CN111965951A - 一种直写光刻机吸盘压板装置 - Google Patents

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CN111965951A CN202010901500.8A CN202010901500A CN111965951A CN 111965951 A CN111965951 A CN 111965951A CN 202010901500 A CN202010901500 A CN 202010901500A CN 111965951 A CN111965951 A CN 111965951A
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王群
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Jiangsu Jiudi Laser Equipment Technology Co ltd
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Jiangsu Jiudi Laser Equipment Technology Co ltd
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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691Handling of masks or workpieces
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Abstract

本发明公开了一种直写光刻机吸盘压板装置,包括置物板,所述置物板的下端固定连接有多个支撑座,所述置物板的上端固定连接有第一安装板和第二安装板,所述第一安装板和第二安装板固定连接,所述第一安装板和第二安装板上均设置有压紧机构,所述置物板的内部设置有吸附机构。本发明结构设计合理,充分的对PCB进行压紧以及吸附固定,方便提高加工时的稳定性,以保证加工的质量,同时缓冲层的设置避免对PCB的表面造成损坏。

Description

一种直写光刻机吸盘压板装置
技术领域
本发明涉及吸盘压板技术领域,尤其涉及一种直写光刻机吸盘压板装置。
背景技术
PCB中文名称为印制电路板,又称印刷线路板,是重要的电子部件,是电子元器件的支撑体,是电子元器件电气连接的载体。几乎每种电子设备,小到电子手表、计算器,大到计算机、通信电子设备、军用武器系统,只要有集成电路等电子元件,为了使各个元件之间的电气互连,都要使用印制板,由于它是采用电子印刷术制作的,故被称为“印刷”电路板。
现有技术中,直写光刻机吸盘是光刻机的重要组成部分。吸盘的大小、平面度、吸附方式和吸附力大小等因素对PCB制版的实际生产制造有着重要影响,而现有的直写光刻机所用的吸盘在固定PCB时,往往无法保证PCB的稳定性,位置容易发生松动偏移的情况,从而不能保证加工的质量。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种直写光刻机吸盘压板装置,其充分的对PCB进行压紧以及吸附固定,方便提高加工时的稳定性,以保证加工的质量,同时缓冲层的设置避免对PCB的表面造成损坏。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:
一种直写光刻机吸盘压板装置,包括置物板,所述置物板的下端固定连接有多个支撑座,所述置物板的上端固定连接有第一安装板和第二安装板,所述第一安装板和第二安装板固定连接,所述第一安装板和第二安装板上均设置有压紧机构,所述置物板的内部设置有吸附机构,所述置物板的下侧设置有用于吸附机构吸风的吸风机构。
优选地,所述压紧机构包括对称设置在第一安装板上侧的两个带电动推杆,两个所述电动推杆对称设置,两个所述电动推杆的伸缩端末端贯穿第一安装板并共同固定连接有下压板,所述下压板的下侧设置有缓冲层。
优选地,所述缓冲层采用橡胶材质所制,所述缓冲层的下表面布设有多个防滑凸起。
优选地,所述吸附机构包括对称设置在置物板下侧的两个吸风孔,两个所述吸风孔之间通过通风孔连接,所述通风孔的中部位置设置有连接口。
优选地,所述吸风孔呈喇叭状结构,所述吸风孔的开口端内侧固定连接有弹性胶体。
优选地,所述吸风机构包括固定连接置物板下侧的吸风机,所述吸风机的输出端连接有连接管,所述连接管通过两通接头连接通风孔的连接口。
本发明具备以下有益效果:
1、通过吸风机构和吸附机构的设置,利用吸风机吸风产生负压,通过吸风孔可在负压在作用下将PCB固定;
2、通过设置弹性胶体,可有效的保证吸风的气密性,以便于提高负压固定的效果;
3、通过压紧机构的设置,可通过电动推杆的推动使下压板下压操作,从而将PCB紧紧的压住固定,方便提高加工时的稳定性,以保证加工的质量。
附图说明
图1为本发明提出的一种直写光刻机吸盘压板装置的剖面结构示意图;
图2为本发明提出的一种直写光刻机吸盘压板装置的正面结构示意图。
图中:1置物板、2支撑座、3两通接头、4连接管、5吸风机、6通风孔、7吸风孔、8弹性胶体、9电动推杆、10下压板、11缓冲层、12第一安装板、13第二安装板。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
参照图1-2,一种直写光刻机吸盘压板装置,包括置物板1,置物板1的下端固定连接有多个支撑座2,置物板1的上端固定连接有第一安装板12和第二安装板13,第一安装板12和第二安装板13固定连接,第一安装板12和第二安装板13上均设置有压紧机构,压紧机构包括对称设置在第一安装板12上侧的两个带电动推杆9,两个电动推杆9对称设置,两个电动推杆9的伸缩端末端贯穿第一安装板12并共同固定连接有下压板10,下压板10的下侧设置有缓冲层11,缓冲层11采用橡胶材质制,缓冲层11的下表面布设有多个防滑凸起,起到了防滑的效果且保护PCB。
置物板1的内部设置有吸附机构,吸附机构包括对称设置在置物板1下侧的两个吸风孔7,两个吸风孔7之间通过通风孔6连接,通风孔6上设置有用于通风取消负压的通风口,通风孔6的中部位置设置有连接口,吸风孔7呈喇叭状结构,吸风孔7的开口端内侧固定连接有弹性胶体8,通过弹性胶体8有效的保证吸风的气密性,以便于提高负压固定的效果。
置物板1的下侧设置有用于吸附机构吸风的吸风机构,吸风机构包括固定连接置物板1下侧的吸风机5,吸风机5的输出端连接有连接管4,连接管4通过两通接头3连接通风孔6的连接口,利用吸风机5吸风产生负压,在负压在作用下将PCB固定。
使用时,首先将PCB置于置物板1的表面,随后启动吸风机5,吸风机5通过吸风口7、通风孔6以及连接管4进行吸风,从而产生负压,利用负压的作用将PCB紧紧吸附于置物板1的表面,随后启动电动推杆12,电动推杆12的伸缩端推动下压板10下移,从而可以将PCB压住固定,PCB通过两边的压紧固定,达到充分可以的效果,方便提高加工时的稳定性,以保证加工的质量。
以上,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种直写光刻机吸盘压板装置,包括置物板(1),其特征在于,所述置物板(1)的下端固定连接有多个支撑座(2),所述置物板(1)的上端固定连接有第一安装板(12)和第二安装板(13),所述第一安装板(12)和第二安装板(13)固定连接,所述第一安装板(12)和第二安装板(13)上均设置有压紧机构,所述置物板(1)的内部设置有吸附机构,所述置物板(1)的下侧设置有用于吸附机构吸风的吸风机构。
2.根据权利要求1所述的一种直写光刻机吸盘压板装置,其特征在于,所述压紧机构包括对称设置在第一安装板(12)上侧的两个带电动推杆(9),两个所述电动推杆(9)对称设置,两个所述电动推杆(9)的伸缩端末端贯穿第一安装板(12)并共同固定连接有下压板(10),所述下压板(10)的下侧设置有缓冲层(11)。
3.根据权利要求1所述的一种直写光刻机吸盘压板装置,其特征在于,所述缓冲层(11)采用橡胶材质所制,所述缓冲层(11)的下表面布设有多个防滑凸起。
4.根据权利要求1所述的一种直写光刻机吸盘压板装置,其特征在于,所述吸附机构包括对称设置在置物板(1)下侧的两个吸风孔(7),两个所述吸风孔(7)之间通过通风孔(6)连接,所述通风孔(6)的中部位置设置有连接口。
5.根据权利要求4所述的一种直写光刻机吸盘压板装置,其特征在于,所述吸风孔(7)呈喇叭状结构,所述吸风孔(7)的开口端内侧固定连接有弹性胶体(8)。
6.根据权利要求5所述的一种直写光刻机吸盘压板装置,其特征在于,所述吸风机构包括固定连接置物板(1)下侧的吸风机(5),所述吸风机(5)的输出端连接有连接管(4),所述连接管(4)通过两通接头(3)连接通风孔(6)的连接口。
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