CN112040660A - 用于图形转移的线路板及图形转移工艺 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于图形转移的线路板及其图形转移工艺，线路板包括用于在线路板上形成实际图形的目标设计图形区域和用于覆盖显影干膜的图形转移补偿区域，图形转移补偿区域包括侧蚀宽度补偿区域和角位补偿区域，通过在目标设计图形区域的外部设置侧蚀宽度补偿区域和角位补偿区域，侧蚀宽度补偿区域包围在目标设计图形区域的外围，避免线路板上的图形在蚀刻后边线会往内收，角位补偿区域额外对目标设计图形区域的角位进行包围，避免线路板上的图形在蚀刻时角位受到两侧蚀刻液攻击而变成圆角，从而改良线路板上的图形蚀刻问题，线路板上蚀刻后的图形更接近目标设计图形。

Description

用于图形转移的线路板及图形转移工艺

技术领域

本发明涉及线路板生产技术领域，特别涉及一种用于图形转移的线路板及图形转移工艺。

背景技术

图形转移是指成膜(贴膜)-曝光-显影-蚀刻-退膜等一系列工序；经过图形转移后，设计图形由电子文件转移到目标衬底上，形成实际图形。图形的角位和边线，在蚀刻过程中受到两侧的蚀刻液攻击，会更快被蚀刻掉，最后导致设计为方角或者尖角的部位，最终蚀刻结果成为一个圆角，图形的边线也会往内收，与设计图形相去甚远。这种偏差在一般的导通功能线路中不会造成大的问题，但是在射频线路的应用场景中，线路的射频性能往往由设计图形来仿真，最终蚀刻结果与设计图形相差太远会造成设计性能与实际性能吻合度低的问题，特别是相对于边缘平缓的图形，角位图形属于尖端，电场能量集中，对辐射影响较大。

发明内容

本发明的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种用于图形转移的线路板，能够改良线路板上的图形蚀刻问题，线路板上蚀刻后的图形更接近目标设计图形。

本发明还提供一种线路板的图形转移工艺。

根据本发明第一方面实施例的一种用于图形转移的线路板，包括：

目标设计图形区域，用于在线路板上形成实际图形；

图形转移补偿区域，用于覆盖显影干膜，包括侧蚀宽度补偿区域和角位补偿区域，所述侧蚀宽度补偿区域包括从所述目标设计图形区域的边缘往外扩展第一宽度所得到的区域，所述侧蚀宽度补偿区域的两条相交的边线分别称为第一干膜边线和第二干膜边线，所述第一干膜边线和所述第二干膜边线的相交点称为宽度补偿角点，从所述宽度补偿角点往外延伸第二宽度得到角位补偿角点，从所述角位补偿角点分别延伸出第一角位斜边和第二角位斜边，所述第一角位斜边与所述第一干膜边线相交，所述第二角位斜边和所述第二干膜边线相交，所述角位补偿区域包括所述第一角位斜边、所述第二角位斜边、所述第一干膜边线和所述第二干膜边线所围成的区域。

根据本发明实施例的一种用于图形转移的线路板，至少具有如下有益效果：通过在目标设计图形区域的外部设置侧蚀宽度补偿区域和角位补偿区域，侧蚀宽度补偿区域包围在目标设计图形区域的外围，避免线路板上的图形在蚀刻后边线会往内收，角位补偿区域额外对目标设计图形区域的角位进行包围，避免线路板上的图形在蚀刻时角位受到两侧蚀刻液攻击而变成圆角，从而改良线路板上的图形蚀刻问题，线路板上蚀刻后的图形更接近目标设计图形。

在本发明的一些实施例中，所述目标设计图形区域的两条相交的边线分别称为第一目标边线和第二目标边线，所述第一目标边线与所述第一干膜边线对应并相隔所述第一宽度的距离，所述第二目标边线与所述第二干膜边线对应并相隔所述第一宽度的距离，所述第一目标边线和所述第二目标边线的相交点称为目标图形角点，所述第一目标边线上与所述目标图形角点相距第三宽度的点记为第一圆角点，所述第二目标边线上与所述目标图形角点相距第三宽度的点记为第二圆角点，所述第一圆角点往所述第一干膜边线的方向移动所述第一宽度的距离得到第一交点，所述第一交点即为所述第一干膜边线和所述第一角位斜边的交点，所述第二圆角点往所述第二干膜边线的方向移动所述第一宽度的距离得到第二交点，所述第二交点即为所述第二干膜边线和所述第二角位斜边的交点。

在本发明的一些实施例中，所述第一圆角点和所述第二圆角点分别往所述目标设计图形区域内部延伸第三宽度得到公共圆心点，以所述公共圆心点为圆心画半径为第三宽度并过所述第一圆角点和所述第二圆角点的圆角圆弧，连接所述公共圆心点和所述目标图形角点得到角线，所述角线与所述圆角圆弧的相交点为圆弧交点，所述第二宽度等于所述圆弧交点和所述目标图形角点之间的距离。

在本发明的一些实施例中，所述角位补偿角点位于所述角线的延长线上。

根据本发明第二方面实施例的一种线路板的图形转移工艺，包括以下步骤：

贴膜；曝光；显影；蚀刻；退膜；

其中所述显影步骤中，采用根据本发明第一方面实施例所述的一种用于图形转移的线路板。

根据本发明实施例的一种线路板的图形转移工艺，至少具有如下有益效果：通过在目标设计图形区域的外部设置侧蚀宽度补偿区域和角位补偿区域，侧蚀宽度补偿区域包围在目标设计图形区域的外围，避免线路板上的图形在蚀刻后边线会往内收，角位补偿区域额外对目标设计图形区域的角位进行包围，避免线路板上的图形在蚀刻时角位受到两侧蚀刻液攻击而变成圆角，从而改良线路板上的图形蚀刻问题，线路板上蚀刻后的图形更接近目标设计图形。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步地说明；

图1为线路板上设计的目标设计图形区域的示意图；

图2为蚀刻后线路板上实际得到的图形示意图；

图3为本发明实施例提供的一种用于图形转移的线路板的示意图；

图4为本发明实施例提供的一种用于图形转移的线路板的部分示意图。

具体实施方式

本部分将详细描述本发明的具体实施例，本发明之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本发明的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本发明保护范围的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本发明的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本发明中的具体含义。

图形转移是指成膜(贴膜)-曝光-显影-蚀刻-退膜等一系列工序；经过图形转移后，设计图形由电子文件转移到目标衬底上，形成实际图形。图形的角位和边线，在蚀刻过程中受到两侧的蚀刻液攻击，会更快被蚀刻掉，最后导致设计为方角或者尖角的部位，最终蚀刻结果成为一个圆角，图形的边线也会往内收，与设计图形相去甚远，如图1所示为线路板上设计的目标设计图形区域的示意图，图则2为蚀刻后线路板上实际得到的图形示意图。这种偏差在一般的导通功能线路中不会造成大的问题，但是在射频线路的应用场景中，线路的射频性能往往由设计图形来仿真，最终蚀刻结果与设计图形相差太远会造成设计性能与实际性能吻合度低的问题，特别是相对于边缘平缓的图形，角位图形属于尖端，电场能量集中，对辐射影响较大。

参照图3和图4，本发明实施例提供一种用于图形转移的线路板，包括：

目标设计图形区域100，用于在线路板上形成实际图形；

图形转移补偿区域200，用于覆盖显影干膜，包括侧蚀宽度补偿区域210和角位补偿区域220，侧蚀宽度补偿区域210包括从目标设计图形区域100的边缘往外扩展第一宽度r所得到的区域，侧蚀宽度补偿区域210的两条相交的边线分别称为第一干膜边线211和第二干膜边线212，第一干膜边线211和第二干膜边线212的相交点称为宽度补偿角点F，从宽度补偿角点F往外延伸第二宽度d得到角位补偿角点G，从角位补偿角点G分别延伸出第一角位斜边221和第二角位斜边222，第一角位斜边221与第一干膜边线211相交，第二角位斜边222和第二干膜边线212相交，角位补偿区域220包括第一角位斜边221、第二角位斜边222、第一干膜边线211和第二干膜边线212所围成的区域。

根据本发明实施例的一种用于图形转移的线路板，通过在目标设计图形区域100的外部设置侧蚀宽度补偿区域210和角位补偿区域220，侧蚀宽度补偿区域210包围在目标设计图形区域100的外围，避免线路板上的图形在蚀刻后边线会往内收，角位补偿区域220额外对目标设计图形区域100的角位进行包围，避免线路板上的图形在蚀刻时角位受到两侧蚀刻液攻击而变成圆角，从而改良线路板上的图形蚀刻问题，线路板上蚀刻后的图形更接近目标设计图形。其中，目标设计图形区域100的边缘往外扩展的第一宽度r的取值为经验取值。另外，角位补偿角点G分别延伸出的第一角位斜边221和第二角位斜边222，使得目标设计图形区域100越靠近角位处越宽，从而对目标设计图形区域100的角位的保护更充分。

参照图4，在本发明的一些实施例中，目标设计图形区域100的两条相交的边线分别称为第一目标边线110和第二目标边线120，第一目标边线110与第一干膜边线211对应并相隔第一宽度r的距离，第二目标边线120与第二干膜边线212对应并相隔第一宽度r的距离，第一目标边线110和第二目标边线120的相交点称为目标图形角点E，第一目标边线110上与目标图形角点E相距第三宽度R的点记为第一圆角点B，第二目标边线120上与目标图形角点E相距第三宽度R的点记为第二圆角点A，第一圆角点B往第一干膜边线211的方向移动第一宽度r的距离得到第一交点I，第一交点I即为第一干膜边线211和第一角位斜边221的交点，第二圆角点A往第二干膜边线212的方向移动第一宽度r的距离得到第二交点H，第二交点H即为第二干膜边线212和第二角位斜边222的交点。通过这种方式限定角位补偿区域220的第一角位斜边221和第二角位斜边222，既可以对目标设计图形区域100的角位形成足够的保护，又可以避免角位补偿区域220过大，浪费材料。

参照图4，在本发明的一些实施例中，第一圆角点B和第二圆角点A分别往目标设计图形区域100内部延伸第三宽度R得到公共圆心点O，以公共圆心点O为圆心画半径为第三宽度R并过第一圆角点B和第二圆角点A的圆角圆弧s，连接公共圆心点O和目标图形角点E得到角线，角线与圆角圆弧s的相交点为圆弧交点C，第二宽度d等于圆弧交点C和目标图形角点E之间的距离。其中，以公共圆心点O为圆心，以第三宽度R为半径所画的圆角圆弧s，是设想出来的弧线，是指在不设置角位补偿区域220时，目标设计图形区域100的角位可能被蚀刻到的位置，因此，根据圆弧交点C和目标图形角点E之间的距离，确定第二宽度d的值，也即确定宽度补偿角点F往外延伸的距离，能够使得角位补偿区域220的范围更加合理，既不过大，也不过小。

参照图4，在本发明的一些实施例中，角位补偿角点G位于角线的延长线上。可以使得角线的延长线两侧的角位补偿区域220对称，对目标设计图形区域100的角位的两条边形成同样的保护。

根据本发明第二方面实施例的一种线路板的图形转移工艺，包括以下步骤：

贴膜；曝光；显影；蚀刻；退膜；

其中显影步骤中，采用根据本发明第一方面实施例的一种用于图形转移的线路板。由于该图形转移工艺采用同样的发明构思，因此也具有上述线路板同样的好处和效果。

上面结合附图对本发明实施例作了详细说明，但是本发明不限于上述实施例，在技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (5)

1.一种用于图形转移的线路板，其特征在于，包括：

目标设计图形区域，用于在线路板上形成实际图形；

图形转移补偿区域，用于覆盖显影干膜，包括侧蚀宽度补偿区域和角位补偿区域，所述侧蚀宽度补偿区域包括从所述目标设计图形区域的边缘往外扩展第一宽度所得到的区域，所述侧蚀宽度补偿区域的两条相交的边线分别称为第一干膜边线和第二干膜边线，所述第一干膜边线和所述第二干膜边线的相交点称为宽度补偿角点，从所述宽度补偿角点往外延伸第二宽度得到角位补偿角点，从所述角位补偿角点分别延伸出第一角位斜边和第二角位斜边，所述第一角位斜边与所述第一干膜边线相交，所述第二角位斜边和所述第二干膜边线相交，所述角位补偿区域包括所述第一角位斜边、所述第二角位斜边、所述第一干膜边线和所述第二干膜边线所围成的区域。

2.根据权利要求1所述的一种用于图形转移的线路板，其特征在于，所述目标设计图形区域的两条相交的边线分别称为第一目标边线和第二目标边线，所述第一目标边线与所述第一干膜边线对应并相隔所述第一宽度的距离，所述第二目标边线与所述第二干膜边线对应并相隔所述第一宽度的距离，所述第一目标边线和所述第二目标边线的相交点称为目标图形角点，所述第一目标边线上与所述目标图形角点相距第三宽度的点记为第一圆角点，所述第二目标边线上与所述目标图形角点相距第三宽度的点记为第二圆角点，所述第一圆角点往所述第一干膜边线的方向移动所述第一宽度的距离得到第一交点，所述第一交点即为所述第一干膜边线和所述第一角位斜边的交点，所述第二圆角点往所述第二干膜边线的方向移动所述第一宽度的距离得到第二交点，所述第二交点即为所述第二干膜边线和所述第二角位斜边的交点。

3.根据权利要求2所述的一种用于图形转移的线路板，其特征在于，所述第一圆角点和所述第二圆角点分别往所述目标设计图形区域内部延伸第三宽度得到公共圆心点，以所述公共圆心点为圆心画半径为第三宽度并过所述第一圆角点和所述第二圆角点的圆角圆弧，连接所述公共圆心点和所述目标图形角点得到角线，所述角线与所述圆角圆弧的相交点为圆弧交点，所述第二宽度等于所述圆弧交点和所述目标图形角点之间的距离。

4.根据权利要求3所述的一种用于图形转移的线路板，其特征在于，所述角位补偿角点位于所述角线的延长线上。

5.一种线路板的图形转移工艺，其特征在于，包括以下步骤：

贴膜；曝光；显影；蚀刻；退膜；

其中所述显影步骤中，采用权利要求1-4任一所述的一种用于图形转移的线路板。

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