CN112008232A - 一种覆有ito薄膜的玻璃表面制备周期条纹结构的方法及装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种覆有ITO薄膜的玻璃表面制备周期条纹结构的方法及装置，其特点采用在玻璃表面覆有一层低烧蚀阈值的ITO薄膜，利用圆柱透镜聚焦的飞秒激光束在玻璃表面形成激光焦斑诱导产生周期条纹生长的方法，通过低于玻璃烧蚀阈值十倍的激光能流密度在玻璃表面制备宽度为激光束直径的长条形周期条纹结构，其装置包括：光源系统与监测系统、加工系统和控制系统。本发明与现有技术相比具有在透明材料表面制备大面积周期条纹结构，对材料表面光学性进行调控，如吸收、发光、着色等，抗干扰能力强，进一步推动飞秒激光诱导周期条纹在透明材料表面改性方面的应用和推广。

Description

一种覆有ITO薄膜的玻璃表面制备周期条纹结构的方法及 装置
技术领域
本发明涉及激光制备微纳结构技术领域，尤其一种在覆有ITO薄膜的玻璃表面制备大面积周期条纹结构的方法及装置。
背景技术
在玻璃表面高效制备出大面积周期条纹结构具有非常大的应用潜力，包括标识、基于颜色的防伪和润湿性。许多研究报道了利用高重复率飞秒激光器在玻璃内部制备出周期纳米结构，并将这些结构用于双折射材料、数字存储、波片等应用。目前，利用飞秒激光在玻璃表面快速高效的制备规则的大面积周期性微纳结构是材料表面性能调控的一个重要技术手段，有助于进一步提高透明材料的表面性能。
现有技术采用扫描振镜实现了在自由曲面内分区域操作周期性条纹的功能，但未能有效的在玻璃表面上制备出均匀规则的周期性条纹，但飞秒激光诱导周期条纹在透明材料表面改性方面应用却鲜有报道。然而，如何有效的在玻璃表面上制备出均匀规则的周期性条纹，推动飞秒激光诱导周期条纹在透明材料表面改性方面应用与推广，有关这方面的研究仍然是一个巨大的挑战。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术的不足而提供的一种在覆有ITO薄膜的玻璃表面利用柱透镜制备周期条纹结构的装置，采用在玻璃表面覆有一层低烧蚀阈值的ITO薄膜，利用圆柱透镜聚焦的飞秒激光束在玻璃表面形成激光焦斑诱导产生周期条纹生长的方法，通过低于玻璃烧蚀阈值十倍的激光能流密度在玻璃表面制备宽度为激光束直径的长条形周期条纹结构。在玻璃表面形成一个长度等于光束直径的细线型激光焦斑，通过改变激光能流密度和扫描速度，以及移动样品，利用飞秒激光诱导产生周期条纹生长的特性，使用低于玻璃烧蚀阈值十倍的激光能流密度在玻璃表面制备大面积的周期条纹结构，用于透明材料表面制备大面积周期条纹结构，对材料表面光学性进行调控，如吸收、发光、着色等，对材料表面浸润性进行调控，如疏缩水、油等，具有操作便捷、经济高效，抗干扰能力强等优点。
实现本发明目的的具体技术方案是：一种覆有ITO薄膜的玻璃表面制备周期条纹结构的方法，其特点采用在玻璃表面覆有一层低烧蚀阈值的ITO薄膜，利用圆柱透镜聚焦的飞秒激光束在玻璃表面形成激光焦斑诱导产生周期条纹生长的方法，通过低于玻璃烧蚀阈值十倍的激光能流密度在玻璃表面制备宽度为激光束直径的长条形周期条纹结构。
一种覆有ITO薄膜的玻璃表面制备周期条纹结构的装置，其特点采用光源系统与样品监测系统、样品加工系统和控制系统组成的实验装置，实现在覆有ITO薄膜的玻璃表面制备周期条纹结构。
所述光源系统由飞秒激光光源发生的高斯光束依次通过电子快门、第一半波片和格兰棱镜进入样品监测系统。
所述样品监测系统由白光光源与圆透镜和CCD组成用于样品刻蚀的实时观测。
所述样品加工系统由第二半波片、柱透镜和四轴平移台构成，将样品设于四轴平移台上，飞秒激光通过柱透镜汇聚到样品上，并通过第二半波片改变激光偏振。
所述控制系统由计算机分别与电子快门、第一和第二半波片、四轴平移台及CCD进行连接组成，实现周期条纹结构制备的光源控制、样品监测和加工控制。
所述四轴平移台为具有X/Y/Z三个平移运动副与A轴旋转运动副组成的工作台。
本发明与现有技术相比具有操作便捷、经济高效，抗干扰能力强等优点，可用于在透明材料表面制备大面积周期条纹结构，对材料表面光学性进行调控，如吸收、发光、着色等，对材料表面浸润性进行调控，如疏缩水、油等，进一步推动飞秒激光诱导周期条纹在透明材料表面改性方面的应用和推广。
附图说明
图1为本发明装置的结构示意图；
图2为激光能流密度为400mJ/cm2时扫描速率为2mm/s的结果示意图；
图3为激光能流密度为450mJ/cm2时扫描速率为2mm/s的结果示意图。
具体实施方式
本发明采用在玻璃表面覆有一层低烧蚀阈值的ITO薄膜，利用圆柱透镜聚焦的飞秒激光束在玻璃表面形成激光焦斑诱导产生周期条纹生长的方法，通过低于玻璃烧蚀阈值十倍的激光能流密度在玻璃表面制备宽度为激光束直径的长条形周期条纹结构。本发明将一个球面透镜汇聚的直径小于0.1mm的圆形激光焦斑变成一个由柱透镜汇聚的 10*0.02mm的细线型激光焦斑。这一焦斑的形成与通常使用的圆形焦斑相比，可以一次性形成较大面积的周期纳米结构。通过计算机控制四轴平移台的高速移动，改变样品相对于激光焦斑的汇聚位置，即可高效率的在样品表面制备出大面积的周期纳米条纹结构。
下面以具体实施例对本发明作进一步详细描述和说明：
实施例1
参阅附图1，本发明由光源系统I与样品监测系统II、样品加工系统III和控制系统IV组成的实验装置16，实现在覆有ITO薄膜的玻璃表面制备周期条纹结构。所述光源系统I由飞秒激光光源1与第一高反镜2、第二高反镜3、电子快门4、第一半波片5和格兰棱镜6依次连接的光路构成，采用第一半波片5将激光偏振方向调到与Y轴平行，使得样品表面的刻线方向与飞秒激光诱导的周期纳米条纹平行。沿Y轴方向匀速移动样品，在样品表面形成大面积的周期条纹结构，平移台的速度取决于激光能流密度与重复频率。平移台的速度v＝重复频率*激光焦斑宽度。
所述样品监测系统II由二向色镜7、第三高反镜8、白光光源9、圆透镜10和CCD11构成，所述二向色镜7的作用是对白光光源9高透，对飞秒激光高反，通过白光光源9 照射，刻蚀结构的图像依次通过第三高反镜8和圆透镜10，最终在CCD11上进行成像，实现对样品的实时观察和测量。所述样品加工系统III由第二半波片12、柱透镜13和四轴平移台14构成；所述控制系统IV由计算机15连接的电子快门4、第一半波片5、CCD11、第二半波片12和四轴平移台14构成。所述计算机15通过CCD11对样品表面制备的周期纳米结构实现图像观察与测量；所述计算机15通过控制电子快门2实现激光停启控制；所述计算机15通过控制第一半波片5和第二半波片12实现对飞秒激光能流密度和偏振方向的调节；所述四轴平移台14为具有X/Y/Z三个平移运动副与A轴旋转运动副组成的工作台。
本发明是这样工作的：在钠钙基或硅硼基的玻璃基片上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡(ITO)膜加工制作成的样品，将其固定在四轴平移台14上，飞秒激光光源1输出的高斯光束经第一高反镜2、第二高反镜3进入由计算机15控制的电子快门2 进而控制激光的开启和关闭，实现激光的停启控制。计算机15通过控制第一半波片5和第二半波片12实现对飞秒激光能流密度和偏振方向的调节。通过电子快门2的激光束经第一半波片5和格兰棱镜6改变飞秒激光能流密度，于是飞秒激光由二向色镜7反射到第二半波片12上改变激光偏振方向。最后飞秒激光经过焦距50毫米的柱透镜13汇聚到样品表面。第三高反镜8将白光光源9高透后经二向色镜7反射到第二半波片12上，并由柱透镜13汇聚到样品表面，刻蚀结构的图像依次通过第三高反镜8和圆透镜10，最终在CCD11上进行成像，并由计算机15通过CCD11对样品表面制备的周期纳米结构实现图像观察与测量。
将样品沿Y轴方向匀速移动，在样品表面形成大面积的、规则的周期纳米条纹结构。设定激光能流密度400mJ/cm2及重复频率1000Hz，进而可以确定四轴平移台14的移动速度，沿Y轴方向匀速移动样品，在样品表面形成一条宽度为光束直径的周期条纹结构后，再将样品沿着X轴方向平移，平移距离为光束直径的0.6～0.8倍，利用飞秒激光诱导周期条纹结构的有序生长的特性，然后沿Z轴反方向移动，再制备出与上一条平行的周期条纹结构。重复上述步骤，最后制备出大面积的周期纳米条纹结构。
参阅图2，将飞秒激光光源1输出的高斯光束的重复频率调到1000Hz，激光的能流密度为400mJ/cm2，四轴平移台14的速度调到2mm/s时，在表面制备了大面积规则的周期条纹结构。
参阅图3，将飞秒激光光源1输出的高斯光束的重复频率调到1000Hz，激光的能流密度为450mJ/cm2，四轴平移台14的速度调到3mm/s时，在表面制备了大面积规则的周期条纹结构。
本发明利用柱透镜替代现有技术通常使用的球面透镜将激光束汇聚在样品表面形成激光焦斑，激光焦斑是一个长度等于光束直径的细线型光斑，同时在玻璃表面覆有ITO薄膜，使用低于玻璃烧蚀阈值十倍的激光能流密度在玻璃表面制备了大面积的周期条纹结构。本发明将一个球面透镜汇聚的直径小于0.1mm的圆形激光焦斑变成一个由柱透镜 13汇聚的10*0.02mm的细线型激光焦斑。这一焦斑的形成与通常使用的圆形焦斑相比，可以一次性形成较大面积的周期纳米结构。通过计算机15控制四轴平移台14的高速移动，改变样品相对于激光焦斑的汇聚位置，即可高效率的在样品表面制备出大面积的周期纳米条纹结构。
本发明采用柱面透镜汇聚和表面镀膜的方案在玻璃表面实现了大面积制备规则的的周期条纹纳米结构。所使用的激光能流密度可以降低到裸玻璃的十分之一，与圆形透镜相比，柱面透镜更适合于周期条纹结构更规律的大面积处理。改变激光能流密度和扫描速度，通过电动平移台移动样品，利用飞秒激光诱导产生周期条纹生长的特性，可以制备宽度为光束直径的长条形周期条纹结构。进一步平移光束直径的距离，继续平行与长条形光栅反向移动样品，就可以制备大面积的周期条纹结构。
以上实施例只是对本发明做进一步说明，并非用以限制本发明专利，凡为本发明等效实施，均应包含于本发明专利的权利要求范围之内。

Claims (3)

1.一种覆有ITO薄膜的玻璃表面制备周期条纹结构的方法，其特征在于采用在玻璃表面覆有一层低烧蚀阈值的ITO薄膜，利用圆柱透镜聚焦的飞秒激光束在玻璃表面形成激光焦斑诱导产生周期条纹生长的方法，通过低于玻璃烧蚀阈值十倍的激光能流密度在玻璃表面制备宽度为激光束直径的长条形周期条纹结构。
2.一种权利要求1所述覆有ITO薄膜的玻璃表面制备周期条纹结构的装置，其特征在于采用光源系统与样品监测系统、样品加工系统和控制系统组成的实验装置，实现在覆有ITO薄膜的玻璃表面制备周期条纹结构，所述光源系统由飞秒激光光源与第一高反镜、第二高反镜、电子快门、第一半波片和格兰棱镜依次连接的光路构成，且由格兰棱镜将飞秒激光光源发生的高斯光送入样品监测系统；所述样品监测系统由二向色镜、第三高反镜、白光光源、圆透镜和CCD构成样品刻蚀的实时观测；所述样品加工系统由第二半波片、柱透镜和四轴平移台构成；所述控制系统由计算机连接的电子快门、第一半波片、CCD、第二半波片和四轴平移台构成，所述计算机通过CCD对样品表面制备的周期纳米结构实现图像观察与测量；所述计算机通过控制电子快门实现激光停启控制；所述计算机通过控制第一半波片和第二半波片实现对飞秒激光能流密度和偏振方向的调节。
3.根据权利要求2所述覆有ITO薄膜的玻璃表面制备周期条纹结构的装置，其特征在于所述四轴平移台为具有X/Y/Z三个平移运动副与A轴旋转运动副组成的工作台。
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Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001044871A1 (en) * 1999-12-17 2001-06-21 Corning Incorporated Femtosecond laser writing of glass, including borosilicate, sulfide, and lead glasses
JP2007229732A (ja) * 2006-02-28 2007-09-13 Saitama Univ 超短パルスレーザを用いた微細加工方法及び装置
CN101044597A (zh) * 2004-10-20 2007-09-26 株式会社半导体能源研究所 激光照射方法、激光照射装置和制造半导体器件的方法
CN101821071A (zh) * 2007-10-11 2010-09-01 三星钻石工业股份有限公司 脆性材料基板、脆性材料基板的激光划线方法及激光划线装置
CN101870036A (zh) * 2010-05-18 2010-10-27 中国科学院上海光学精密机械研究所 飞秒激光快速加工装置
CN103193999A (zh) * 2013-03-29 2013-07-10 西南科技大学 脉冲激光在共轭聚合物表面制备条纹结构的方法和设备
CN104591549A (zh) * 2014-12-29 2015-05-06 北京理工大学 一种用飞秒激光脉冲序列在玻璃表面加工微阵列的方法
CN108362394A (zh) * 2018-02-12 2018-08-03 南开大学 基于飞秒激光写入的晶体光波导散斑温度测量方法及系统
CN109407205A (zh) * 2018-12-19 2019-03-01 宁波大学 一种硫系玻璃光纤端面衍射光栅的制作装置及制作方法
CN109865939A (zh) * 2019-01-22 2019-06-11 华东师范大学 一种双飞秒激光束柱透镜汇聚干涉制备大面积周期微纳结构的装置
CN110303244A (zh) * 2019-07-25 2019-10-08 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种快速制备表面周期结构方法

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001044871A1 (en) * 1999-12-17 2001-06-21 Corning Incorporated Femtosecond laser writing of glass, including borosilicate, sulfide, and lead glasses
CN101044597A (zh) * 2004-10-20 2007-09-26 株式会社半导体能源研究所 激光照射方法、激光照射装置和制造半导体器件的方法
JP2007229732A (ja) * 2006-02-28 2007-09-13 Saitama Univ 超短パルスレーザを用いた微細加工方法及び装置
CN101821071A (zh) * 2007-10-11 2010-09-01 三星钻石工业股份有限公司 脆性材料基板、脆性材料基板的激光划线方法及激光划线装置
CN101870036A (zh) * 2010-05-18 2010-10-27 中国科学院上海光学精密机械研究所 飞秒激光快速加工装置
CN103193999A (zh) * 2013-03-29 2013-07-10 西南科技大学 脉冲激光在共轭聚合物表面制备条纹结构的方法和设备
CN104591549A (zh) * 2014-12-29 2015-05-06 北京理工大学 一种用飞秒激光脉冲序列在玻璃表面加工微阵列的方法
CN108362394A (zh) * 2018-02-12 2018-08-03 南开大学 基于飞秒激光写入的晶体光波导散斑温度测量方法及系统
CN109407205A (zh) * 2018-12-19 2019-03-01 宁波大学 一种硫系玻璃光纤端面衍射光栅的制作装置及制作方法
CN109865939A (zh) * 2019-01-22 2019-06-11 华东师范大学 一种双飞秒激光束柱透镜汇聚干涉制备大面积周期微纳结构的装置
CN110303244A (zh) * 2019-07-25 2019-10-08 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种快速制备表面周期结构方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JI HUANG等: "Cylindrically Focused Nonablative Femtosecond Laser Processing of Long-Range Uniform Periodic Surface Structures with Tunable Diffraction Efficiency", 《ADVANCED OPTICAL MATERIALS》 *
NAZAR FARID等: "Thin film enabling sub-250 nm nano-ripples on glass by low fluence IR picosecond laser irradiation", 《OPTICS AND LASER TECHNOLOGY》 *

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