CN112097114A - 一种精确制备液态mo源和氢气混合气的装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置，包括氢气源、接收瓶和气化装置，所述氢气源通过输气管连接在接收瓶，所述气化装置设置在氢气源和接收瓶之间的输气管上，所述氢气源与气化装置之间设置有定量装置，通过定量装置控制所需配置浓度的液态MO源输入，所述接收瓶内设置有混合装置，通过混合装置对接收瓶内得气体进行混合。解决了液态MO源定量转移至钢瓶问题。管线置换与物料转移步骤合并，既保证了安全也保证了物料的100%转移，浓度控制好。做到更精确，质量更高，大大提高了混合气的配置效率，降低了安全风险、质量风险。

Description

一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置
技术领域
本发明涉及电子级混合气生产领域，尤其涉及一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置。
背景技术
在制造液态MO源时，需要对液态MO源进行定量转移，而目前对于液态MO源进行定量转移，一般是通过用玻璃安培瓶密封MO源后直接放于钢瓶，直接置换钢瓶后充气，并打碎安培瓶，经过滚瓶使样品气均匀混合，但这样很浪费玻璃安培瓶，并且在最初始的操作中，所有的置换操作均为手动操作，时间效率都有所欠缺，存在质量及安全隐患；对液态MO源定量取用一般采取在手套箱内进行定量称重，气氛杂质难以控制，箱内压力也会影响称量精度；多步骤操作，搬运增加很多工作量，也增加了很多风险。因此，解决制备液态MO源时不易定量转移及称重精度不易控制的问题就显得尤为重要了。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明的目的是提供了一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置，通过氢气源加入氢气，气化装置对二乙基碲液态MO源进行气化，吹入接收瓶内，自动完成液态MO源的转移工作，并且通过压力检测控制装置和称重装置进行配合，对液态MO源的重量进行检测，实现定量转移，解决了制备液态MO源时不易定量转移及称重精度不易控制的问题。
本发明提供一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置，包括氢气源、接收瓶和气化装置，所述氢气源通过输气管连接在接收瓶，所述气化装置设置在氢气源和接收瓶之间的输气管上，所述氢气源与气化装置之间设置有定量装置，通过定量装置控制所需配置浓度的液态MO源输入，所述接收瓶内设置有混合装置，通过混合装置对接收瓶内得气体进行混合。
进一步改进在于：所述气化装置旁设置有压力检测控制装置，通过压力检测控制装置对接收瓶内补充氢气的压力进行检测，并对定量装置的补充进行控制。
进一步改进在于：所述接收瓶下端设置有称重装置，通过称重装置对接收瓶进行称重。
进一步改进在于：所述氢气源旁设置有检漏装置，通过检漏装置对整个装置是否漏气进行检测。
进一步改进在于：所述接收瓶旁设置有控制装置，所述控制装置旁设置有PLC面板，通过PLC面板对控制装置进行操作，并且通过控制装置对接收瓶内配置好的混合气进行检测。
进一步改进在于：所述压力检测控制装置旁设置有置换装置，通过置换装置对平台管线进行置换。
本装置的制备工艺如下：
1、制备前，首先利用检漏装置对平台进行检漏，以确定平台漏率符合质量策划要求。
2、然后在PLC面板上输入操作命令，用置换装置对平台所有线路进行置换，确保平台内氧含量符合质量策划及安全要求。
3、打开氢气源，PLC面板上输入操作命令，操作定量装置，控制所需配置浓度的液态MO源进入系统，并经过气化装置进行气化，气化后的二乙基碲液态MO源被气源载气吹入接收瓶。
4、继续往接收瓶内补充氢气，通过压力检测控制装置补充至计算所需压力，称重装置同时进行检验，复核进气量，确保一致。
5、完成以上步骤后，关闭接收瓶阀门，对平台管线再次进行置换。
6、置换完毕，手动拆除接收瓶与平台的连接，接收瓶瓶口密封，装好瓶帽，启动混合装置进行混合。
7、混合均匀后，重新将接收瓶连接至平台管线，对所有拆开对空的管线再次进行置换。
8、置换完成后，打开检测装置，对接收瓶内配置好的混合气进行检测。
本发明的有益效果是：通过氢气源加入氢气，气化装置对二乙基碲液态MO源进行气化，吹入接收瓶内，自动完成液态MO源的转移工作，并且通过压力检测控制装置和称重装置进行配合，对液态MO源的重量进行检测，实现定量转移，解决了液态MO源定量转移至钢瓶问题。管线置换与物料转移步骤合并，既保证了安全也保证了物料的100%转移，浓度控制好。做到更精确，质量更高，大大提高了混合气的配置效率，降低了安全风险、质量风险。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
其中：1-氢气源，2-接收瓶，3-气化装置，4-定量装置，5-混合装置，6-压力检测控制装置，7-称重装置，8-检漏装置，9-控制装置，10-PLC面板，11-置换装置。
具体实施方式
为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例对本发明作进一步的详述，本实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。
如图1所示，本实施例提供一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置，包括氢气源1、接收瓶2和气化装置3，所述氢气源1通过输气管连接在接收瓶2，所述气化装置3设置在氢气源1和接收瓶2之间的输气管上，所述氢气源1与气化装置3之间设置有定量装置4，通过定量装置4控制所需配置浓度的液态MO源输入，所述接收瓶2内设置有混合装置5，通过混合装置5对接收瓶2内得气体进行混合。所述气化装置3旁设置有压力检测控制装置6，通过压力检测控制装置6对接收瓶2内补充氢气的压力进行检测，并对定量装置4的补充进行控制。所述接收瓶2下端设置有称重装置7，通过称重装置7对接收瓶2进行称重。所述氢气源1旁设置有检漏装置8，通过检漏装置8对整个装置是否漏气进行检测。所述接收瓶2旁设置有控制装置9，所述控制装置9旁设置有PLC面板10，通过PLC面板10对控制装置9进行操作，并且通过控制装置9对接收瓶2内配置好的混合气进行检测。所述压力检测控制装置6旁设置有置换装置11，通过置换装置11对平台管线进行置换。

Claims (6)

1.一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置，其特征在于：包括氢气源（1）、接收瓶（2）和气化装置（3），所述氢气源（1）通过输气管连接在接收瓶（2），所述气化装置（3）设置在氢气源（1）和接收瓶（2）之间的输气管上，所述氢气源（1）与气化装置（3）之间设置有定量装置（4），通过定量装置（4）控制所需配置浓度的液态MO源输入，所述接收瓶（2）内设置有混合装置（5），通过混合装置（5）对接收瓶（2）内得气体进行混合。
2.如权利要求1所述的一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置，其特征在于：所述气化装置（3）旁设置有压力检测控制装置（6），通过压力检测控制装置（6）对接收瓶（2）内补充氢气的压力进行检测，并对定量装置（4）的补充进行控制。
3.如权利要求1所述的一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置，其特征在于：所述接收瓶（2）下端设置有称重装置（7），通过称重装置（7）对接收瓶（2）进行称重。
4.如权利要求1所述的一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置，其特征在于：所述氢气源（1）旁设置有检漏装置（8），通过检漏装置（8）对整个装置是否漏气进行检测。
5.如权利要求1所述的一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置，其特征在于：所述接收瓶（2）旁设置有控制装置（9），所述控制装置（9）旁设置有PLC面板（10），通过PLC面板（10）对控制装置（9）进行操作，并且通过控制装置（9）对接收瓶（2）内配置好的混合气进行检测。
6.如权利要求1所述的一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置，其特征在于：所述压力检测控制装置（6）旁设置有置换装置（11），通过置换装置（11）对平台管线进行置换。
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