥”)，或多个拉伸光纤或多个拉制光纤的束(“锥形光纤束”)。

实际上，只要没有产生微弯的过度应力，则在多模光纤的的输出处维持多模光纤的输入处注入的光束的数值孔径(在最大数值孔径的范围内)。

因此，有利地，用于修改由所述至少一根光纤发射的光的数值孔径的装置被朝向至少一根光纤的输入放置，并且因此与显微镜物镜相距一定距离，从而使得调节灵活性成为可能，并且物镜附近没有大量附加元件。

根据一个有利实施例，根据本发明的系统能够包括至少两个光源。这些光源能够发射具有不同偏振和/或波长的光束。

例如，可以选择光源发射波长，针对该波长，待检测物体体现为不透明或透明的。这尤其使得可以观察物体的不同表面，例如物体的外表面或内部的界面。

根据另一方面，提出了一种成像系统，其包括根据本发明的用于产生暗场照明的成像物镜和照明设备。

当然，该成像系统能够包括任何其他必要的元件，例如照相机。特别地，它能够采取显微镜的形式。

成像系统还能够包括例如安装在旋转的或线性的换镜转盘上的多个显微镜物镜。

在这种情况下，一个或更多个物镜能够设置有根据本发明的照明设备。

根据本发明的照明设备还能够适于以手动地或使用自动机械装置的方式被安装在一个或更多个物镜上。

有利地，在其上固定有照明系统的套筒的显微镜物镜能够用另一个显微镜物镜替代，而不需要修改套筒相对于待检测物体的配置(除了可能通过调节工作距离)以及修改光纤的照明条件(数值孔径、入射角等)。

附图说明及具体实施方式

通过阅读非限制性的实施方式和实施例的详细描述并且通过附图，本发明的其他优点和特征将变得明显，在附图中：

-图1是根据本发明的设备的非限制性实施例的示意图，该装置布置在两种不同类型的显微镜物镜上；

-图2A示出了根据本发明的设备的横截面图；

-图2B示出了图2A的细节；

-图3示出了根据本发明的实施例的设备的细节；

-图4示出了根据另一实施例的设备的细节；

-图5A至5D示意性地描绘了根据本发明的系统的实施例；并且

-图6A和6B示意性地说明了用于控制光纤的输出处的数值孔径的装置。

应该理解，在下文中描述的实施例绝不是限制性的。如果该特征的选择足以赋予技术优势或者将本发明与现有技术区别开，则能够考虑本发明的变型，特别是仅包括下文所述特征(该特征独立于所描述的其他特征)的选择的变型。如果该部分单独就足以赋予技术优势或使本发明与现有技术区别开，则该选择包括至少一个没有结构细节或者只有部分结构细节的特征(该特征优选为是功能性的)。

特别地，如果从技术角度对这种组合没有异议的话，则所描述的所有变型和所有实施例都能够被组合在一起。

在附图中，几幅图共有的元件保持相同的附图标记。

在不丧失普遍性的情况下，所提出的实施例示出了根据本发明的照明设备在显微镜型成像系统(配备有显微镜物镜类型的成像物镜)中的实施例。这样的设备使其例如可以在成像传感器(例如CCD相机或传感器类型)上产生要在视场中检测的物体的图像。

类似地，在下文中，当根据本发明的设备与显微镜一起使用时，即固定在物镜上时，术语“下”和“上”用于非限制性地表示元件的位置。特别地，术语“下”能够表示(显微镜)物镜面向视场的一端。

在所提出的实施例中，待检测或观察的物体特别能够是打算用于电子、光学或光电子的领域中的任何衬底或任何板。

图1示意性地示出了根据本发明的实施例的照明设备1的示例。照明设备1被示出为安装在显微镜物镜2上。设备1包括套筒10形式的圆柱形的元件。套筒10能够以不同的已知方式附接至物镜2，例如通过螺钉或夹圈(未示出)。优选地，调节圆柱形的套筒10的内径，以便套筒10能够被附接至几种类型的物镜。例如，相同的套筒能够被固定在直径为32至34mm的物镜上。

圆柱形的套筒10包括至少一个，或在所示实施例中的多根光纤14。每根光纤14平行于套筒10的旋转轴线被布置在套筒10的壁中。

每根光纤14被配置为引导光，以便相对于套筒10的轴线成一定角度地照射待检测的衬底3，以获得衬底3的暗场照明。照明光束如图1中的附图标记16所示。在衬底3上的由于照明光束16的镜面反射由附图标记18表示。

图2A示出了圆柱形的套筒10在垂直于其轴线的平面中的横截面图，并且图2B示出了图2A的细节。套筒10由内圈11和外圈12构成。内圈11的外径基本上对应于外圈12的内径。

内圈11具有沿套筒10的轴线和在套筒的整个长度上布置的V形的沟槽13。沟槽13用于容纳光纤14。当内圈11和外圈12被组装在一起时，光纤14被保持在沟槽中。

根据变型，沟槽13能够具有适于保持光纤14的其他形状，例如U形。

根据另一实施例，圆柱形的套筒10是单件生产的。在这种情况下，套筒的壁中的通道能够容纳光纤，该光纤可以插入金属箍中并且在光纤的末端处卡在金属箍。在这种情况下，将金属箍插入具有适当直径的通道确保了光纤14的精确和简单的定位。通道能够仅延伸到套筒10面向视场的下端，以便确保光纤14的末端保持在金属箍中，并且将其引导至套筒的壁中朝向套筒的上端的更宽的开口或凹槽，从而使光纤容易通过。

根据图2所示的实施例，设备1包括64根光纤14，其均匀地分布在套筒10的整个周边上。根据其它的示例，根据本发明的设备能够包括单根光纤，或两根至大约一百根光纤。光纤的数量尤其取决于期望产生的照明配置。

优选地，光纤14是多模光纤。其直径例如为大约400μm。

图3表示了根据图1的实施例的设备1的下部的详细视图。

根据本实施例，内圈11包括其末端之一上的遮罩15。遮罩15例如具有环形。优选地，遮罩15形成内圈11的整体部分。遮罩15能够替代地通过已知的方法固定在内圈11上。遮罩15可以遮蔽来自光纤14并且在显微镜的视场中被检测的对象3所反射的光，以便防止该反射的光重新进入套筒内部并且被套筒的内壁反射，从而构成寄生光源。因此，只有直接源自光纤14并且被衬底的缺陷或结构所散射的光被物镜收集，从而被检测系统所检测。

外圈12在其下端包括镜子17。镜子17被布置为使得通过镜子17将由每根光纤14发射的光相对于圆柱形的套筒10的轴线成一定角度地定向，以便用暗场照明来照射位于显微镜的视场中的，或者更准确地说是位于显微镜的物镜的接收锥中的待检测衬底。照明的角度被调节为使得镜面反射在显微镜的物镜的接收锥之外。

镜子17能够具有环形形状。它尤其能够被以抛光金属环的形式产生。镜子17还能够包括多个平面镜子元件，使得在每根光纤14的轴线中都布置有一个镜子元件。

布置在套筒10中的光纤14分别具有没有端接的、抛光的或以直角劈开的(面向镜子17的)下端；以及例如经由连接器或接头而耦合至光源、耦合器或另一个光学部件的上端。

图4表示了根据本发明的设备的另一实施例的细节。透镜19被布置为靠近光纤14的输出。透镜19控制照射待检测衬底的光束的开口角度。根据示例，透镜19能够被配置为获得准直或聚焦的光束。在本示例中，光纤的末端能够如前所述的由沟槽(V形沟槽)保持，或者如图4所示插在金属箍40中。透镜19能够是微透镜或梯度折射率(GRIN)透镜。在后一种情况下，它能够被集成在金属箍40中。

替代地，光纤14的输出端能够例如通过抛光直接处理，以便修改由光纤14发射的光束的特征。尤其能够对其进行处理以在其末端形成透镜，和/或进行角度抛光以产生从光纤14的轴线偏离的照明光束。

根据另一方面，本发明还涉及用于具有显微镜物镜的成像系统的暗场照明系统。

图5A至5D示意性地表示了照明系统100的实施例。系统100包括先前描述的设备和至少一个光源20，以及用于控制光束注入光纤14的装置21、22，例如开关22和/或耦合器21。

光源20与显微镜的物镜相距一定距离放置。光纤14例如经由耦合器21被直接或间接地耦接至光源20。例如，光源20能够是发光二极管(LED)源、热源或激光器。优选地，光源20设置有光纤连接器。如果根据本发明的设备包括几根光纤14，则离开光源20的光束23能够借助于耦合器21被分成几个光束24。耦合器21能够由具有光纤部件、集成光学电路或大块光学部件产生。离开耦合器21的每个光束24被注入光纤14之一中。

在图5A至5D中示意性示出的该系统的不同示例可以获得不同的照明配置。每根光纤14的照明的单独控制通过耦合器21和/或开关22的不同组合产生。在图5A至5D中，仅示意性表示了对应于光纤14的输入面的套筒10的基座10a之一。

图5A示出了照明系统的一个实施例，其中光束24被同时注入每根光纤14，该光纤14被均匀分布在套筒的壁中，围绕套筒的周边。为此，由光源20发射的光束23被耦合器21分成与光纤14一样多的光束24。因此，本实施例使得均匀且连续的照明成为可能。

图5B示出了照明系统的另一实施例。开关22被放置在光源20与两个耦合器21a、21b之间。根据开关22的状态，耦合器21a、21b中的一个或另一个顺序地接收来自光源20的光。在耦合器21a、21b的输出处的光纤14被布置在套筒10中，以便确保在两个不同方位角处的照明。根据变型，为了获得两个以上的照明方位角，能够使用两个以上的耦合器。

图5C给出了可以用多个源从不同方向或以不同方位角照射衬底的实施例。优选地，照明是顺序产生的。此外，两个或更多个光源20a、20b的使用使得可以改变发射的光的特征。例如，光源20a、20b能够发射与彼此波长不同的光束23a、23b。因此，因此可以选择一波长，针对该波长待测衬底是透明的以便能够穿过该衬底，并且选择另一波长，针对该另一波长该衬底是不透明的。来自两个光源的光还能够具有不同的偏振状态。当然，根据变型，能够使用两个以上的光源。

当然，由图5B和5A描述的配置能够与图5C中的配置组合，以便能够将光纤连接到能够顺序切换的几个光源。这使得可以修改来自光纤的照明条件(例如波长)。

在图5D所示的实施例中，两个光源20a、20b分别被与耦合器21a、21b组合。耦合器21a、21b分别具有一个输入通道和几个输出通道。照明设备的光纤14分别分为四组14'，每组3根光纤。组14'被均匀围绕套筒的周边布置。这种布置使得可以以有利的方位角照射衬底。与图5C中的实施例一样，使用两个光源20a、20b，使得具有不同特征的光束23a、23b成为可能。当然，光纤14的其他分组也是可能的。

除了方位角或照明方向之外，能够控制照射在待检测衬底的给定区域上的均匀性和亮度也是重要的。由于套筒以及因此光纤相对于衬底的位置，能够调节照射区域的尺寸。

此外，还可以通过调节在光纤的输入处的数值孔径来控制光纤的输出处的数值孔径。

图6A和6B示意性地示出了用于控制和调节光纤的输出处的光束的数值孔径的装置。

图6A示出了具有数值孔径转换器30的光纤14，该数值孔径转换器放置在光源与光纤14的输入14a之间，以便控制将光注入光纤的条件。因此，转换器30被配置为修改输入光束的数值孔径NA_in，以便获得用于输出光束的不同数值孔径NA_out。输入光束源自光源。数值孔径转换器30能够例如由透镜产生或由例如具有沿传播轴线逐渐变化的引导的多模光纤合路器的光纤部件产生。离开转换器的光束被注入光纤14，并且具有数值孔径NA_out。在光纤14的输出14b处维持该数值孔径NA_out。

图6B表示了用于产生数值孔径转换器30的光纤部件的示例。转换器30由光纤耦合器产生。这种光纤耦合器在一侧上由光纤束组成，在另一侧上被合并为单根光纤(“锥形光纤束”)。合并部分31具有圆锥形形状(“锥”)，该圆锥形形状定义了输出直径d_out与输入直径d_in之间的拉伸比d_out/d_in。耦合器31能够在输入31a(单根光纤侧)处连接到光源并且在束侧31b连接到照明设备的光纤14上。光纤耦合器31的拉伸比限定了输入数值孔径NA_in与输出数值孔径NA_out之间的比率：

NA_out＝d_in/d_out NA_in

这种关系能够适于单根拉制光纤(“光纤锥”)的特殊情况，其导芯的直径在拉伸的开始为d_in，在拉伸的末端为d_out。

有利地，在与显微镜物镜相距一定距离处产生数值孔径转换，从而使得无需大量附加元件的调节灵活性成为可能。光纤将向被检测衬底发射具有数值孔径NA_out的光束，该数值孔径由光源和/或数值孔径转换器的数值孔径控制。

当然，本发明不限于刚刚所描述的示例，并且在不超出本发明的范围的情况下能够对这些示例进行许多修改。

Claims

1.一种照明设备(1、100)，其用于具有成像物镜(2)的成像系统，其特征在于，所述照明设备包括：

-套筒(10)，其被配置为围绕所述成像物镜(2)定位，

-至少一根光纤(14)，所述至少一根光纤与所述套筒(10)集成，并且被布置为引导源自至少一个光源的光，以及

-引导装置(17、17')，其被配置为定向由所述至少一根光纤(14)发射的光束，以便沿照明轴线照射所述成像系统的视场，所述照明轴线相对于所述物镜(2)的光轴形成大于所述成像系统的数值孔径的角度。

2.根据权利要求1所述的设备(1、100)，其特征在于，所述设备包括多根光纤(14)，所述光纤(14)围绕所述套筒(10)的周边，以单个的方式被均匀地布置，或分组为光纤(14)的多个组，所述组被均匀地布置。

3.根据权利要求1或2所述的设备(1、100)，其特征在于，所述引导装置包括镜子(17、17')。

4.根据权利要求1或2所述的设备(1、100)，其特征在于，所述引导装置包括引导元件，所述引导元件被布置为使所述至少一根光纤(14)的末端弯曲。

5.根据前述权利要求之一所述的设备(1、100)，其特征在于，所述设备还包括透镜(19)，所述透镜被布置为面向所述至少一根光纤(14)的输出或被布置在所述至少一根光纤的输出处。

6.根据权利要求所述的设备(1、100)，

7.5，其特征在于，所述透镜通过抛光所述光纤(14)的输出端来产生。

8.根据前述权利要求之一所述的设备(1、100)，其特征在于，所述至少一根光纤(14)是多模光纤。

9.根据前述权利要求之一所述的设备(1、100)，其特征在于，所述设备还包括平移装置，所述平移装置配置为相对于成像物镜(2)，在平行于所述物镜(2)的光轴的方向上移动所述套筒(10)。

10.根据前述权利要求之一所述的设备(1、100)，其特征在于，所述设备还包括附接装置，所述附接装置能够将所述套筒(10)固定在成像物镜(2)上。

11.根据前述权利要求之一所述的设备(1、100)，其特征在于，所述设备还包括配置为发射至少一个光束的至少一个光源(20、20a、20b)，以及用于将所述至少一个光束注入所述至少一根光纤(14)的注入控制装置(21、21a、21b、22)。

12.根据权利要求10所述的设备(1、100)，其特征在于，所述注入控制装置包括至少一个光纤耦合器(21、21a、21b)，所述至少一个光纤耦合器用于将由所述光源(20、20a、20b)发射的光束注入至少两根光纤(14)。

13.根据权利要求10或11所述的设备(1、100)，其特征在于，所述注入控制装置包括至少一个开关(22)，所述至少一个开关被配置为将光束顺序地注入至少两个不同的光纤(14)。

14.根据权利要求10至12之一所述的设备(1、100)，其特征在于，所述设备还包括用于修改由所述至少一根光纤(14)发射的光的数值孔径的装置(30)。

15.根据前述权利要求所述的设备(1、100)，其特征在于，所述用于修改数值孔径的装置(30)被布置在所述至少一个光源(20、20a、20b)与所述至少一根光纤(14)的输入之间。

16.根据前述权利要求所述的设备(1、100)，其特征在于，所述用于修改数值孔径的装置(30)包括以下元件中的至少一个：

-透镜系统；

-光纤部件，其横截面直径逐渐变化，沿传播轴线引导光。

17.根据权利要求1至15之一所述的设备(1、100)，其特征在于，所述设备包括至少两个光源(20a、20b)，所述至少两个光源被配置为发射具有不同偏振和/或波长的光束。

18.一种成像系统，其包括成像物镜(2)，其特征在于，所述成像系统包括根据前述权利要求之一所述的用于产生暗场照明的照明设备(1、100)。