CN112077438A - 一种激光聚焦装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种激光聚焦装置,包括基座以及与基座侧壁固定的基座外壳,其中,在基座与基座外壳之间的中空腔室中设置有滑座,滑座的侧壁连接至基座且能够在驱动装置的驱动下沿基座上下滑动,滑座的底部安装有透镜座;基座外壳的下侧连接有下安装板,下安装板的内侧设置有中空的转接套且透镜座位于转接套的内部,转接套的下侧连接有用于固定平板玻璃的玻璃保护座,保护玻璃座的下方设置有气嘴;转接套的上表面安装有磁性件,基座外壳与转接套相对的下表面安装有霍尔元件,霍尔元件位于磁性件的上方且与磁性件之间存在间隙。该激光聚焦装置焦点能够沿竖向方向移动,实现内部自动调焦,有效提升激光加工深度。
Description
技术领域
本发明属于激光加工技术领域,具体涉及一种激光聚焦装置。
背景技术
由于激光具有方向性好、亮度高、单色性好及高能量密度等特点,近年来激光加工技术得到迅猛发展,激光三维加工技术和激光复合加工技术已在工业生产、通讯及信息处理等领域得到广泛应用。
在激光加工过程中,需要使用光学聚焦元件去除加工材料,特别是在一些激光切割设备、激光钻孔设备等激光加工设备中,激光聚焦装置是必不可少的。激光聚焦装置属于精密部件,通常为上述激光加工设备的加工组件。在激光加工过程中,为保证加工孔的质量,需要尽可能保证激光聚焦装置的光路稳定性,通常整个光路及光束整形处理系统需保持相对静止状态以使焦点位置不变,但是这将导致激光加工所能达到的孔的深度很有限,可加工的孔径也比较小,从而导致激光聚焦装置的加工适用性不能达到较为理想的状态。
发明内容
为了解决现有技术中存在的上述问题,本发明提供了一种激光聚焦装置。本发明要解决的技术问题通过以下技术方案实现:
本发明提供了一种激光聚焦装置,包括基座以及与所述基座侧壁固定的基座外壳,其中,
在所述基座与所述基座外壳之间的中空腔室中设置有滑座,所述滑座的侧壁连接至所述基座且能够在驱动装置的驱动下沿所述基座上下滑动,所述滑座的底部安装有用于固定聚焦镜组的透镜座;
所述基座外壳的下侧连接有下安装板,所述下安装板的内侧设置有中空的转接套且所述透镜座位于所述转接套的内部,所述转接套的下侧连接有用于固定平板玻璃的玻璃保护座,所述保护玻璃座的下方设置有气嘴;
所述转接套的上表面安装有磁性件,所述基座外壳与所述转接套相对的下表面安装有霍尔元件,所述霍尔元件位于所述磁性件的上方且与所述磁性件之间存在间隙,所述霍尔元件用于感知所述磁性件的磁场强度并在与所述磁性件的距离发生变化时产生触发信号,所述触发信号用于指示所述激光聚焦装置执行急停操作。
在本发明的一个实施例中,所述基座的侧壁设置有两个竖向的导轨,所述滑座通过所述导轨连接至所述基座的侧壁,并且能够沿所述导轨上下滑动。
在本发明的一个实施例中,所述基座的侧壁上还设置有驱动电机和位移传感器,其中,所述驱动电机用于驱动所述滑座沿所述导轨上下移动,所述位移传感器用于获取所述滑座的位移数据。
在本发明的一个实施例中,所述激光聚焦装置还包括电连接所述驱动电机和所述位移传感器的控制单元,所述控制单元用于设定所述滑座的预定移动距离,接收来自所述位移传感器的位移数据并在所述位移数据达到所述预定移动距离时控制所述驱动电机关闭。
在本发明的一个实施例中,所述基座外壳与所述转接套之间还设置有弹性件,所述弹性件一端连接在所述基座外壳的下表面,另一端连接所述转接套的上表面。
在本发明的一个实施例中,所述基座外壳与所述转接套之间沿周向方向均匀间隔地设置有多个所述弹性件,并且所述基座外壳与所述转接套之间沿周向方向均匀间隔地设置有多个磁性件,多个所述弹性件与所述多个磁性件交替设置。
在本发明的一个实施例中,所述下安装板包括环形底座和设置在所述环形底座外侧的连接部,其中,
所述连接部包括半圆部段和从所述半圆部段两端向外延伸的矩形部段,所述半圆部段固定在所述基座外壳的下端,所述透镜座位于所述半圆部段的内部且与所述半圆部段同轴,所述矩形部段固定在所述基座的下端。
在本发明的一个实施例中,所述转接套为中空凸台回转体,包括环形卡接部和设置在所述环形卡接部上端的环形凸台,其中,所述环形卡接部卡接在所述环形底座的内侧,所述环形凸台容置在所述连接部的内侧,且所述环形凸台与所述环形底座之间设置有环形密封件以进行密封。
在本发明的一个实施例中,所述环形底座的上表面设置有多个第一凹槽,所述环形凸台的下表面设置有多个与所述第一凹槽位置对应的第二凹槽,所述第一凹槽与对应的所述第二凹槽之间设置有球状件。
在本发明的一个实施例中,所述环形底座的上表面设置有多个螺纹孔,所述环形凸台的边缘设置有多个与所述螺纹孔位置对应的U形槽,所述螺纹孔与对应的所述U形槽中设置有导向杆。
与现有技术相比,本发明的有益效果在于:
1、本发明的激光聚焦装置在基座与基座外壳之间的中空腔室中设置有滑座,滑座能够在驱动装置的驱动下沿基座上下滑动,使得装置焦点能够沿竖向方向移动,实现内部自动调焦,从而有效提升激光加工深度。
2、该激光聚焦装置在连接板与转接套之间设置有上下位置对应的磁性件和霍尔元件,霍尔元件能够感知磁性件的磁场强度并在激光聚焦装置发生碰撞使得霍尔元件与磁性件的距离发生变化时产生触发信号,触发信号用于指示所述激光聚焦装置执行急停操作,能够有效避免转接套和连接板发生二次碰撞。
3、本发明的霍尔元件与磁性件之间存在一定间隙,可以在非接触情况下产生触发信号以执行急停操作,避免了元件直接碰撞导致的元件损坏,另外,触发信号阈值是可以程序调节的,可以根据实际需求调节防碰撞反应的灵敏度。
4、本发明的激光聚焦装置在连接板与转接套之间还设置有弹簧,弹簧能够限制转接套的轴向窜动并且能够在激光聚焦装置发生轴向碰撞之后对连接板与转接套进行复位,保证激光聚焦装置的精度。
以下将结合附图及实施例对本发明做进一步详细说明。
附图说明
图1是本发明实施例提供的一种激光聚焦装置的立体结构图;
图2是本发明实施例提供的一种激光聚焦装置的俯视图;
图3是本发明实施例提供的一种激光聚焦装置的局部立体示意图,其中示出了基座和滑座的安装位置;
图4是本发明实施例提供的一种激光聚焦装置的截面示意图;
图5是是本发明实施例提供的一种激光聚焦装置的局部立体示意图,其中示出了磁性件、霍尔元件和弹性件的安装位置;
图6是本发明实施例提供的一种激光聚焦装置的局部分解图;
图7是本发明实施例的激光聚焦装置从气嘴连接套所在位置截取的剖视图。
附图标记说明:
1-基座;2-基座外壳;3-中空腔室;4-滑座;41-竖向部;42-水平部;43-滑槽;44-加强肋;5-透镜座;6-聚焦镜组;7-下安装板;71-环形底座;711-环形凹槽;72-连接部;721-半圆部段;722-矩形部段;8-转接套;81-环形卡接部;82-环形凸台;9-玻璃保护座;10-平板玻璃;11-气嘴;12-磁性件;13-霍尔元件;14-导轨;15-驱动电机;16-位移传感器;161-读数头;17-弹性件;18-环形密封件;19-第一凹槽;20-第二凹槽;21-球状件;22-螺纹孔;23-U形槽;24-导向杆;25-磁性件安装座;26-连接固定套;27-压盖;28-气嘴连接套;29-快插气嘴接头;30-紧固螺钉;31-上盖;32-转接圈;33-压圈。
具体实施方式
为了进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及具体实施方式,对依据本发明提出的激光聚焦装置进行详细说明。
有关本发明的前述及其他技术内容、特点及功效,在以下配合附图的具体实施方式详细说明中即可清楚地呈现。通过具体实施方式的说明,可对本发明为达成预定目的所采取的技术手段及功效进行更加深入且具体地了解,然而所附附图仅是提供参考与说明之用,并非用来对本发明的技术方案加以限制。
应当说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的物品或者设备中还存在另外的相同要素。
请一并参见图1至图4,图1是本发明实施例提供的一种激光聚焦装置的立体结构图;图2是本发明实施例提供的一种激光聚焦装置的俯视图;图3是本发明实施例提供的一种激光聚焦装置的局部立体示意图,其中示出了基座和滑座的安装位置;图4是本发明实施例提供的一种激光聚焦装置的截面示意图。本实施例的激光聚焦装置包括基座1以及与基座1侧壁固定的基座外壳2,其中,在基座1与基座外壳2之间的中空腔室3中设置有滑座4,滑座4的侧壁连接至基座1且能够在驱动装置的驱动下沿基座1上下滑动,滑座4的底部安装有用于固定聚焦镜组6的透镜座5。在本实施例中,如图4所示,透镜座5通过转接圈32连接在滑座4的底部。基座外壳2的下侧连接有下安装板7,下安装板7的内侧设置有中空的转接套8且透镜座5位于转接套8的内部,转接套8的下侧连接有用于固定平板玻璃10的玻璃保护座9,保护玻璃座9的下方设置有气嘴11。
进一步地,基座1的侧壁设置有导轨14,滑座4通过导轨14连接至基座1的侧壁且能够沿导轨14上下滑动,由于固定有聚焦镜组6的透镜座5连接在滑座4的底部,因此,聚焦镜组6能够跟随滑座4一起上下移动,从而在激光加工过程中调节激光的焦点位置。基座1的侧壁上还设置有驱动电机15和位移传感器16,其中,驱动电机15用于驱动滑座4沿导轨14上下移动,位移传感器16用于获取滑座4的位移数据。
在本实施例中,基座1呈大致长方体形状,其与基座外壳2连接的一侧上设置有两个竖向平行的导轨14,滑座4通过导轨14连接至基座1的侧壁,并且能够沿导轨14上下滑动。本实施例的导轨14为双列排布,保证了激光焦点在运动方向的直线度,避免因导轨的强度不够以及聚焦镜部分外侧悬伸造成的晃动,保证了激光加工的质量。
在两个导轨14之间开设有用于安装驱动电机15的凹槽,驱动电机15安装在该凹槽中。在本实施例中,驱动电机15可以为音圈电机。音圈电机是一种直接驱动电机,具有结构简单体积小、高速、高加速响应快等特性。基座外壳2的截面呈U型结构,该U型结构的开口端连接至基座1的侧壁,并与基座1围成一个中空腔室3。在本实施例中,基座外壳2与基座1通过螺钉及销钉进行定位和连接。
进一步地,如图3所示,滑座4包括与基座1平行设置的竖向部41以及与竖向部41垂直连接的水平部42。在本实施例中,竖向部41和水平部42一体成型。竖向部41的外侧设置有与每个导轨14相对应的两个竖向的滑槽43,如图2所示,每个导轨14分别设置在相对位置的滑槽43中,并在能够在滑槽43中进行上下滑动。在竖向部41的内侧设置有位移传感器16,用于获取滑座4的位移数据。在本实施例中,位移传感器16为光栅尺位移传感器,包括读数头161,读数头161用于采集滑座4的位移数据。所述光栅尺位移传感器能够进行直线位移的检测,其测量输出的信号为数字脉冲,具有检测范围大,检测精度高,响应速度快的特点。
本实施例激光聚焦装置还包括电连接至驱动电机15和位移传感器16的控制单元(附图中未示出),所述控制单元能够在加工之前根据实际加工需要,即需要加工的孔的参数,获得激光焦点需要移动的距离,进而预先设定滑座4的所需的移动距离,随后在激光加工过程中控制驱动电机15开启,驱动电机15驱动滑座4上下移动,带动透镜座5上下移动,从而实现内部自动调焦。与此同时,位移传感器16能够实时监测滑座4的位移数据并发送至所述控制单元。当位移达到预先设定的移动距离时,控制单元能够控制驱动电机15关闭,滑座4停止移动,从而达到所需的激光加工深度。
优选地,滑座4的竖向部41与水平部42的连接拐角处设置有两个平行的加强肋44,用于保证竖向部41与水平部42的垂直度以及滑座4的强度。
进一步地,请参见图4至图6,图5是是本发明实施例提供的一种激光聚焦装置的局部立体示意图,其中示出了磁性件、霍尔元件和弹性件的安装位置,图6是本发明实施例提供的一种激光聚焦装置的局部分解图。转接套8的上表面安装有磁性件12,基座外壳2与转接套8相对的下表面安装有霍尔元件13,霍尔元件13位于磁性件12的上方且与磁性件12之间存在间隙,霍尔元件13用于感知磁性件12的磁场强度并在与磁性件12的距离发生变化时产生触发信号,触发信号用于指示激光聚焦装置执行急停操作。具体地,本实施例的转接套8设置在下安装板7的内侧,位于基座外壳2的下方,并且转接套8的上表面与基座外壳2的下表面间隔一定的距离,使得在转接套8的上表面与基座外壳2的下表面之间以及透镜座5的外周形成一个环形腔体。霍尔元件13和磁性件12垂直相对设置,且均位于所述环形腔体中。在本实施例中,转接套8的上表面安装有磁性件安装座25,磁性件12固定在磁性件安装座25上。优选地,磁性件12为块状的磁铁。
进一步地,霍尔元件13连接控制单元,所述控制单元用于在接收到触发信号后控制激光聚焦装置执行急停操作,停止该激光聚焦装置的运行。在实际使用过程中,霍尔元件13和磁性件12在正常非碰撞状态下存在一个固定的间距,霍尔元件13可以感知磁性件12的磁场强度,当激光聚焦装置发生碰撞时,霍尔元件13与磁性件12的间距发生变化,使霍尔元件13感应的磁场强度也发生变化,此时,霍尔元件13发生触发信号并发送至控制单元,控制单元在接收到触发信号后控制激光聚焦装置执行急停操作,停止激光聚焦装置的运行,从而可以有效避免转接套和基座外壳发生二次碰撞。
需要说明的是,霍尔元件13与磁性件12之间存在一定间隙,可以在非接触的条件下产生触发信号以执行急停操作,避免了元件直接碰撞导致的元件损坏。另外,霍尔元件13的触发信号阈值是可以程序调节的,也就是说可以根据实际需求设定当霍尔元件13与磁性件12之间的间距变化为多少时产生触发信号,以此调节防碰撞反应的灵敏度。
优选地,如图5和图6所示,本实施例的转接套8的上表面沿周向方向均匀间隔地设置有三个磁性件12,且三个磁性件12位于透镜座5的外围,三个磁性件12之间相互间隔120°;对应地,每个磁性件12的上方均设置有一个霍尔元件13,也就是说,基座外壳2的下表面沿周向方向均匀间隔的设置有三个霍尔元件13,三个霍尔元件13之间也相互间隔120°。
进一步地,基座外壳2与转接套8之间的中空内腔中还设置有弹性件17,弹性件17一端连接在基座外壳2的下表面,另一端连接转接套8的上表面。基座外壳2与转接套8之间沿周向方向可以均匀间隔地设置有多个弹性件17。弹性件17能够限制转接套8的轴向窜动并且能够在该激光聚焦装置发生轴向碰撞之后利用弹性件17的弹性力对基座外壳2与转接套8之间进行复位,保证激光聚焦装置的精度。优选地,本实施例的弹性件17为螺旋弹簧。
继续参见图5,在本实施例的基座外壳2与转接套8之间,沿周向方向均匀间隔地设置有三个弹性件17,三个弹性件17之间同样间隔120°,并且这三个弹性件17与上述三个霍尔元件10交替设置,彼此具有相同的间隔。也就是说,每个弹性件17设置在相邻两个霍尔元件13之间,且与相邻两个霍尔元件13之间的间隔均为60°。这样设置的优势在于三个弹性件17和三个霍尔元件13的位置分别关于中心轴线对称,这样在防碰撞过程中可以最大程度地反应空间变化。
接着,请一并参见图4和图6,本实施例的下安装板7包括环形底座71和设置在环形底座71外侧的连接部72,其中,连接部72包括半圆部段721和从半圆部段721两端向外延伸的矩形部段722。进一步地,半圆部段721通过紧固件固定在基座外壳2的下端,透镜座5位于半圆部段721的内部且与半圆部段721同轴,矩形部段722通过紧固件固定在基座1的下端。转接套8为中空凸台回转体,包括环形卡接部81和设置在环形卡接部81上端的环形凸台82,安装完成后,环形卡接部81卡接在环形底座71的内侧,环形凸台82容置在连接部72的半圆部段721内侧,且环形凸台82与环形底座71之间设置有环形密封件18以进行密封。具体地,环形底座71开设有环形凹槽711,环形密封件18设置在环形凹槽711内部,且其上表面与环形凸台82的下表面密封接触。优选地,环形密封件18为环形橡胶条,该环形橡胶条能够实现转接套8与下安装板7之间的防尘密封作用。
进一步地,请参见图6,环形底座71的上表面设置有多个第一凹槽19,环形凸台82的下表面设置有多个与第一凹槽19位置对应的第二凹槽20,第一凹槽19与对应的第二凹槽20之间设置有球状件21。在本实施例中,环形底座71的上表面沿周向方向均匀设置有三个第一凹槽19,三个第一凹槽19之间均间隔120°,每个第一凹槽19均为锥形槽。对应地,环形凸台82的下表面沿周向方向均匀设置有三个与第一凹槽19位置对应的第二凹槽20,三个第二凹槽20之间均间隔120°,每个第一凹槽19均为锥形槽,每个由第一凹槽19与第二凹槽20形成的空间中均设置有一个球状件21,优选地,球状件21可以是钢珠。球状件21与上下两个锥形槽的锥形面相接触,并且安装后下安装板7的环形底座71上表面与转接套8的环形凸台82的下表面之间存在间隙,通过与球状件21的接触,使得下安装板7的环形底座71上表面与转接套8的环形凸台82的下表面之间留有发生碰撞时的活动间隙,同时可以限制下安装板7与转接套8之间的轴向移动,有效防止下安装板7与转接套8发生直接碰撞。
进一步地,环形底座71的上表面设置有多个螺纹孔22,环形凸台82的边缘设置有多个与螺纹孔22位置对应的U形槽23,螺纹孔22与对应的U形槽23中设置有导向杆24。在本实施例中,环形底座71的上表面沿周向方向均匀设置有三个螺纹孔22,三个螺纹孔22之间均间隔120°,对应地,环形凸台82的边缘沿周向方向均匀设置有三个U形槽23,三个U形23之间均间隔120°。每个由螺纹孔22和U形槽23之间形成的空间中均设置有一个导向杆24。也就是说,导向杆24卡接在螺纹孔22与U形槽23之间,作用类似于定位销,将下安装板7的环形底座71与转接套8的环形凸台82连接在一起。通过三个导向杆24的共同作用,可以有效限制下安装板与转接套之间的径向窜动。
在本实施例中,三个第一凹槽19与三个螺纹孔22在环形底座71上交替设置且彼此具有相同间距。也就是说,每个螺纹孔22均设置在相邻两个第一凹槽19之间,且与相邻两个第一凹槽19之间的间隔均为60°。三个第二凹槽20与三个U形槽23在环形凸台82上交替设置且彼此具有相同间距。也就是说,每个U形槽23设置在相邻两个第二凹槽20之间,且与相邻两个第二凹槽20之间的间隔均为60°。
该激光聚焦装置在下安装7与转接套8之间设置有交替设置的多个球状件21和多个导向杆24,可以有效限制下安装板7与转接套8之间的径向窜动和轴向移动,并且可以减小下安装板7与转接套8之间碰撞造成的装置损伤。
继续参见图4,保护玻璃座9内装载有平板玻璃10。保护玻璃座9下方设置有连接固定套26,保护玻璃座6与连接固定套26之间装有压盖27,压盖27下方装有气嘴连接套28,以及与气嘴连接套28连接的气嘴11。
保护玻璃座9位于转接套8下端,两者通过螺纹连接,本实施例的保护玻璃座9呈圆柱状,平板玻璃10位于上述保护玻璃座9上,且通过压圈33压紧。
继续参见图1,基座外壳2的外侧还设置有快插气嘴接头29,快插气嘴接头29安装在基座外壳2上开设的进气孔(附图中未示出)中,可将通有高压气体的气管接入其中,并方便插拔。对应地,如图3所述,在基座1和基座外壳2的上端还设置有上盖31,盖上上盖保证中空腔室3内充气时保持正压密封。
具体地,快插气嘴接头29为充气接头,因为光学部件内部对洁净要求较高,在结构件做好密封防尘的措施外,通过快插气嘴接头29实现对腔体内部的持续充气,从而保证腔体气压相对于外界有一个正压,阻挡外界灰尘的进入。
进一步地,气嘴连接套28与气嘴11螺纹连接,气嘴连接套28外圆与连接固定套26内孔留有调整间隙。请参见图7,图7是本发明实施例的激光聚焦装置从气嘴连接套所在位置截取的剖视图。气嘴连接套28的圆周有三处螺纹孔,所述螺纹孔中装有紧固螺钉30,气嘴连接套28在三个紧固螺钉30的作用下可以在平面范围内移动以便调整气嘴出口与光轴同轴。
综上,本发明实施例的激光聚焦装置在基座与基座外壳之间的中空腔室中设置有滑座,滑座能够在驱动装置的驱动下沿基座上下滑动,使得装置焦点能够沿竖向方向移动,实现内部自动调焦,从而有效提升激光加工深度。该激光聚焦装置在连接板与转接套之间设置有上下位置对应的磁性件和霍尔元件,霍尔元件能够感知磁性件的磁场强度并在激光聚焦装置发生碰撞使得霍尔元件与磁性件的距离发生变化时产生触发信号,触发信号用于指示所述激光聚焦装置执行急停操作,能够有效避免转接套和连接板发生二次碰撞。本发明的霍尔元件与磁性件之间存在一定间隙,可以在非接触情况下产生触发信号以执行急停操作,避免了元件直接碰撞导致的元件损坏,另外,触发信号阈值是可以程序调节的,可以根据实际需求调节防碰撞反应的灵敏度。此外,激光聚焦装置在连接板与转接套之间还设置有弹簧,弹簧能够限制转接套的轴向窜动并且能够在激光聚焦装置发生轴向碰撞之后对连接板与转接套进行复位,保证激光聚焦装置的精度。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明,不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干简单推演或替换,都应当视为属于本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种激光聚焦装置,其特征在于,包括基座(1)以及与所述基座(1)侧壁固定的基座外壳(2),其中,
在所述基座(1)与所述基座外壳(2)之间的中空腔室(3)中设置有滑座(4),所述滑座(4)的侧壁连接至所述基座(1)且能够在驱动装置的驱动下沿所述基座(1)上下滑动,所述滑座(4)的底部安装有用于固定聚焦镜组(6)的透镜座(5);
所述基座外壳(2)的下侧连接有下安装板(7),所述下安装板(7)的内侧设置有中空的转接套(8)且所述透镜座(5)位于所述转接套(8)的内部,所述转接套(8)的下侧连接有用于固定平板玻璃(10)的玻璃保护座(9),所述保护玻璃座(9)的下方设置有气嘴(11);
所述转接套(8)的上表面安装有磁性件(12),所述基座外壳(2)与所述转接套(8)相对的下表面安装有霍尔元件(13),所述霍尔元件(13)位于所述磁性件(12)的上方且与所述磁性件(12)之间存在间隙,所述霍尔元件(13)用于感知所述磁性件(12)的磁场强度并在与所述磁性件(12)的距离发生变化时产生触发信号,所述触发信号用于指示所述激光聚焦装置执行急停操作。
2.根据权利要求1所述的激光聚焦装置,其特征在于,所述基座(1)的侧壁设置有两个竖向的导轨(14),所述滑座(4)通过所述导轨(14)连接至所述基座(1)的侧壁,并且能够沿所述导轨(14)上下滑动。
3.根据权利要求2所述的激光聚焦装置,其特征在于,所述基座(1)的侧壁上还设置有驱动电机(15)和位移传感器(16),其中,所述驱动电机(15)用于驱动所述滑座(4)沿所述导轨(14)上下移动,所述位移传感器(16)用于获取所述滑座(4)的位移数据。
4.根据权利要求3所述的激光聚焦装置,其特征在于,还包括电连接所述驱动电机(15)和所述位移传感器(16)的控制单元,所述控制单元用于设定所述滑座(4)的预定移动距离,接收来自所述位移传感器(16)的位移数据并在所述位移数据达到所述预定移动距离时控制所述驱动电机(15)关闭。
5.根据权利要求1所述的激光聚焦装置,其特征在于,所述基座外壳(2)与所述转接套(8)之间还设置有弹性件(17),所述弹性件(17)一端连接在所述基座外壳(2)的下表面,另一端连接所述转接套(8)的上表面。
6.根据权利要求5所述的激光聚焦装置,其特征在于,所述基座外壳(2)与所述转接套(8)之间沿周向方向均匀间隔地设置有多个所述弹性件(17),并且所述基座外壳(2)与所述转接套(8)之间沿周向方向均匀间隔地设置有多个磁性件(12),多个所述弹性件(17)与所述多个磁性件(12)交替设置。
7.根据权利要求1所述的激光聚焦装置,其特征在于,所述下安装板(7)包括环形底座(71)和设置在所述环形底座(71)外侧的连接部(72),其中,
所述连接部(72)包括半圆部段(721)和从所述半圆部段(721)两端向外延伸的矩形部段(722),所述半圆部段(721)固定在所述基座外壳(2)的下端,所述透镜座(5)位于所述半圆部段(721)的内部且与所述半圆部段(721)同轴,所述矩形部段(722)固定在所述基座(1)的下端。
8.根据权利要求7所述的激光聚焦装置,其特征在于,所述转接套(8)为中空凸台回转体,包括环形卡接部(81)和设置在所述环形卡接部(81)上端的环形凸台(82),其中,所述环形卡接部(81)卡接在所述环形底座(71)的内侧,所述环形凸台(82)容置在所述连接部(72)的内侧,且所述环形凸台(82)与所述环形底座(71)之间设置有环形密封件(18)以进行密封。
9.根据权利要求8所述的激光聚焦装置,其特征在于,所述环形底座(71)的上表面设置有多个第一凹槽(19),所述环形凸台(82)的下表面设置有多个与所述第一凹槽(19)位置对应的第二凹槽(20),所述第一凹槽(19)与对应的所述第二凹槽(20)之间设置有球状件(21)。
10.根据权利要求8或9所述的激光聚焦装置,其特征在于,所述环形底座(71)的上表面设置有多个螺纹孔(22),所述环形凸台(82)的边缘设置有多个与所述螺纹孔(22)位置对应的U形槽(23),所述螺纹孔(22)与对应的所述U形槽(23)中设置有导向杆(24)。
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