CN111996532B - 一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置及制备工艺 - Google Patents

Abstract

一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置及制备工艺，涉及感光化学技术领域。制备装置包括用于储备原料硝酸的第一储槽、用于储备原料磷酸的第二储槽、用于储备原料冰醋酸的第三储槽、用于储备原料超纯水的第四储槽、混配槽、以及精密过滤器。第一储槽、第二储槽、第三储槽和第四储槽均同混配槽选择性地连通，混配槽的出口同精密过滤器的进口连通。其结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程并降低了操作难度，对于提高生产效率具有积极意义。制备工艺基于制备装置来实现，操作简单、易于实施，使整个生产过程更加精简，生产效率得到了提升。

Description

一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置及制备工艺

技术领域

本发明涉及感光化学技术领域，具体而言，涉及一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置及制备工艺。

背景技术

现有的用于制备电子级铝蚀刻液的设备结构较为复杂，各个部件之间的配合控制难度也较高，使用起来相对繁琐，生产效率在一定程度上受到了抑制。

有鉴于此，特提出本申请。

发明内容

本发明的第一个目的在于提供一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置，其结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程并降低了操作难度，对于提高生产效率具有积极意义。

本发明的第二个目的在于提供一种用于电子级铝蚀刻液的制备工艺，其操作简单、易于实施，使整个生产过程更加精简，生产效率得到了提升。

本发明的实施例是这样实现的：

一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置，其包括：用于储备原料硝酸的第一储槽、用于储备原料磷酸的第二储槽、用于储备原料冰醋酸的第三储槽、用于储备原料超纯水的第四储槽、混配槽、以及精密过滤器。第一储槽、第二储槽、第三储槽和第四储槽均同混配槽选择性地连通，混配槽的出口同精密过滤器的进口连通。

进一步地，精密过滤器的滤芯包括：骨架和滤材。骨架包括辅助叶和呈圆筒状的中心筒体，辅助叶包括第一延伸叶、第二延伸叶、第三延伸叶。中心筒体的侧壁开设有供滤液通过的过液通道。

第一延伸叶和第三延伸叶均沿中心筒体的径向延伸设置，且二者均沿中心筒体的轴向连续设置。第二延伸叶呈圆弧状，第二延伸叶所对应的圆柱的轴心线同中心筒体的轴心线平行设置，第二延伸叶所对应的圆柱的轴心线位于其靠近中心筒体的一侧。第二延伸叶也沿中心筒体的轴向连续设置。第一延伸叶连接于中心筒体的外壁，第二延伸叶连接于第一延伸叶的远离中心筒体的一端，第三延伸叶连接于第二延伸叶的远离第一延伸叶的一端。

多组辅助叶沿中心筒体的周向间隔设置，相邻两组辅助叶中一者的第一延伸叶位于另一者的第二延伸叶和中心筒体之间的区域。

进一步地，第二延伸叶所对应的圆柱的半径大于中心筒体的半径。

进一步地，第一延伸叶沿第二延伸叶所对应的圆柱的径向设置。

进一步地，相邻两组辅助叶中，二者的第一延伸叶之间的最小间距为第一预设间距，二者的第二延伸叶之间的最小间距为第二预设间距，二者的第三延伸叶之间的最小间距为第三预设间距。其中，第三预设间距＞第一预设间距＞第二预设间距。

进一步地，骨架还包括：第四延伸叶。第四延伸叶呈圆筒状并同中心筒体同轴设置，第四延伸叶的内壁同第三延伸叶的远离第二延伸叶的一端连接。沿中心筒体的轴向，中心筒体、第一延伸叶、第二延伸叶、第三延伸叶和第四延伸叶四者的长度相同。第四延伸叶开设有供滤液通过的缺口，缺口沿第四延伸叶的周向连续延伸呈环状。缺口靠近第四延伸叶的一端端部设置，过液通道设置于中心筒体的远离缺口的一端。

进一步地，中心筒体的过液通道沿中心筒体的周向连续延伸呈环状。

进一步地，骨架还包括：第四延伸叶。第四延伸叶呈圆筒状并同中心筒体同轴设置，第四延伸叶的内壁同第三延伸叶的远离第二延伸叶的一端连接。沿中心筒体的轴向，中心筒体、第一延伸叶、第二延伸叶、第三延伸叶和第四延伸叶四者的长度相同。第四延伸叶开设有供滤液通过的缺口，缺口沿第四延伸叶的周向延伸，沿第四延伸叶的周向，缺口所对应的圆心角度数小于相邻两组辅助叶的第三延伸叶之间的区域所对应的圆心角度数。相邻两组辅助叶的第三延伸叶之间的区域均对应设置有一个缺口。

进一步地，中心筒体的过液通道也沿中心筒体的周向延伸，沿中心筒体的周向，过液通道所对应的圆心角度数小于相邻两组辅助叶的第一延伸叶之间的区域所对应的圆心角度数。相邻两组辅助叶的第一延伸叶之间的区域均对应设置有一个过液通道。

过液通道所对应的圆心角度数与相邻两组辅助叶的第一延伸叶之间的区域所对应的圆心角度数之间的比值为第一预设比值，缺口所对应的圆心角度数与相邻两组辅助叶的第三延伸叶之间的区域所对应的圆心角度数之间的比值为第二预设比值，第一预设比值同第二预设比值相等。

一种利用上述的制备装置制备电子级铝蚀刻液的制备工艺，其包括：按预设比例于混配槽中混配原料硝酸、原料磷酸、原料冰醋酸和原料超纯水，经精密过滤器过滤后分装入库。

本发明实施例的有益效果是：

本发明实施例提供的用于电子级铝蚀刻液的制备装置在使用过程中，利用第一储槽、第二储槽、第三储槽和第四储槽直接对各种原料进行生产前存储，在生产开始后，按对应比例将各个原料输入到混配槽中完成混配，经检验合格后，经精密过滤器过滤，即可进行分装入库。

总体而言，本发明实施例提供的用于电子级铝蚀刻液的制备装置结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程并降低了操作难度，对于提高生产效率具有积极意义。本发明实施例提供的用于电子级铝蚀刻液的制备工艺操作简单、易于实施，使整个生产过程更加精简，生产效率得到了提升。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明实施例提供的制备装置的结构示意图；

图2为图1中制备装置的精密过滤器的结构示意图；

图3为图2中精密过滤器的滤芯的结构示意图；

图4为图3中滤芯的骨架的结构示意图；

图5为图3中滤芯的骨架的立体结构示意图；

图6为本发明实施例提供的制备工艺的流程示意图；

图7为骨架的另一种结构的第一视角的结构示意图；

图8为图7中骨架的第二视角的结构示意图；

图9为图7中骨架的第三视角的结构示意图；

图10为图7中骨架的第二视角的内部结构示意图；

图11为骨架的又一种结构的第一视角的结构示意图；

图12为图11中骨架的第二视角的结构示意图；

图13为图11中骨架的第三视角的结构示意图；

图14为图11中骨架的第二视角的内部结构示意图。

图标：制备装置1000；第一储槽100；第二储槽200；第三储槽300；第四储槽400；混配槽500；精密过滤器600；滤芯700；骨架710、710’、710”；中心筒体711；过液通道711a；辅助叶712；第一延伸叶712a；第二延伸叶712b；第三延伸叶712c；第一预设间距D1；第二预设间距D2；第三预设间距D3；滤材720；第四延伸叶712d；缺口712d’。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

实施例1

请参照图1，本实施例提供一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置1000。

制备装置1000包括：用于储备原料硝酸的第一储槽100、用于储备原料磷酸的第二储槽200、用于储备原料冰醋酸的第三储槽300、用于储备原料超纯水的第四储槽400、混配槽500、以及精密过滤器600。

其中，第一储槽100、第二储槽200、第三储槽300和第四储槽400均同混配槽500选择性地连通，混配槽500的出口同精密过滤器600的进口连通。

需要说明的是，“选择性地连通”意为可以根据实际生产需要灵活地选择开启(连通)的时间和关闭(断开)的时间，例如利用控制阀即可实现该功能，当然也可以选择其它的实现方式，并不限于此。

在使用过程中，利用第一储槽100、第二储槽200、第三储槽300和第四储槽400直接对各种原料进行生产前存储，在生产开始后，按对应比例将各个原料输入到混配槽500中完成混配，经检验合格后，经精密过滤器600过滤，即可进行分装入库。

总体而言，用于电子级铝蚀刻液的制备装置1000结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程并降低了操作难度，对于提高生产效率具有积极意义。

进一步地，请结合图2～5，在本实施例中，为了适应对蚀刻液的“电子级”纯度要求，为制备装置1000特别匹配了精密过滤器600。其中，精密过滤器600的滤芯700包括：骨架710和滤材720。

骨架710包括辅助叶712和呈圆筒状的中心筒体711，辅助叶712包括第一延伸叶712a、第二延伸叶712b、第三延伸叶712c。中心筒体711的侧壁开设有供滤液通过的过液通道711a。

第一延伸叶712a和第三延伸叶712c均沿中心筒体711的径向延伸设置，且二者均沿中心筒体711的轴向连续设置。

第二延伸叶712b呈圆弧状，第二延伸叶712b的圆弧面所对应的圆柱体的轴心线同中心筒体711的轴心线平行设置，第二延伸叶712b所对应的圆柱体的轴心线位于第二延伸叶712b靠近中心筒体711的一侧。第二延伸叶712b也沿中心筒体711的轴向连续设置。

第一延伸叶712a连接于中心筒体711的外壁，第二延伸叶712b连接于第一延伸叶712a的远离中心筒体711的一端，第三延伸叶712c连接于第二延伸叶712b的远离第一延伸叶712a的一端。

沿第二延伸叶712b的表面且由第一延伸叶712a指向第三延伸叶712c的方向，第二延伸叶712b与中心筒体711之间的间距递增。

多组辅助叶712沿中心筒体711的周向间隔设置，相邻两组辅助叶712中一者的第一延伸叶712a位于另一者的第二延伸叶712b和中心筒体711之间的区域。

通过以上设计，精密过滤器600的滤芯700具有至少两种设置方式。其中一种为：滤材720为呈圆筒状的整体，滤材720套设于骨架710，骨架710的中心筒体711的外壁贴合于滤材720的内壁，辅助叶712则嵌设于滤材720当中。此种设置方式当中，为了避免滤液直接沿辅助叶712和滤材720之间可能存在的缝隙通过，可以在辅助叶712和滤材720之间利用粘接剂进行封合，不仅能够避免滤液从可能存在的缝隙通过，保证滤液被滤材720充分过滤，而且还能够进一步提高骨架710和滤材720之间的配合紧密度和整体稳固性。当然，若辅助叶712和滤材720之间贴合足够紧密，则不容易发生滤液直接沿辅助叶712和滤材720之间可能存在的缝隙通过的问题。当然，也可以利用其他的手段解决或规避滤液直接沿辅助叶712和滤材720之间可能存在的缝隙通过的问题。

另一种设置方式为：将滤材720作为填充物，把滤材720填充于辅助叶712之间的区域当中，将铝材填充到所需的密实度即可。同样的，也可以考虑辅助叶712和滤材720之间可能存在的缝隙的问题，与上文的情况相似，此处不再赘述。

在本实施例中，相邻两组辅助叶712中，二者的第一延伸叶712a之间的最小间距为第一预设间距D1，二者的第二延伸叶712b之间的最小间距为第二预设间距D2，二者的第三延伸叶712c之间的最小间距为第三预设间距D3。其中，第三预设间距D3＞第一预设间距D1＞第二预设间距D2。

需要说明的是，中心筒体711可以直接采用网状筒体结构，此时的过液通道711a即为网孔。当然，也可以采用其他形式，并不局限于此。

经以上的整体设计之后，在过滤过程中，滤液进入精密过滤期之后，沿滤芯700的径向通过滤材720，最后进入到中心筒体711的清液沿中心筒体711的轴向经精密过滤器600的出口离开。

在过滤过程中，滤液沿径向流动，但并非是沿径向直线流动，二是在辅助叶712的引导和限制之下通过铝材。如前所述，辅助叶712的特殊结构设计，滤液在相邻两个辅助叶712的第三延伸叶712c的引导下，进入到两个辅助叶712之间的区域之后，在第二延伸叶712b的引导下，滤液向第一延伸叶712a之间的区域过渡。

滤液在第二延伸叶712b之间的区域流通的过程中，流通宽度逐渐减小(两篇第二延伸叶712b之间的间距逐渐变小)，这对于滤液来说具有类似于“收拢”和“增压”的作用，对于进入到最小间距区域之前的滤液还额外具有减速作用，能够延长过滤时间，以上因素相互配合，对于提高滤材720的过滤效果具有积极意义。

进一步地，随着滤液的进一步流动，当铝滤液通过第二延伸叶712b之间的最小间距区域之后，随后即进入“开阔地带”(间距又重新变大)，这对于滤液来说，有利于滤液进一步分散，使单位时间内通过最小间距区域的滤液能够在更宽阔的区域进行分散，类似于在“增压”后又“减压”的作用，对于通过了最小间距区域的液体具有二次深度净化的作用。

需要注意的是，滤液在通过相邻两片辅助叶712之间的区域的过程中，其流通路径变得“曲折”，在滤材720中的流动路径变得更长，这同样有利于进一步提高滤材720对滤液的过滤周期和过滤时间，在滤材720滤穿前，能够有效地提高过滤效果。

结合以上设计，精密过滤器600的过滤效果大大提高，能够大大提高铝蚀刻液的纯度，提高电子级质量品质。

另外，需要说明的是，辅助叶712的特殊结构设计，对于提高滤材720的整体结构稳定性具有积极作用，有利于保证滤材720的可靠度，使其更适合用于加压过滤。其中，辅助叶712的特殊结构也使其具有更好的抗压能力，使滤芯700能够更好地发挥作用。

可选地，多组辅助叶712沿中心筒体711的周向均匀间隔设置。

进一步地，在本实施例中，第二延伸叶712b所对应的圆柱体的半径大于中心筒体711的半径。

进一步地，第一延伸叶712a也沿第二延伸叶712b所对应的圆柱的径向设置。通过该设计，能够使辅助叶712的也够更加可靠，同时更便于液体在辅助叶712之间的区域流动。

在过滤过程中，待过滤的混合液经精密过滤器600的进口进入到精密过滤器600的外壁和滤芯700之间的间隙当中，混合液经滤芯700过滤后进入到中心筒体711当中，然后沿中心筒体711的轴向流向精密过滤器600的出口。

综上所述，用于电子级铝蚀刻液的制备装置1000结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程并降低了操作难度，对于提高生产效率具有积极意义。制备装置1000具有相当优越的过滤效果，对于进一步提高电子级铝蚀刻液的品质具有积极意义。

请结合图6，本实施例还提供一种利用制备装置1000制备电子级铝蚀刻液的制备工艺，其包括：按预设比例于混配槽500中混配原料硝酸、原料磷酸、原料冰醋酸和原料超纯水，经精密过滤器600过滤后分装入库。

制备工艺整体操作简单、易于实施，使整个生产过程更加精简，生产效率得到了提升。依托于制备装置1000的特殊设计，流程精简的基础上还能够进一步提高铝蚀刻液的品质。

实施例2

请参阅图7～10，本实施例提供一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置。与实施例1相比，不同的是：本实施例所提供的的制备装置的精密过滤器的骨架710’还包括：第四延伸叶712d。

第四延伸叶712d呈圆筒状并同中心筒体711同轴设置，第四延伸叶712d的内壁同第三延伸叶712c的远离第二延伸叶712b的一端连接。沿中心筒体711的轴向，中心筒体711、第一延伸叶712a、第二延伸叶712b、第三延伸叶712c和第四延伸叶712d四者的长度相同。

第四延伸叶712d开设有供滤液通过的缺口712d’，缺口712d’沿第四延伸叶712d的周向连续延伸呈环状。缺口712d’靠近第四延伸叶712d的一端端部设置，过液通道711a设置于中心筒体711的远离缺口712d’的一端。

对于本实施例所提供的的制备装置的滤芯，可以直接将滤材720填充于辅助叶之间的区域当中。

对于本实施例所提供的的制备装置，在过滤过程中，混合液经位于滤芯一端的缺口712d’进入滤芯，并从位于滤芯的另一端的过液通道711a离开滤芯。在实现如实施例1所记录的过滤方式的基础上，混合液在过滤过程中还沿滤芯轴向流动，能够进一步延长过滤路径，大大提高滤材的有效过滤路径利用率，从而进一步提高过滤效果。

在本实施例中，中心筒体711的过液通道711a沿中心筒体711的周向连续延伸呈环状。

实施例3

请参阅图11～14，本实施例提供一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置。与实施例1相比，不同的是：本实施例所提供的的制备装置的精密过滤器的骨架710”还包括：第四延伸叶712d。

第四延伸叶712d呈圆筒状并同中心筒体711同轴设置，第四延伸叶712d的内壁同第三延伸叶712c的远离第二延伸叶712b的一端连接。沿中心筒体711的轴向，中心筒体711、第一延伸叶712a、第二延伸叶712b、第三延伸叶712c和第四延伸叶712d四者的长度相同。

第四延伸叶712d开设有供滤液通过的缺口712d’，缺口712d’沿第四延伸叶712d的周向延伸，沿第四延伸叶712d的周向，缺口712d’所对应的圆心角度数小于相邻两组辅助叶的第三延伸叶712c之间的区域所对应的圆心角度数。相邻两组辅助叶的第三延伸叶712c之间的区域均对应设置有一个缺口712d’。

缺口712d’靠近第四延伸叶712d的一端端部设置，过液通道711a设置于中心筒体711的远离缺口712d’的一端。

对于本实施例所提供的的制备装置的滤芯，可以直接将滤材720填充于辅助叶之间的区域当中。

对于本实施例所提供的的制备装置，在过滤过程中，混合液经位于滤芯一端的缺口712d’进入滤芯，并从位于滤芯的另一端的过液通道711a离开滤芯。在实现如实施例1所记录的过滤方式的基础上，混合液在过滤过程中还沿滤芯轴向流动，能够进一步延长过滤路径，大大提高滤材720的有效过滤路径利用率，从而进一步提高过滤效果。

在本实施例中，中心筒体711的过液通道711a也沿中心筒体711的周向延伸，沿中心筒体711的周向，过液通道711a所对应的圆心角度数小于相邻两组辅助叶的第一延伸叶712a之间的区域所对应的圆心角度数。相邻两组辅助叶的第一延伸叶712a之间的区域均对应设置有一个过液通道711a。

过液通道711a所对应的圆心角度数与相邻两组辅助叶的第一延伸叶712a之间的区域所对应的圆心角度数之间的比值为第一预设比值，缺口712d’所对应的圆心角度数与相邻两组辅助叶的第三延伸叶712c之间的区域所对应的圆心角度数之间的比值为第二预设比值，第一预设比值同第二预设比值相等。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种用于电子级铝蚀刻液的制备装置，其特征在于，包括：

用于储备原料硝酸的第一储槽；

用于储备原料磷酸的第二储槽；

用于储备原料冰醋酸的第三储槽；

用于储备原料超纯水的第四储槽；

混配槽；以及

精密过滤器；

所述第一储槽、所述第二储槽、所述第三储槽和所述第四储槽均同所述混配槽选择性地连通，所述混配槽的出口同所述精密过滤器的进口连通；

所述精密过滤器的滤芯包括：骨架和滤材；所述骨架包括辅助叶和呈圆筒状的中心筒体，所述辅助叶包括第一延伸叶、第二延伸叶、第三延伸叶；所述中心筒体的侧壁开设有供滤液通过的过液通道；

所述第一延伸叶和所述第三延伸叶均沿所述中心筒体的径向延伸设置，且二者均沿所述中心筒体的轴向连续设置；所述第二延伸叶呈圆弧状，所述第二延伸叶所对应的圆柱的轴心线同所述中心筒体的轴心线平行设置，所述第二延伸叶所对应的圆柱的轴心线位于其靠近所述中心筒体的一侧；所述第二延伸叶也沿所述中心筒体的轴向连续设置；所述第一延伸叶连接于所述中心筒体的外壁，所述第二延伸叶连接于所述第一延伸叶的远离所述中心筒体的一端，所述第三延伸叶连接于所述第二延伸叶的远离所述第一延伸叶的一端；

多组所述辅助叶沿所述中心筒体的周向间隔设置，相邻两组所述辅助叶中一者的所述第一延伸叶位于另一者的所述第二延伸叶和所述中心筒体之间的区域；

所述第二延伸叶所对应的圆柱的半径大于所述中心筒体的半径；

所述第一延伸叶沿所述第二延伸叶所对应的圆柱的径向设置；

相邻两组所述辅助叶中，二者的所述第一延伸叶之间的最小间距为第一预设间距，二者的所述第二延伸叶之间的最小间距为第二预设间距，二者的所述第三延伸叶之间的最小间距为第三预设间距；其中，所述第三预设间距＞所述第一预设间距＞所述第二预设间距。

2.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述骨架还包括：第四延伸叶；所述第四延伸叶呈圆筒状并同所述中心筒体同轴设置，所述第四延伸叶的内壁同所述第三延伸叶的远离所述第二延伸叶的一端连接；沿所述中心筒体的轴向，所述中心筒体、所述第一延伸叶、所述第二延伸叶、所述第三延伸叶和所述第四延伸叶四者的长度相同；所述第四延伸叶开设有供滤液通过的缺口，所述缺口沿所述第四延伸叶的周向连续延伸呈环状；所述缺口靠近所述第四延伸叶的一端端部设置，所述过液通道设置于所述中心筒体的远离所述缺口的一端。

3.根据权利要求2所述的制备装置，其特征在于，所述中心筒体的所述过液通道沿所述中心筒体的周向连续延伸呈环状。

4.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述骨架还包括：第四延伸叶；所述第四延伸叶呈圆筒状并同所述中心筒体同轴设置，所述第四延伸叶的内壁同所述第三延伸叶的远离所述第二延伸叶的一端连接；沿所述中心筒体的轴向，所述中心筒体、所述第一延伸叶、所述第二延伸叶、所述第三延伸叶和所述第四延伸叶四者的长度相同；所述第四延伸叶开设有供滤液通过的缺口，所述缺口沿所述第四延伸叶的周向延伸，沿所述第四延伸叶的周向，所述缺口所对应的圆心角度数小于相邻两组所述辅助叶的所述第三延伸叶之间的区域所对应的圆心角度数；相邻两组所述辅助叶的所述第三延伸叶之间的区域均对应设置有一个所述缺口。

5.根据权利要求4所述的制备装置，其特征在于，所述中心筒体的所述过液通道也沿所述中心筒体的周向延伸，沿所述中心筒体的周向，所述过液通道所对应的圆心角度数小于相邻两组所述辅助叶的所述第一延伸叶之间的区域所对应的圆心角度数；相邻两组所述辅助叶的所述第一延伸叶之间的区域均对应设置有一个所述过液通道；

所述过液通道所对应的圆心角度数与相邻两组所述辅助叶的所述第一延伸叶之间的区域所对应的圆心角度数之间的比值为第一预设比值，所述缺口所对应的圆心角度数与相邻两组所述辅助叶的所述第三延伸叶之间的区域所对应的圆心角度数之间的比值为第二预设比值，所述第一预设比值同所述第二预设比值相等；

所述的制备装置制备电子级铝蚀刻液的制备工艺，包括：按预设比例于所述混配槽中混配原料硝酸、原料磷酸、原料冰醋酸和原料超纯水，经所述精密过滤器过滤后分装入库。

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